本申請(qǐng)基于2015年6月12日提出的日本專利申請(qǐng)第2015－119028號(hào)主張優(yōu)先權(quán)，這里引用其全部?jī)?nèi)容。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示裝置的檢查裝置、顯示裝置用母基板的檢查方法及顯示裝置。

背景技術(shù)：

近年來，液晶顯示裝置及有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置等顯示裝置正在被實(shí)用化。在這樣的顯示裝置的制造過程中，進(jìn)行點(diǎn)亮檢查等各種動(dòng)作檢查。在這樣的檢查中使用的檢查裝置中，為了對(duì)形成在顯示裝置上的多個(gè)焊盤一起供給檢查信號(hào)而需要多個(gè)探頭。例如，公開了一種通過將陣列檢查用的電路和單元(cell)檢查用的電路一體地形成、來減少在檢查時(shí)需要的探頭的數(shù)量的技術(shù)。

另一方面，在檢查裝置的信號(hào)源的通道的總數(shù)超過顯示裝置的焊盤的總數(shù)或檢查裝置的探頭的總數(shù)的情況、或焊盤的總數(shù)及焊盤間的間距(或焊盤的布局)按每個(gè)產(chǎn)品規(guī)格而不同的情況下，需要每次將探頭重新設(shè)計(jì)來制作，導(dǎo)致成本的增大及檢查效率的下降。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供一種顯示裝置的檢查裝置，具備：第1探頭塊，具有多個(gè)第1探頭；探頭塊安裝夾具，將上述第1探頭塊的位置改變自如地支承上述第1探頭塊；信號(hào)源，對(duì)上述多個(gè)第1探頭供給信號(hào)；以及傳送線纜，連接上述第1探頭塊與上述信號(hào)源。

另外，本發(fā)明提供一種顯示裝置用母基板的檢查方法，使用檢查裝置， 該檢查裝置具備：第1探頭塊，具有多個(gè)第1探頭；第2探頭塊，具備多個(gè)第2探頭；探頭塊安裝夾具，將上述第1及第2探頭塊的間隔改變自如地支承上述第1及第2探頭塊；信號(hào)源；以及傳送線纜，連接上述第1及第2探頭塊與上述信號(hào)源；上述檢查方法中，將上述第1及第2探頭塊的間隔匹配于第1焊盤組和第2焊盤組之間的間隔來調(diào)整，上述第1焊盤組設(shè)置于上述顯示裝置用母基板，由多個(gè)第1焊盤構(gòu)成，上述第2焊盤組從上述第1焊盤組離開，由多個(gè)第2焊盤構(gòu)成；使上述第1及第2探頭分別與上述第1及第2焊盤接觸。

另外，本發(fā)明提供一種顯示裝置，具備顯示區(qū)域和具有檢查用焊盤的周邊區(qū)域，上述檢查用焊盤具備由多個(gè)第1焊盤構(gòu)成的第1焊盤組、和由多個(gè)第2焊盤構(gòu)成的第2焊盤組；上述第1焊盤組與上述第2焊盤組相離，上述多個(gè)第2焊盤以與上述多個(gè)第1焊盤相同的間距排列。

附圖說明

圖1是概略地表示本實(shí)施方式的顯示裝置DSP的結(jié)構(gòu)的圖。

圖2是表示圖1所示的第1焊盤組PG1及第2焊盤組PG2的結(jié)構(gòu)例的俯視圖。

圖3是表示用來檢查本實(shí)施方式的顯示裝置DSP的檢查裝置1的結(jié)構(gòu)例的圖。

圖4是表示能夠應(yīng)用到圖3所示的檢查裝置1中的探頭塊10的結(jié)構(gòu)例的圖。

圖5是用來說明能夠應(yīng)用到本實(shí)施方式的檢查裝置1中的檢查方法的圖。

圖6是表示作為本實(shí)施方式的檢查裝置1的檢查對(duì)象的母基板M的結(jié)構(gòu)例的圖。

圖7是表示作為本實(shí)施方式的檢查裝置1的檢查對(duì)象的母基板M的另一結(jié)構(gòu)例的圖。

圖8是表示作為本實(shí)施方式的檢查裝置1的檢查對(duì)象的母基板M的另一結(jié)構(gòu)例的圖。

圖9是表示作為本實(shí)施方式的檢查裝置1的檢查對(duì)象的母基板M的另 一結(jié)構(gòu)例的圖。

具體實(shí)施方式

根據(jù)本實(shí)施方式，提供一種顯示裝置的檢查裝置，具備：第1探頭塊，具有多個(gè)第1探頭；探頭塊安裝夾具，將上述第1探頭塊的位置改變自如地支承上述第1探頭塊；信號(hào)源，對(duì)上述多個(gè)第1探頭供給信號(hào)；以及傳送線纜，連接上述第1探頭塊與上述信號(hào)源。

