專利名稱：聲光可調(diào)諧濾波器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光學(xué)，具體涉及一種聲光可調(diào)諧濾波器。
現(xiàn)有技術(shù)已知一種裝置——一種使用加權(quán)耦合的集成聲光可調(diào)諧濾波器(Arijuin Kar-Roy和Chen S.Tsai于IEEE J，Quantum Electronics，1994，vol.30，No.7，pp.1574-1586中發(fā)表的“Integrated acoustoopictunable filters using weighted coupling”)，其中，預(yù)定的光譜波長是由與聲表面波(SAW)共線的光波導(dǎo)內(nèi)傳播的不同偏振導(dǎo)光模在SAW上的聲光(AO)轉(zhuǎn)換所濾波。通過改變SAW的頻率來調(diào)諧被濾波的光波長，且將SAW的頻率選擇為可滿足相互作用波之間相位同步條件。利用僅透過其中一個預(yù)定偏振波的交叉偏振片來分離該入射和SAW衍射的光學(xué)模。沿傳播方向使用相互作用波的耦合因子的額外加權(quán)；能將濾波器通帶旁瓣降低到-24.4dB。
所述裝置的其特征在于具有不足夠窄的通帶，其帶寬受光學(xué)各向異性大小和相互作用長度的限制，并且不能在不明顯增大裝置尺寸的條件下減小帶寬。
還已知一種基于LiNbO3制成的薄膜波導(dǎo)中各向異性非共線聲光相互作用的聲光可調(diào)諧濾波器(Bumman Kim和Chen S.Tsai于IEEEJournal of Quantum Electronics，vol.QE-15，No.7，1979年7月，pp.642-647中發(fā)表的“Thin Film Tunable Optical Filtering UsingAnisotropic and Noncollinear Acoustooptic Interaction inWaveguides”)，包括一用于傳播光束的平面光波導(dǎo)，和沿輻射路徑順序設(shè)置的下列裝置一光束形成裝置；聲波換能器(transducer)，適合于產(chǎn)生一能與該束光波相互作用、并導(dǎo)致其在預(yù)定波長范圍內(nèi)衍射的聲波；以及一用于選擇該光束衍射部分的裝置，其中利用一聲光單元，通過具有不同偏振并在一平面光波導(dǎo)中傳播的導(dǎo)光光學(xué)模在SAW上的非共線衍射來濾波預(yù)定的光譜波長。使用包括一聚焦元件(透鏡)的選擇裝置，在角空間中分離該入射與SAW衍射的光學(xué)模。由于相互作用模具有不同傳播方向，所以該透鏡對角譜進(jìn)行傅里葉變換，并空間地選擇預(yù)定光波長上的衍射光束。通過改變聲光單元中傳播的SAW頻率，實現(xiàn)對聲光濾波器通帶的調(diào)諧。該裝置的光譜分辨率與光波長和SAW的比成正比，且與使用形成元件產(chǎn)生的光束孔徑成反比；在這種情形中，棱鏡耦合元件起到將寬光束發(fā)射到平面波導(dǎo)中的作用。該聲光單元包括一波導(dǎo)介質(zhì)，光波和聲波能在其中傳播并相互作用；還包括一聲波換能器。在聲單元中使用多個定相換能器來激發(fā)SAW，能展寬聲光相互作用帶，并從而增加光波長調(diào)諧區(qū)域。
所述裝置的特征還在于，具有不夠窄的通帶，其寬度由與SAW相互作用區(qū)域中光束孔徑的大小決定，并且不能在不明顯增大該裝置尺寸，并不使其制造更加困難的條件下增大所述通帶。應(yīng)該注意，產(chǎn)生在平面光波導(dǎo)中傳播的寬(1-2cm以上)且均勻的光束是一項極為困難的科學(xué)工程任務(wù)，至今仍未能令人滿意地實現(xiàn)。
發(fā)明概述本發(fā)明的基本目的是研制一種具有極小尺寸和窄通帶的聲光可調(diào)諧濾波器。
如下實現(xiàn)所述目的在一種聲光可調(diào)諧濾波器中，該聲光可調(diào)諧濾波器包含一用于傳播光束的平面光波導(dǎo)，以及沿光輻射路徑順序設(shè)置的下列裝置一光束形成裝置；聲波換能器，適合于產(chǎn)生一能與該束光波相互作用并導(dǎo)致其在預(yù)定波長范圍內(nèi)衍射的聲波；以及一用于選擇所衍射光束部分的裝置；根據(jù)本發(fā)明——該光束形成裝置與選擇裝置其中至少之一是以至少一個位于平面波導(dǎo)的平面中、在所述波導(dǎo)本身內(nèi)或在其附近的條狀波導(dǎo)的形式實現(xiàn)的，并且形式上為與該條狀波導(dǎo)的孔徑重疊的多個單反射鏡，選擇多個單反射鏡的相對位置和傾角，使得對于任何一對從不同單反射鏡反射的光束，保持工作輻射波長上的相差基本上為2π倍數(shù)的值。此處π＝3.14159....，是普適常數(shù)。
為了保證對光輻射進(jìn)行更好的濾波，并且使該裝置具有較小尺寸，該光束形成裝置和選擇裝置均以條狀波導(dǎo)的形式實現(xiàn)是有利的，并且該光束形成裝置的條狀波導(dǎo)的單反射鏡必須沿與該選擇裝置的反射鏡的傾斜方向相反的方向傾斜。
為了保證對多個頻道同時濾波〔分支功能(drop function)〕，用多個相似的條狀波導(dǎo)來實現(xiàn)該選擇裝置是有利的，在該波導(dǎo)中，考慮到特定的工作波長而選擇其單反射鏡的排列和傾角，該特定工作波長僅是一個給定條狀波導(dǎo)所固有的，與其他條狀波導(dǎo)的工作波長不同。為了便于進(jìn)一步討論，下文中將具有相應(yīng)單反射鏡的選擇裝置的條狀波導(dǎo)稱為選擇元件，將具有光束形成裝置的單反射鏡的條狀波導(dǎo)稱為形成元件。
為了通過寬帶光信號(通過功能)，光線路徑中的最后一個條狀波導(dǎo)以與光束形成裝置的條狀波導(dǎo)相同地實現(xiàn)是有利的。
注意，除了那些用聲光單元偏轉(zhuǎn)的波長以外，對所有波長實現(xiàn)寬帶光信號的通過(通過功能)。通過包括一或多個選擇元件的選擇裝置，濾波并改變所偏轉(zhuǎn)光束的具有預(yù)定波長的一部分的方向。不過，希望所有剩余(未被濾波的)波長能通過該裝置。為了這個目的，聲光濾波器適合于具有一附加的聲波換能器，用于產(chǎn)生射向主換能器、并且能在選擇裝置的最后和次后條狀波導(dǎo)之間的空間中與該束光波相互作用的聲波。
