專利名稱：液滴噴出裝置、電光裝置及其制造方法、電子儀器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及把由樹脂構(gòu)成的，連接各部件的連接管，例如連接功能液滴噴出頭和功能液容器的連接管接地的液滴噴出裝置、電光裝置的制造方法、電光裝置、電子儀器。
背景技術(shù)：
作為液滴噴出裝置的一種，從以往知道的噴墨記錄裝置在能往返移動(dòng)的滑架上配置噴出墨水的噴墨頭，并且用墨水供給管(連接管)連接噴墨頭和供給墨水的墨盒(墨水容器)(例如，參照特開2001-270133號(hào)公報(bào)、第2-3頁，圖2)。
這樣的噴墨記錄裝置的噴墨頭(功能液滴噴出頭)能高精度地把微小的墨滴噴出為點(diǎn)狀，所以被期望用于各種制品的制造領(lǐng)域中，希望能夠向功能液滴噴出頭導(dǎo)入作為功能液的各種液體材料。因此，為了在液滴噴出裝置假定導(dǎo)入各種功能液，對從貯存功能液的功能液容器到功能液滴噴出頭的功能液管道使用了具有耐腐蝕性的樹脂制的連接管。
此外，在液滴噴出裝置中設(shè)置有用于擦掉附著在功能液滴噴出頭上的功能液的擦拭單元，從清洗液容器向擦拭單元供給清洗液。而且，考慮到按照功能液能使用多種多樣的清洗液，所以對從功能液容器到擦拭單元的清洗液管道也與功能液管道同樣使用具有耐腐蝕性的樹脂制的連接管。
這樣，在液滴噴出裝置中，考慮功能液或清洗液的耐腐蝕性，用樹脂制的連接管構(gòu)成功能液管道和清洗液管道。可是，樹脂制的連接管容易發(fā)生靜電，當(dāng)導(dǎo)入了使用引火點(diǎn)低的溶劑的功能液或清洗液時(shí)，靜電有可能對裝置造成不良影響。而且，當(dāng)像伴隨著功能液滴噴出頭的掃描，連接管跟蹤移動(dòng)那樣，成為連接管移動(dòng)的結(jié)構(gòu)時(shí)，特別是在連接管的移動(dòng)部分容易發(fā)生靜電，將進(jìn)一步增加對裝置造成不良影響的可能性。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于提供通過把連接管接地，去除由連接管產(chǎn)生的靜電的液滴噴出裝置、電光裝置的制造方法、電光裝置、電子儀器。
本發(fā)明是一種液滴噴出裝置，具有被配置在移動(dòng)臺(tái)上的與該移動(dòng)臺(tái)同步地進(jìn)行掃描，向工件噴出功能液的功能液滴噴出頭、和向功能液滴噴出頭供給功能液的功能液供給部件，其特征在于所述功能液供給部件具有供給功能液的功能液容器；連接所述功能液滴噴出頭和所述功能液容器的樹脂制的連接管；一端固定在所述移動(dòng)臺(tái)上，并且另一端固定在裝置框架上，支撐所述連接管，并且伴隨著所述功能液滴噴出頭的掃描，使所述連接管跟蹤移動(dòng)的柔性支撐部件；被設(shè)置在柔性支撐部件上，通過與所述連接管接觸，使該連接管與所述裝置框架構(gòu)成接地連接的除電部件。
此外，本發(fā)明是一種液滴噴出裝置，具有功能液滴噴出頭、通過相對所述功能液滴噴出頭移動(dòng)而擦拭該功能液滴噴出頭的噴嘴面的擦拭單元、配置所述擦拭單元并且使所述擦拭單元相對功能液滴噴出頭移動(dòng)的移動(dòng)臺(tái)、向所述擦拭單元供給擦拭用清洗液的清洗液供給部件，其特征在于清洗液供給部件具有供給清洗液的清洗液容器；連接所述清洗液容器和所述擦拭單元的樹脂制連接管；一端固定在所述移動(dòng)臺(tái)上，并且另一端固定在裝置框架上，支撐所述連接管，并且伴隨著所述擦拭單元的移動(dòng)，使所述連接管跟蹤移動(dòng)的柔性支撐部件；被設(shè)置在柔性支撐部件上，通過與所述連接管接觸，使該連接管與所述裝置框架構(gòu)成接地連接的除電部件。
根據(jù)這些結(jié)構(gòu)，因?yàn)樵O(shè)置有為伴隨著功能液滴噴出頭的掃描或擦拭單元的移動(dòng)而使連接管跟蹤移動(dòng)的柔性支撐部件除去靜電的除電部件，所以能迅速除去發(fā)生的靜電。即由柔性支撐部件支撐的部分的連接管由于跟蹤移動(dòng)，是最容易產(chǎn)生靜電的部分，但是通過設(shè)置與該部分的連接管接觸的除電部件，能高效除去產(chǎn)生的靜電。此外，“柔性支撐部件設(shè)置除電部件”是指除了在柔性支撐部件另外設(shè)置導(dǎo)電性部件的情形，還包括用導(dǎo)電性部件(也包括混入了碳等導(dǎo)電性草料的樹脂)構(gòu)成柔性支撐部件自身時(shí)的情形。
