專(zhuān)利名稱(chēng)：制膜方法及裝置、設(shè)備制造方法及裝置、設(shè)備及電子機(jī)器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種制膜方法、制膜裝置、設(shè)備制造方法、設(shè)備制造裝置及設(shè)備以及電子機(jī)器。
背景技術(shù)：
伴隨著電子機(jī)器例如計(jì)算機(jī)或便攜式信息終端的發(fā)展，液晶顯示設(shè)備，特別是彩色液晶顯示設(shè)備的使用也在不斷增加。這種液晶顯示設(shè)備，采用用來(lái)使顯示圖像彩色化的濾色器。濾色器中設(shè)有基板，以給定的圖形將R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))墨水(液滴)噴射到該基板上，使該墨水在基板上干燥而形成著色層。作為對(duì)這樣的基板噴射墨水的涂敷方式，采用了例如噴墨方式(液滴噴出方式)的描繪裝置。
在采用噴墨方式的情況下，在描繪裝置中從液滴噴頭向?yàn)V光器噴出給定量的墨水，在這種情況下，例如將基板安裝在Y平臺(tái)(在Y方向自由移動(dòng)的平臺(tái))上，將液滴噴頭安裝在X平臺(tái)(在X方向自由移動(dòng)的平臺(tái))上。這樣，通過(guò)驅(qū)動(dòng)X平臺(tái)而將液滴噴頭移動(dòng)到給定的位置上進(jìn)行位置確定，之后，一邊通過(guò)驅(qū)動(dòng)Y平臺(tái)使基板相對(duì)液滴噴頭移動(dòng)，一邊噴出墨水，這樣就能夠使多個(gè)液滴噴頭所噴出的墨水噴彈到基板的給定位置上。
然而，上述基板上，有時(shí)為了表面的保護(hù)以及平坦化，需要制膜一層薄膜保護(hù)膜，在使用上述液滴噴出方式形成保護(hù)膜的情況下，著落到基板上的墨水因?yàn)楸砻鎻埩Φ脑蚝茈y均勻擴(kuò)展，因此膜的外表凹凸不平，存在很難形成平坦且具有均勻的膜厚的薄膜這一問(wèn)題。
因此，本申請(qǐng)人提案了一種技術(shù)，通過(guò)讓液滴所著落的基板振動(dòng)，使液滴之間互相融合，從而使膜厚均勻(參考專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。
然而，在上述現(xiàn)有技術(shù)中，還存在以下的問(wèn)題。
由于著落到基板上的多個(gè)液滴具有幾乎相同的振動(dòng)特性，因此以同相位進(jìn)行振動(dòng)，存在相鄰的液滴之間很難充分融合這一問(wèn)題。特別是，在使用高粘度的液滴進(jìn)行液滴噴出的情況下，這種傾向非常明顯。
這樣，在融合不充分的情況下，由于凹凸變大，有可能會(huì)給設(shè)有膜的元件的特性帶來(lái)不良影響。另外，在噴頭與基板的相對(duì)移動(dòng)進(jìn)行換行時(shí)，沿著換行位置會(huì)產(chǎn)生稍許段差，即所謂的換行錯(cuò)位，有可能會(huì)使顯示品質(zhì)降低。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1特開(kāi)2003-260389號(hào)公報(bào)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明考慮到上述問(wèn)題，其目的在于提供一種能夠容易地形成平坦且具有均勻的膜厚的薄膜的制膜方法、制膜裝置、設(shè)備制造方法、設(shè)備制造裝置及設(shè)備以及電子機(jī)器。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了以下構(gòu)成。
本發(fā)明的制膜方法，在基板上涂敷多個(gè)液滴而進(jìn)行制膜，所具有的特征是，包括以多種大小將上述液滴涂敷到上述基板上的工序；和使上述基板上的液滴以不同的振動(dòng)特性進(jìn)行振動(dòng)的工序。
因此，本發(fā)明由于使相鄰的液滴以對(duì)應(yīng)于其大小的不同相位(周期)進(jìn)行振動(dòng)，使液滴之間互相碰撞，從而較容易融合。另外，融合變成大液滴之后，振動(dòng)周期也隨之變化，因此更容易與其他液滴碰撞并融合，能夠通過(guò)使所有液滴融合而形成具有均勻膜厚的薄膜。其結(jié)果，能夠防止給具有該薄膜的器件的特性帶來(lái)不良影響。
為了以不同的振動(dòng)特性進(jìn)行振動(dòng)，優(yōu)選以根據(jù)上述多種大小的液滴中的至少一種大小的液滴的固有振動(dòng)頻率的頻率(共振頻率)進(jìn)行振動(dòng)。這種情況下，與其他大小的液滴相比，能夠使該液滴劇烈振動(dòng)，同時(shí)使開(kāi)始振動(dòng)的時(shí)間較短。
振動(dòng)的頻率，優(yōu)選在包括上述液滴的大小所對(duì)應(yīng)的所有固有振動(dòng)頻率的范圍內(nèi)變化。
這時(shí)，由于能夠使全體大小不同的液滴以共振頻率進(jìn)行振動(dòng)，在產(chǎn)生對(duì)應(yīng)頻率的振動(dòng)時(shí)，該液滴劇烈振動(dòng)，能夠促進(jìn)全體液滴的融合，使膜厚更加均勻。
另外，這種情況下，由于液滴之間融合變大，固有振動(dòng)頻率降低，因此優(yōu)選讓使液滴振動(dòng)時(shí)的頻率從高向低變化。
本發(fā)明還可以采用下述步驟沿著第1方向，涂敷由第1范圍內(nèi)的多種大小的液滴所構(gòu)成的第1液滴群的工序；沿著第2方向，涂敷由與上述第1范圍不同的第2范圍內(nèi)的多種大小的液滴所構(gòu)成的第2液滴群的工序；以根據(jù)上述第1范圍內(nèi)的大小的液滴的固有振動(dòng)頻率的頻率，在上述第1方向產(chǎn)生振動(dòng)的工序；和以根據(jù)上述第2范圍內(nèi)的大小的液滴的固有振動(dòng)頻率的頻率，在上述第2方向產(chǎn)生振動(dòng)的工序。