根據(jù)本實(shí)施方式，提供一種顯示裝置用母基板的檢查方法，使用檢查裝置，該檢查裝置具備：第1探頭塊，具有多個(gè)第1探頭；第2探頭塊，具備多個(gè)第2探頭；探頭塊安裝夾具，將上述第1及第2探頭塊的間隔改變自如地支承上述第1及第2探頭塊；信號(hào)源；以及傳送線纜，連接上述第1及第2探頭塊與上述信號(hào)源；上述檢查方法中，將上述第1及第2探頭塊的間隔匹配于第1焊盤組和第2焊盤組之間的間隔來調(diào)整，上述第1焊盤組設(shè)置于上述顯示裝置用母基板，由多個(gè)第1焊盤構(gòu)成，上述第2焊盤組從上述第1焊盤組離開，由多個(gè)第2焊盤構(gòu)成；使上述第1及第2探頭分別與上述第1及第2焊盤接觸。

根據(jù)本實(shí)施方式，提供一種顯示裝置，具備顯示區(qū)域和具有檢查用焊盤的周邊區(qū)域，上述檢查用焊盤具備由多個(gè)第1焊盤構(gòu)成的第1焊盤組、和由多個(gè)第2焊盤構(gòu)成的第2焊盤組；上述第1焊盤組與上述第2焊盤組相離，上述多個(gè)第2焊盤以與上述多個(gè)第1焊盤相同的間距排列。

以下，參照附圖對(duì)本實(shí)施方式進(jìn)行說明。另外，公開只不過是一例，關(guān)于能夠由本領(lǐng)域的技術(shù)人員容易就保持著發(fā)明的主旨的適當(dāng)變更想到的形態(tài)，當(dāng)然包含在本發(fā)明的范圍中。此外，附圖為了使說明變得更明確，有與實(shí)際的形態(tài)相比關(guān)于各部的寬度、厚度、形狀等示意地表示的情況，但不過是一例，并不限定本發(fā)明的解釋。此外，在本說明書和各圖中，有時(shí)對(duì)發(fā)揮關(guān)于已表示的圖中敘述的內(nèi)容相同或類似的功能的構(gòu)成要素賦予相同的標(biāo)號(hào)，將重復(fù)的詳細(xì)的說明適當(dāng)省略。

作為本實(shí)施方式的顯示裝置，能夠在具有液晶元件的液晶顯示裝置、具有有機(jī)電致發(fā)光(EL)元件等的自發(fā)光型顯示裝置、具有電泳元件等的電子紙型顯示裝置、應(yīng)用了MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)的 顯示裝置、或應(yīng)用了電致變色的顯示裝置等中使用。這樣的顯示裝置例如可以在智能電話、平板終端、便攜電話終端、個(gè)人計(jì)算機(jī)、電視機(jī)、車載裝置、游戲設(shè)備等各種裝置中使用。

圖1是概略地表示本實(shí)施方式的顯示裝置DSP的結(jié)構(gòu)的圖。另外，這里示意地表示在說明中需要的主要部分的結(jié)構(gòu)。

即，顯示裝置DSP具備平板狀的顯示面板PNL。顯示面板PNL具備第1基板SUB1、和與該第1基板SUB1對(duì)置而配置的第2基板SUB2。這些第1基板SUB1及第2基板SUB2隔著密封件等被貼合。

這樣的顯示面板PNL具備顯示圖像的顯示區(qū)域DA及比顯示區(qū)域DA靠外側(cè)的周邊區(qū)域PR。顯示區(qū)域DA由多個(gè)像素PX構(gòu)成。在圖示的例子中，顯示區(qū)域DA形成為四邊形狀，但也可以形成為其他的多邊形狀，也可以形成為圓形狀或橢圓形狀等其他形狀。顯示面板PNL在顯示區(qū)域DA中，具備柵極布線G、源極布線S、在各像素PX中與柵極布線G及源極布線S電連接的開關(guān)元件SW、在各像素PX中與開關(guān)元件SW電連接的像素電極PE、與像素電極對(duì)置的共通電極CE等。