這時(shí)，希望除電部件由配置在柔性支撐部件的連接管的支撐面上的除電薄板構(gòu)成。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，因?yàn)槌姴考沙姳“鍢?gòu)成，所以，即使配置在柔性支撐部件上，也不會(huì)變?yōu)榉恋K。此外，如果在柔性支撐部件的連接管的支撐面上配置除電薄板，則是除電薄板和連接管接觸的結(jié)構(gòu)，所以能容易去掉連接管的靜電。此外，當(dāng)連接管由多個(gè)構(gòu)成時(shí)，只通過調(diào)整除電薄板的寬度，就能容易地使除電薄板與全部連接管接觸，能去掉全部連接管的靜電。
這時(shí)，希望跨柔性支撐部件的支撐面的全長設(shè)置除電薄板。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，因?yàn)榭缛嵝灾尾考闹蚊娴娜L設(shè)置除電薄板，所以除電薄板跨通過柔性支撐部件而跟蹤移動(dòng)的連接管的全長接觸。因此，除電薄板接觸連接管最容易產(chǎn)生靜電的部分全體，所以能防止在連接管中，靜電局部殘留。
這時(shí)，希望在除電薄板的與連接管的接觸面上設(shè)置除電用的起毛。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，設(shè)置在除電薄板的接觸面上的除電用的起毛接觸連接管，所以能增加除電薄板和連接管的接觸面積，能更高效地去掉的靜電。
這時(shí)，還希望具有設(shè)置在連接管的除了支撐在柔性支撐部件上的部分的非可動(dòng)部分上，把連接管接地連接在裝置框架上的導(dǎo)電性接頭。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，連接管的非可動(dòng)部分即不伴隨著功能液滴噴出頭的掃描而跟蹤移動(dòng)的部分的連接管通過接頭接地連接在裝置框架上，所以能去掉在連接管的非可動(dòng)部分產(chǎn)生的靜電。此外，作為導(dǎo)電性接頭也包括用混入了碳等導(dǎo)電性材料的導(dǎo)電性樹脂構(gòu)成的接頭。
這時(shí)，希望接頭以規(guī)定的間隔設(shè)置在連接管的非可動(dòng)部分上。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，因?yàn)榻宇^以規(guī)定的間隔設(shè)置在連接管的非可動(dòng)部分上，所以能在各規(guī)定的間隔除掉連接管的非可動(dòng)部分產(chǎn)生的靜電，能把產(chǎn)生的靜電的影響限制在最小限度。
這時(shí)，希望接頭通過導(dǎo)電性的接頭支撐零件接地連接在裝置框架上。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，因?yàn)檫B接管的非可動(dòng)部分通過支撐接頭的接頭支撐零件接地連接在裝置框架上，所以沒必要另外設(shè)置特殊形狀的接頭、或用于把接頭接地的部件，能省略設(shè)置部件的空間，并且能簡化裝置結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明的電光裝置的制造方法的特征在于使用所述液滴噴出裝置，在工件上形成由從功能液滴噴出頭噴出的功能液滴構(gòu)成的成膜部。
此外，本發(fā)明的電光裝置的特征在于使用所述液滴噴出裝置，在工件上形成了由從功能液滴噴出頭噴出的功能液滴構(gòu)成的成膜部。
根據(jù)這些結(jié)構(gòu)，使用對工件能噴出多樣化的功能液的液滴噴出裝置進(jìn)行制造，所以能高效制造電光裝置。此外，作為電光裝置(器件)，考慮到液晶顯示裝置、有機(jī)EL(Electro-Luminescence)裝置、電子發(fā)射裝置、PDP(Plasma Display Panel)裝置和電泳顯示裝置。此外，電子發(fā)射裝置是包括所謂的FED(Field Emission Display)裝置的概念。作為電光裝置，考慮到包括金屬布線的形成、透鏡的形成、保護(hù)膜的形成和光擴(kuò)散體的形成等的裝置。
