擴展光源干涉測量準直系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種基于擴展光源的擴展光源干涉測量準直系統(tǒng)，屬于干涉儀領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]干涉現(xiàn)象是光的波動性的最嚴格、最有效的證明，這個現(xiàn)象是由于兩束或多束光的重疊，使能量體密度在空間上規(guī)則分布的結(jié)果。光干涉測量方法作為檢測高精密光學元件和系統(tǒng)的最傳統(tǒng)、有效手段之一，已大量的應(yīng)用于科學研究與工業(yè)生產(chǎn)之中。在實際使用過程中，現(xiàn)階段干涉儀大多采用激光器作為照明光源，而激光器具有極強的時間和空間相干性，因此，在干涉檢測過程中，并不需要考慮干涉腔長的限制，就可以使干涉條紋具有良好的對比度，并且隨著電子與計算機技術(shù)的發(fā)展，產(chǎn)生的位相干涉檢測技術(shù)，使測量極限由傳統(tǒng)的λ/10提高了一個數(shù)量級以上，且具有很高的重復(fù)性。然而，正是由于激光具有的高度相干性，它雖然降低了干涉儀的使用難度，但由于光學干涉的極端靈敏性，在光學元件加工過程中產(chǎn)生的微觀坑點等缺陷與元件表面污染所產(chǎn)生的散射光會發(fā)生相干疊加，在干涉圖中會出現(xiàn)許多牛眼環(huán)或靶心等相干噪聲，它們在一定程度上改變了干涉圖的空間結(jié)構(gòu)，從而引起了被測面面型或波前形狀的測量誤差。
[0003]現(xiàn)階段的商用移相干涉儀，往往受到相干噪聲的嚴重影響，干涉測試的精度很難進一步得到提高，并且檢測到的光學元件面型信息往往丟失了部分高頻段的面型誤差，無法滿足對高功率固體激光驅(qū)動裝置中的大口徑光學元件的檢測要求。正因如此，抑制系統(tǒng)的相干噪聲，提高干涉系統(tǒng)的信噪比，擴展它的測量空間頻率范圍，消除非測量面雜散光干擾，一直是研制大口徑高分辨率干涉系統(tǒng)的核心難題之一。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，解決好現(xiàn)有技術(shù)的問題，彌補現(xiàn)有目前市場上現(xiàn)有產(chǎn)品的不足。
[0005]本實用新型提供了一種擴展光源干涉測量準直系統(tǒng)，由激光光源、分光棱鏡、耦合系統(tǒng)、干涉腔、準直鏡、成像透鏡、CCD、標準平晶和旋轉(zhuǎn)毛玻璃構(gòu)成，所述標準平晶設(shè)置在激光光源和分光棱鏡之間，所述旋轉(zhuǎn)毛玻璃設(shè)置在分光棱鏡和親合系統(tǒng)之間。
[0006]優(yōu)選的，上述成像透鏡設(shè)置在準直鏡和CXD之間，所述耦合系統(tǒng)由多個透鏡構(gòu)成。
[0007]優(yōu)選的，上述激光光源為單色光源，所述干涉腔由參考鏡和被測鏡構(gòu)成。
[0008]優(yōu)選的，上述旋轉(zhuǎn)毛玻璃還配設(shè)有一電機。
[0009]優(yōu)選的，按照光路方向依次設(shè)置激光光源、分光棱鏡、親合系統(tǒng)和干涉腔，在分光棱鏡與激光光源發(fā)射激光方向垂直的方向設(shè)置有準直鏡和CCD。
[0010]本實用新型提供的擴展光源干涉測量準直系統(tǒng)為了滿足干涉測量儀的需求，可以分析驗證光學系統(tǒng)波像差對干涉條紋的影響，通過仿真可以用于檢驗邊緣視場的像差對干涉圖的失真和畸變影響。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]附圖標記:1_激光光源；2_分光棱鏡；3_親合系統(tǒng)；4_干涉腔；5_準直鏡；6-成像透鏡；7-CCD ;8_標準平晶；9_旋轉(zhuǎn)毛玻璃；10_電機。
【具體實施方式】
[0013]為了便于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解和實施本實用新型，下面結(jié)合附圖及【具體實施方式】對本實用新型作進一步的詳細描述。