這樣，通過(guò)以對(duì)應(yīng)于第1范圍內(nèi)的液滴的大小的頻率產(chǎn)生振動(dòng)，能夠使第1液滴群的液滴互相碰撞融合，形成在第1方向延伸的線狀薄膜。此時(shí)，第2液滴群的液滴由于與第1液滴群的液滴大小不同，幾乎不振動(dòng)。同樣，通過(guò)以對(duì)應(yīng)于第2范圍內(nèi)的液滴的大小的頻率產(chǎn)生振動(dòng)，能夠使第2液滴群的液滴互相碰撞融合，形成在第2方向延伸的線狀薄膜。也即，通過(guò)適當(dāng)選擇振動(dòng)方向以及頻率，能夠形成在第1方向以及第2方向延伸的線狀圖形。
另一方面，本發(fā)明的設(shè)備制造方法，包括在基板上形成薄膜的制膜工序，所具有的特征是，使用上述制膜方法進(jìn)行上述制膜工序。
本發(fā)明的設(shè)備，所具有的特征是，采用上述設(shè)備制造方法制造出來(lái)。
本發(fā)明的電子機(jī)器，所具有的特征是，具有上述設(shè)備。
因此，本發(fā)明能夠在基板上形成凹凸較少的平坦且膜厚均勻的薄膜，從而能夠得到顯示品質(zhì)等品質(zhì)高的設(shè)備以及電子機(jī)器。
本發(fā)明的制膜裝置，具有向基板噴出液滴的液滴噴頭，所具有的特征是，具有控制裝置，其控制上述液滴噴頭的驅(qū)動(dòng)，使其向上述基板以多種大小噴出上述液滴；和振動(dòng)發(fā)生裝置，使上述基板上的液滴以不同的振動(dòng)特性進(jìn)行振動(dòng)。
因此，本發(fā)明由于使相鄰的液滴以對(duì)應(yīng)于其大小的不同相位(周期)進(jìn)行振動(dòng)，使液滴之間互相碰撞，從而較容易融合。另外，融合變成大液滴之后，振動(dòng)周期也隨之變化，因此更容易與其他液滴碰撞并融合，從而能夠通過(guò)使所有液滴融合而形成具有均勻膜厚的薄膜。其結(jié)果是，能夠防止給具有該薄膜的器件的特性帶來(lái)不良影響。
本發(fā)明的設(shè)備制造裝置，具有在基板上形成薄膜的制膜裝置，所具有的特征是，使用上述制膜裝置作為上述制膜裝置。
因此，本發(fā)明能夠在基板上形成凹凸較少的平坦且膜厚均勻的薄膜，從而能夠得到顯示品質(zhì)等品質(zhì)高的設(shè)備。


圖1為表示有關(guān)本發(fā)明的液滴涂敷裝置的概要斜視圖。
圖2為表示固定器經(jīng)壓電元件被設(shè)置在平臺(tái)上的局部截面圖。
圖3為表示固定器與壓電元件之間的配置關(guān)系的示意圖。
圖4為表示基于壓電方式的液體噴出原理的示意圖。
圖5為表示涂敷大小不同的液滴的示意圖。
圖6為表示基板上的液滴的振動(dòng)的示意圖。
圖7為表示基板上形成有厚度均勻的膜的截面圖。
圖8為表示大小不同的液滴互相融合的示意圖。
圖9為表示形成在X軸方向以及Y軸方向延伸的膜的動(dòng)作的示意圖。
圖10為表示適用本發(fā)明的開(kāi)關(guān)元件以及信號(hào)線等的等效電路圖。
圖11為表示適用本發(fā)明的TFT陣列基板的構(gòu)造的平面圖。
圖12為表示適用本發(fā)明的液晶顯示裝置的要部截面13為表示適用本發(fā)明的濾色器的模式圖。
圖14為表示適用本發(fā)明的濾色器的模式圖。
圖15為表示本發(fā)明的電子機(jī)器的具體例的示意圖。
圖中P、2…基板，20…液滴噴頭，25…控制裝置，30…液滴涂敷裝置(制膜裝置)，34～38、71～73…壓電元件(振動(dòng)發(fā)生裝置)，97a…液滴群(第1液滴群)，97b…液滴群(第2液滴群)，99、99a～99e…液滴(墨滴)，600…移動(dòng)電話機(jī)主體(電子機(jī)器)，700…信息處理裝置(電子機(jī)器)，800…手表主體(電子機(jī)器)具體實(shí)施方式

下面對(duì)照?qǐng)D1～圖15，對(duì)本發(fā)明的制膜方法、制膜裝置、設(shè)備制造方法、設(shè)備制造裝置及設(shè)備以及電子機(jī)器的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
(實(shí)施方式1)首先對(duì)設(shè)備制造裝置所具有的制膜裝置進(jìn)行說(shuō)明。
圖1為作為制膜裝置的液滴涂敷裝置30的概要外觀斜視圖。
液滴涂敷裝置30具有基座32、第1移動(dòng)單元34、第2移動(dòng)單元16、圖中所未顯示的電子天平(重量測(cè)定單元)、液滴噴頭20、壓蓋單元22、清潔單元24等。第1移動(dòng)單元34、電子天平、壓蓋單元22、清潔單元24以及第2移動(dòng)單元16分別都設(shè)置在基座32上。
第1移動(dòng)單元34最好直接設(shè)置在基座32上，且在Y軸上決定該第1移動(dòng)單元34的位置。與此相對(duì)，第2移動(dòng)單元16使用支柱16A、16A，站立設(shè)置在基座32上，且該第2移動(dòng)單元16被安裝在基座32的后部32A上。第2移動(dòng)單元16的X軸方向與第1移動(dòng)單元34的Y軸方向垂直。Y軸為沿著基座32的前部32B與后部32A方向的軸。與此相對(duì)，X軸為沿著基座32的左右方向的軸，分別都是水平的。
第1移動(dòng)單元34具有導(dǎo)軌40、40，作為第1移動(dòng)單元34，例如可以采用線性馬達(dá)。該線性馬達(dá)式的第1移動(dòng)單元34的滑塊42能夠沿著導(dǎo)軌40在Y軸方向上移動(dòng)并確定位置。平臺(tái)46決定作為工件的基板2的位置，并保持該基板2。另外，平臺(tái)46具有吸附保持單元50，能夠通過(guò)吸附保持單元50的工作，經(jīng)平臺(tái)46的孔46A，將基板2吸附到平臺(tái)46上并進(jìn)行保持。平臺(tái)46上，設(shè)置有用來(lái)讓液滴噴頭20進(jìn)行清除或試噴(預(yù)噴出)的預(yù)噴出區(qū)域52。
