本發(fā)明涉及oled顯示面板噴墨打印，具體涉及一種基于3d金屬打印的氣懸浮平臺及氣懸浮導軌輸送裝置。

背景技術(shù)：

1、噴墨打印技術(shù)在oled顯示面板得到廣泛應(yīng)用，oled噴墨打印是通過由上至下的方式，將墨滴逐滴滴落到基板像素槽內(nèi)，并通過一系列真空減壓干燥等后端工藝制成高分辨率顯示面板的技術(shù)。顯示面板在噴墨打印過程中，噴頭與基板（即顯示面板）之間的位置精度要求極高，通常需要達到微米級。在噴墨打印過程中，噴頭的位置是固定不動的，通過基板的移動進行打印，因此，對于基板移動的位置精度及姿態(tài)控制具有較高的要求。現(xiàn)有技術(shù)中，通常采用氣浮輸送技術(shù)對基板進行輸送，不僅移動精度高，且可以有效避免基板劃傷。

2、目前，氣浮輸送技術(shù)主要通過氣懸浮平臺對基板進行懸浮，由于基于小孔節(jié)流原理的氣懸浮平臺的性能與正/負壓氣孔的孔徑大小、孔間距排布以及節(jié)流器結(jié)構(gòu)等息息相關(guān)，而節(jié)流器作為核心部件，其結(jié)構(gòu)與排布會直接影響孔徑大小與孔間距。參見圖1-圖2，現(xiàn)有技術(shù)中的氣懸浮平臺，正/負壓氣孔的排布由于制造技術(shù)的限制，使得節(jié)流器內(nèi)部的節(jié)流孔只能朝兩側(cè)橫向排布，導致氣孔與氣孔之間的間距h2較大，無法進一步縮小，從而無法進一步提升基板懸浮的穩(wěn)定性和懸浮高度精度控制；另外，氣流經(jīng)橫向流通后再朝上流出，這會導致微流場有一定的紊亂，也會影響基板懸浮的穩(wěn)定性和懸浮高度精度。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于克服上述存在的問題，提供一種基于3d金屬打印的氣懸浮平臺，該氣懸浮平臺可以使得微流場僅朝同一豎直方向流動，減少了氣流紊亂的情況出現(xiàn)，極大的增加了基板懸浮的穩(wěn)定性；同時，可以極大縮短氣孔與氣孔之間的距離，使得氣孔排布更加緊湊，進一步增加了基板懸浮的穩(wěn)定性，提高了基板的懸浮高度精度。

2、本發(fā)明的另一個目的在于提供一種氣懸浮導軌輸送裝置。

3、本發(fā)明的目的通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)：

4、一種基于3d金屬打印的氣懸浮平臺，包括上頂板、下安裝板以及設(shè)置在所述上頂板與下安裝板之間的節(jié)流器，其中，所述上頂板上設(shè)有氣孔，所述下安裝板上設(shè)有導流槽，所述節(jié)流器上設(shè)有呈垂直設(shè)置的鋸齒狀流道，所述鋸齒狀流道的上端與所述氣孔連通，所述鋸齒狀流道的下端與所述導流槽連通；所述節(jié)流器通過3d金屬打印制成。

5、上述基于3d金屬打印的氣懸浮平臺的工作原理是：

6、氣孔分為正壓氣孔與負壓氣孔，工作時，正壓氣流可以通過下安裝板上的導流槽進入到上方對應(yīng)的節(jié)流器的鋸齒狀流道中，正壓氣流通過節(jié)流器的節(jié)流作用，產(chǎn)生了均勻穩(wěn)定的微流場，最終通過上頂板上的正壓氣孔流出；負壓氣流在導流槽、鋸齒狀流道以及負壓氣孔中產(chǎn)生負壓作用，通過正、負壓氣孔的正壓和負壓的共同作用，產(chǎn)生了使基板（即顯示面板）穩(wěn)定懸浮的“力”。

7、本發(fā)明的一個優(yōu)選方案，其中，所述節(jié)流器的數(shù)量為多個，多個節(jié)流器成陣列分布在上頂板與下安裝板之間。通過設(shè)置多個節(jié)流器，使得每個節(jié)流器的尺寸可以適當減小，從而方便節(jié)流器進行3d金屬打印。

8、優(yōu)選地，每個所述節(jié)流器上均設(shè)有多個鋸齒狀流道，鋸齒狀流道的數(shù)量與氣孔的數(shù)量相同，鋸齒狀流道與氣孔一一對應(yīng)設(shè)置；所述導流槽的數(shù)量為多個，一個導流槽與若干個鋸齒狀流道相互對應(yīng)設(shè)置。上述結(jié)構(gòu)中，通過設(shè)置多個鋸齒狀流道，使得氣流通過節(jié)流器后，可以產(chǎn)生更加均勻穩(wěn)定的微流場，多個氣孔通過正壓和負壓的共同作用，可以讓基板穩(wěn)定懸?。灰粋€導流槽與若干個鋸齒狀流道相互對應(yīng)設(shè)置，即一個導流槽與若干個鋸齒狀流道連通，導流槽的數(shù)量可以減少，便于對導流槽進行加工。