在上述顯示裝置DSP是液晶顯示裝置的情況下，顯示裝置DSP既可以是通過由各像素PX使從背燈單元向顯示面板PNL入射的光有選擇地透射來顯示圖像的所謂透射型的液晶顯示裝置，也可以是通過由各像素PX使從外部朝向顯示面板PNL入射的外光有選擇地反射來顯示圖像的反射型的液晶顯示裝置，也可以是具備透射型及反射型雙方的功能的半透射型的液晶顯示裝置。

另外，關(guān)于顯示面板PNL的詳細(xì)的結(jié)構(gòu)在這里省略說明，但在顯示面板PNL是在第1基板SUB1與第2基板SUB2之間保持著液晶層LC的液晶顯示面板的情況下，顯示面板PNL具有與以下顯示模式對(duì)應(yīng)的哪一種結(jié)構(gòu)都可以，這些顯示模式為：利用沿著基板主面的法線的縱電場(chǎng)的顯示模式、利用相對(duì)于基板主面斜向傾斜的傾斜電場(chǎng)的顯示模式、利用沿著基板主面的橫電場(chǎng)的顯示模式、還有將上述縱電場(chǎng)、橫電場(chǎng)及傾斜電場(chǎng)適當(dāng)組合利用的顯示模式。例如，在利用縱電場(chǎng)的顯示模式的情況下，第1基板SUB1具備像素電極PE，第2基板SUB2具備隔著液晶層LC而與像素電極PE對(duì)置的共通電極CE。此外，在利用橫電場(chǎng)的顯示模式的情況下，第 1基板SUB1具備像素電極PE及共通電極CE。

在圖示的顯示面板PNL中，周邊區(qū)域PR形成為包圍顯示區(qū)域DA的框狀。顯示面板PNL在周邊區(qū)域PR中具備檢查部IS及信號(hào)供給部SS。

檢查部IS具備用來供給顯示裝置DSP的動(dòng)作檢查所需要的檢查信號(hào)的多個(gè)檢查用焊盤。這里的動(dòng)作檢查，例如包括在向第1基板SUB1貼合第2基板SUB2之前檢查點(diǎn)缺陷(第1基板SUB1上的布線間的短路或布線的斷線)的有無等的品質(zhì)檢查、在將第2基板SUB2貼合到第1基板SUB1之后檢查各像素是否正常地點(diǎn)亮的點(diǎn)亮檢查等。這樣的檢查部IS具備由多個(gè)第1焊盤PA構(gòu)成的第1焊盤組PG1、以及由多個(gè)第2焊盤PB構(gòu)成的第2焊盤組PG2作為檢查用焊盤。關(guān)于這些第1焊盤組PG1及第2焊盤組PG2的詳細(xì)情況在后面敘述。

信號(hào)供給部SS在周邊區(qū)域PR中位于第1焊盤組PG1與第2焊盤組PG2之間。這樣的信號(hào)供給部SS具備用來供給在顯示裝置DSP上顯示圖像所需要的信號(hào)的端子。更具體地講，信號(hào)供給部SS具備由多個(gè)第1端子TA構(gòu)成的第1端子組TG1及由多個(gè)第2端子TB構(gòu)成的第2端子組TG2。第1端子組TG1沿著第1基板SUB1的顯示裝置DSP的端邊SA形成。另外，在圖示的例子中，端邊SA相當(dāng)于第1基板SUB1的端邊。第2基板SUB2的端邊SB位于比端邊SA靠顯示區(qū)域DA側(cè)。在該第1端子組TG1，安裝柔性印刷電路基板等的信號(hào)供給源。第2端子組TG2形成在端邊SA與端邊SB之間。在該第2端子組TG2，安裝驅(qū)動(dòng)IC芯片等的信號(hào)供給源。

圖2是表示圖1所示的第1焊盤組PG1及第2焊盤組PG2的結(jié)構(gòu)例的俯視圖。另外，在圖示的例子中，設(shè)端邊SA及SB延伸的方向?yàn)榈?方向X，設(shè)與第1方向X正交的方向?yàn)榈?方向Y。

在圖2中，構(gòu)成第1焊盤組PG1的第1焊盤PA的總數(shù)與構(gòu)成第2焊盤組PG2的第2焊盤PB的總數(shù)是相同數(shù)量。此外，第1焊盤組PG1中的第1焊盤PA的布局與第2焊盤組PG2中的第2焊盤PB的布局相同。這些第1焊盤組PG1及第2焊盤組PG2位于沿著端邊SA及SB的同一直線上。