另外，雖然圖1中省略了圖示，但實(shí)際上基板2如圖2所示，被固定在經(jīng)壓電元件(振動(dòng)發(fā)生裝置)71～73而被安裝在平臺(tái)46上的矩形保持器70上。壓電元件71～73，在控制裝置29(參考圖3)的控制下，分別在作為液滴噴出方向的Z方向上獨(dú)立伸縮，如圖3所示，壓電元件71被配置在保持器70的下方(-Z側(cè))且在+Y側(cè)邊的中央部位。另外，壓電元件72、73被配置在保持器70的下方且被隔開(kāi)配置在-Y側(cè)邊的兩端。
另外，保持器70的側(cè)面，與通過(guò)支柱39(參考圖2，圖2中僅顯示了壓電元件34、35)被支撐在平臺(tái)46上的壓電元件(振動(dòng)發(fā)生裝置)34～35、36～38擋接。壓電元件34～35分別被配置在夾持保持器70的X方向的兩側(cè)的中央部，在控制裝置29的控制下，分別在沿著基板2的表面的X方向獨(dú)立伸縮。
壓電元件36被配置在保持器70的-Y側(cè)的中央部，壓電元件37、38被配置在保持器70的+Y側(cè)，且二者之間有一定的間隔。這些壓電元件34～38，在控制裝置29的控制下，分別在沿著基板2的表面的Y方向獨(dú)立伸縮。
在支柱16A、16A上固定有橫梁16B，在該橫梁16B上設(shè)置了線性馬達(dá)式的第2移動(dòng)單元16?；瑝K60能夠沿著導(dǎo)軌62A在X軸方向上移動(dòng)并確定位置，滑塊60上設(shè)有作為液滴噴出單元的液滴噴頭20。
滑塊42備有θ軸用馬達(dá)44。該馬達(dá)44例如是直接驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，馬達(dá)44的轉(zhuǎn)子被固定在平臺(tái)46上。這樣，通過(guò)給馬達(dá)44通電，能夠使轉(zhuǎn)動(dòng)部與平臺(tái)46沿著θ方向旋轉(zhuǎn)并對(duì)平臺(tái)46分度(旋轉(zhuǎn)分度)。
液滴噴頭20具有作為擺動(dòng)位置確定裝置的馬達(dá)62、64、66、68。馬達(dá)62動(dòng)作之后，能夠使液滴噴頭20沿著Z軸上下移動(dòng)并確定位置。該Z軸是分別垂直于X軸與Y軸的方向(上下方向)。馬達(dá)64動(dòng)作之后，能夠使液滴噴頭20沿著環(huán)繞Y軸的β方向擺動(dòng)并確定位置。馬達(dá)66動(dòng)作之后，能夠使液滴噴頭20沿著環(huán)繞X軸的γ方向擺動(dòng)并確定位置。馬達(dá)68動(dòng)作之后，能夠使液滴噴頭20沿著環(huán)繞Z軸的α方向擺動(dòng)并確定位置。
這樣，圖1的液滴噴頭20能夠通過(guò)滑塊60在X軸方向上直線移動(dòng)并確定位置，且能夠沿著α、β、γ方向擺動(dòng)并確定位置，液滴噴頭20的噴墨面20P能夠控制相對(duì)于平臺(tái)46側(cè)的基板2的正確的位置或姿勢(shì)。另外，液滴噴頭20的噴墨面20P分別設(shè)有多個(gè)(例如120個(gè))作為用來(lái)噴墨的噴出部的噴嘴。
這里，對(duì)照?qǐng)D4對(duì)液滴噴頭20的構(gòu)造例進(jìn)行說(shuō)明。液滴噴頭20采用例如壓電元件，如圖4(A)所示，在噴頭主體90的噴墨面20P上，形成有多個(gè)噴嘴(噴出部)91。相對(duì)這些噴嘴91分別設(shè)置有壓電元件92。如圖4(B)所示，壓電元件92被配置為與噴嘴91以及儲(chǔ)墨室93相對(duì)應(yīng)，例如位于一對(duì)電極(圖中未顯示)之間，給其通電之后便會(huì)向外側(cè)突出而彎曲。這樣，通過(guò)給該壓電元件92加載如圖4(C)所示的加載電壓Vh，如圖4(D)、(F)以及(E)所示，使壓電元件92在箭頭Q的方向上伸縮，給墨水加壓，從而從噴嘴91噴出給定量的液滴(墨滴)99。這些壓電元件92的驅(qū)動(dòng)，也即液滴噴頭20的液滴噴出由控制裝置25(參考圖1)控制。
回到圖1，電子天平為了測(cè)定并管理從液滴噴頭20的噴嘴所噴出的液滴中的1滴的重量，例如從液滴噴頭20的噴嘴接收5000滴左右的墨滴。電子天平通過(guò)將該5000滴液滴的重量除以5000，能夠大致正確測(cè)定出1滴液滴的重量。根據(jù)該液滴的測(cè)定量，能夠?qū)⒁旱螄婎^20所噴出的液滴量控制為最佳值。
下面首先對(duì)上述構(gòu)成的液滴涂敷裝置30中，由壓電元件34～38、71～73的驅(qū)動(dòng)來(lái)產(chǎn)生振動(dòng)進(jìn)行說(shuō)明。
各個(gè)壓電元件34～38、71～73被控制裝置29以給定的頻率、驅(qū)動(dòng)波形加載驅(qū)動(dòng)電壓，以對(duì)應(yīng)于該驅(qū)動(dòng)電壓的周期、行程進(jìn)行伸縮，通過(guò)與其擋接的保持器70向基板2傳遞該伸縮。換而言之，壓電元件34～38、71～73給予基板2對(duì)應(yīng)于驅(qū)動(dòng)電壓的頻率、振幅的振動(dòng)。
例如，在通過(guò)同一驅(qū)動(dòng)電壓(以下稱(chēng)作頻率、振幅、相位等振動(dòng)參數(shù))驅(qū)動(dòng)壓電元件71～73的情況下，能夠讓基板2在Z方向振動(dòng)，在通過(guò)同一振動(dòng)參數(shù)驅(qū)動(dòng)壓電元件72、73，且通過(guò)與之不同的振動(dòng)參數(shù)驅(qū)動(dòng)壓電元件71的情況下，能夠讓基板2在圍繞著平行于X軸的軸旋轉(zhuǎn)的方向振動(dòng)。另外，通過(guò)調(diào)整這些壓電元件71～73的振動(dòng)參數(shù)，能夠讓基板2在圍繞著平行于Y軸的軸旋轉(zhuǎn)的方向振動(dòng)。