為了保證最大限度地擴(kuò)展光束，該擴(kuò)展將使該裝置尺寸對于預(yù)定通帶線寬最小化，將單反射鏡相對相應(yīng)條狀波導(dǎo)的軸傾斜大約45°角是有利的。
為了保證通過熱光效應(yīng)獨立調(diào)諧不同光通道所濾波輻射的波長，沿至少一個條狀波導(dǎo)設(shè)置一其端部與一受控直流或交流電源相連的電極是有利的。
為了保證通過電光效應(yīng)獨立調(diào)諧不同光通道所濾波輻射的波長，沿至少一個條狀波導(dǎo)設(shè)置一對其端部與一受控直流電源相連的電極是有利的。
通過選擇光束形成和/或選擇元件中每個單反射鏡的反射率、位置和傾角的最佳值，可以校正可調(diào)諧光學(xué)濾波器的調(diào)諧帶和其抑制帶中光譜間隔內(nèi)的傳輸線形狀和其包絡(luò)線。例如，為了擴(kuò)展聲光可調(diào)諧濾波器的抑制帶，使單反射鏡以不同間隔彼此間隔開是有利的；并且為了保證對濾波器通帶中的旁瓣進(jìn)行必要的抑制(大于20-30dB)，使單反射鏡具有其值從條狀波導(dǎo)的中間到其端部減小的不同反射率是有利的。
附圖的簡要說明通過結(jié)合附圖描述其特定實施例，進(jìn)一步討論本發(fā)明，其中

圖1表示根據(jù)本發(fā)明，一具有設(shè)置在平面波導(dǎo)中的條狀波導(dǎo)的聲光可調(diào)諧濾波器的示意圖；圖2表示根據(jù)本發(fā)明，一在平面波導(dǎo)附近具有多個條狀波導(dǎo)并有附加控制電極的聲光可調(diào)諧濾波器的示意圖；圖3表示根據(jù)本發(fā)明，一在平面波導(dǎo)附近具有多個條狀波導(dǎo)并有附加控制電極和附加聲波換能器的聲光可調(diào)諧濾波器的示意圖；圖4表示光束形成元件的輻射強(qiáng)度隨平面波導(dǎo)平面中反射光束方向的變化；圖5與圖4相同，表示光束形成元件的輻射強(qiáng)度隨不同光波長的變化；圖6表示對于單反射鏡的不同傾角，聲光可調(diào)諧濾波器的傳輸強(qiáng)度I(O0)變化；圖7表示對于不同聲波波長，聲光可調(diào)諧濾波器的傳輸強(qiáng)度變化；圖8表示在單反射鏡具有恒定和可變反射率時，聲光可調(diào)諧濾波器的傳輸強(qiáng)度變化；圖9表示在設(shè)置單反射鏡的區(qū)域中平面和條狀波導(dǎo)中光場振幅的變化；圖10表示反射率隨單反射鏡級數(shù)的變化；圖11表示單反射鏡之間具有不同反射率和不同間距時，聲光可調(diào)諧濾波器的傳輸強(qiáng)度的特性曲線。
本發(fā)明最佳實施方式在固態(tài)基板1上或其下(所謂的嵌入波導(dǎo)的情形)，形成一幾微米厚、折射率比周圍環(huán)境(基板和在此情形中為空氣的周圍上層)大的薄層(圖1-3)。所述的層為平面光波導(dǎo)2，即，光束能在所述層中以非常低的損耗(小于1dB/cm)傳播。由厚度方向折射率變化的分布決定該結(jié)構(gòu)支持的導(dǎo)(波導(dǎo))波(模式)數(shù)和其光場的空間分布。
在平面光波導(dǎo)2中(圖1)，或其附近(圖2，3)，設(shè)置條狀光波導(dǎo)3-7。條狀光波導(dǎo)不僅在厚度方向而且在結(jié)構(gòu)的橫向具有增大的折射率值，即所述波導(dǎo)是固態(tài)表面上面或下面的、厚度為幾到幾十微米、折射率值大于其周圍環(huán)境的局部區(qū)域。從而所述波導(dǎo)能使窄而且非發(fā)散的光束在折射率值增大的區(qū)域中沿其軸向傳播。可以使用下列技術(shù)制造條狀和平面波導(dǎo)擴(kuò)散金屬，與鹽熔液進(jìn)行質(zhì)子交換，濺射折射率比基板大的物質(zhì)，從汽相或液相外延，通過例如電子和/或光子輻射改善表面層性質(zhì)。條狀光波導(dǎo)3執(zhí)行光束形成元件的功能，并且具有不同光譜波長的光束能通過其拋光端—輸入端8輸入?？梢酝ㄟ^多種方法將光輸入到條狀光波導(dǎo)3中，例如通濾波波器-條狀光波導(dǎo)9耦合，通過將光輻射聚焦在波導(dǎo)結(jié)構(gòu)邊緣上等。
條狀光波導(dǎo)3和4-7中的每一個分別具有多個傾斜的單線性光反射鏡10和11，反射鏡與條狀光波導(dǎo)3和4-7的孔徑重疊。條狀波導(dǎo)4-7還執(zhí)行用于選擇部分光束的裝置的功能。光束通過該形成裝置，并部分地通過纖維光波導(dǎo)12輸出，能用于監(jiān)測輸入信號強(qiáng)度(輸出功能)。不過，為了形成最佳裝置結(jié)構(gòu)，將較大部分輸入光束能量以構(gòu)成小發(fā)散擴(kuò)展光束14的相干光束13的形式傳播到平面光波導(dǎo)中。
當(dāng)在緊靠平面光波導(dǎo)2附近—距離“a”處設(shè)置條狀光波導(dǎo)3時(圖2，3)，反射光束13通過將它們分離并具有較小折射率的區(qū)域“a”。為了減小該裝置的光損耗，所述區(qū)域的寬度必須足夠大，以使條狀波導(dǎo)3的入射模光場不能到達(dá)平面波導(dǎo)2(即，必須防止輻射衰減)。另一方面，所述距離必須足夠小，便于波導(dǎo)模從中通過。在這個方面，按照幅值量級，分離區(qū)域“a”的均衡值等于條狀光波導(dǎo)3本身的寬度，即大約5-20微毫米。當(dāng)直接在平面光波導(dǎo)上設(shè)置條狀光波導(dǎo)3時(參見圖1)，所反射的光束簡單地從一個波導(dǎo)傳播到另一個，從而以可以忽略的損耗穿過它們之間的分隔邊界。