以下，著眼于第1焊盤組PG1對(duì)詳細(xì)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。在圖示的例子中，第1焊盤PA的總數(shù)是27個(gè)。第1焊盤PA如在圖中放大那樣，形成為沿著第1方向X具有寬度W并且沿著第2方向Y具有長(zhǎng)度L的長(zhǎng)方形 狀。這樣的第1焊盤PA具有在第2方向Y上排列為2列的布局，具有位于與端邊SA接近的一側(cè)的第1列R1、以及位于與端邊SB接近的一側(cè)的第2列R2。第1列R1具有13個(gè)第1焊盤PA，這些第1焊盤PA沿著第1方向X以等間距DX排列。第2列R2具有14個(gè)第1焊盤PA，這些第1焊盤PA沿著第1方向X以等間距DX排列。第1列R1及第2列R2中的第1焊盤PA的排列間距DX相同。第1列R1的第1焊盤PA與第2列R2的第1焊盤PA的沿著第2方向Y的間距DY是一定的。另外，這里的間距DX相當(dāng)于第1焊盤PA的中心間的沿著第1方向X的間隔，間距DY相當(dāng)于第1焊盤PA的中心間的沿著第2方向Y的間隔。

關(guān)于第2焊盤組PG2，第2焊盤PB以與第1焊盤PA的排列間距DX及DY相同的間距排列。第2焊盤PB形成為實(shí)質(zhì)上與第1焊盤PA相同形狀，如在圖中放大那樣，沿著第1方向X的寬度W及沿著第2方向Y的長(zhǎng)度L都與第1焊盤PA相同。

在圖2中，第1端子組TG1及第2端子組TG2位于第1焊盤組PG1與第2焊盤組PG2之間，但不受特別限制，也可以是在第1焊盤組PG1與第2焊盤組PG2之間僅設(shè)有第1端子組TG1及第2端子組TG2中的一方的結(jié)構(gòu)、或者兩者都沒有設(shè)置的結(jié)構(gòu)。此外，第1焊盤組PG1的第1焊盤PA的數(shù)量與第2焊盤組PG2的第2焊盤PB的數(shù)量不需要相等，也可以根據(jù)檢查項(xiàng)目及檢查方法、像素排列及檢查用的布線的引繞等而使各自的數(shù)量不同。即，在后述的探頭塊中排列的探頭的數(shù)量與各個(gè)焊盤組的焊盤的數(shù)量也可以不同。此外，第1焊盤PA及第2焊盤PB為在第2方向Y上以2列排列的布局，但也可以是1列，也可以是3列以上。第1焊盤組PG1的列數(shù)和第2焊盤組PG2的列數(shù)也可以不同。此外，第1焊盤組PG1及第2焊盤組PG2位于沿著端邊SA及SB的同一直線上，但如果是矩形以外的面板的情況，則只要至少設(shè)置在沿著第1端子組TG1的延伸方向或第2端子組TG2的延伸方向的同一直線上就可以。

圖3是表示用來檢查本實(shí)施方式的顯示裝置DSP的檢查裝置1的結(jié)構(gòu)例的圖。這里，作為檢查裝置的一例，對(duì)排列有多個(gè)具有顯示區(qū)域DA及周邊區(qū)域PR的有效區(qū)域EF的顯示裝置用母基板M的檢查裝置1進(jìn)行說明。在圖示的例子中，在母基板M中，有效區(qū)域EF在第1方向X及第2 方向Y上分別排列。在各有效區(qū)域EF的周邊區(qū)域PR中，形成有相當(dāng)于上述檢查用焊盤的第1焊盤組PG1及第2焊盤組PG2。在圖示的例子中，母基板M被在第2方向Y上輸送。

檢查裝置1具備多個(gè)探頭塊10、探頭塊安裝夾具20、信號(hào)源30、傳送線纜40等。另外，在圖中，設(shè)與第1方向X及第2方向Y正交的方向?yàn)榈?方向Z。

各個(gè)探頭塊10都是相同結(jié)構(gòu)，具備多個(gè)探頭。關(guān)于探頭塊10的詳細(xì)情況在后面敘述。在本實(shí)施方式中，對(duì)應(yīng)于1個(gè)有效區(qū)域EF設(shè)有至少兩個(gè)探頭塊10。在圖示的例子中，對(duì)于1個(gè)有效區(qū)域EF設(shè)有兩個(gè)探頭塊，在說明上，為了將它們區(qū)別，以下將這些探頭塊稱作第1探頭塊11及第2探頭塊12。第1探頭塊11在與第2探頭塊12之間隔開規(guī)定的間隔而配置。第1探頭塊11與有效區(qū)域EF中的第1焊盤組PG1對(duì)置，第2探頭塊12與該有效區(qū)域EF中的第2焊盤組PG2對(duì)置。第1探頭塊11及第2探頭塊12的沿著第1方向X的間隔與第1焊盤組PG1及第2焊盤組PG2的沿著第1方向X的間隔相等。

