專利名稱：基板貼合裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種基板處理設(shè)備，特別是一種基板貼合裝置。
背景技術(shù)：
液晶顯示面板的制程主要包括將兩個玻璃基板在真空環(huán)境中進行貼合的步驟，以使兩個玻璃基板組成可以灌注液晶的收容空間。
因為在真空貼合制程之前，其中一個玻璃基板上已形成有電路結(jié)構(gòu)，在真空貼合制程中，靜電防護就具有關(guān)鍵作用，如果不能及時消除靜電累積，極有可能因靜電放電而破壞玻璃基板上的電路，造成產(chǎn)品不良。
現(xiàn)有技術(shù)揭露一種具有靜電消除功能的基板貼合裝置如圖1所示，該基板貼合裝置包括第一靜電吸盤10、第二靜電吸盤20和離子發(fā)生器13與23。該第一靜電吸盤10包括第一吸盤主體11、設(shè)置在該第一吸盤主體11內(nèi)的第一電極12和與該第一電極12連接的第一電源14，該第二靜電吸盤20設(shè)置在該第一靜電吸盤10下側(cè)，包括第二吸盤主體21、設(shè)置在該第二吸盤主體21內(nèi)的第二電極22和與該第二電極22連接的第二電源24。該第一電源14和第二電源24均為高壓直流電源，其一端分別與該第一電極12和第二電極22連接，另一端均接地。當(dāng)該第一電源14和第二電源24施加電壓在該第一電極12和第二電極22上時，該第一電極12和第二電極22產(chǎn)生電荷累積，累積的電荷產(chǎn)生靜電吸引力，從而使第一靜電吸盤10可以通過靜電感應(yīng)吸附第一基板15，第二靜電吸盤20可以通過靜電感應(yīng)吸附第二基板25，并對該兩個基板15、25進行貼合。離子發(fā)生器13、23分別對應(yīng)該第一基板15、第二基板25，其可以產(chǎn)生正、負離子，以中和第一基板15、第二基板25所產(chǎn)生的靜電，避免靜電累積過度造成對基板15、25的破壞。
但是，上述基板貼合裝置采用的離子發(fā)生器13、23是用將正、負離子吹過基板15、25的形式來消除靜電，該種動態(tài)方式可能導(dǎo)致環(huán)境中的異物跟隨正、負離子流一起通過基板15、25，造成對基板15、25的污染，這對潔凈度要求極高的液晶顯示面板來說很為不利。

發(fā)明內(nèi)容為克服現(xiàn)有技術(shù)的基板貼合裝置消除靜電時容易造成對基板污染的問題，本發(fā)明提供一種可消除靜電累積且同時避免對基板造成污染的基板貼合裝置。
本發(fā)明解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是提供一種基板貼合裝置，其包括第一靜電吸盤、第二靜電吸盤和控制器，該第二靜電吸盤設(shè)置在該第一靜電吸盤下側(cè)，該控制器連接在該第二靜電吸盤，控制該第二靜電吸盤交替產(chǎn)生正電壓和負電壓。
相較于現(xiàn)有技術(shù)，由于本發(fā)明的基板貼合裝置采用一控制器連接在該第二靜電吸盤上，該控制器可以在貼合后的基板脫離第二靜電吸盤前，交替產(chǎn)生正電壓和負電壓，該正電壓和負電壓所產(chǎn)生的正、負電荷可以中和基板上的靜電，消除靜電累積；同時，因為第二靜電吸盤上正、負電荷的產(chǎn)生和交替改變并不引起空氣的流動，可以避免因氣體流動造成對基板的污染。

圖1是一種現(xiàn)有技術(shù)基板貼合裝置的剖面示意圖。
圖2是本發(fā)明基板貼合裝置的剖面圖。
圖3至圖5是本發(fā)明基板貼合裝置貼合兩個基板的過程示意圖。
具體實施方式
如圖2所示，是本發(fā)明基板貼合裝置的剖面圖。該基板貼合裝置100包括第一靜電吸盤30、第二靜電吸盤40和控制器45。
該第一靜電吸盤30包括第一吸盤主體31、設(shè)置在該第一吸盤主體31內(nèi)的第一電極32和與該第一電極32連接的第一電源34。該第二靜電吸盤40設(shè)置在該第一靜電吸盤30下側(cè)，包括第二吸盤主體41、設(shè)置在該第二吸盤主體41內(nèi)的第二電極42和與該第二電極42連接的第二電源44，該第二吸盤主體41上設(shè)置多個支撐柱43，該支撐柱43可相對于第二吸盤主體41做升降移動。該控制器45與該第二靜電吸盤40的第二電源44相連。
