專利名稱：基板氣浮式載臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型主要是關(guān)于一種基板氣浮式載臺，尤指一種可避免于工作件脫離時，產(chǎn)生靜電的氣浮式載臺。
一般如步進式曝光機、顯微鏡、光學式檢測設(shè)備、加熱板、冷板等裝置，大都會設(shè)置一用以承載工作件的載臺，請配合參看圖5，由圖中可看到，現(xiàn)有的載臺50主要是為一頂面呈光滑平面的臺體，于載臺50上設(shè)置有多數(shù)個真空抽孔52，并設(shè)置一與各真空抽孔52連通的真空泵60及一注氣泵62，另設(shè)有多數(shù)個貫穿載臺50的頂針30，并且以一升降機構(gòu)32來帶動各頂針30相對載臺50升降移動。
在操作時，請配合參看圖5、圖6，各頂針30是預先伸出載臺50，將工作件40置放于各頂針30上后，以升降機構(gòu)32帶動各頂針30下降，讓工作件40與載臺50頂面接觸，而被承托于載臺50上，然后啟動真空泵60，并關(guān)閉注氣泵62，使載臺50上的各真空抽孔52呈現(xiàn)真空狀態(tài)，而對工作件40產(chǎn)生一份真空吸附的效果，使工作件40得以穩(wěn)固地附著于載臺50上，以進行預定的工作。
待工作完成后，則關(guān)閉真空泵60，并開啟注氣泵62，以便將微量的特定氣體，一般為氮氣(N2)，注入各真空抽孔52以解除載臺50的真空吸附狀態(tài)，然后再啟動升機構(gòu)32，而透過各頂針30將工作件40托離載臺50。
此種現(xiàn)有的載臺50，因載臺50與工作件40間是呈完整面積的接觸，并且工作件40因真空吸附而與載臺50緊密貼合，故當以頂針30將工作件40托離載臺50時，瞬間的脫離，很容易會于載臺50與工作件40間產(chǎn)生大量的靜電，如圖7所示，如此工作件40很容易會因靜電的產(chǎn)生而遭到破壞，尤其是此種真空吸附載臺50大都是用于承載如LCD基板、玻璃基板、彩色濾光片、晶圓、PCB內(nèi)層板等對電敏感度高的工作件40，在操作過程中所產(chǎn)生的靜電，很容易導致工作件40的破壞、受損，而導致廠商的損失，并提高整體的制造成本。
又為避免靜電產(chǎn)生，有人會以照射離子風或軟X射線的方式來中和電荷，以避免在工作件40離開載臺50時靜電的產(chǎn)生，然而如此雖可避免工作件40的損壞，但卻會增加所需的設(shè)備成本。
另外，當注入氮氣來解附載臺50的真空吸附狀態(tài)時，若氮氣注入的速度過快，很容易會導致氣壓的不平衡及不穩(wěn)定，使工作件40因快速脫離載臺50而碎裂。
因此，本創(chuàng)作人有監(jiān)于現(xiàn)有氣浮式載臺結(jié)構(gòu)及使用上的缺點，特經(jīng)過不斷的試驗與改良，終于發(fā)展出一種能改進現(xiàn)有缺點的本實用新型。
本實用新型的主要目的，在于提供一種基板氣浮式載臺，其主要是于載臺中央凹設(shè)有一凹部，而于載臺周緣凸設(shè)形成有一承托緣，于載臺上設(shè)置有多數(shù)個貫穿凹部及承托緣的真空抽孔，并設(shè)置有多數(shù)個貫穿至凹部的注氣孔，又各真空抽孔是連接至一真空泵，而各注氣孔則是連接至一注氣泵，如此可由凹部的形成，來縮減載臺與工作件間的接觸面積，來達到減少工作件脫離載臺時靜電產(chǎn)生的目的。
本實用新型的另一目的，在于提供一種基板氣浮式載臺，其主要是于載臺上設(shè)置有一與凹部連通的氣壓感測裝置，由該氣壓感測裝置，可偵測氮氣注入時凹部中氣壓的平衡性及穩(wěn)定性，以控制氮氣注入的速度，避免氮氣注入的速度過快或過慢，而防止工作件因氣壓不平衡而碎裂。
本實用新型一種基板氣浮式載臺，其特征在于，其主要是設(shè)置有一臺體，于臺體頂面中央凹設(shè)形成有一凹部，而于臺體頂面周緣形成有一承托緣，又于臺體上設(shè)置有多數(shù)個與凹部連通的真空抽孔及注氣孔，并設(shè)置有一與各真空抽孔連通的一真空泵，以及一與各注氣孔連接的注氣泵，另外于臺體底部設(shè)置有一可相對臺體升降移動的升降機構(gòu)，于升降機構(gòu)上設(shè)置有多數(shù)個貫穿臺體的頂針，而于臺體上則設(shè)置有多數(shù)個貫穿承托緣，供各頂針由其中貫穿的頂針孔。
其中于臺體上設(shè)置有多數(shù)個貫穿至承托緣頂面的真空抽孔，并且各位于承托緣上的真空抽孔是與真空泵及注氣泵同時連接。
其載臺另包含有一與臺體上凹部連通的氣壓感測器。
其中載臺上的凹部是貫穿臺體，而于載臺底部固設(shè)有一用以封閉凹部的透光板，并于載臺的承托緣與透光板上分別設(shè)置有多數(shù)個可供頂針貫穿其中的頂針孔。