另外，在通過(guò)相位錯(cuò)開(kāi)的振動(dòng)參數(shù)驅(qū)動(dòng)壓電元件34、35的情況下，能夠讓基板2在X方向振動(dòng)，在通過(guò)同樣的振動(dòng)參數(shù)驅(qū)動(dòng)壓電元件37、38，且通過(guò)相位與其錯(cuò)開(kāi)的振動(dòng)參數(shù)驅(qū)動(dòng)壓電元件36的情況下，能夠讓基板2在Y方向振動(dòng)。進(jìn)一步，通過(guò)調(diào)整這些壓電元件36～38的振動(dòng)參數(shù)，能夠讓基板2在圍繞著平行于Z軸的軸旋轉(zhuǎn)的方向振動(dòng)。
也即，通過(guò)控制壓電元件34～38、71～73的振動(dòng)參數(shù)，能夠讓基板在X方向、Y方向、Z方向、圍繞X軸的旋轉(zhuǎn)方向、圍繞Y軸的旋轉(zhuǎn)方向、圍繞Z軸的旋轉(zhuǎn)方向這6個(gè)方向自由振動(dòng)。
接下來(lái)，對(duì)通過(guò)上述液滴涂敷裝置30給基板2涂敷液滴的處理進(jìn)行說(shuō)明。
將基板2從平臺(tái)46的前端側(cè)裝載到第1移動(dòng)單元34的平臺(tái)46上，使該基板2被吸附保持在平臺(tái)46上并決定其位置。之后，馬達(dá)44動(dòng)作，將基板2的端面設(shè)置為與Y軸方向平行。
接下來(lái)，通過(guò)第1移動(dòng)單元34在Y軸方向適當(dāng)移動(dòng)基板2并決定其位置，同時(shí)，通過(guò)第2移動(dòng)單元16在X軸方向適當(dāng)移動(dòng)液滴噴頭20并決定其位置。這樣，液滴噴頭20在從全體噴嘴對(duì)著預(yù)噴出區(qū)域52預(yù)噴出液滴之后，移動(dòng)到開(kāi)始對(duì)基板2進(jìn)行噴出的位置上。
這樣，使液滴噴頭20與基板2在Y軸方向相對(duì)移動(dòng)給定的行程(實(shí)際上是使基板2相對(duì)液滴噴頭20向著-Y方向移動(dòng))，從噴嘴91向基板2表面上的給定區(qū)域(給定位置)噴出液滴。
此時(shí)，控制裝置25對(duì)液滴噴頭20的壓電元件92控制驅(qū)動(dòng)電壓(驅(qū)動(dòng)波形)，如圖5所示，噴出大小不同的液滴99a、99b。這里，液滴的大小為兩種，設(shè)直徑大的液滴為99a，直徑小的液滴為99b來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。
另外，控制裝置25控制液滴噴頭20(壓電元件92)的驅(qū)動(dòng)以及第1移動(dòng)單元34、第2移動(dòng)單元16的驅(qū)動(dòng)，使得這些大小不同的液滴99a與液滴99b相鄰。
這里，對(duì)基板2上的液滴99a、99b的振動(dòng)特性進(jìn)行說(shuō)明。
通過(guò)液滴噴出而著落到基板2上的微小液滴，因?yàn)槠浔砻鎻埩Γ砻嫘螤钭兂汕蛎娴囊徊糠?。控制裝置25通過(guò)壓電元件34～38、71～73、保持器70以及基板2，讓這些液滴振動(dòng)，以由液滴直徑、彈性常數(shù)、粘度、表面張力、接觸角度等所決定的固有振動(dòng)頻率(共振頻率)進(jìn)行振動(dòng)(共振)。在液滴噴頭20連續(xù)噴出液滴的情況下，由于液滴的各個(gè)物理屬性可以認(rèn)為相同，因此液滴的固有振動(dòng)頻率(振動(dòng)特性)僅僅由直徑?jīng)Q定，用下面的公式表示f=cσR3ρ---(1)]]>式中，f頻率，c常數(shù)，σ表面張力，ρ密度，R液滴半徑。
如上所述，液滴的固有振動(dòng)頻率與直徑d(R×2)的(-3/2)次方成正比，因此直徑不同的液滴99a、99b以不同的周期振動(dòng)。其結(jié)果是，例如圖6(a)所示，相鄰配置的液滴99a、99b如圖6(b)、(c)所示，液滴相互之間碰撞并融合。這樣，液滴之間融合之后變成更大的液滴，振動(dòng)周期也發(fā)生變化，因此繼續(xù)和其他液滴碰撞融合。這樣，通過(guò)反復(fù)操作液滴之間的碰撞與融合，如圖7所示，在基板2上形成了平坦且膜厚均勻的膜98。
此時(shí)，由于液滴99a、99b的直徑d是已知的，在控制裝置25通過(guò)壓電元件34～38、71～73、保持器70以及基板2，以例如小直徑的液滴99b的共振頻率產(chǎn)生振動(dòng)的情況下，如果液滴99a的共振頻率fa為(2×fb)左右，由于液滴99a幾乎不動(dòng)，而液滴99b的振動(dòng)較大，因此變成液滴99b對(duì)液滴99a進(jìn)行碰撞，促進(jìn)了液滴之間的融合。
這樣，本實(shí)施方式中，由于在基板2上涂敷多個(gè)大小不同的液滴99a、99b，并使其以不同的振動(dòng)特性進(jìn)行振動(dòng)，因此能夠使相鄰的液滴之間充分碰撞并融合。所以，本實(shí)施方式能夠容易且可靠地形成平坦且具有均勻膜厚的薄膜，防止給具有該薄膜的器件特性帶來(lái)不良影響，也即防止發(fā)生換行錯(cuò)位從而降低顯示品質(zhì)。另外，即使在涂敷粘度相對(duì)較大的材料的液滴的情況下，也能夠容易的形成均勻的膜厚。
另外，本實(shí)施方式，由于以根據(jù)液滴99b的固有振動(dòng)頻率的頻率產(chǎn)生振動(dòng)，因此能夠使液滴間的運(yùn)動(dòng)差別較大，進(jìn)行高效的碰撞并促進(jìn)融合，同時(shí)還能夠使液滴99b開(kāi)始振動(dòng)的時(shí)間較短，也有助于生產(chǎn)率的提高。
(實(shí)施方式2)上述實(shí)施方式1中，對(duì)使2種大小不同的液滴99a、99b以一定的頻率振動(dòng)的情況進(jìn)行了說(shuō)明，本實(shí)施方式中，對(duì)變化頻率而產(chǎn)生振動(dòng)的情況進(jìn)行說(shuō)明。