本發(fā)明的電子儀器的特征在于配置了所述電光裝置。
這時(shí)，作為電子儀器，相當(dāng)于配置了所謂的平板顯示器的移動(dòng)電話、個(gè)人電腦、其他各種電制品。


圖1是本實(shí)施例的功能液滴噴出裝置的外觀立體圖。
圖2是本實(shí)施例的功能液滴噴出裝置的外觀俯視圖。
圖3是本實(shí)施例的功能液滴噴出裝置的外觀右側(cè)視圖。
圖4是頭單元的俯視圖。
圖5A是功能液滴噴出頭的外觀立體圖，圖5B是把功能液滴噴出頭安裝在配管適配器上時(shí)的剖視圖。
圖6是吸引部件的外觀立體圖。
圖7是擦拭單元的卷繞單元的外觀立體圖。
圖8是擦拭單元的擦取單元的外觀立體圖。
圖9A、B是支撐供液管的Y軸電纜支架周圍的外觀立體圖(9A)和外觀側(cè)視圖(9B)。
圖10A、B是除電部件的接頭單元的外觀立體圖(10A)和主視圖(10B)。
圖11是關(guān)于供液管周圍的除電部件的模式圖。
圖12是關(guān)于回收用管周圍的除電部件的模式圖。
圖13是表示液體供給回收部件周圍的模式圖。
圖14是說明濾色器制造步驟的程序流程圖。
圖15A～15E是表示制造步驟中所示的濾色器的模式剖視圖。
圖16是表示使用了本發(fā)明的濾色器的液晶裝置概略結(jié)構(gòu)的主要部分剖視圖。
圖17是表示使用了本發(fā)明濾色器的第二例的液晶裝置概略結(jié)構(gòu)的主要部分剖視圖。
圖18是表示使用了本發(fā)明濾色器的第三例的液晶裝置概略結(jié)構(gòu)的主要部分剖視圖。
圖19是實(shí)施例2的顯示裝置的主要部分剖視圖。
圖20是說明有機(jī)EL裝置的顯示裝置制造步驟的程序流程圖。
圖21是說明無機(jī)物隔岸層的形成的步驟圖。
圖22是說明有機(jī)物隔岸層的形成的步驟圖。
圖23是說明形成空穴注入/輸送層的過程的步驟圖。
圖24是說明形成了空穴注入/輸送層的狀態(tài)的步驟圖。
圖25是說明形成藍(lán)色發(fā)光層的過程的步驟圖。
圖26是說明形成了藍(lán)色發(fā)光層的狀態(tài)的步驟圖。
圖27是說明形成了各色發(fā)光層的狀態(tài)的步驟圖。
圖28是說明陰極的形成的步驟圖。
圖29是等離子體型顯示裝置(PDP裝置)的顯示裝置主要部分立體圖。
圖30是電子發(fā)射裝置(FED裝置)的顯示裝置主要部分立體圖。
圖31A、B是顯示裝置的電子發(fā)射部周圍的俯視圖(31A)和表示它的形成方法的俯視圖(31B)。
圖中1-液滴噴出裝置；2-噴出部件；3-維護(hù)部件；4-功能液供給回收部件；5-空氣供給部件；6-除電部件；7-控制部件；10-裝置框架；25-電纜支架；33-XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)；41-功能液滴噴出頭；57-噴嘴形成面；123-Y軸電纜支架；132-擦拭單元；202-供液容器；203-供液管；241-清洗液容器；242-清洗液供給管；271-除電薄板；281-接地接頭；282-支架；283-接頭固定部件；W-工件。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖，說明本發(fā)明實(shí)施例。圖1是應(yīng)用了本發(fā)明的液滴噴出裝置的外觀立體圖，圖2是外觀俯視圖，圖3是外觀側(cè)視圖。后面將詳細(xì)描述，但是該液滴噴出裝置1把特殊的墨水和發(fā)光性的樹脂液等功能液導(dǎo)入功能液滴噴出頭41中，在基板等的工件W上形成由功能液滴構(gòu)成的成膜部。
如圖1～3所示，液滴噴出裝置1具有用于噴出功能液的噴出部件2；進(jìn)行噴出部件2的維護(hù)的維護(hù)部件3；向噴出部件2供給功能液，并且回收不要的功能液的液體供給回收部件4；供給用于驅(qū)動(dòng)和控制各部件的壓縮空氣的空氣供給部件5。而且，這些部件通過控制部件7，被彼此關(guān)聯(lián)控制。此外，在液滴噴出裝置1中設(shè)置有用于除掉裝置內(nèi)產(chǎn)生的靜電的除電部件6。此外，雖然未圖示，但是還設(shè)置了識(shí)別工件W的位置的工件識(shí)別相機(jī)、進(jìn)行噴出部件2的頭單元31(后面描述)的位置確認(rèn)的頭識(shí)別相機(jī)、各種指示器等附帶裝置，它們也由控制部件7控制。