9、優(yōu)選地，所述鋸齒狀流道的上端設(shè)有上端口，所述鋸齒狀流道的下端設(shè)有下端口，所述上端口與下端口均呈豎直設(shè)置。上述結(jié)構(gòu)中，采用的是通過3d金屬打印制成且鋸齒狀流道呈垂向排布的節(jié)流器，鋸齒狀流道的朝向與氣孔的朝向一致，最大可能的避免了流場紊亂的現(xiàn)象出現(xiàn)，極大的增加了微流場的均勻性，從而提高了氣懸浮平臺最終的精度和穩(wěn)定性；采用垂直朝向的鋸齒狀流道，可以節(jié)省橫向排布的空間，使得氣孔與氣孔間的排布更加均勻緊湊，從而提升了微流場的均勻性。

10、優(yōu)選地，所述下安裝板的下端設(shè)有多個微調(diào)支撐座。通過設(shè)置微調(diào)支撐座，可以對下安裝板起到安裝支撐作用，且還能調(diào)節(jié)微調(diào)支撐座的高度，從而調(diào)節(jié)下安裝板的高度，進而可以保證下安裝板的水平。

11、一種氣懸浮導軌輸送裝置，包括用于對基板進行懸浮的氣懸浮導軌機構(gòu)、用于吸附基板與調(diào)整基板運動姿態(tài)的微調(diào)機構(gòu)以及用于驅(qū)動微調(diào)機構(gòu)進行移動以帶動基板運移動的氣浮驅(qū)動機構(gòu)；其中，所述氣懸浮導軌機構(gòu)由多個所述氣懸浮平臺拼接構(gòu)成。上述結(jié)構(gòu)中，氣懸浮導軌機構(gòu)通過正壓和負壓的共同作用，使得基板在氣懸浮導軌機構(gòu)上方懸浮，微調(diào)機構(gòu)可以將懸浮的基板進行真空吸附，并調(diào)整基板的運動姿態(tài)，控制基板六自由度精度；氣浮驅(qū)動機構(gòu)可以帶動微調(diào)機構(gòu)運動，進而帶動基板在氣懸浮導軌機構(gòu)上方運動，使得基板沿著氣懸浮導軌機構(gòu)的方向做精密運動。

12、優(yōu)選地，所述氣懸浮導軌輸送裝置還包括用于安裝氣懸浮導軌機構(gòu)的安裝區(qū)，所述安裝區(qū)包括位于中間的核心工作區(qū)以及設(shè)置在核心工作區(qū)兩側(cè)的輸送區(qū)；位于核心工作區(qū)的氣懸浮平臺中的氣孔的排列密集度大于位于輸送區(qū)的氣懸浮平臺中的氣孔的排列密集度。上述結(jié)構(gòu)中，核心工作區(qū)的氣懸浮平臺，其氣孔排列密集度大，氣孔的數(shù)量更多，且正壓氣孔與負壓氣孔間隔排列，使得基板的飛行高度可以控制的更加精準；輸送區(qū)的氣懸浮平臺僅起到輸送作用，其氣孔排列密集度小，氣孔的數(shù)量更少，較為疏松，無需負壓控制，可以節(jié)省成本。

13、優(yōu)選地，所述氣浮驅(qū)動機構(gòu)包括基座、滑動設(shè)置在所述基座上的氣浮滑臺以及設(shè)置在所述氣浮滑臺側(cè)面的豎向升降機構(gòu)；所述微調(diào)機構(gòu)安裝在豎向升降機構(gòu)上。上述結(jié)構(gòu)中，基座與氣浮滑臺構(gòu)成主體運動部分，氣浮滑臺可以在基座上運動，進而帶動豎向升降機構(gòu)運動，從而帶動微調(diào)機構(gòu)運動，最終實現(xiàn)基板在氣懸浮導軌機構(gòu)上方移動；豎向升降機構(gòu)可以實現(xiàn)微調(diào)機構(gòu)豎向運動，進而實現(xiàn)基板的微調(diào)以及保持基板豎向高度的精度。

14、本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下有益效果：

15、1、本發(fā)明中的氣懸浮平臺，通過3d金屬打印制成節(jié)流器，擺脫了傳統(tǒng)機加工藝的局限，可以制造出帶有鋸齒狀流道的節(jié)流器，鋸齒狀流道呈垂直排布，使得微流場僅朝同一方向豎直流動，減少了氣流紊亂的現(xiàn)象出現(xiàn)，極大的增加了微流場的均勻性，從而提高了基板懸浮的穩(wěn)定性以及懸浮高度精度。