如圖8(a)所示，本實(shí)施方式中，基板2上涂敷有3種大小的液滴99a～99c(直徑99a＞＞99b＞99c)?？刂蒲b置25通過(guò)控制壓電元件34～38、71～73的驅(qū)動(dòng)，在包括分別對(duì)應(yīng)液滴99a～99c的大小的固有振動(dòng)頻率(共振頻率)fa、fb、fc(由上式得知fa＜fb＜fc)的范圍內(nèi)，變更所產(chǎn)生的振動(dòng)的頻率。
此時(shí)，控制裝置25使頻率從高向低變化(掃描)。這種情況下，首先，共振頻率最高的液滴99c強(qiáng)烈振動(dòng)(共振)，例如圖8(b)所示，通過(guò)與相鄰的液滴99b碰撞并融合而形成液滴99d。另外，振動(dòng)頻率變?yōu)閒b時(shí)也一樣，液滴99b發(fā)生共振并與相鄰的液滴碰撞融合。之后，繼續(xù)變更頻率，使液滴99a發(fā)生共振并與相鄰的液滴碰撞融合。
此時(shí)，在例如圖8(b)所示的那樣，液滴99d的直徑大于液滴99a的情況下，通過(guò)使液滴99a先共振并與液滴99d碰撞，如圖8(c)所示，形成更大的液滴99e。另外，在液滴99a的直徑比液滴99d的直徑大的情況下，液滴99d先共振并碰撞液滴99a。
這樣，本實(shí)施方式中，通過(guò)變更振動(dòng)頻率使所有大小的液滴順次共振，能夠使液滴之間碰撞，因此能夠使液滴有效融合，更加有助于膜厚的均勻化。特別是本實(shí)施方式中，由于使振動(dòng)頻率從高向低變化，因此通過(guò)融合，使即使固有振動(dòng)頻率變小的液滴也能夠進(jìn)行共振，從而能夠使液滴更加有效融合。
(實(shí)施方式3)實(shí)施方式3中，對(duì)通過(guò)振動(dòng)，形成線狀的膜的情況進(jìn)行說(shuō)明。
本實(shí)施方式中，例如圖9(a)所示，沿著X軸方向(第1方向)以多種大小(至少相鄰的液滴大小不同)涂敷大直徑的液滴群(第1液滴群)97a，在夾持液滴群97a的Y方向兩側(cè)，沿著Y軸方向(第2方向)以多種大小(至少相鄰的液滴大小不同)涂敷小直徑的液滴群(第2液滴群)97b。
從給定范圍(第1范圍)內(nèi)選擇液滴群97a的大小并進(jìn)行涂敷，從與液滴群97a不同的范圍(第2范圍)內(nèi)選擇液滴群97b的大小并進(jìn)行涂敷。
另外，液滴群97a、97b中至少相鄰的液滴的大小是不同的，但圖9(a)為了方便起見(jiàn)，各個(gè)群內(nèi)的液滴以相同的大小進(jìn)行圖示。
控制裝置25，通過(guò)驅(qū)動(dòng)壓電元件36～38，讓液滴群97b在Y軸方向振動(dòng)。此時(shí)，通過(guò)使振動(dòng)頻率為在第2范圍內(nèi)的液滴的共振頻率fb，能夠使液滴群97a的液滴幾乎不動(dòng)，而使液滴群97b共振。
這樣，液滴群97b中的液滴之間碰撞、融合，如圖9(b)所示，在X軸方向上以一定的間隔形成多個(gè)在Y軸方向延伸的線狀膜(圖形)98b。
另外，控制裝置25，通過(guò)驅(qū)動(dòng)壓電元件34、35，讓液滴群97a在X軸方向振動(dòng)。此時(shí)，通過(guò)使振動(dòng)頻率為大小在第1范圍內(nèi)的液滴的共振頻率fa，能夠使液滴群97b的液滴幾乎不動(dòng)，而使液滴群97a共振。
這樣，液滴群97a中的液滴之間碰撞、融合，如圖9(b)所示，形成在X軸方向延伸的線狀膜(圖形)98a。
這樣，本實(shí)施方式通過(guò)適當(dāng)選擇振動(dòng)方向以及其頻率，能夠分別形成在X軸方向以及Y軸方向延伸的線狀的圖形。
(實(shí)施方式4)下面，對(duì)作為通過(guò)上述制膜方法制膜薄膜所制造出來(lái)的設(shè)備的液晶顯示裝置進(jìn)行說(shuō)明。
本發(fā)明在制造圖10～圖12中所示的液晶顯示裝置時(shí)也能夠適用。本實(shí)施方式的液晶顯示裝置，是采用作為開(kāi)關(guān)元件的TFT(ThinFilmTransistor)元件的有源矩陣式的透過(guò)型液晶裝置。圖10為該透過(guò)型液晶裝置的矩陣狀配置的多個(gè)象素中的開(kāi)關(guān)元件、信號(hào)線等的等效電路圖。圖11為表示數(shù)據(jù)線、掃描線、象素電極等所形成的TFT陣列基板所相鄰的多個(gè)象素群的構(gòu)造的要部平面圖。圖12為圖11中的A-A′線截面圖。另外，圖12中所顯示的情況下，圖示的上方為光入射側(cè)，圖示的下方為觀測(cè)側(cè)(觀察者側(cè))。另外，各個(gè)圖中，為了使各層以及各個(gè)部件在圖面上能夠被盡可能地識(shí)別，各圖中的各層以及各個(gè)部件的比例尺都不一樣。
本實(shí)施方式的液晶顯示裝置，如圖10所示，矩陣狀配置的多個(gè)象素中，分別形成有象素電極109，以及作為用來(lái)進(jìn)行對(duì)該象素電極109的通電控制的開(kāi)關(guān)元件的TFT元件130，被提供圖像信號(hào)的數(shù)據(jù)線106a與該TFT元件130的源極電連接。寫(xiě)入到數(shù)據(jù)線106a中的圖像信號(hào)S1、S2、…、Sn，以該順序順次被提供給數(shù)據(jù)線，或者向相鄰的多個(gè)數(shù)據(jù)線106a成組提供。另外，掃描線103a與TFT元件130的柵極電連接，以給定的時(shí)序順次給多個(gè)掃描線103a以脈沖形式提供掃描信號(hào)G1、G2、…、Gm。另外，象素電極109與TFT元件130的漏極電連接，通過(guò)使作為開(kāi)關(guān)元件的TFT元件130在一定的期間導(dǎo)通，以給定的時(shí)序?qū)懭霐?shù)據(jù)線106a所提供的圖像信號(hào)S1、S2、…、Sn。通過(guò)象素電極109寫(xiě)入到液晶中的給定電平的圖像信號(hào)S1、S2、…、Sn，與后述的共通電極之間保持一定的期間。液晶能夠通過(guò)所加載的電壓電平來(lái)變化分子集合的取向以及秩序，從而調(diào)制光，進(jìn)行灰度顯示。這里，為了防止所保持的圖像信號(hào)的泄漏，除了象素電極109與共通電極之間所形成的液晶電容之外，還附加有積蓄電容170。