如圖1所示，噴出部件2和維護(hù)部件3的沖洗部件133(后面描述)配置在由角材組成方形而構(gòu)成的架臺(tái)11上部上固定的石平臺(tái)12上，液體供給回收部件4和空氣供給部件5的大部分被組合在在架臺(tái)11上設(shè)置的機(jī)臺(tái)21上。在機(jī)臺(tái)21上形成大小兩個(gè)收容室26、27，在大的收容室26中收容有液體供給回收部件4的容器類，在小的收容室26中收容有空氣供給部件5的主要部分。此外，在機(jī)臺(tái)21上設(shè)置有放置后面描述的液體供給回收部件4的供液容器202的容器臺(tái)22、及被支撐為在機(jī)臺(tái)21的長度方向上能自由滑動(dòng)的移動(dòng)臺(tái)23，在移動(dòng)臺(tái)23上固定著放置維護(hù)部件3的吸引部件131(后面描述)和擦拭單元132(后面描述)公共基臺(tái)24。此外，在移動(dòng)臺(tái)23的旁邊具有與移動(dòng)臺(tái)23平行配置的電纜支架(注冊商標(biāo))25，收容著連接在吸引部件131或擦拭單元132上的電纜。此外，把像架臺(tái)11或石平臺(tái)12、機(jī)臺(tái)21、容器臺(tái)22那樣用于放置和固定各部件的部件總稱為裝置框架10。
該液滴噴出裝置1一邊使維護(hù)部件3保養(yǎng)噴出部件2的功能液滴噴出頭41，一邊從液體供給回收部件4的供液容器202向功能液滴噴出頭41供給功能液，并且從功能液滴噴出頭41向工件W噴出功能液。下面說明各部件。
噴出部件2包括具有多個(gè)噴出功能液的功能液滴噴出頭41的頭單元31；支撐頭單元31的主滑架32；承載工件W，使工件W對功能液滴噴出頭41掃描的XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)33。
如圖4和圖5所示，頭單元31由多個(gè)(12個(gè))功能液滴噴出頭41、配置多個(gè)功能液滴噴出頭41的子滑架42、用于把功能液滴噴出頭41安裝在子滑架42上的頭保持部件43構(gòu)成。12個(gè)功能液滴噴出頭41對于副掃描方向(Y軸方向)彼此位置錯(cuò)開配置，在副掃描方向中，各功能液滴噴出頭41的噴出噴嘴58變?yōu)檫B續(xù)(一部分重復(fù))。此外，當(dāng)用專用零件構(gòu)成功能液滴噴出頭41，對工件W能確保功能液的充分的涂敷密度時(shí)，沒必要傾斜設(shè)置功能液滴噴出頭41。
如圖5所示，功能液滴噴出頭41是所謂的雙聯(lián)的，包括具有雙聯(lián)的連接針52的功能液導(dǎo)入部51、連接在功能液導(dǎo)入部51上的雙聯(lián)的頭基板53、連接在功能液導(dǎo)入部51的下方的頭主體54。各連接針52通過配管適配器59連接在液體供給回收部件4的供液容器202上，功能液導(dǎo)入部51從各連接針52接收功能液的供給。頭主體54具有形成了由雙聯(lián)的泵部55和多個(gè)噴出噴嘴58構(gòu)成的2列噴出噴嘴列的噴嘴形成板56，在頭主體54的內(nèi)部形成用功能液充滿的頭內(nèi)管道。而且，在功能液滴噴出頭41中，通過泵部55的作用，從噴出噴嘴58噴出功能液滴。
如圖4所示，子滑架42具有一部分被切去的主體板71、設(shè)置在主體板71的長邊方向中間位置上的左右一對基準(zhǔn)銷72、安裝在主體板71的兩長邊部分上的左右一對支撐部件73。一對基準(zhǔn)銷72以圖像識(shí)別為前提，成為用于在X軸、Y軸、θ軸方向把子滑架42定位(位置識(shí)別)的基準(zhǔn)。支撐部件73成為把頭單元31固定在主滑架32上時(shí)的固定部位。此外，在子滑架42上設(shè)置有用于配管連接各功能液滴噴出頭41和供液容器202的配管接頭74。配管接頭74在一端連接來自與各功能液滴噴出頭41(連接針52)連接的配管適配器59頭一側(cè)配管部件，在另一端具有用于連接來自供液容器202的裝置一側(cè)配管部件的12個(gè)管座75。