所述光束還通過由聲波源16產(chǎn)生的聲波15傳播的區(qū)域。通常使用一或多個為與高頻交流電場源17連接的梳狀電極的定相交叉指型換能器(IDT)作為聲波源16。換能器16利用壓電效應(yīng)，激發(fā)出在光波導(dǎo)2所占據(jù)的次表面區(qū)域中傳播并能與傳導(dǎo)光波有效地相互作用的聲表面波(SAW)。擴(kuò)展光束14的一部分—在工作光波長上滿足布喇格相位同步條件—被衍射到SAW上，并改變其傳播方向。另外，所衍射的光束從平面光波導(dǎo)2進(jìn)入設(shè)置成條狀光波導(dǎo)4和單反射鏡11形式的選擇裝置中，然后所述光束經(jīng)由輸出端18，即波導(dǎo)4的拋光端面(端)從該裝置輸出到纖維光波導(dǎo)19中。
如下面所討論的，選擇單反射鏡11的相對位置和傾角，以對于任何一對從不同單反射鏡11反射的光束，將工作輻射波長上的相差保持基本上為2π的倍數(shù)。而且，從不同單反射鏡11反射的光束的干涉將導(dǎo)致大多數(shù)光波僅在工作光波長上同相相加，且該濾波器僅透過一預(yù)定光波長。而在所有其他光波長上，將不滿足相長干涉條件，通過的信號幅值將降低若干數(shù)量級(信號抑制)。在聲光和/或電光效應(yīng)，以及熱光或電致伸縮效應(yīng)(圖1-3)的基礎(chǔ)上調(diào)諧濾波器的工作波長。
在圖1所示的聲光可調(diào)諧濾波器中，該選擇裝置僅包括一個條狀光波導(dǎo)4和一個聲波換能器16。不過如果該選擇裝置包括若干光波導(dǎo)4-7、且每個具有其自己的單反射鏡組11(圖2)，并且如果使用附加的聲波(圖3)換能器20(圖3)，則必須擴(kuò)展該裝置的功能。因此，該裝置具有多通道窄帶可調(diào)諧光學(xué)濾波器的性質(zhì)。另外，取決于單反射鏡11的相對取向，該裝置可實現(xiàn)兩個重要功能。當(dāng)光束形成裝置和選擇裝置均以條狀波導(dǎo)形式實現(xiàn)時，光束形成裝置的條狀波導(dǎo)3的單反射鏡10沿與選擇裝置的反射鏡11的傾斜方向相反的方向傾斜，從而執(zhí)行入射輻射的窄帶濾波(分支功能)。當(dāng)輻射路徑上最后一個具有單反射鏡11的條狀波導(dǎo)7以與光束形成裝置的條狀波導(dǎo)3相同地實現(xiàn)時，寬帶光信號通過該最后一個條狀波導(dǎo)7(通過功能)，可使用纖維光波導(dǎo)21輸出信號。
為了對每個光通道的工作頻率進(jìn)行額外的電子控制在光束形成和/或選擇元件的條狀光波導(dǎo)3-7緊臨近處，設(shè)置導(dǎo)電材料條形的電極22和23。當(dāng)將來自直流受控源24的電場施加給相鄰電極22時，在條狀波導(dǎo)附近發(fā)生電光或電致伸縮效應(yīng)導(dǎo)致的折射率局部改變，引起所通過光束的波相位改變，偏移光學(xué)濾波器的工作波長。通過將來自相應(yīng)電源25的直流或交流電場施加給單個電極23的端部，由熱光效應(yīng)提供相似的折射率改變(圖2)。電流將導(dǎo)致電極23發(fā)熱，在波導(dǎo)5的區(qū)域中產(chǎn)生折射率的局部改變，從而使光學(xué)濾波器的工作波長偏移。
根據(jù)本發(fā)明的聲光可調(diào)諧濾波器按照如下方式工作。一條窄光束通過輸入端8輸入到光束形成元件的條狀光波導(dǎo)3中(圖1-3)，并且在每個單反射鏡10處分成兩束。一束(具有非常小的強(qiáng)度)被反射，并從條狀光波導(dǎo)3傳輸?shù)狡矫婀獠▽?dǎo)2中，另一束(與入射光束相比具有略小強(qiáng)度)通過條狀光波導(dǎo)3，到達(dá)下一個單反射鏡10，在該單反射鏡上再次分成兩束，等等。考慮到相鄰反射鏡10之間的間隔中光束延遲導(dǎo)致的光相位偏移，所有反射光束13相干相加。所生成的光束14具有寬孔徑(比入射孔徑大上百倍)，且輸出光輻射具有較小發(fā)散，該發(fā)散是由沿條狀波導(dǎo)3橫方向光波的相前(optical wave phasefront)的不變性引起的。
波導(dǎo)2平面中由光束形成元件輻射的角譜U(p)描述如下。在不損害一般性的條件下，可以將導(dǎo)(波導(dǎo))模電場的橫向分布表示為exp(-(y/w0)2)，其中w0為條狀波導(dǎo)的有效寬度，y為(平面波導(dǎo)平面中的)橫坐標(biāo)。每個反射鏡10為2w寬，用反射率Rm和相移kxm描述，其中xm為第m個反射鏡的坐標(biāo)。
為了保證光束的最大擴(kuò)展，將單反射鏡的傾角選作相對條狀波導(dǎo)的軸成45°，并且反射鏡本身以間隔d嚴(yán)格地周期性間隔開xm＝dm，m＝1，2，3，....M. (1)從而可以得到U(p)如下U(p)=Σm=1Mu0(p)Ψmexp(-ikpxm),---(2)]]>u0(p)=C∫-wwexp(-ikpxm-(x/w0)2)dp,---(3)]]>其中Ψm=rmΠm=1M-1tmm,rm=(Rm)1/2,tm=(Tm)1/2,Tm=1-bRm,]]>C為歸一化常數(shù)，在所有光譜成分的能量等于所有單反射鏡上條狀波導(dǎo)的射出能量的條件下確定該常數(shù)；ψm是從第m個反射鏡上條狀光波導(dǎo)進(jìn)入平面光波導(dǎo)中的光導(dǎo)模的加權(quán)函數(shù)或轉(zhuǎn)換因子；rm和Rm為就幅值和強(qiáng)度而言第m個單反射鏡的反射率；tm和Tm為就幅值和強(qiáng)度而言第m個單反射鏡的透射系數(shù)；p-為相對軸的觀察角的正弦，該軸相當(dāng)于從單反射鏡反射的光束方向；u0(p)為單反射鏡發(fā)射的角譜；b為考慮反射過程中發(fā)生的能量損失的系數(shù)，例如由于轉(zhuǎn)換成其他波型(其他偏振態(tài)，輻射模式等)?？梢宰C明對于ψm，下面的遞歸方程式成立ψm2＝ψm-12(1-Rm-1)Rm/Rm-1. (4)這能確定ψm與Rm之間存在的關(guān)系。首先，討論恒定反射率(R＝Rm)的情形，為了簡單起見，假設(shè)w/w0大于1。從而可以得出下式u0(p)＝Cw0(π)1/2exp(-(kwp/2)2)，(5)U(p)＝C(π)1/2w0exp(-(kwp/2)2)r(1-t(M-1)exp(-ikpdM))/(1-t txp(-ikpd)). (6).