接下來(lái)，對(duì)照?qǐng)D11，對(duì)本發(fā)明的液晶顯示裝置的重要部位的平面構(gòu)造進(jìn)行說(shuō)明。如圖11所示，TFT陣列基板上，以矩陣狀設(shè)置有多個(gè)銦錫氧化物(Indium Tin Oxide，以下簡(jiǎn)稱(chēng)ITO)等透明導(dǎo)電性材料所構(gòu)成的矩形象素電極109(通過(guò)虛線部分109A顯示其輪廓)，沿著象素電極109的縱橫邊界分別配置有數(shù)據(jù)線106a、掃描線103a以及電容線103b。各個(gè)象素電極109，與對(duì)應(yīng)于掃描線103a和數(shù)據(jù)線106a的各個(gè)交叉部所設(shè)置的TFT元件130電連接，形成能夠以每個(gè)象素進(jìn)行顯示的構(gòu)造。數(shù)據(jù)線106a，通過(guò)連接孔105，與構(gòu)成TFT元件130的例如多晶硅所構(gòu)成的半導(dǎo)體層101a中的后述的源極區(qū)域電連接，象素電極109通過(guò)連接孔108與半導(dǎo)體層101a中的后述的漏極區(qū)域電連接。另外，半導(dǎo)體層101a中，配置有與后述的溝道區(qū)域(圖中左上斜線部分)相面對(duì)的掃描線103a，掃描線103a在與溝道區(qū)域相面對(duì)的部分，具有作為柵電極的功能。電容線103b具有沿著掃描線103a呈略直線狀延伸的主線部(也即，從平面上看，沿著掃描線103a所形成的第1區(qū)域)，以及從與數(shù)據(jù)線106a相交叉處沿著數(shù)據(jù)線106a向前段方(圖中為向上)突出的突出部(也即，從平面上看，沿著數(shù)據(jù)線106a延伸設(shè)置的第2區(qū)域)。
接下來(lái)對(duì)照?qǐng)D12，對(duì)本實(shí)施方式的液晶顯示裝置的截面構(gòu)造進(jìn)行說(shuō)明。圖12如上所述，是圖11的A-A′截面圖，用來(lái)說(shuō)明TFT元件130所形成的區(qū)域的構(gòu)造。本實(shí)施方式的液晶顯示裝置中，TFT陣列基板110以及與其相對(duì)向配置的基板120之間夾持有液晶層150。TFT陣列基板110以透光性的基板主體110A、形成在該液晶層150側(cè)的表面的TFT元件130、象素電極109以及取向膜140為主體而構(gòu)成，對(duì)置基板120以透光性的塑料基板120A、形成在該液晶層150側(cè)的表面的共通電極121以及取向膜160為主體而構(gòu)成。
這樣，各個(gè)基板110、120通過(guò)分隔器115保持給定的基板間隔(間隙)。TFT陣列基板110中，基板主體110A的液晶層150側(cè)的表面上設(shè)置有象素電極109，與各個(gè)象素電極109相鄰接的位置上，設(shè)置有開(kāi)關(guān)控制各個(gè)象素電極的象素開(kāi)關(guān)用TFT元件130。
象素開(kāi)關(guān)用TFT元件130具有LDD(Lightly Doped Drain)構(gòu)造，具有掃描線103a、通過(guò)來(lái)自該掃描線103a的電場(chǎng)而形成為溝道的半導(dǎo)體層101a的溝道區(qū)域101a′、絕緣掃描線103a與半導(dǎo)體層101a的柵絕緣膜102、數(shù)據(jù)線106a、半導(dǎo)體層101a的低濃度源極區(qū)域101b以及低濃度漏極區(qū)域101c、半導(dǎo)體層101a的高濃度源極區(qū)域101d以及高濃度漏極區(qū)域101e。上述掃描線103a上，在柵絕緣膜102上所包含的基板主體110A上形成有開(kāi)設(shè)了連通高濃度源極區(qū)域101d的連接孔105，以及連通高濃度漏極區(qū)域101e的連接孔108的第2層間絕緣膜104。也即，數(shù)據(jù)線106a通過(guò)貫通第2層間絕緣膜104的連接孔105與高濃度源極區(qū)域101d電連接。另外，在數(shù)據(jù)線106a上以及第2層間絕緣膜104上，形成有開(kāi)設(shè)了連通高濃度漏極區(qū)域101e的連接孔108的第3層間絕緣膜107。也即，高濃度漏極區(qū)域101e通過(guò)貫通第2層間絕緣膜104以及第3層間絕緣膜107的連接孔108與象素電極109電連接。
本實(shí)施方式中，通過(guò)從與掃描線103相面對(duì)的位置開(kāi)始延伸設(shè)置柵絕緣膜102，作為電介質(zhì)膜使用，將延伸設(shè)置的半導(dǎo)體膜101a作為第1積蓄電容電極101f，并且將與它們相面對(duì)的電容線103b的一部分作為第2積蓄電容電極，構(gòu)成積蓄電容170。另外，TFT陣列基板110A與象素開(kāi)關(guān)用TFT元件130之間，形成有用來(lái)使構(gòu)成象素開(kāi)關(guān)用TFT元件130的半導(dǎo)體層101a與TFT陣列基板110A電絕緣的第1層間絕緣膜112。進(jìn)一步，在TFT陣列基板110的液晶層150側(cè)的最外側(cè)，也即象素電極109以及第3層間絕緣膜107上，形成有控制沒(méi)有加載電壓時(shí)的液晶層150內(nèi)的液晶分子的取向的取向膜140。