主滑架32由從下方固定在后面描述的橋板112上的外觀“I”形的吊設(shè)部件91、安裝在吊設(shè)部件91的下表面上的θ臺(tái)、吊設(shè)在θ臺(tái)的下方的滑架主體93構(gòu)成(參照圖3)。在滑架主體93上具有用于游動(dòng)嵌入頭單元31的方形開口，定位并固定頭單元31。此外，在滑架主體93上配置有用于取入滑架移動(dòng)軸的誤差修正數(shù)據(jù)的工件識(shí)別相機(jī)。
XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)33固定在所述石平板12上，使工件W主掃描(X方向)，并且通過主滑架32使頭單元31副掃描(Y軸方向)。如圖1所示，XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)33具有使軸線與沿著石平板12的長邊的中心線的軸線一致，直接固定在石平板12上的X軸臺(tái)101；通過固定在石平板12上的4根支柱13，跨X軸臺(tái)101，使軸線與沿著石平板12的短邊的中心線的軸線一致的Y軸臺(tái)111。
如圖1所示，X軸臺(tái)101由通過空氣吸引而吸附設(shè)定工件W的吸附臺(tái)102、支撐吸附臺(tái)102的θ臺(tái)103、把θ臺(tái)103支撐為在X軸方向自由滑動(dòng)的氣動(dòng)滑塊104、通過θ臺(tái)103使吸附臺(tái)102上的工件W在X軸方向移動(dòng)的X軸線性電機(jī)(省略圖示)、設(shè)置在氣動(dòng)滑塊104上的X軸線性刻度105構(gòu)成。通過X軸線性電機(jī)的驅(qū)動(dòng)，吸附了基板W的吸附臺(tái)102和θ臺(tái)103在氣動(dòng)滑塊104上引導(dǎo)，在X軸方向往返移動(dòng)，進(jìn)行功能液滴噴出頭41的主掃描。
此外，位于與X軸線性刻度105平行，配置有X軸電纜支架121。在X軸電纜支架121中，收容著連接在所述空氣供給部件5上并且通過吸附臺(tái)102吸引工件W的真空管、用于配置在θ臺(tái)103上的電纜或管子等，由盒122覆蓋。
如圖1～3所示，Y軸臺(tái)111(移動(dòng)臺(tái))具有設(shè)置在所述4根支柱13上配置的承載板14上，吊設(shè)主滑架32的橋板112；以雙柱并且在Y軸方向可自由滑動(dòng)地支撐橋板112的一對Y軸滑道113；設(shè)置在Y軸滑道113上的Y軸線性刻度114；引導(dǎo)一對Y軸滑道113，使橋板112在Y軸方向移動(dòng)的Y軸球狀螺栓115；使Y軸球狀螺栓115正反旋轉(zhuǎn)的Y軸電機(jī)(省略圖示)。Y軸電機(jī)由伺服電機(jī)構(gòu)成，如果Y軸電機(jī)正反旋轉(zhuǎn)，則通過Y軸球狀螺栓115與它螺旋配合的橋板112在一對Y軸滑道113上引導(dǎo)，在Y軸方向移動(dòng)。即伴隨著橋板112的移動(dòng)，主滑架32(頭單元31)進(jìn)行Y軸方向的往返移動(dòng)，進(jìn)行功能液滴噴出頭41的副掃描。
此外，如同一圖所示，在一對Y軸滑道113的兩外側(cè)，與Y軸滑道113平行配置，設(shè)置有收容在盒子124中的一對Y軸電纜支架123。各Y軸電纜支架123一端固定在Y軸臺(tái)111的橋板上，另一端固定在承載板14上。在Y軸電纜支架123中主要收容著連接在頭單元31(功能液滴噴出頭41)上的電纜和管子，Y軸電纜支架123柔性保護(hù)這些電纜和管子，并且使它們跟隨主滑架32(頭單元31)的移動(dòng)。此外，在圖示跟前一側(cè)的Y軸電纜支架123(柔性支撐部件)中收容著(支撐著)連接供液容器202和功能液滴噴出頭41的供液管203。