擴(kuò)展光束強(qiáng)度的角分布表示如下I(p)＝/U(p)/2＝C2πw02exp(-(kwp)2/2)××((1-tM-1)2+4tM-1sin2(kd(1-p)(M-1)/2)/((1-t)2+4tsin2(kd(1-p)/2))(7)當(dāng)λ0＝1.54微毫米時，在圖4中表示出光束形成元件的輻射譜。所述光譜是具有下列寬度的非常窄的峰
Δp＝λ0/(NdM) (8)圖4表明峰寬度大小為0.0001弧度量級。計算時假設(shè)N＝2.2，單反射鏡具有恒定反射率R＝0.002，且以d＝7微毫米的間隔嚴(yán)格地周期性設(shè)置，反射鏡的數(shù)量為M＝1000，反射鏡結(jié)構(gòu)的總長度為dM＝0.7cm，條狀光波導(dǎo)的有效寬度為w0＝10微毫米。
可以在包括兩個協(xié)同因子(co-factor)的公式(8)的基礎(chǔ)上說明這種窄角譜現(xiàn)象。它們中的第一個u02(p)描述條狀光波導(dǎo)導(dǎo)模由單反射鏡部分反射形成的有限光源的角譜。該光譜具有大約0.04弧度的寬角度分布，最大值相應(yīng)于鏡面反射光束(p＝0)。第二個協(xié)同因子描述角發(fā)散(Δp)為大約0.0001弧度的窄線性譜(圖4)，并且描述由不同單反射鏡引起的干涉的結(jié)果。線性譜最大值的位置表示如下kd(1-p)/2＝πmλ(9)其中mλ為干涉級(整數(shù))。真正的角譜(圖4)為這兩個函數(shù)的乘積。從而，由于第一個協(xié)同因子，整個線性譜僅存在相應(yīng)于該干涉級(mλ)的一條線(圖4)，從而分布方向最接近于單反射鏡產(chǎn)生的鏡面反射(p＝0)。在這種情形下，當(dāng)λ0＝1.54微毫米時，mλ＝10。
因此，當(dāng)p＝0時，根據(jù)公式(9)選擇反射鏡的排列。這符合光輻射預(yù)定波長下干涉級(mλ)和鏡面反射光束之一傳播方向與該裝置發(fā)出的擴(kuò)展光束的角發(fā)散(Δp)的精度一致的條件。換句話說，意思是—選擇單反射鏡的傾角和位置，使得在工作光波長下，從不同單反射鏡反射的光束的相差基本上為2π的倍數(shù)。
另外，根據(jù)公式(9)，當(dāng)光波長改變時(掃描)，擴(kuò)展光束的方向性圖整體偏移p＝(λm-λ)/λm，(10)其中λm＝dN/mλ。圖5表示函數(shù)u02(p)的曲線圖(參見曲線26)，以及mλ＝10時對于多個波長(27-λ0＝1.50微毫米，28-λ0＝1.54微毫米，29-λ0＝1.55微毫米，30-λ0＝1.60微毫米)光學(xué)形成元件發(fā)射的角譜。觀察到，隨著光波長改變，方向性圖按照公式(11)發(fā)生偏移，且光譜成分的大小與u02(p)成正比地變化。
如果光傳播方向反向(圖1)，光束選擇裝置的選擇元件的操作與光束形成裝置的形成元件的操作相似。即，由于每個單反射鏡11上的反射，通過平面光波導(dǎo)2進(jìn)入條狀波導(dǎo)4中的大量相干光束的干涉，形成條狀波導(dǎo)4的導(dǎo)光光學(xué)模式場?？梢宰C明，假設(shè)相對于光束形成光學(xué)元件，可用公式(4-10)描述能夠到達(dá)輸出端18的光波的角譜。
衍射光束θ的偏轉(zhuǎn)角取決于光輻射的波長λ0和SAW的頻率(f)θ＝θ1+θ2Sinθ1＝λ0/(2Λ*N1)*[1+(Λ/λ0)2(N12-N22)]， (11)Sinθ2＝λ0/(2Λ*N2)*[1-(Λ/λ0)2(N12-N22)]，其中Λ為SAW波長，A＝v/f，v和f為SAW的速度和頻率，N1，N2，θ1和θ2分別為入射波和衍射波的有效折射率和布喇格角。對于三個相互作用波(兩個光波和一個聲波)根據(jù)滿足相位同步的條件(布喇格條件)推導(dǎo)出公式(11)。由聲波相前計算出布喇格角。為了簡單起見，進(jìn)一步討論各向同性衍射(波類型不改變)的情形，假設(shè)N＝N1＝N2，那么θ＝2θB，其中θB＝arcsin(λ0/(2ΛN))， (12)為了使聲波與光波束相互作用，后者必須以適當(dāng)?shù)牟祭窠?θ1和θ2)傳播。選擇光束形成裝置和選擇裝置的單反射鏡10，11的相對位置和傾角，以對于從不同單反射鏡反射的任何一對光束，將工作輻射波長上的相差保持為其長度基本上為2π的倍數(shù)。根據(jù)物理學(xué)，這相當(dāng)于來自于不同單反射鏡的一個干涉級的傳播方向與從相應(yīng)條狀光波導(dǎo)傳輸?shù)狡矫婀獠▽?dǎo)中的鏡面反射光束所決定的方向一致的情形，反之亦然。
通過改變反射鏡的位置和傾角、反射率R與數(shù)量M，可以改變?yōu)V波信號的大小和線寬，以及聲光可調(diào)諧濾波器通帶外部的旁瓣大小和信號抑制帶。反射鏡10、11形式上可以為形成為具有其他光學(xué)性質(zhì)的窄條(一般大約為0.2微毫米)的局部區(qū)域，例如通過質(zhì)子交換，離子注入等，并且還可以形成為在光波導(dǎo)表面上的由相同或其他材料制成的溝槽或臺階(大約1-100nm高)。單反射鏡的反射率一般為0.005-0.0001，并且能夠通過最適宜地選擇制造過程和反射鏡幾何結(jié)構(gòu)來進(jìn)行控制。反射鏡的數(shù)量必須足夠大(通常，乘積R*M大于2，即，M近似為500-1000)，從而能獲得良好的準(zhǔn)直特性(角空間中旁瓣的窄方向性和強(qiáng)抑制)和從窄光束到寬光束的高效轉(zhuǎn)換，反之亦然。單反射鏡之間的距離通常與光波導(dǎo)的寬度(大約5-20微毫米)相當(dāng)。