其中于載臺的承托緣頂面周緣凸設(shè)形成有一護緣。
其中與凹部連通的真空抽孔及注氣孔是于臺體橫向貫穿承托緣而與凹部連通。
其中于臺體上另設(shè)置有數(shù)個貫穿至承托緣頂面的真空抽孔，并各貫穿承托緣頂面的真空抽孔是同時與真空泵與注氣浦相連通。
其中凹部是未貫穿臺體，而各真空抽孔及注氣孔是由載臺底緣縱向延伸而與凹部連通。
為使審查員能進一步了解本實用新型的結(jié)構(gòu)、特征及其他目的，
以下結(jié)合附圖及實施例詳細說明如后，其中


圖1是本實用新型的上視示意圖。
圖2是本實用新型的剖面示意圖。
圖3是本實用新型操作時的剖面示意圖。
圖4是本實用新型另一實施例的剖面示意圖。
圖5是習用氣浮式載臺的剖面示意圖。
圖6是習用載臺操作實施的剖面示意圖。
圖7是工作件脫離習用載臺時產(chǎn)生靜電的剖面示意圖。
本實用新型主要是提供一種基板氣浮式載臺，請配合參看
圖1、圖2，由圖中可看到，本實用新型的載臺10主要是于一臺體頂面中央凹設(shè)形成有一凹部12，而于載臺10頂面周緣形成有一承托緣14，又于載臺10上設(shè)置有多數(shù)個與凹部12連通的真空抽孔122及注氣孔124，并且各真空抽孔122是連接至一真空泵20，而各注氣孔124則連接至一注氣泵22，其中凹部12是未貫穿載臺10，而各真空抽孔122及注氣孔124是由載臺10底緣縱向延伸而與凹部12連通。
另于載臺10上亦可設(shè)置有多數(shù)個貫穿至承托緣14頂面的真空抽孔142，并且各位于承托緣14上的真空抽孔142是與真空泵20及注氣泵22同時連接，另外配合頂針30的設(shè)置，亦可于載臺10上設(shè)置有多數(shù)個貫穿承托緣14的頂針孔144，供頂針30由頂針孔144穿過；另設(shè)置有一與載臺10上凹部12連通的氣壓感測器16(已有技術(shù))。
在操作時，請配合參看圖2、圖3，將以夾具抓取工作件40而將工作件40置放于各穿出頂針孔144的頂針30上，然后啟動升降機構(gòu)32，使各頂針30相對載臺10下降，并讓工作件40與載臺10接觸，此時因于載臺10頂面凹設(shè)有一凹部12而形成有一承托緣14，故工作件40僅會以其周緣部位與載臺10的承托緣14接觸，而為承托緣14所支撐。
然后啟動真空泵20，透過各與凹部12連通的真空抽孔122，使載臺10的凹部12內(nèi)形成一真空室，并讓各貫穿承托緣14的真空抽孔142亦呈真空狀態(tài)，而將工作件40吸附于載臺10上，在此同時啟動注氣泵22，將微量的氣體(一般為氮氣)由注氣孔124注入凹部12，使載臺10凹部12內(nèi)仍存在有一定的氣壓而能穩(wěn)固地撐托工作件40，使工作件40能保持良好的水平狀態(tài)，避免工作作40因真空的凹部12而產(chǎn)生下陷等不良的現(xiàn)象。
其中載臺10凹部12中氣壓的控制，可透過氣壓感測器16來加以測量，來控制氣體注入的量及速度，另外亦可由氣體的注入時間、真空抽取時間或工作件40距離偵測等方式來達成，以便讓工作件40能保持在一定的水平狀態(tài)，以利工作件40的加工作業(yè)。
待工作件40加工完成后，則關(guān)閉真空泵20，并開啟注氣泵22，以便將氣體由注氣孔124注入凹部12，并同時注入真空吸孔142，來解除載臺10的真空吸附狀態(tài)，此時亦可透過氣壓感測器16來控制氣體注入的速度，避免氣體注入速度過快或過慢，而發(fā)生氣壓不平衡及不穩(wěn)定的狀況，以防止工作件40因此而發(fā)生碎裂等不良現(xiàn)象；同時因工作件40與載臺10間僅于工作件40周緣相對于承托緣14的部位與載臺10接觸，因此可縮小工作件40與載臺40間的接觸面積，避免載臺10在破真空作業(yè)，而工作件40為頂針30頂離載臺40時，于載臺10與工作件40間產(chǎn)生靜電，而導致工作件40的損壞。
又當為配合需進行顯微鏡檢查等透光性作業(yè)的工作件40時，請配合參看圖4，載臺10上的凹部12是貫穿臺體的穿槽，并于載臺10底部固設(shè)有一具透光性的透光板18，以封閉載臺10呈穿透狀的凹部12，于載臺10的承托緣14與透光板18上則分別設(shè)置有多數(shù)個可供頂針30貫穿其中的頂針孔144、182，另于載臺10的承托緣14周緣再凸設(shè)形成有一護緣15，使工作件40能被限制于護緣15的范圍之內(nèi)。