因此，在具有這樣的TFT元件130的區(qū)域上，TFT陣列基板110的液晶層150側(cè)的最外側(cè)，也即液晶層150的夾持面上，形成有多個(gè)凹凸或者段差。另外，對(duì)置基板120上，在基板主體120A的液晶層150側(cè)的表面上，在與數(shù)據(jù)線106a、掃描線103a、象素開(kāi)關(guān)用TFT元件130的形成區(qū)域(非象素區(qū)域)相面對(duì)的區(qū)域上，設(shè)置有用來(lái)防止入射光侵入象素開(kāi)關(guān)用TFT元件130的半導(dǎo)體層101a的溝道區(qū)域101a′以及低濃度源極區(qū)域101b、低濃度漏極區(qū)域101c的第2遮光膜123。另外，在形成有第2遮光膜123的基板主體120A的液晶層150側(cè)，形成有大約遍及其全表面的ITO等所制成的共通電極121，該液晶層150側(cè)，形成有控制沒(méi)有加載電壓時(shí)的液晶層150內(nèi)的液晶分子的取向的取向膜160。
本實(shí)施方式，能夠通過(guò)使用上述的制膜方法涂敷含有金屬微粒的液滴，形成數(shù)據(jù)線106a、構(gòu)成柵電極的掃描線103a、電容線103b以及象素電極109等，通過(guò)涂敷液晶組成物質(zhì)的液滴能夠形成液晶層150。另外，通過(guò)涂敷含有取向膜形成材料的液滴，能夠形成取向膜140、160。
由上述制膜方法所形成的金屬布線凹凸較少且膜厚均勻，能夠防止給器件的特性帶來(lái)電阻增大等不良影響另外，由上述制膜方法所形成的液晶層以及取向膜，凹凸較少，還能夠抑制膜厚不均勻所引起的顯示不均勻的產(chǎn)生，有助于品質(zhì)的提高。
(實(shí)施方式5)本發(fā)明還可以應(yīng)用于作為濾色器的構(gòu)成要素的膜的形成中。下面對(duì)照?qǐng)D13以及圖14，對(duì)通過(guò)繪圖處理以及薄膜形成處理(制膜處理)制造濾色器基板的例進(jìn)行說(shuō)明。
圖13為表示形成在基板P上的濾色器的示意圖。圖14為表示濾色器的制造順序的示意圖。如圖13所示，本例中在長(zhǎng)方形的基板P上，從提高生產(chǎn)性的觀點(diǎn)出發(fā)，呈矩陣狀形成有多個(gè)濾色器區(qū)域251。之后通過(guò)將這些濾色器區(qū)域251與基板P切斷，能夠作為適用于液晶顯示裝置的濾色器而使用。濾色器區(qū)域251，由R(紅)色液體組成物、G(綠)色液體組成物以及B(藍(lán))色液體組成物分別形成給定的圖形，本例中通過(guò)以前所公知的條型形成。
另外，該形成圖形除條型之外，還可以是馬賽克型、三角型或正方型。
為了形成這樣的濾色器區(qū)域251，首先如圖14(a)所示，在透明基板P的一側(cè)面上形成圍堰252。該圍堰252的形成方法是在旋轉(zhuǎn)覆蓋之后進(jìn)行曝光、顯像。從平面看圍堰252形成為格子狀，格子所包圍的圍堰內(nèi)部配置墨水。此時(shí)，圍堰252最好具有抗液性。另外，圍堰252最好還具有作為黑底的功能。
接下來(lái)如圖14(b)所示，從上述液滴噴頭噴出液體組成物的液滴254，看落到濾光器元件253中。關(guān)于所噴出的液滴254的量，在考慮了加熱工序中液體組成物的體積會(huì)減少的情況下足夠的量。這樣，給基板P上所有的濾光器元件253填充液滴254，使用加熱器將基板P加熱到給定的溫度(例如70℃左右)來(lái)進(jìn)行加熱處理。通過(guò)該加熱處理，使液體組成物的溶劑蒸發(fā)，液體組成物的體積減少。在該體積變化劇烈的情況下，需要反復(fù)進(jìn)行液滴噴出工序與加熱工序，直到得到足夠作為濾色器的膜厚。通過(guò)該處理，液體組成物中所包含的溶劑被蒸發(fā)，最終只殘留液體組成物中所包含的固體成分，進(jìn)行膜化，形成如圖14(c)所示的濾色器255。
接下來(lái)使基板P平坦化，且為了保護(hù)濾色器255，如圖14(d)所示，在基板P上形成覆蓋濾色器255以及圍堰252的保護(hù)膜256。形成該保護(hù)膜256時(shí)，可以采用旋轉(zhuǎn)覆蓋法、輥涂法、剝離(ripping)法等方法，也可以和濾色器255一樣，通過(guò)液滴噴出法來(lái)進(jìn)行。接下來(lái)如圖14(e)所示，在該保護(hù)膜256的全表面上，通過(guò)噴濺法或真空蒸鍍法等形成透明導(dǎo)電膜257。之后，對(duì)透明導(dǎo)電膜257進(jìn)行圖形成形，如圖14(f)所示，形成與濾光器元件253相對(duì)應(yīng)的象素電極。另外，在液晶顯示面板的驅(qū)動(dòng)中使用TFT(Thin Film Transistor)的情況下，不需要進(jìn)行該圖形成形。
本實(shí)施方式中，能夠在形成濾色器255以及象素電極258保護(hù)膜256時(shí)使用本發(fā)明的制膜方法以及設(shè)備制造方法。
本實(shí)施方式中，使用上述制膜方法，通過(guò)將R、G、B的液體組成物涂敷到對(duì)應(yīng)的濾色器區(qū)域251上，能夠制造出濾色器。這樣，能夠得到凹凸較少且具有大體均勻的膜厚的濾色器，從而能夠提高顯示品質(zhì)。
另外，保護(hù)膜256也能夠通過(guò)上述制膜方法形成，由于能夠使表面平坦，從而能夠提高顯示品質(zhì)。
另外，本發(fā)明并不僅限于上述液晶顯示用濾色器的制造，還可以應(yīng)用于作為設(shè)備的例子，例如等離子體型顯示裝置以及EL(電致發(fā)光)顯示設(shè)備或半導(dǎo)體設(shè)備的金屬布線的形成中。
EL顯示設(shè)備，由陽(yáng)極和陰極夾持含有熒光性的無(wú)機(jī)或有機(jī)化合物的薄膜而構(gòu)成，通過(guò)給上述薄膜注入電子以及空穴(hole)并進(jìn)行再結(jié)合，生成激發(fā)子(exciton)，利用該激發(fā)子失去活性時(shí)的發(fā)光(熒光、磷光)而進(jìn)行發(fā)光。這樣的EL顯示器件中，空穴注入層、發(fā)光層、密封層、透明電極等能夠通過(guò)上述制膜方法形成。