因此，通過條狀光波導(dǎo)3的輸入端8輸送并包括不同光譜波長的光束，將通過光束形成光學(xué)元件，并以一組相干光束13的形式傳輸?shù)狡矫婀獠▽?dǎo)2中，根據(jù)公式(10)其方向性圖取決于光輻射波長，并且具有非常窄的寬度(大約0.0001弧度)。另外，通過AO單元并且光波長滿足布喇格同步條件的一部分光束，在SAW15上衍射，并朝向選擇裝置的僅透過具有嚴(yán)格確定波長和傳播方向的那部分光輻射的選擇元件偏轉(zhuǎn)角度2θB。即選擇裝置對通過存在聲波的區(qū)域的光輻射波長進(jìn)行附加選擇?？赏ㄟ^其光譜函數(shù)的卷積描述光束形成和選擇元件的濾波特性，在元件結(jié)構(gòu)相同時，卷積具有下列形式I(λ0)＝C1∫I(p)I(2θB-θ0-p)dp， (13)其中C1為考慮單反射鏡之間為自由間隔時的數(shù)值因子(小于或近似為1)。根據(jù)公式(13)，為了避免在不存在SAW時(當(dāng)θB＝0時)信號直接通過，光束形成和選擇元件的鏡面反射光束的相對傾角(θ0)必須大于從單反射鏡反射的光束的衍射發(fā)散角(λ0/Nw0)。根據(jù)幾何學(xué)，這相當(dāng)于在鏡面反射光束之間的平面光波導(dǎo)中，如果它們分別通過拋光端面8和18引導(dǎo)到條狀光波導(dǎo)3和4中，將形成角度180°-θ0的情形。圖6中表示出該條件，其中表示對于兩種典型情形，聲光濾波器的通過光譜I(λ0)。曲線31相當(dāng)于θ0＝0的情形，而曲線32相當(dāng)于θ0＝0.1的情形(即，對于7微毫米的波長，θ0等于SAW上衍射光的偏轉(zhuǎn)角)。顯然，在θ0＝0時，該裝置發(fā)射一組相當(dāng)于不同干涉級(mλ)的窄次級帶。不過，當(dāng)θ0＝0.1時(即當(dāng)θ0大于λ0/Nw0≈0.07時)，可觀察到聲光濾波器傳輸信號的有效抑制(30dB以上)。由輻射方向性圖的角發(fā)散(Δp)和光波長改變時方向性圖的掃描特性決定通帶線寬Δλ。然后根據(jù)(10)和(12)Δλ＝λ02/(NdM).(14)根據(jù)公式(14)，在尺寸相等時，根據(jù)本發(fā)明的可調(diào)諧濾波器的線寬比標(biāo)準(zhǔn)共線聲光濾波器窄大約N/ΔN倍。在具有相同尺寸的鈮酸鋰基板的情形中，使通帶線變窄20倍以上。
注意，聲光單元具有附加的對該裝置的操作很重要的選擇特性。即在AO-相互作用中，僅那些遵循布喇格同步條件的光波參與了相互作用(即，被偏轉(zhuǎn))?？梢宰C明，對于各相同性衍射的情形，僅選擇滿足下式的光波長λ＝λm(1+θ0)/(1+λm/(2NΛ)). (15)該式證明在每個固定SAW波長Λ處，將在λm附近找到一組光波長λ，對于每個光波長，同時滿足相位同步條件，并提供從光束形成元件的條狀光波導(dǎo)到平面光波導(dǎo)中的最有效轉(zhuǎn)換，光在SAW上的有效衍射，從而將工作光波長上衍射輻射的大部分轉(zhuǎn)換到選擇元件的條狀光波導(dǎo)中。即，該裝置在SAW波長改變時具有通帶自動調(diào)諧特性。注意到，該濾波器同時對若干次級帶進(jìn)行同步通帶調(diào)諧。可以將它們中的任何一個選作特定類型可調(diào)諧濾波器的工作帶。
可以通過外部寬帶光學(xué)濾波器和/或通過僅使用預(yù)定波長區(qū)域來傳輸數(shù)據(jù)，選擇工作次級帶。例如，對于相當(dāng)于mλ＝10的次級帶，工作波長將接近于1.54微毫米。在該值以下，所有結(jié)果將僅與最適用于光纖通信中用的所述次級帶有關(guān)，所述次級帶相當(dāng)于當(dāng)前使用的光放大器類型所覆蓋的范圍(1530-1565nm)。不過所有上述結(jié)論自然也適用于其它波長范圍，即該濾波器是一種通用裝置，因為僅其技術(shù)參數(shù)，例如傳輸線寬(參見公式(14))依賴光波長。
能夠證明，由下式描述孔徑為L的單個叉指型裝置發(fā)射的SAW上光衍射帶的光學(xué)寬度ΔλAO2～1.8λ0Λcos(θB)/L.(16)通過將AO單元的濾波特性(公式(16))與形成和選擇裝置的特性(公式(13))相乘，可以確定聲光可調(diào)諧濾波器的濾波特性，也可以由聲波來控制濾波特性。
圖7中表示對于不同SAW波長(33-Λ＝12微毫米，34-Λ＝10微毫米，35-Λ＝8微毫米，36-Λ＝7微毫米，37-Λ＝6微毫米，38-Λ＝5微毫米)，對于mλ＝10，鈮酸鋰聲光可調(diào)諧濾波器典型特征的例子。為了簡化，考慮SAW上的光衍射效率，該效率近似正比于施加給叉指型裝置電極的射頻(RF)功率，將所有曲線歸一化。顯然，當(dāng)SAW波長從5變到12微毫米時，該裝置對1.511微毫米到1.571微毫米的光輻射，即在60nm的調(diào)諧帶內(nèi)，提供選擇性濾波，大體上相當(dāng)于在光纖和光放大器中發(fā)生信號的最小損耗。圖8中表示出該濾波器傳輸線寬的形狀(曲線39)。為了計算，假設(shè)對于所有單反射鏡反射率為恒量。在0.5(或-3dB)大小處為0.1nm寬，其相當(dāng)于在光波長上有600個可調(diào)諧通道。注意，當(dāng)信號抑制程度降低時，濾波器傳輸線適當(dāng)擴(kuò)展，例如，在-10dB大小時，該線為0.33nm寬。
