專利名稱：數(shù)字掃描光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)試儀譜面坐標(biāo)標(biāo)定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于光學(xué)檢驗(yàn)技術(shù)領(lǐng)域中涉及的一種數(shù)字掃描光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)試儀譜面座標(biāo)標(biāo)定裝置。
二、技術(shù)背景評(píng)價(jià)一個(gè)光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量的好壞，最全面、最準(zhǔn)確的是利用光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)試儀測(cè)試光學(xué)系統(tǒng)的光學(xué)傳遞函數(shù)值。光學(xué)傳遞函數(shù)值是否準(zhǔn)確，取決于光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)試儀譜面座標(biāo)位置標(biāo)定的是否準(zhǔn)確。因此，在檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量之前，首先要對(duì)光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)試儀的譜面座標(biāo)進(jìn)行精確標(biāo)定。本發(fā)明之前，對(duì)光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)試儀譜面座標(biāo)的標(biāo)定通常用拼湊的松散型裝置來(lái)進(jìn)行標(biāo)定，與本發(fā)明最為近接的已有技術(shù)是中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用的裝置，如圖1所示，包括測(cè)微器、秒表、被標(biāo)定的光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)試儀的接口組件。
測(cè)微器包括測(cè)微器1和測(cè)微器探頭3、秒表2、被標(biāo)定的光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)試儀的接口組件包括像分析器掃描狹縫組件4和像分析器5。該裝置通過(guò)測(cè)微器測(cè)量像分析器掃描狹縫組件移動(dòng)距離，用秒表測(cè)量掃描狹縫組件移動(dòng)時(shí)間，得到掃描狹縫組件的移動(dòng)速率，完成光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)試儀譜面座標(biāo)位置的標(biāo)定。
該裝置由于使用秒表計(jì)時(shí)是人為控制，存在視聽(tīng)誤差，使得對(duì)譜面座標(biāo)位置的標(biāo)定不準(zhǔn)確，因而用這樣的光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)試儀測(cè)試光學(xué)系統(tǒng)的傳函值也是不準(zhǔn)確的，影響對(duì)光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量做出正確的評(píng)價(jià)。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服已有技術(shù)存在的缺陷，本發(fā)明的目的在于消除人為因素對(duì)標(biāo)定譜面座標(biāo)位置精度的影響，提高標(biāo)定精度，特設(shè)計(jì)一種新型的譜面座標(biāo)標(biāo)定裝置。
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種數(shù)字掃描光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)試儀譜面座標(biāo)標(biāo)定裝置。解決技術(shù)問(wèn)題的技術(shù)方案如圖2所示，包括標(biāo)準(zhǔn)矩形狹縫目標(biāo)源、顯微成像系統(tǒng)和被標(biāo)定的光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)試儀的接口組件。
標(biāo)準(zhǔn)矩形狹縫目標(biāo)源包括反射聚光鏡6、照明光源7、隔熱玻璃8、目標(biāo)源殼體9、透射式聚光鏡10、升降旋鈕11、殼體連接架12、移動(dòng)殼體連接架13、矩形狹縫組轉(zhuǎn)盤(pán)14、狹縫組轉(zhuǎn)盤(pán)軸15、目標(biāo)源通光出口16、方位調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)17。
顯微成像系統(tǒng)包括顯微物鏡18、顯微成像系統(tǒng)殼體19、調(diào)節(jié)旋鈕20、目鏡調(diào)焦鼓輪21、測(cè)微目鏡22、測(cè)微目鏡讀數(shù)鼓23、測(cè)微目鏡筒24、平面反射鏡25。
被標(biāo)定的光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)試儀接口組件包括像分析器法蘭26、像分析器掃描狹縫組件27、像分析器28。