探頭塊安裝夾具20支承多個(gè)探頭塊10。該探頭塊安裝夾具20沿著第1方向X延伸，將第1探頭塊11及第2探頭塊12以將兩者的間隔改變自如的方式支承。即，第1探頭塊11及第2探頭塊12分別能夠沿著與第1方向X平行的圖中的箭頭A的方向移動(dòng)。即，第1探頭塊11及第2探頭塊12匹配于作為檢查對(duì)象的母基板M的第1焊盤組PG1與第2焊盤組PG2的間隔而沿著探頭塊安裝夾具20移動(dòng)。由此，第1探頭塊11及第2探頭塊12的間隔能夠匹配于第1焊盤組PG1及第2焊盤組PG2的間隔來調(diào)整。

這樣的探頭塊安裝夾具20連接于升降機(jī)構(gòu)21及滑動(dòng)機(jī)構(gòu)22。升降機(jī)構(gòu)21具備沿著與第3方向Z平行的圖中的箭頭B的方向使探頭塊安裝夾具20升降的結(jié)構(gòu)?；瑒?dòng)機(jī)構(gòu)22具備沿著與第2方向Y平行的圖中的箭頭C的方向使探頭塊安裝夾具20滑動(dòng)的結(jié)構(gòu)。

信號(hào)源30具有檢查所需要的規(guī)定的數(shù)量的通道。在信號(hào)源30中，分配給第1探頭塊用的通道的個(gè)數(shù)是與分配給第2探頭塊用的通道的個(gè)數(shù)相同的數(shù)量。

傳送線纜40連接第1探頭塊11及第2探頭塊12的各自與信號(hào)源30。 連接在信號(hào)源30上的傳送線纜40中的與第1探頭塊11相連的傳送線纜40與在信號(hào)源30中分配給第1探頭塊用的通道連接。同樣，連接在信號(hào)源30上的傳送線纜40中的與第2探頭塊12相連的傳送線纜40與在信號(hào)源30中分配給第2探頭塊用的通道連接。

圖4是表示在圖3所示的檢查裝置1中能夠應(yīng)用的探頭塊10的結(jié)構(gòu)例的圖。圖中的(a)是探頭塊10的立體圖，圖中的(b)是從探頭塊10的探頭側(cè)觀察的俯視圖。

即，如圖4(a)所示，探頭塊10在其下表面上具備多個(gè)探頭PP。在圖示的例子中，探頭塊10形成為長(zhǎng)方體狀，具有供探頭塊安裝夾具20插入的貫通孔10H。在這樣的探頭塊10連接有傳送線纜40。

如圖4(b)所示，探頭塊10具備在由第1方向X及第2方向Y規(guī)定的X－Y平面中以規(guī)定的布局排列的探頭PP。探頭PP的布局與圖2所示的第1焊盤組PG1中的第1焊盤PA的布局相同。當(dāng)然，探頭PP的布局也與第2焊盤組PG2中的第2焊盤PB的布局相同。即，探頭PP的總數(shù)是與第1焊盤PA的總數(shù)相同的數(shù)量，在圖示的例子中是27個(gè)。這樣的探頭PP具有在第2方向Y上以2列排列的布局，具有與圖2所示的第1焊盤PA的第1列R1及第2列R2分別對(duì)置的第1列R11及第2列R12。第1列R11具有13個(gè)探頭PP，這些探頭PP沿著第1方向X以等間距DX排列。第2列R12具有14個(gè)探頭PP，這些探頭PP沿著第1方向X以等間距DX排列。第1列R11及第2列R12中的各個(gè)探頭PP的排列間距DX相同。第1列R11的探頭PP與第2列R12的探頭PP的沿著第2方向Y的間距DY是一定的。另外，這里的間距DX與第1焊盤PA的沿著第1方向X的間距DX相同，間距DY與第1焊盤PA的沿著第2方向Y的間距DY相同。