這里，簡單說明噴出部件2的一系列動(dòng)作。首先，作為噴出功能液前的準(zhǔn)備，進(jìn)行了基于頭識(shí)別相機(jī)的頭單元31的位置修正后，通過工件識(shí)別相機(jī)，進(jìn)行設(shè)置在吸附臺(tái)102上的工件W的位置修正。通過XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)33(X軸臺(tái))使工件W在主掃描方向往返移動(dòng)，并且驅(qū)動(dòng)多個(gè)功能液滴噴出頭41，進(jìn)行對工件W的功能液滴選擇性噴出動(dòng)作。然后，使工件W返回運(yùn)動(dòng)后，通過XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)33(Y軸臺(tái)111)使頭單元31在副掃描方向移動(dòng)，再度進(jìn)行工件W向主掃描方向的往返移動(dòng)和功能液滴噴出頭41的驅(qū)動(dòng)。此外，在本實(shí)施例中，對于頭單元31，使工件W在主掃描方向移動(dòng)，但是，也可以是使頭單元31在主掃描方向移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。此外，也可以是使頭單元31固定，使工件W在主掃描方向和副掃描方向移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。
下面，說明維護(hù)部件3。維護(hù)部件3保養(yǎng)功能液滴噴出頭41，能使功能液滴噴出頭41恰當(dāng)噴出功能液，具有吸引部件131、擦拭單元132、沖洗部件133(參照圖1)。
吸引部件131承載在所述機(jī)臺(tái)21的公共基臺(tái)24上，通過移動(dòng)臺(tái)23在機(jī)臺(tái)21的長度方向即X軸方向自由滑動(dòng)。吸引部件131通過吸引功能液滴噴出頭41，用于保養(yǎng)功能液滴噴出頭41，當(dāng)向頭單元31(的功能液滴噴出頭41)進(jìn)行功能液的填充時(shí)或進(jìn)行用于除去在功能液滴噴出頭41內(nèi)粘度增加了的功能液的吸引(清理)時(shí)使用。
如圖6所示，吸引部件131包括具有緊貼在各功能液滴噴出頭41上的12個(gè)帽142的帽部件141；通過緊貼的帽部件142進(jìn)行功能液的吸引的功能液吸引泵143；連接各帽142和功能液吸引泵143的吸引用管144；支撐帽部件141的支撐部件145；通過支撐部件145使帽部件141升降，使帽142離開或接觸功能液滴噴出頭41的升降機(jī)構(gòu)146。
擦拭單元132從后面描述的液體供給回收部件4的清洗液容器241接收清洗液，擦拭由于吸引動(dòng)作，功能液附著、污染的各功能液滴噴出頭41的噴嘴形成面57(噴嘴面)，與吸引部件131一起配置在公共基臺(tái)24上。即成為通過移動(dòng)臺(tái)23的驅(qū)動(dòng)，吸引部件131和擦拭單元132通過公共基臺(tái)24在X軸方向移動(dòng)的結(jié)構(gòu)，用吸引部件131吸引頭單元31的功能液滴噴出頭41后，驅(qū)動(dòng)移動(dòng)臺(tái)，使擦拭單元132來到頭單元31，用擦拭單元132擦拭由于吸引而污染的功能液滴噴出頭41的噴嘴形成面57。
如圖1所示，擦拭單元132由面對面的狀態(tài)配置的卷繞單元151和擦取單元152構(gòu)成。如圖7所示，卷繞單元151具有單支承形式的框架161、可自由旋轉(zhuǎn)地支撐在框架161上的上方輸送卷軸162和下方卷繞卷軸163、使下方卷繞卷軸163旋轉(zhuǎn)的卷繞電機(jī)164。此外，在框架161的上側(cè)部固定著子框架165，在子框架165上，位于輸送卷軸162的前方，以雙支承支撐著速度檢測輥166和中間輥167。此外，在它們的下方設(shè)置有接收清洗液(后面描述)的清洗液容器169。
如圖12所示，在輸送卷軸162中裝填卷裝的擦拭薄片168，從輸送卷軸162輸送的擦拭薄片168通過速度檢測輥166和中間輥167數(shù)送給擦取單元152，經(jīng)由后面描述的擦取輥173，卷繞到卷繞卷軸163中。
如圖8所示，擦取單元152具有左右一對支架171；支撐在一對支架171上的截面“U”字狀的底座172；以雙支承形式、可自由旋轉(zhuǎn)地支撐在底座172上，由夾持輥構(gòu)成的擦取輥173；與擦取輥173平行對峙的清洗液噴霧頭174；使底座172升降的一對氣缸175。