[0014]如圖1所示，本實用新型提供的擴展光源干涉測量準直系統(tǒng)，由激光光源1、分光棱鏡2、耦合系統(tǒng)3、干涉腔4、準直鏡5、成像透鏡6、(XD7、標準平晶8和旋轉(zhuǎn)毛玻璃9構(gòu)成，標準平晶8設(shè)置在激光光源I和分光棱鏡2之間，旋轉(zhuǎn)毛玻璃9設(shè)置在分光棱鏡2和親合系統(tǒng)3之間。
[0015]其中，成像透鏡6設(shè)置在準直鏡5和(XD7之間，耦合系統(tǒng)3由多個透鏡構(gòu)成。激光光源I為單色光源，干涉腔4由參考鏡和被測鏡構(gòu)成。旋轉(zhuǎn)毛玻璃9還配設(shè)有一電機10。
[0016]按照光路方向依次設(shè)置激光光源1、分光棱鏡2、親合系統(tǒng)3和干涉腔4，在分光棱鏡2與激光光源I發(fā)射激光方向垂直的方向設(shè)置有準直鏡5和(XD7。
[0017]本實用新型提供的擴展光源干涉測量準直系統(tǒng)為了滿足干涉測量儀的需求，可以分析驗證光學系統(tǒng)波像差對干涉條紋的影響，通過仿真可以用于檢驗邊緣視場的像差對干涉圖的失真和畸變影響。
[0018]以上所述之【具體實施方式】為本實用新型的較佳實施方式，并非以此限定本實用新型的具體實施范圍，本實用新型的范圍包括并不限于本【具體實施方式】，凡依照本實用新型之形狀、結(jié)構(gòu)所作的等效變化均在本實用新型的保護范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種擴展光源干涉測量準直系統(tǒng)，其特征在于:擴展光源干涉測量準直系統(tǒng)由激光光源(I)、分光棱鏡(2)、耦合系統(tǒng)(3)、干涉腔(4)、準直鏡(5)、成像透鏡(6) XCD(7)、標準平晶(8)和旋轉(zhuǎn)毛玻璃(9)構(gòu)成，所述標準平晶(8)設(shè)置在激光光源(I)和分光棱鏡(2)之間，所述旋轉(zhuǎn)毛玻璃(9)設(shè)置在分光棱鏡(2)和耦合系統(tǒng)(3)之間。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴展光源干涉測量準直系統(tǒng)，其特征在于:所述成像透鏡(6)設(shè)置在準直鏡(5)和CCD(7)之間，所述耦合系統(tǒng)(3)由多個透鏡構(gòu)成。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴展光源干涉測量準直系統(tǒng)，其特征在于:所述激光光源(I)為單色光源，所述干涉腔(4)由參考鏡和被測鏡構(gòu)成。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴展光源干涉測量準直系統(tǒng)，其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)毛玻璃(9)還配設(shè)有一電機(10)。5.根據(jù)權(quán)利要求1-4之一所述的擴展光源干涉測量準直系統(tǒng)，其特征在于:按照光路方向依次設(shè)置激光光源(I)、分光棱鏡(2)、親合系統(tǒng)(3)和干涉腔(4)，在分光棱鏡(2)與激光光源(I)發(fā)射激光方向垂直的方向設(shè)置有準直鏡(5)和CCD (7)。
【專利摘要】本實用新型涉及一種擴展光源干涉測量準直系統(tǒng)，由激光光源(1)、分光棱鏡(2)、耦合系統(tǒng)(3)、干涉腔(4)、準直鏡(5)、成像透鏡(6)、CCD(7)、標準平晶(8)和旋轉(zhuǎn)毛玻璃(9)構(gòu)成，所述標準平晶(8)設(shè)置在激光光源(1)和分光棱鏡(2)之間，所述旋轉(zhuǎn)毛玻璃(9)設(shè)置在分光棱鏡(2)和耦合系統(tǒng)(3)之間。本實用新型提供的擴展光源干涉測量準直系統(tǒng)為了滿足干涉測量儀的需求，可以分析驗證光學系統(tǒng)波像差對干涉條紋的影響，通過仿真可以用于檢驗邊緣視場的像差對干涉圖的失真和畸變影響。
【IPC分類】G09B23/22
【公開號】CN204808718
【申請?zhí)枴緾N201520388461
【發(fā)明人】陳小梅
【申請人】陳小梅
【公開日】2015年11月25日
【申請日】2015年6月3日