本發(fā)明中的設(shè)備的范圍中，包括這種EL顯示設(shè)備以及等離子體型顯示設(shè)備。
(實(shí)施方式6)下面對(duì)作為實(shí)施方式6的本發(fā)明的電子機(jī)器的具體例進(jìn)行說(shuō)明。
圖15(a)為表示移動(dòng)電話機(jī)一例的斜視圖。圖15(a)中，600表示移動(dòng)電話機(jī)主體，601表示具有上述實(shí)施方式的液晶顯示裝置的液晶顯示部。
圖15(b)為表示文字處理器、個(gè)人計(jì)算機(jī)等便攜式信息處理裝置的一例的斜視圖。圖15(b)中，700表示信息處理裝置，701表示鍵盤(pán)等輸入部，703表示信息處理主體，702表示具有上述實(shí)施方式的液晶顯示裝置的液晶顯示部。
圖15(c)為表示手表型電子機(jī)器的一例的斜視圖。圖15(c)中，800表示手表主體，801表示具有上述實(shí)施方式的液晶顯示裝置的液晶顯示部。
圖15(a)～(c)中所示的電子機(jī)器，由于設(shè)置有上述實(shí)施方式的液晶顯示裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)高品質(zhì)化。
另外，本實(shí)施方式的電子機(jī)器具有液晶裝置，但也可以是具有有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置、等離子體型顯示裝置等其他電光學(xué)裝置的電子機(jī)器。
以上對(duì)照附圖對(duì)本發(fā)明的最佳實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明并不僅限于所說(shuō)明的例子。上述例子中所說(shuō)明的各個(gè)構(gòu)成部件的形狀以及組合等僅僅是一個(gè)例子，可以在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)根據(jù)設(shè)計(jì)要求進(jìn)行各種變更。
例如在上述實(shí)施方式1中，對(duì)通過(guò)本發(fā)明的制膜方法，形成濾色器或金屬布線的方式進(jìn)行了說(shuō)明，除此之外，也可以適用于在基板上形成光波導(dǎo)等光學(xué)元件的情況，以及制造抗蝕劑膜或微透鏡陣列時(shí)。
權(quán)利要求
1.一種制膜方法，在基板上涂敷多個(gè)液滴而進(jìn)行制膜，其特征在于，包括以多種大小將所述液滴涂敷到所述基板上的工序；和使所述基板上的液滴以不同的振動(dòng)特性進(jìn)行振動(dòng)的工序。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制膜方法，其特征在于，以根據(jù)所述多種大小的液滴中的至少一種大小的液滴的固有振動(dòng)頻率的頻率進(jìn)行振動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制膜方法，其特征在于，所述頻率，在包括所述液滴的大小所對(duì)應(yīng)的所有固有振動(dòng)頻率的范圍內(nèi)變化。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制膜方法，其特征在于，從高到低改變所述頻率。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的制膜方法，其特征在于，包括沿著第1方向，涂敷由第1范圍內(nèi)的多種大小的液滴所構(gòu)成的第1液滴群的工序；沿著第2方向，涂敷由與所述第1范圍不同的第2范圍內(nèi)的多種大小的液滴所構(gòu)成的第2液滴群的工序；以根據(jù)所述第1范圍內(nèi)的大小的液滴的固有振動(dòng)頻率的頻率，在所述第1方向產(chǎn)生振動(dòng)的工序；和以根據(jù)所述第2范圍內(nèi)的大小的液滴的固有振動(dòng)頻率的頻率，在所述第2方向產(chǎn)生振動(dòng)的工序。
6.一種設(shè)備制造方法，包括在基板上形成薄膜的制膜工序，其特征在于，使用權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的制膜方法進(jìn)行所述制膜工序。
7.一種設(shè)備，其特征在于，采用權(quán)利要求6所述的設(shè)備制造方法制造出來(lái)。
8.一種電子機(jī)器，其特征在于，具有權(quán)利要求7所述的設(shè)備。
9.一種制膜裝置，具有向基板噴出液滴的液滴噴頭，其特征在于，具有控制裝置，其控制所述液滴噴頭的驅(qū)動(dòng)，使其向所述基板以多種大小噴出所述液滴；和振動(dòng)發(fā)生裝置，使所述基板上的液滴以不同的振動(dòng)特性進(jìn)行振動(dòng)。
10.一種設(shè)備制造裝置，具有在基板上形成薄膜的制膜裝置，其特征在于，使用權(quán)利要求9所述的制膜裝置作為所述制膜裝置。
全文摘要
在基板(2)上涂敷多個(gè)液滴(99a、99b)進(jìn)行制膜。具有以多種大小將液滴(99a、99b)涂敷到基板(2)上的工序，以及使基板(2)上的液滴(99a、99b)以不同的振動(dòng)特性進(jìn)行振動(dòng)的工序。從而能夠容易地形成平坦且具有均勻膜厚的薄膜。
文檔編號(hào)B41J2/01GK1612012SQ20041008968
公開(kāi)日2005年5月4日 申請(qǐng)日期2004年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2003年10月29日
發(fā)明者三浦弘綱 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社