清洗液噴霧頭174配置在擦取輥173的附近，向從中間輥167送來的擦拭薄片168噴射清洗液。因此，在清洗液噴霧頭174的前面即擦取輥173一側(cè)，配合擦拭薄片168的寬度，橫排配置有多個(gè)清洗液噴霧頭174。此外，在清洗液噴霧頭174的背面設(shè)置有連接在清洗液容器241上的管連接用的多個(gè)連接器。此外，雖然省略了圖示，但是在擦取單元152上也設(shè)置有用于接收從擦拭薄片168滴下的清洗液的清洗液盤。
這里，參照圖12說明擦拭單元132的一系列擦拭動(dòng)作。如果頭單元31(功能液滴噴出頭41)的吸引結(jié)束，移動(dòng)臺(tái)23就驅(qū)動(dòng)，使擦拭單元132前進(jìn)，充分接近頭單元31。如果擦取輥173移動(dòng)到功能液滴噴出頭41的附近，就停止移動(dòng)臺(tái)23的驅(qū)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)兩氣缸175，使擦取輥173上升，使擦取輥173接觸(按壓)功能液滴噴出頭41。
然后，驅(qū)動(dòng)卷繞電機(jī)164，在輸送擦拭薄片168的同時(shí)，開始清洗液的噴霧，使清洗液浸泡擦拭薄片168。與此同時(shí)，驅(qū)動(dòng)移動(dòng)臺(tái)，一邊進(jìn)行擦拭薄片168的輸送，一邊使擦取輥173前進(jìn)，使擦拭薄片168在多個(gè)功能液滴噴出頭41的下表面(噴嘴形成面57)滑動(dòng)，進(jìn)行擦拭。而且，如果擦拭動(dòng)作結(jié)束，即如果擦取輥173通過了功能液滴噴出頭41的下表面，就停止擦拭薄片168的輸送，并且使擦取輥173下降，驅(qū)動(dòng)移動(dòng)臺(tái)23，使擦拭單元132后退到原來的位置。
沖洗部件133用于接收通過液滴噴出時(shí)的多個(gè)(12個(gè))功能液滴噴出頭41的沖洗動(dòng)作(預(yù)備噴出)而按順序噴出的功能液。沖洗部件133具有隔著X軸臺(tái)101的吸附臺(tái)102固定在θ臺(tái)103上，接收噴出的功能液的一對沖洗盒181。沖洗盒181伴隨著主掃描移動(dòng)，所以不為了沖洗動(dòng)作使頭單元31移動(dòng)。即沖洗盒181與工件W一起向頭單元31移動(dòng)，所以能從面臨沖洗盒181的功能液滴噴出頭41的噴出噴嘴58依次進(jìn)行沖洗動(dòng)作。此外，用沖洗盒181接收的功能液貯存在后面描述的廢液容器251中。
沖洗動(dòng)作從全部的功能液滴噴出頭41的全部噴出噴嘴58噴出功能液，為了防止伴隨著時(shí)間的經(jīng)過，導(dǎo)入功能液滴噴出頭41中的功能液由于干燥而粘度增加，在功能液滴噴出頭41的噴出噴嘴58產(chǎn)生堵塞而定期進(jìn)行的。沖洗動(dòng)作不僅在功能液的噴出時(shí)，在工件W的更換時(shí)等暫時(shí)停止功能液的噴出時(shí)也有必要進(jìn)行。這時(shí)，頭單元31移動(dòng)到吸引位置即吸引部件131的帽部件141的正上部后，各功能液滴噴出頭41向?qū)?yīng)的各帽142進(jìn)行沖洗。
當(dāng)對帽142進(jìn)行沖洗時(shí)，帽部件141通過升降機(jī)構(gòu)146上升到功能液滴噴出頭41和帽142之間產(chǎn)生僅有的間隙的第二位置，由沖洗噴出的功能液的大部分由各帽142接收。可是，噴出的功能液的一部分變?yōu)殪F狀的噴霧，浮游、飛散，所以在本實(shí)施例的液滴噴出裝置1中，向帽142進(jìn)行沖洗時(shí)，成為通過各帽142吸引功能液滴噴出空間的空氣的結(jié)構(gòu)。即通過空氣吸引在各帽142接收噴霧，縫制功能液滴噴出頭41的噴嘴形成面57或裝置內(nèi)部被噴霧污染。此外，通過驅(qū)動(dòng)連接在帽上的鼓風(fēng)機(jī)147，進(jìn)行空氣吸引(參照圖13)。