在該裝置中標(biāo)準(zhǔn)矩形狹縫目標(biāo)源位于裝置左側(cè)，顯微成像系統(tǒng)置于中間，它的右端與像分析器法蘭26對(duì)接。標(biāo)準(zhǔn)矩形狹縫目標(biāo)源的光路光軸與顯微成像系統(tǒng)的光軸重合，使得顯微物鏡18的物方焦面落在矩形狹縫組轉(zhuǎn)盤(pán)14上，顯微物鏡的像方焦面落在掃描狹縫組件27上。
標(biāo)準(zhǔn)矩形狹縫目標(biāo)源是一個(gè)帶有三維位移調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的裝置。位于下部的方位調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)17可調(diào)節(jié)左右位移和前后位移，殼體連接架12的下端與方位調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)17的上表面固連。目標(biāo)源殼體9即帶有目標(biāo)源通光出口16的右側(cè)殼體和裝有光路系統(tǒng)的左側(cè)殼體與移動(dòng)殼體連接架13固連，狹縫組轉(zhuǎn)盤(pán)軸15裝在右側(cè)殼體的通光出口16的上面，且與光路光軸平行，矩形狹縫組轉(zhuǎn)盤(pán)14通過(guò)中心孔安裝在狹縫組轉(zhuǎn)盤(pán)軸15上，使得轉(zhuǎn)盤(pán)14上的矩形狹縫的中心落在光路光軸上。裝在目標(biāo)源殼體9左側(cè)腔內(nèi)的光路元件從左至右依次是反射聚光鏡6、照明光源7、隔熱玻璃8、透射式聚光鏡10。升降旋鈕11與移動(dòng)殼體連接架13之間是螺紋配合，垂直頂在殼體連接架12上，調(diào)節(jié)升降旋鈕11可使光路系統(tǒng)上下移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)目標(biāo)源的三維移動(dòng)。
顯微成像系統(tǒng)的顯微物鏡18安裝在顯微成像系統(tǒng)殼體19的左端，位于左邊的測(cè)微目鏡筒24與顯微成像系統(tǒng)殼體19垂直固連，測(cè)微目鏡22安裝在測(cè)微目鏡筒24內(nèi)，與目鏡筒24用螺紋絲杠連接的調(diào)焦鼓輪21可調(diào)節(jié)測(cè)微目鏡的焦面，使測(cè)微目鏡內(nèi)的十字分劃與像分析器的掃描狹縫27共軛，調(diào)節(jié)安裝在測(cè)微目鏡22上的測(cè)微目鏡讀數(shù)鼓23可標(biāo)定顯微物鏡18的放大倍率。平面反射鏡25的一端和調(diào)節(jié)旋鈕20固連，轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)旋鈕20可使平面反射鏡25的鏡面與光軸成45度角，平面反射鏡25的中心落在顯微物鏡18和測(cè)微目鏡22兩者光軸的交點(diǎn)上。
工作原理先調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)矩形狹縫目標(biāo)源的光軸與顯微成像系統(tǒng)的光軸重合，并調(diào)節(jié)顯微物鏡與矩形狹縫組轉(zhuǎn)盤(pán)的位置，使得矩形狹縫組轉(zhuǎn)盤(pán)落在顯微物鏡的物方焦面上，同時(shí)使矩形狹縫組轉(zhuǎn)盤(pán)成像在測(cè)微目鏡十字分劃面上即成像在像分析器掃描狹縫上。此時(shí)可以進(jìn)行對(duì)譜面座標(biāo)的標(biāo)定工作。
本發(fā)明的積極效果該裝置用于數(shù)字掃描光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)試儀譜面座標(biāo)位置標(biāo)定的精度高，適用于不同口徑的多種光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)試儀的譜面座標(biāo)標(biāo)定，特別是對(duì)于大口徑光學(xué)系統(tǒng)傳遞函數(shù)測(cè)試儀的譜面座標(biāo)位置標(biāo)定更為適宜。
四

圖1是已有技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖，圖2是本發(fā)明的拋面結(jié)構(gòu)示意圖，摘要附圖亦采用圖2。
五具體實(shí)施例方式
本發(fā)明按圖2所示的結(jié)構(gòu)實(shí)施，其中照明光源7采用12V24W碘鎢燈；矩形狹縫組轉(zhuǎn)盤(pán)14采用8個(gè)寬度不同的矩形狹縫；方位調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)17采用具有X、Y兩維移動(dòng)的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，材料用45鋼；顯微物鏡18采用優(yōu)質(zhì)10倍物鏡；測(cè)微目鏡22采用10倍目鏡；顯微成像系統(tǒng)殼體19，材質(zhì)選用鑄鋁，長(zhǎng)度為160mm，與像分析器法蘭26固連。
權(quán)利要求