通過加權(quán)其傳輸系數(shù)，可以減小光學(xué)元件旁瓣最大值的大小。在我們的情形中，為了更好地抑制濾波器通帶外面的寄生信號，選擇單反射鏡為具有可變的反射率，在形成和/或選擇元件的起始和末端減小反射率。在考慮到濾波器傳輸線寬和旁瓣抑制大小的均衡要求的基礎(chǔ)上選擇反射率改變規(guī)則。為了證明圖8(參見曲線40)所示濾波器的技術(shù)性能，還表示出對于加權(quán)函數(shù)為權(quán)重常數(shù)(C2)等于5的有限高斯函數(shù)(17)時，聲光可調(diào)諧濾波器的傳輸。
ψ(m)＝exp{-C2(2m-M)/M]2}，m＝1，2，....M. (17)顯然，加權(quán)函數(shù)的權(quán)重或光導(dǎo)模式場從條狀光波導(dǎo)到平面光波導(dǎo)中的轉(zhuǎn)換系數(shù)，導(dǎo)致在抑制程度較高時，必須改善對寄生信號的抑制，并使聲光可調(diào)諧濾波器的傳輸線變窄。例如，對于單反射鏡具有可變反射率的情形(曲線40)，在-3dB，帶寬為0.1nm；在-10dB，帶寬為0.17nm；在-20dB為0.22nm。即，該聲光可調(diào)諧濾波器在-20dB提供270個獨立通道，或者在-10dB提供350個通道；在調(diào)諧帶(60nm)內(nèi)對寄生信號的抑制超過35dB。
圖9中表示出所用加權(quán)函數(shù)的類型。注意到，加權(quán)函數(shù)等于相應(yīng)單反射鏡位置附近平面光波導(dǎo)中光場幅值的相對大小。對于恒定反射率單反射鏡，加權(quán)函數(shù)具有指數(shù)函數(shù)關(guān)系(曲線41)。曲線42表示加權(quán)函數(shù)為權(quán)重常數(shù)為5的有限高斯函數(shù)型。曲線43表示條狀光波導(dǎo)的導(dǎo)光模場通過具有可變反射率的單反射鏡時，所述場的變化。圖10表示單反射鏡反射率的相應(yīng)變化，該改變提供圖9所示加權(quán)函數(shù)42的預(yù)定形狀。
存在外部寬帶輸入濾波器的使用不合需要，并且所要求的信號抑制帶如此之寬，以至于同時包括若干次級帶的情形。在這種情形中，將形成和/或選擇元件的單反射鏡設(shè)置成彼此不同間隔。在提供所需信號抑制的最佳過程的基礎(chǔ)上選擇它們的位置。例如，可以將它們的位置相對周期性偽隨機(jī)排列偏移間隔(d0)的倍數(shù)，并對于從不同單反射鏡鏡面反射，并從條狀光波導(dǎo)傳輸?shù)狡矫婀獠▽?dǎo)中的光束提供2π的相差。在反射鏡設(shè)置成45°角的情形中，意味著間隔(d0)的大小等于可調(diào)諧濾波器的工作光輻射光波長，除以相應(yīng)條狀光波導(dǎo)的有效折射率(N)。反射鏡的這種設(shè)置，提供了從不同反射鏡形成的光束僅在可調(diào)諧濾波器的工作光輻射波長上的相干相加。對于與工作光波長足夠遠(yuǎn)的所有其他光波長，從不同反射鏡形成的具有不規(guī)則相移延遲的光束相加產(chǎn)生的場將很小，可以被忽略。
如果考慮單反射鏡的偽隨機(jī)排列，用下面的公式(18)代替公式(1)，可以根據(jù)公式(1)到(4)和(13)，僅根據(jù)數(shù)字進(jìn)行這種類型聲光可調(diào)諧濾波器的設(shè)計xm＝dm+d0Am，m＝1，2，3，....M， (18)其中d0＝λ0/N為反射鏡偽隨機(jī)排列的間距，λ0為可調(diào)諧濾波器的工作光輻射的光波長，Am為從-M0到+M0隨機(jī)變化的一組整數(shù)(0，±1，±2，...±M0)，其中M0為反射鏡偽隨機(jī)排列的重數(shù)；M0必須小于比值d/d0。使用下式作為偽隨機(jī)序列發(fā)生器Am＝Interger(M0sin(C3m2))， (19)其中C3為參數(shù)，在這種情況下C3＝400。
圖11表示對于光束形成和選擇元件的傾斜反射鏡的周期性(曲線44和46)和偽隨機(jī)(曲線45和47)排列(重數(shù)為4)，該聲光可調(diào)諧濾波器的傳輸線寬形狀。另外，當(dāng)加權(quán)函數(shù)為權(quán)重常數(shù)為5的有限高斯函數(shù)(17)時，曲線44和46相應(yīng)于單反射鏡恒定反射率的情形，曲線45和47相應(yīng)于單反射鏡可變反射率的情形。
在濾波器抑制帶內(nèi)整個光波長變化范圍中，選擇兩個接近于1.4微毫米和1.54微毫米的特征間隔，該間隔相應(yīng)于SAW波長為7微毫米時，分別對于mλ＝11和mλ＝10兩個干涉級，聲光可調(diào)諧濾波器的最大傳輸。為了更好地論證聲光可調(diào)諧濾波器的濾波特性，在圖11中，對于mλ＝11(曲線44和45)和mλ＝10(曲線46和47)，將傳輸線形狀表示為對數(shù)標(biāo)度。特別是，通過比較曲線46和47，顯然與反射率恒定的情形(曲線46)相比，對于單反射鏡可變反射率的情形(曲線47)，濾波器通帶外部的寄生信號抑制大大增加。