上述探頭塊10是與圖3所示的第1探頭塊11及第2探頭塊12都相同的結(jié)構(gòu)。即，對(duì)應(yīng)于第1焊盤組PG1的第1探頭塊11具備的探頭PP的總數(shù)是與對(duì)應(yīng)于第2焊盤組PG2的第2探頭塊12具備的探頭PP的總數(shù)相同的數(shù)量(在一例中是27個(gè))。此外，第1探頭塊11中的探頭PP的布局與第2探頭塊12中的探頭PP的布局相同。換言之，第2探頭塊12中的探頭PP以與第1探頭塊11中的探頭PP的排列間距相同的間距排列。

接著，參照附圖對(duì)能夠在上述檢查裝置1中使用的檢查方法的一例進(jìn) 行說明。

圖5是用來說明能夠在本實(shí)施方式的檢查裝置1中使用的檢查方法的圖。

首先，如圖5(a)所示，匹配于第1焊盤組PG1與第2焊盤組PG2之間的間隔D1，調(diào)整第1探頭塊11及第2探頭塊12的間隔D2。此時(shí)，將第1探頭塊11及第2探頭塊12根據(jù)需要而沿著探頭塊安裝夾具20滑動(dòng)移動(dòng)，調(diào)整為兩者的間隔D2與間隔D1相同。在一例中，檢查裝置1可以具備信息取得部50，該信息取得部50取得對(duì)第1探頭塊11及第2探頭塊12的間隔D2進(jìn)行調(diào)整所需要的信息。例如，信息取得部50能夠通過將母基板M的第1焊盤組PG1及第2焊盤組PG2的位置光學(xué)地讀取，來取得需要的信息?；蛘?，信息取得部50能夠通過從母基板M讀取其識(shí)別信息(批次號(hào)碼等)，來取得需要的信息?；蛘?，信息取得部50能夠基于操作者輸入的信息來取得需要的信息。在檢查裝置1中，第1探頭塊11及第2探頭塊12基于由信息取得部50取得的信息被驅(qū)動(dòng)，并分別移動(dòng)至規(guī)定的位置。

另外，這里的間隔D1相當(dāng)于第1焊盤組PG1及第2焊盤組PG2的中心間的距離(或間距)，間隔D2相當(dāng)于第1探頭塊11及第2探頭塊12的中心間的距離(或間距)。如圖示那樣，第1探頭塊11的第1探頭PPA的總數(shù)與第1焊盤組PG1中的第1焊盤PA的總數(shù)是相同數(shù)量，第2探頭塊12的第2探頭PPB的總數(shù)與第2焊盤組PG2中的第2焊盤PB的總數(shù)是相同數(shù)量。但是，如上述那樣，各個(gè)探頭塊的探頭的總數(shù)和對(duì)應(yīng)的焊盤組中的焊盤的總數(shù)也可以不同。

接著，如圖5(b)所示，使第1探頭塊11的第1探頭PPA與第1焊盤組PG1的第1焊盤PA接觸，并使第2探頭塊12的第2探頭PPB與第2焊盤組PG2的第2焊盤PB接觸。另外，此時(shí)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)22使探頭塊安裝夾具20移動(dòng)，以使第1探頭塊11及第2探頭塊12分別位于第1焊盤組PG1及第2焊盤組PG2的正上方。升降機(jī)構(gòu)21在進(jìn)行檢查時(shí)使探頭塊安裝夾具20下降，使第1探頭PPA及第2探頭PPB分別與第1焊盤PA及第2焊盤PB接觸。

接著，如圖5(c)所示，從信號(hào)源30的各通道向第1探頭PPA及第2 探頭PPB分別供給檢查信號(hào)。在本實(shí)施方式中，信號(hào)源30的通道的個(gè)數(shù)比第1探頭PPA的總數(shù)與第2探頭PPB的總數(shù)的總和、或第1焊盤PA的總數(shù)與第2焊盤PB的總數(shù)的總和少。因此，信號(hào)源30將從其至少1個(gè)通道輸出的檢查信號(hào)以相同的定時(shí)向第1探頭塊11及第2探頭塊12雙方供給。由此，能夠從具備有限的個(gè)數(shù)的通道的信號(hào)源30對(duì)全部的探頭供給需要的檢查信號(hào)。

在圖示的例子中，第1探頭PPA及第2探頭PPB的總數(shù)(或第1焊盤PA及第2焊盤PB的總數(shù))是54。相對(duì)于此，信號(hào)源30的通道的個(gè)數(shù)是48，比探頭的總數(shù)(或焊盤的總數(shù))少。因此，在第1探頭塊11及第2探頭塊12中，被供給共通的檢查信號(hào)的探頭在信號(hào)源30中被連接到相同的通道上。