16、2、本發(fā)明中的氣懸浮平臺，鋸齒狀流道呈垂直排布，與現(xiàn)有技術(shù)采用橫向排布進行對比，本發(fā)明可以極大縮減氣孔與氣孔之間的距離，使得氣孔排布更加緊湊，進一步增加了基板懸浮的穩(wěn)定性，提高了基板的懸浮高度精度。

技術(shù)特征：

1.一種基于3d金屬打印的氣懸浮平臺，其特征在于，包括上頂板、下安裝板以及設(shè)置在所述上頂板與下安裝板之間的節(jié)流器，其中，所述上頂板上設(shè)有氣孔，所述下安裝板上設(shè)有導流槽，所述節(jié)流器上設(shè)有呈垂直設(shè)置的鋸齒狀流道，所述鋸齒狀流道的上端與所述氣孔連通，所述鋸齒狀流道的下端與所述導流槽連通；所述節(jié)流器通過3d金屬打印制成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于3d金屬打印的氣懸浮平臺，其特征在于，所述節(jié)流器的數(shù)量為多個，多個節(jié)流器成陣列分布在上頂板與下安裝板之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于3d金屬打印的氣懸浮平臺，其特征在于，每個所述節(jié)流器上均設(shè)有多個鋸齒狀流道，鋸齒狀流道的數(shù)量與氣孔的數(shù)量相同，鋸齒狀流道與氣孔一一對應(yīng)設(shè)置；所述導流槽的數(shù)量為多個，一個導流槽與若干個鋸齒狀流道相互對應(yīng)設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于3d金屬打印的氣懸浮平臺，其特征在于，所述鋸齒狀流道的上端設(shè)有上端口，所述鋸齒狀流道的下端設(shè)有下端口，所述上端口與下端口均呈豎直設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于3d金屬打印的氣懸浮平臺，其特征在于，所述下安裝板的下端設(shè)有多個微調(diào)支撐座。

6.一種氣懸浮導軌輸送裝置，其特征在于，包括用于對基板進行懸浮的氣懸浮導軌機構(gòu)、用于吸附基板與調(diào)整基板運動姿態(tài)的微調(diào)機構(gòu)以及用于驅(qū)動微調(diào)機構(gòu)進行移動以帶動基板運移動的氣浮驅(qū)動機構(gòu)；其中，所述氣懸浮導軌機構(gòu)由多個如權(quán)利要求1-5任一項所述的氣懸浮平臺拼接構(gòu)成。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種氣懸浮導軌輸送裝置，其特征在于，所述氣懸浮導軌輸送裝置還包括用于安裝氣懸浮導軌機構(gòu)的安裝區(qū)，所述安裝區(qū)包括位于中間的核心工作區(qū)以及設(shè)置在核心工作區(qū)兩側(cè)的輸送區(qū)；位于核心工作區(qū)的氣懸浮平臺中的氣孔的排列密集度大于位于輸送區(qū)的氣懸浮平臺中的氣孔的排列密集度。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種氣懸浮導軌輸送裝置，其特征在于，所述氣浮驅(qū)動機構(gòu)包括基座、滑動設(shè)置在所述基座上的氣浮滑臺以及設(shè)置在所述氣浮滑臺側(cè)面的豎向升降機構(gòu)；所述微調(diào)機構(gòu)安裝在豎向升降機構(gòu)上。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種基于3D金屬打印的氣懸浮平臺及氣懸浮導軌輸送裝置，涉及OLED顯示面板噴墨打印技術(shù)領(lǐng)域，該氣懸浮平臺包括上頂板、下安裝板以及設(shè)置在所述上頂板與下安裝板之間的節(jié)流器，其中，所述上頂板上設(shè)有氣孔，所述下安裝板上設(shè)有導流槽，所述節(jié)流器上設(shè)有呈垂直設(shè)置的鋸齒狀流道，所述鋸齒狀流道的上端與所述氣孔連通，所述鋸齒狀流道的下端與所述導流槽連通；所述節(jié)流器通過3D金屬打印制成。該氣懸浮平臺可以使得微流場僅朝同一豎直方向流動，減少了氣流紊亂的情況出現(xiàn)，極大的增加了基板懸浮的穩(wěn)定性；同時，可以極大縮短氣孔與氣孔之間的距離，使得氣孔排布更加緊湊，進一步增加了基板懸浮的穩(wěn)定性，提高了基板的懸浮高度精度。

技術(shù)研發(fā)人員：周川堰,李奇,林書穎,曹東豪,馬賜文
受保護的技術(shù)使用者：季華實驗室
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9