顯然，實際上在次級帶數(shù)目(或干涉級mλ)改變時，相應(yīng)于間隔為7微毫米嚴(yán)格周期性排列的單反射鏡的曲線44和46不變。即，如上所述，為了避免信號從相鄰次級帶通過，必須使用一附加的寬帶濾波器和/或僅用于一個次級帶內(nèi)預(yù)定波長范圍的數(shù)據(jù)傳輸。不過，如果將單反射鏡設(shè)置成彼此不同間隔(參見曲線45)，那么該聲光可調(diào)諧濾波器將僅透過由SAW波長確定的一個固定光波長。顯然，與相應(yīng)于mλ＝10的1540nm工作線相比，將相應(yīng)于mλ＝11的1406微毫米線抑制成高于-40dB。因此，根據(jù)(18)單反射鏡的偽隨機(jī)排列提供了從不同反射鏡形成的光束僅在一最接近于工作波長的光波長下的相干相加。在與工作波長足夠遠(yuǎn)的所有其他光波長下，由從不同反射鏡形成的光束相加所產(chǎn)生的場，具有不規(guī)則的相移延遲，為可忽略的那樣小。注意，濾波器通帶外部信號的抑制程度取決于反射鏡偽隨機(jī)排列的重數(shù)和濾波器抑制帶總的大小。
注意，聲光濾波器選擇裝置可以包括類似于4的多個條狀波導(dǎo)，例如5和6；選擇每個所述波導(dǎo)的單反射鏡11的位置和傾角，使得它們將特定工作波長考慮在內(nèi)，該特定工作波長僅是給定條狀波導(dǎo)所固有的，不同于其他條狀波導(dǎo)的工作波長。根據(jù)式(10)和(15)，由聲波頻率、條狀光波導(dǎo)的有效折射率和反射鏡的排列間距決定光學(xué)濾波器的工作頻率。從而，根據(jù)公式(10)，所述被濾波輻射的波長改變(δλ/λ＝δN/N＝δd/d)均可以是結(jié)構(gòu)性的，即均由條狀波導(dǎo)的參數(shù)變化(折射率δN的變化)和/或由單反射鏡排列間隔(δd)的等效變化引起的，并且指出何時施加外電場。特別是，當(dāng)將來自直流受控源24的電場施加給電極對22時，在條狀波導(dǎo)6附近出現(xiàn)由于電光效應(yīng)或電致伸縮效應(yīng)引起的折射率局部改變，且引起相移，并取代光學(xué)濾波器的工作波長。當(dāng)將交變或恒定電場從相應(yīng)電源25施加給電極23的端部時(圖2)，可由熱光效應(yīng)提供類似的折射率改變。電流使電極23發(fā)熱，引起波導(dǎo)5區(qū)域中折射率的局部改變，從而導(dǎo)致光學(xué)濾波器工作波長的偏移。
進(jìn)一步討論將輻射路徑中最后一個條狀波導(dǎo)7形成為與光束形成裝置的條狀波導(dǎo)3相同的情形。由反射鏡10和11的幾何結(jié)構(gòu)以及公式(13)得出，該結(jié)構(gòu)能夠使寬帶光信號通過。實際上，當(dāng)光波長改變時，形成和選擇元件的方向性圖執(zhí)行同步掃描，并且它們之間的角度實際上不變。因此，如果選擇條狀波導(dǎo)7的反射鏡11的取向，使其工作光波長下的方向性圖平行于形成元件的方向性圖，那么在覆蓋工作波長的足夠大區(qū)域(超過60nm)的所有波長下，大部分光束能量(超過50％)將從該形成元件轉(zhuǎn)移到選擇元件。
然而，在該裝置的輸出端，對于除了那些使用聲波偏轉(zhuǎn)的波長以外的所有波長，實現(xiàn)寬帶光信號從輸入波導(dǎo)9到波導(dǎo)12的通過(通過功能)。注意波導(dǎo)21可以用于寬帶光信號的通道(輸出功能)，不過將該裝置設(shè)計得越好(減小損耗)，到達(dá)波導(dǎo)12的光強(qiáng)越小(通常，小于10％)。預(yù)定波長的一部分偏轉(zhuǎn)光束將被濾波，并且經(jīng)由條狀波導(dǎo)4-6，將它們通過相應(yīng)選擇元件傳輸?shù)嚼w維光波導(dǎo)19中(功能為分支1，分支2和分支3)。不過，希望所有剩余(未濾波)波長也可以通過該裝置。為了實現(xiàn)這個目的，該聲光濾波器配備以附加的聲波換能器20，該換能器適合產(chǎn)生沿與主換能器16的聲波相反方向的聲波，并能在選擇裝置最后和次后條狀波導(dǎo)7和6之間的間隔內(nèi)與該束光波相互作用。即，第二個聲波在緊靠實現(xiàn)通過功能的選擇裝置的條狀波導(dǎo)7的上部傳播；從第一聲音單元衍射的波的布喇格角與第二聲音單元入射波的布喇格角相同(圖3)。換句話說，如果從選擇裝置的條狀波導(dǎo)輸出鏡面反射光束，它們將以布喇格角引導(dǎo)，作為第二聲光單元的衍射光波(圖3)。由于附加的聲波換能器20，包括所有非濾波波長的光束將在第二聲波下衍射，(與第一聲波下的衍射相比)將沿相反方向偏轉(zhuǎn)，并且可從使用選擇元件的裝置有效地輸出到執(zhí)行寬帶光信號通過功能(通過)的條狀波導(dǎo)7上。此外，第二聲波將補(bǔ)償附加的光頻多普勒偏移，聲波換能器16和20均能工作在同一頻率上。
進(jìn)一步討論以零度布喇格角(共線的)引導(dǎo)的光束形成和/或選擇元件鏡面反射光束的特殊情形。根據(jù)曲線31的特性(圖6)，根據(jù)本發(fā)明，該裝置實現(xiàn)了光學(xué)多通道濾波器的功能，能在通過外部交流或直流電場改變折射率δN/N＝δλ/λ的現(xiàn)有可能性內(nèi)對每個通道的工作光波長進(jìn)行電子調(diào)諧。