在一例中，在第1焊盤組PG1中位于與第2焊盤組PG2接近的一側(cè)的6個(gè)第1焊盤PA、以及在第2焊盤組PG2中位于與第1焊盤組PG1接近的一側(cè)的6個(gè)第2焊盤PB相當(dāng)于分別以相同的定時(shí)被供給相同的檢查信號(hào)的共通焊盤。在信號(hào)源30中，與這6組共通焊盤對(duì)應(yīng)而分配6個(gè)通道。即，信號(hào)源30的全部48個(gè)通道分別被分配給第1焊盤組PG1中的21個(gè)第1焊盤PA、第2焊盤組PG2中的21個(gè)第2焊盤PB、以及6組共通焊盤。并且，信號(hào)源30從各通道向各探頭供給檢查信號(hào)。這樣的檢查信號(hào)從各探頭供給至各焊盤。

能夠共通化的通道或焊盤例如是作為檢查信號(hào)而被供給向共通電極CE輸入的固定電位的信號(hào)、向共通電極CE輸入的脈沖信號(hào)、驅(qū)動(dòng)?xùn)艠O布線所需要的固定電位的信號(hào)、老化用的脈沖信號(hào)、時(shí)鐘信號(hào)、使能信號(hào)、選擇信號(hào)等的通道或焊盤。另外，關(guān)于能夠共通化的焊盤的配置或探頭的配置，并不限于圖示的例子。

然后，在檢查結(jié)束時(shí)，升降機(jī)構(gòu)21使探頭塊安裝夾具20上升，使第1探頭PPA及第2探頭PPB分別從第1焊盤PA及第2焊盤PB離開。并且，滑動(dòng)機(jī)構(gòu)22使探頭塊安裝夾具20移動(dòng)到下個(gè)檢查對(duì)象。

根據(jù)上述本實(shí)施方式，顯示裝置不論各個(gè)產(chǎn)品的規(guī)格如何，都具備由多個(gè)第1焊盤構(gòu)成的第1焊盤組、和由與第1焊盤相同數(shù)量的第2焊盤構(gòu)成的第2焊盤組，第2焊盤以與第1焊盤的排列間距相同的間距排列。因 此，對(duì)這樣的顯示裝置供給檢查信號(hào)的檢查裝置使用相同結(jié)構(gòu)的探頭塊作為第1探頭塊及第2探頭塊，從而能夠?qū)Φ?焊盤組及第2焊盤組供給檢查信號(hào)。

在第1焊盤組及第2焊盤組分別具有不同的結(jié)構(gòu)的情況下，檢查裝置需要具備分別適合于第1焊盤組及第2焊盤組的探頭焊盤，需要設(shè)計(jì)并制作至少兩種探頭塊。根據(jù)本實(shí)施方式，通過設(shè)計(jì)并制作1種探頭塊，能夠提供第1探頭塊及第2探頭塊，所以能夠削減成本。除此以外，由于不論顯示裝置的規(guī)格如何，都能夠使用相同的探頭塊，所以能夠從顯示裝置的新產(chǎn)品的試制階段開始進(jìn)行檢查，能夠改善檢查效率。

此外，即使是具備比檢查所需要的探頭的總數(shù)(或者，構(gòu)成第1焊盤組的第1焊盤及構(gòu)成第2焊盤組的第2焊盤的總數(shù))少的通道數(shù)的信號(hào)源的檢查裝置，信號(hào)源也將從該至少1個(gè)通道輸出的檢查信號(hào)以相同的定時(shí)向第1探頭塊及第2探頭塊雙方供給。即，被供給共通的檢查信號(hào)的探頭在信號(hào)源中被連接到相同的通道。因此，能夠使信號(hào)源的通道共通化，能夠以信號(hào)源的有限的通道數(shù)檢查顯示裝置。

此外，在檢查裝置中，第1探頭塊及第2探頭塊以將其間隔可變自如的方式被支承。因此，即使按每個(gè)作為檢查對(duì)象的母基板而第1焊盤組及第2焊盤組的間隔不同，通過調(diào)整第1探頭塊及第2探頭塊的間隔，對(duì)哪個(gè)母基板都能夠進(jìn)行檢查。

進(jìn)而，在檢查裝置中，探頭塊的數(shù)量也能夠增減。因此，即使按每個(gè)作為檢查對(duì)象的母基板而檢查對(duì)象數(shù)不同，通過調(diào)整探頭塊的數(shù)量，對(duì)哪個(gè)母基板都能夠進(jìn)行檢查。