1.數(shù)字掃描光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)試儀譜面座標(biāo)標(biāo)定裝置，包括被標(biāo)定的光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)試儀的接口組件；其特征在于本發(fā)明還包括標(biāo)準(zhǔn)矩形狹縫目標(biāo)源和顯微成像系統(tǒng)；在該裝置中標(biāo)準(zhǔn)矩形狹縫目標(biāo)源位于裝置左側(cè)，顯微成像系統(tǒng)置于中間，它的右端與像分析器法蘭26對(duì)接，標(biāo)準(zhǔn)矩形狹縫目標(biāo)源的光路光軸與顯微成像系統(tǒng)的光軸重合，使得顯微物鏡18的物方焦面落在矩形狹縫組轉(zhuǎn)盤(pán)14上，顯微物鏡的像方焦面落在掃描狹縫組件27上。
2.按權(quán)利要求1所述的數(shù)字掃描光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)試儀譜面座標(biāo)標(biāo)定裝置，其特征在于標(biāo)準(zhǔn)矩形狹縫目標(biāo)源是一個(gè)帶有三維位移調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的裝置；位于下部的方位調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)17可調(diào)節(jié)左右位移和前后位移，殼體連接架12的下端與方位調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)17的上表面固連；目標(biāo)源殼體9即帶有目標(biāo)源通光出口16的右側(cè)殼體和裝有光路系統(tǒng)的左側(cè)殼體與移動(dòng)殼體連接架13固連，狹縫組轉(zhuǎn)盤(pán)軸15裝在右側(cè)殼體的通光出口16的上面，且與光路光軸平行，矩形狹縫組轉(zhuǎn)盤(pán)14通過(guò)中心孔安裝在狹縫組轉(zhuǎn)盤(pán)軸15上，使得轉(zhuǎn)盤(pán)14上的矩形狹縫的中心落在光路光軸上；裝在目標(biāo)源殼體9左側(cè)腔內(nèi)的光路元件從左至右依次是反射聚光鏡6、照明光源7、隔熱玻璃8、透射式聚光鏡10；升降旋鈕11與移動(dòng)殼體連接架13之間是螺紋配合，垂直頂在殼體連接架12上，調(diào)節(jié)升降旋鈕11可使光路系統(tǒng)上下移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)目標(biāo)源的三維移動(dòng)。
3.按權(quán)利要求1所述的數(shù)字掃描光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)試儀譜面座標(biāo)標(biāo)定裝置，其特征在于顯微成像系統(tǒng)的顯微物鏡18安裝在顯微成像系統(tǒng)殼體19的左端，位于左邊的測(cè)微目鏡筒24與顯微成像系統(tǒng)殼體19垂直固連，測(cè)微目鏡22安裝在測(cè)微目鏡筒24內(nèi)，與目鏡筒24用螺紋絲杠連接的調(diào)焦鼓輪21可調(diào)節(jié)測(cè)微目鏡的焦面，使測(cè)微目鏡內(nèi)的十字分劃與像分析器的掃描狹縫27共軛，調(diào)節(jié)安裝在測(cè)微目鏡22上的測(cè)微目鏡讀數(shù)鼓23可標(biāo)定顯微物鏡18的放大倍率；平面反射鏡25的一端和調(diào)節(jié)旋鈕20固連，轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)旋鈕20可使平面反射鏡25的鏡面與光軸成45度角，平面反射鏡25的中心落在顯微物鏡18和測(cè)微目鏡22兩者光軸的交點(diǎn)上。
全文摘要
數(shù)字掃描光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)試儀譜面坐標(biāo)標(biāo)定裝置，屬于光學(xué)檢驗(yàn)技術(shù)領(lǐng)域中涉及的一種光學(xué)傳函測(cè)試儀譜面坐標(biāo)標(biāo)定裝置。本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種數(shù)字掃描光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)試儀譜面坐標(biāo)標(biāo)定裝置。解決的技術(shù)方案是包括標(biāo)準(zhǔn)矩形狹縫目標(biāo)源、顯微成像系統(tǒng)和被標(biāo)定的光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)試儀的接口組件。在該裝置中標(biāo)準(zhǔn)矩形狹縫目標(biāo)源位于裝置左側(cè)，顯微成像系統(tǒng)置于中間，它的右端與像分析器法蘭對(duì)接。標(biāo)準(zhǔn)矩形狹縫目標(biāo)源的光路光軸與顯微成像系統(tǒng)的光軸重合，使得顯微物鏡的物方焦面落在矩形狹縫組轉(zhuǎn)盤(pán)上，顯微物鏡的像方焦面落在掃描狹縫組件上，它特別適于大口徑光學(xué)系統(tǒng)。
文檔編號(hào)G02B21/36GK1554963SQ20031011597
公開(kāi)日2004年12月15日 申請(qǐng)日期2003年12月25日 優(yōu)先權(quán)日2003年12月25日
發(fā)明者張曉輝, 馬冬梅 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所, 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研