又于載臺10上設(shè)置有多數(shù)個橫向貫穿承托緣14而與凹部12連通的真空抽孔122及注氣孔124，各真空抽孔122及注氣孔124分別連通至一真空泵20及一注氣泵22，另外于載臺10上亦可設(shè)置有貫穿至承托緣14頂面的真空抽孔142，而各真空抽孔142則是同時與真空泵20與注氣泵22相連通，以此提供一種可減少與工作件40間接觸面積，且具透光性的載臺20，來配合需進行透光性加工程序工作件40的承載，以擴大載臺10的適用范圍。
本實用新型主要是于載臺10頂面凹設(shè)形成有一凹部12，并設(shè)置有多數(shù)個連通至凹部12的真空抽孔122及注氣孔124，借此可減少工作件40與載臺10間的接觸面積，避免工作件40在脫離載臺10時產(chǎn)生靜電，來防止工作件40因此而損壞，而不需另行設(shè)置離子風裝置或軟X射線裝置等其他習用消除靜電的結(jié)構(gòu)，可節(jié)省所需的設(shè)備成本。
另外本實用新型于載臺10上設(shè)置有一與凹部12連通的氣壓感測器16，借此可控制載臺10抽真空及破真空作業(yè)時，氣壓的穩(wěn)定性及平衡性，避免工作件40因氣壓的不穩(wěn)定而發(fā)生破裂等不良現(xiàn)象，而能提高氣浮式載臺10的整體使用效能。
綜上所述，本實用新型確可改進現(xiàn)有載臺結(jié)構(gòu)及使用上的不足與缺點，實為一極具進步性的創(chuàng)作，且本實用新型未見于刊物或公開使用，符合新型專利的申請條件，故依法提出申請。
權(quán)利要求1.一種基板氣浮式載臺，其特征在于，其主要是設(shè)置有一臺體，于臺體頂面中央凹設(shè)形成有一凹部，而于臺體頂面周緣形成有一承托緣，又于臺體上設(shè)置有多數(shù)個與凹部連通的真空抽孔及注氣孔，并設(shè)置有一與各真空抽孔連通的一真空泵，以及一與各注氣孔連接的注氣泵，另外于臺體底部設(shè)置有一可相對臺體升降移動的升降機構(gòu)，于升降機構(gòu)上設(shè)置有多數(shù)個貫穿臺體的頂針，而于臺體上則設(shè)置有多數(shù)個貫穿承托緣，供各頂針由其中貫穿的頂針孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板氣浮式載臺，其特征在于，其中于臺體上設(shè)置有多數(shù)個貫穿至承托緣頂面的真空抽孔，并且各位于承托緣上的真空抽孔是與真空泵及注氣泵同時連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板氣浮式載臺，其特征在于，其載臺另包含有一與臺體上凹部連通的氣壓感測器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板氣浮式載臺，其特征在于，其中載臺上的凹部是貫穿臺體，而于載臺底部固設(shè)有一用以封閉凹部的透光板，并于載臺的承托緣與透光板上分別設(shè)置有多數(shù)個可供頂針貫穿其中的頂針孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板氣浮式載臺，其特征在于，其中于載臺的承托緣頂面周緣凸設(shè)形成有一護緣。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板氣浮式載臺，其特征在于，其中與凹部連通的真空抽孔及注氣孔是于臺體橫向貫穿承托緣而與凹部連通。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板氣浮式載臺，其特征在于，其中于臺體上另設(shè)置有數(shù)個貫穿至承托緣頂面的真空抽孔，并各貫穿承托緣頂面的真空抽孔是同時與真空泵與注氣泵相連通。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板氣浮式載臺，其特征在于，其中凹部是未貫穿臺體，而各真空抽孔及注氣孔是由載臺底緣縱向延伸而與凹部連通。
專利摘要本實用新型是關(guān)于一種基板氣浮式載臺,其主要是于臺體頂面凹設(shè)形成有一凹部,并設(shè)置有多數(shù)個連通至凹部的真空抽孔及注氣孔,另設(shè)置有一與凹部連通的氣壓感測器,借此,可減少工作件與載臺間的接觸面積,以防止工作件與載臺間靜電的產(chǎn)生,同時亦可透過氣壓感測器來檢測及控制,載臺抽真空及破真空作業(yè)時氣壓的穩(wěn)定性,而可借此達到提高氣浮式載臺整體使用效能的效果。
文檔編號G02B27/62GK2480870SQ0122322
公開日2002年3月6日 申請日期2001年5月9日 優(yōu)先權(quán)日2001年5月9日
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