根據(jù)本發(fā)明的聲光可調(diào)諧濾波器，在高達(dá)60nm的調(diào)諧帶內(nèi)具有極小尺寸(在我們的例子中工作場小于1cm)、窄通帶線(在3dB下為大約0.1nm，在-20dB下為大約0.22nm)，并且對濾波器通帶外部的寄生信號高度抑制(超過30dB)。
工業(yè)應(yīng)用性所提出的聲光可調(diào)諧濾波器能適用于光纖通信中所使用的密集波分復(fù)用(DWDM)系統(tǒng)的設(shè)計領(lǐng)域，以及用于光輻射的小尺寸可調(diào)諧分光計，例如用于遠(yuǎn)程傳感裝置——用于探測氣體、液體和固體成分的傳感器。
可以通過為集成光學(xué)和微電子裝置開發(fā)的已知方法來制造該聲光可調(diào)諧濾波器?？梢詫⑷魏我呀?jīng)發(fā)展為用于制造具有低損耗(小于，或者大約為1dB/cm)并且有效激發(fā)聲波的光波導(dǎo)的方法的透明固體，用作制造該裝置的材料。這種材料屬于鈮酸鋰和鉭酸鋰，半導(dǎo)體異質(zhì)外延結(jié)構(gòu)AIIIBV，包括用于激發(fā)SAW的壓電層的介質(zhì)層結(jié)構(gòu)，例如ZnO/SiO2/Si等。最簡單并且在技術(shù)上相當(dāng)容易實現(xiàn)的情況是基于由鈮酸鋰制成的具有良好光學(xué)、聲光及電光性質(zhì)的光波導(dǎo)的裝置。
權(quán)利要求
1.一種聲光可調(diào)諧濾波器，包括一用于傳播光束(14)的平面光波導(dǎo)(2)，以及沿光輻射路徑順序設(shè)置的——用于形成光束的裝置，聲波換能器(16)，適合于產(chǎn)生能與該束光波相互作用并導(dǎo)致其在預(yù)定波長范圍內(nèi)衍射的聲波(15)，和用于選擇該光束的衍射部分的裝置，其特征在于至少該光束形成裝置和選擇裝置其中之一為設(shè)置在該平面波導(dǎo)(2)的平面中、在所述波導(dǎo)本身內(nèi)或者在其附近的至少一個條狀波導(dǎo)(3)的形式，并且形式上為與條狀波導(dǎo)(3)的孔徑重疊的多個單反射鏡(10)，選擇所述單反射鏡的相對位置和傾角，使得對于任何一對從不同單反射鏡(10)反射的光束(13)，保持工作輻射波長下的相差基本上為2π的倍數(shù)。
2.如權(quán)利要求1所述的聲光濾波器，其特征在于該光束形成裝置和選擇裝置均為條狀波導(dǎo)(3和4)的形式，且該光束形成裝置的條狀波導(dǎo)的單反射鏡(10)沿與該選擇裝置的單反射鏡(10)的傾斜方向相反的方向傾斜。
3.如權(quán)利要求2所述的聲光濾波器，其特征在于該選擇裝置包括多個相似的條狀波導(dǎo)(4-7)，選擇每個所述波導(dǎo)的單反射鏡(11)的排列和傾角，以對特定波導(dǎo)選擇獨有的預(yù)定波長。
4.如權(quán)利要求3所述的聲光濾波器，其特征在于輻射路徑上的最后一個條狀波導(dǎo)(7)以與光束形成裝置的條狀波導(dǎo)(3)相同地實現(xiàn)。
5.如權(quán)利要求4所述的聲光濾波器，其特征在于所述濾波器具有附加的聲波換能器(20)，該換能器適合于產(chǎn)生沿與主換能器(16)的聲波反向引導(dǎo)，并能在該選擇裝置的最后和次后條狀波導(dǎo)(6和7)之間的間隔內(nèi)與該束光波相互作用的聲波。
6.如權(quán)利要求1，2中任何一個所述的聲光濾波器，其特征在于單反射鏡(3-7)相對相應(yīng)條狀波導(dǎo)的軸的傾角為大約45°。
7.如前面任一權(quán)利要求所述的聲光濾波器，其特征在于單反射鏡(10，11)具有不同反射率，從條狀波導(dǎo)的中間部分到其端部，其反射率的值減小。
8.如前面任一權(quán)利要求所述的聲光濾波器，其特征在于彼此以不同間隔設(shè)置單反射鏡(10，11)。
9.如前面任一權(quán)利要求所述的聲光濾波器，其特征在于沿至少一個條狀波導(dǎo)(5)設(shè)置電極(23)，該電極的端部與交流或直流受控電源(25)相連。
10.如權(quán)利要求1-8中任一權(quán)利要求所述的聲光濾波器，其特征在于沿至少一個條狀波導(dǎo)(6)設(shè)置與直流受控電源(24)相連的一對電極(22)。
全文摘要
一種聲光可調(diào)諧濾波器，包括用于傳播光束(14)的平面光波導(dǎo)(2)，以及沿光輻射路徑順序設(shè)置的一用于形成光束的裝置；適合于產(chǎn)生聲波(15)的聲波換能器(16)，該聲波能與該束光波相互作用，并導(dǎo)致它們在預(yù)定波長范圍內(nèi)衍射；以及一用于選擇該光束的衍射部分的裝置。該光束形成裝置和選擇裝置以分別設(shè)置在該平面波導(dǎo)的平面中的條狀波導(dǎo)(3)和(4－7)的形式實現(xiàn)，并且均都具有一組與相應(yīng)條狀波導(dǎo)(3)的孔徑重疊的單反射鏡(10)和(11)，選擇反射鏡的相對位置和傾角，以對于從不同單反射鏡(10)反射的任何一對光束(13)保持工作輻射波長下的相差，且該相差值基本上為2π的倍數(shù)。
文檔編號G02F1/11GK1449507SQ01814970
公開日2003年10月15日 申請日期2001年4月17日 優(yōu)先權(quán)日2000年8月4日
發(fā)明者安德列·弗拉季米羅維奇·查列夫 申請人:安德列·弗拉季米羅維奇·查列夫