這里，對(duì)作為本實(shí)施方式的檢查裝置1的檢查對(duì)象的各種母基板M進(jìn)行說明。

圖6所示的母基板M是沿著第1方向X的長(zhǎng)度比沿著第2方向Y的長(zhǎng)度短的長(zhǎng)方形狀。形成在該母基板M上的有效區(qū)域EF是沿著第1方向X的長(zhǎng)度比沿著第2方向Y的長(zhǎng)度短的長(zhǎng)方形狀。

圖7所示的母基板M是沿著第1方向X的長(zhǎng)度比沿著第2方向Y的長(zhǎng)度短的長(zhǎng)方形狀。形成在該母基板M上的有效區(qū)域EF是沿著第1方向X的長(zhǎng)度比沿著第2方向Y的長(zhǎng)度長(zhǎng)的長(zhǎng)方形狀。

圖8所示的母基板M是沿著第1方向X的長(zhǎng)度比沿著第2方向Y的長(zhǎng)度長(zhǎng)的長(zhǎng)方形狀。形成在該母基板M上的有效區(qū)域EF是沿著第1方向X的長(zhǎng)度比沿著第2方向Y的長(zhǎng)度短的長(zhǎng)方形狀。

圖9所示的母基板M是沿著第1方向X的長(zhǎng)度比沿著第2方向Y的長(zhǎng)度長(zhǎng)的長(zhǎng)方形狀。形成在該母基板M上的有效區(qū)域EF是沿著第1方向X的長(zhǎng)度比沿著第2方向Y的長(zhǎng)度長(zhǎng)的長(zhǎng)方形狀。

在哪個(gè)母基板M中，形成在各有效區(qū)域EF中的第1焊盤組PG1及第2焊盤組PG2都是相同的結(jié)構(gòu)。因此，根據(jù)本實(shí)施方式的檢查裝置1，不論母基板M的尺寸及有效區(qū)域EF的尺寸如何，通過將第1探頭塊11及第2探頭塊12的間隔匹配于第1焊盤組PG1及第2焊盤組PG2的間隔來調(diào)整，不用變更探頭塊就能夠進(jìn)行檢查。

另外，在上述例子中，對(duì)1個(gè)有效區(qū)域具備兩個(gè)焊盤組、對(duì)這樣的有效區(qū)域使用兩個(gè)探頭塊檢查的情況進(jìn)行了說明，但在1個(gè)有效區(qū)域具備3個(gè)以上的焊盤組的情況下，也可以對(duì)有效區(qū)域使用3個(gè)以上的探頭塊進(jìn)行檢查。在這樣的情況下，也能夠通過將在各探頭塊中被供給相同的檢查信號(hào)的探頭在信號(hào)源中連接到相同的通道，以信號(hào)源的有限的通道數(shù)檢查各有效區(qū)域。當(dāng)然，在1個(gè)有效區(qū)域具備1個(gè)焊盤組、對(duì)這樣的有效區(qū)域使用1個(gè)探頭塊進(jìn)行檢查的情況下也能夠采用。

如以上說明，根據(jù)本實(shí)施方式，能夠提供可實(shí)現(xiàn)成本的削減及檢查效率的改善的顯示裝置的檢查裝置、顯示裝置用母基板的檢查方法及顯示裝置。

另外，說明了本發(fā)明的一些實(shí)施方式，但這些實(shí)施方式是作為例子提示的，并不是要限定發(fā)明的范圍。例如，在上述實(shí)施方式中，使對(duì)1個(gè)有效區(qū)域使用的兩個(gè)以上的探頭塊中的探頭的配置相同，但不是特別進(jìn)行限制的，也可以變更探頭的排列及探頭的數(shù)量。此外，探頭的間距及焊盤的間距不需要相同，也可以在一個(gè)焊盤組或一個(gè)探頭塊中使一部分焊盤或探頭的間距不同。另外，在上述實(shí)施方式中，記載了在一個(gè)有效區(qū)域(相當(dāng)于一個(gè)顯示面板)設(shè)置兩個(gè)焊盤組、使用兩個(gè)探頭塊(1組探頭塊)進(jìn)行檢查，但也可以用基板上的布線將兩個(gè)以上的有效區(qū)域間連接，將兩個(gè)以上的有效區(qū)域使用1組探頭塊進(jìn)行檢查。這些新的實(shí)施方式能夠以其他各種 形態(tài)實(shí)施，在不脫離發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種省略、替換、變更。這些實(shí)施方式及其變形包含在發(fā)明的范圍及主旨中，并且包含在權(quán)利要求書所記載的發(fā)明和其等價(jià)的范圍中。