該第一電源34和第二電源44均為高壓直流電源。該第一電源34的一端與該第一電極32連接，另一端接地。該第二電源44的一端與該第二電極42連接，另一端連接于該控制器45后接地。該控制器45可以控制該第二電源44交替產(chǎn)生正電壓和負電壓。
以下結(jié)合圖3至圖5對本發(fā)明基板貼合裝置100的作用方式進行說明。
參照圖3，當(dāng)該第一電源34施加電壓在該第一電極32上時，該第一電極32產(chǎn)生電荷累積，累積的電荷產(chǎn)生靜電吸引力，從而使第一靜電吸盤30可以通過靜電感應(yīng)吸附第一基板36。當(dāng)該第二電源44施加電壓在該第二電極42上時，該第二電極42產(chǎn)生電荷累積，累積的電荷產(chǎn)生靜電吸引力，從而使第二靜電吸盤40可以通過靜電感應(yīng)吸附第二基板46，此時，該多個支撐柱43縮入該第二靜電吸盤40內(nèi)。
參照圖4，該第一靜電吸盤30和第二靜電吸盤40分別吸附第一基板36和第二基板46后，通過驅(qū)動裝置(圖未示)驅(qū)動該第一靜電吸盤30朝第二靜電吸盤40移動，最終使該基板36、46進行貼合。
參照圖5，該兩個基板36、46貼合完畢后，該第一靜電吸盤30撤除對第一基板36的靜電吸附力，并上升至一定高度，以不妨礙下一步的操作。該第二靜電吸盤40撤除對第二基板46的靜電吸附力，并驅(qū)動多個支撐柱43突出該第二靜電吸盤40，抬起貼合后的兩個基板36、46，以方便機械手臂(圖未示)將貼合后的兩個基板36、46取出。因該兩個基板36、46被抬起之前會有部分靜電累積，為消除該部分靜電，可以在抬起貼合后的兩個基板36、46前，通過控制器45控制第二電源44交替產(chǎn)生正電壓和負電壓，該正電壓和負電壓所產(chǎn)生的正、負電荷即可中和基板36、46上的靜電，消除靜電累積。
因為本發(fā)明的基板貼合裝置100采用控制器45連接在該第二靜電吸盤40上，該控制器45可以在貼合后的基板36、46脫離第二靜電吸盤40前，交替產(chǎn)生正電壓和負電壓，該正電壓和負電壓所產(chǎn)生的正、負電荷作用同現(xiàn)有技術(shù)的離子發(fā)生器所產(chǎn)生的正、負離子，可以中和基板36、46上的靜電，消除靜電累積；同時，因第二靜電吸盤40上正、負電荷的產(chǎn)生和交替改變并不引起空氣的流動，可以避免因為氣體流動造成對基板36、46的污染。
權(quán)利要求
1.一種基板貼合裝置，包括第一靜電吸盤和第二靜電吸盤，該第二靜電吸盤設(shè)置在該第一靜電吸盤下側(cè)，其特征在于該基板貼合裝置進一步包括一控制器，該控制器連接在該第二靜電吸盤，控制該第二靜電吸盤交替產(chǎn)生正電壓和負電壓。
2.如權(quán)利要求1所述的基板貼合裝置，其特征在于該第一靜電吸盤包括第一吸盤主體、設(shè)置在該第一吸盤主體內(nèi)的第一電極和與該第一電極連接的第一電源。
3.如權(quán)利要求1所述的基板貼合裝置，其特征在于該第二靜電吸盤包括第二吸盤主體、設(shè)置在該第二吸盤主體內(nèi)的第二電極和與該第二電極連接的第二電源，該控制器控制該第二電源交替產(chǎn)生正電壓和負電壓。
4.如權(quán)利要求3所述的基板貼合裝置，其特征在于該第二吸盤主體上設(shè)置多個支撐柱，該支撐柱可相對于第二吸盤主體做升降移動。
5.如權(quán)利要求2所述的基板貼合裝置，其特征在于該第一電源是高壓直流電源。
6.如權(quán)利要求3所述的基板貼合裝置，其特征在于該第二電源是高壓直流電源。
7.如權(quán)利要求2所述的基板貼合裝置，其特征在于該第一電源具有一個接地端。
8.如權(quán)利要求3所述的基板貼合裝置，其特征在于該第二電源連接控制器后接地。
全文摘要
本發(fā)明公開一種基板貼合裝置，其包括第一靜電吸盤、第二靜電吸盤和控制器，該第二靜電吸盤設(shè)置在該第一靜電吸盤下側(cè)，該控制器連接于該第二靜電吸盤，并控制該第二靜電吸盤交替產(chǎn)生正電壓和負電壓。
文檔編號G02F1/133GK1655022SQ20041001538
公開日2005年8月17日 申請日期2004年2月14日 優(yōu)先權(quán)日2004年2月14日
發(fā)明者江經(jīng)緯, 張彥中 申請人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司, 群創(chuàng)光電股份有限公司