下面，說明液體供給回收部件4。液體供給回收部件4由向頭單元31的功能液滴噴出頭41供給功能液的功能液供給系統(tǒng)191(功能液供給裝置)、回收由維護(hù)部件3的吸引部件131吸引的功能液的功能液回收系統(tǒng)192、為了清洗而向擦拭單元132供給功能材料的溶劑的清洗液供給系統(tǒng)193、回收由沖洗部件接收的功能液的廢液回收系統(tǒng)194構(gòu)成。而且，如圖3所示，在機(jī)臺(tái)21的大的收容室26中，從圖示右側(cè)開始按順序橫排配置有功能液供給系統(tǒng)191的加壓容器201、功能液回收系統(tǒng)192的清洗液容器241。而且，在再利用容器231和清洗液容器241的附近設(shè)置有小型形成的廢液回收系統(tǒng)194的廢液容器261。
如圖13所示，功能液供給系統(tǒng)191具有貯存大量(3L)的功能液的加壓容器201；貯存從加壓容器201輸送的功能液，并且向各功能液滴噴出頭41供給功能液的供液容器202；形成供液通路，配管連接它們的供液管203(連接管)。加壓容器201通過從空氣供給部件5導(dǎo)入的壓縮氣體(惰性氣體)，通過供液管203把貯存的功能液向供液容器202加壓輸送。
供液容器202如圖1～3所示，包括固定在所述容器臺(tái)22上的，在兩側(cè)具有液位窗212，并且貯存來自的加壓容器201的功能液的容器主體211；面臨兩個(gè)液位窗212，檢測功能液的液位(水位)的液位檢測器213。
如圖2所示，在容器主體211(的蓋體)的上表面連接與加壓容器201連接的供液管203，此外，設(shè)置了向頭單元31一側(cè)延伸的供液管203用的6個(gè)供液用連接器218、一個(gè)與空氣供給部件5連接的空氣供給用的加壓用連接器219。在連接在加壓容器201上的供液管203上設(shè)置有液位調(diào)節(jié)閥門221，通過根據(jù)來自液位檢測器213的檢測結(jié)果，開關(guān)控制液位調(diào)節(jié)閥門221，把貯存在容器主體211中的功能液的液位調(diào)整為總在液位檢測器213的檢測范圍內(nèi)(參照圖13)。
此外，在連接在加壓用連接器219上的空氣供給管262中設(shè)置了具有大氣開放口的三通閥264，來自加壓容器201的壓力通過大氣而喪失。由此，通過上述的液位調(diào)節(jié)，把向頭單元31一側(cè)延伸的供液管203的水位差壓稍微保持在負(fù)水位差(例如25mm±0.5mm)，防止來自功能液滴噴出頭41的噴出噴嘴58的液體滴下，并且通過功能液滴噴出頭41的抽吸動(dòng)作即泵55內(nèi)的壓電元件的泵驅(qū)動(dòng)以高精度噴出液滴。
供液管203為了防止被功能液侵蝕，由具有耐腐蝕性的氟樹脂、聚乙烯(PE)或聚丙烯(PP)構(gòu)成。后面將具體描述，但是供液管203連接在設(shè)置在各處的接地接頭281上，通過各接頭固定在裝置框架10上。此外，從供液容器202向功能液滴噴出頭41延伸的6個(gè)供液管203從Y軸電纜支架123連接在接頭單元272(后面描述)上配置的T字接頭284上，分別分支為2條，形成12條分支供液管(參照圖10、圖11和圖13)。各分支供液管204通過配管一側(cè)裝置部件連接在各功能液滴噴出頭41上。此外，在各分支供液管204上設(shè)置了供給閥門222，通過開關(guān)控制供給閥門222，能控制向功能液滴噴出頭41的功能液的供給。
功能液回收系統(tǒng)192用于貯存由吸引部件131吸引的功能液，具有貯存吸引的功能液的再利用容器231；連接在功能液吸引泵143上，把吸引的功能液向再利用容器231引導(dǎo)的回收用管232(參照圖13)?；厥沼霉?32也與供液管203同樣，由具有耐腐蝕性的樹脂構(gòu)成?；厥沼霉?32支撐在所述電纜支架(注冊商標(biāo))25(柔性支撐部件)上。電纜支架(注冊商標(biāo))25固定在機(jī)臺(tái)21上，并且頂端部固定在公共基臺(tái)24上，使回收用管232跟隨吸引部件131(公共基臺(tái)24)的移動(dòng)。
清洗液供給系統(tǒng)193用于向擦拭單元132的擦拭薄片168供給清洗液，具有貯存清洗液的清洗液容器241和用于供給清洗液容器241的清洗液的清洗液供給管242。如圖13所示，在清洗液容器241上連接著與空氣供給部件5相連的供給管262(后面描述)、一端連接在擦拭單元132的清洗液噴霧頭174上的清洗液供給管242。即清洗液容器241的清洗液通過從空氣供給部件5導(dǎo)入的壓縮空氣壓送到清洗液噴霧頭174。
在清洗液中使用了乙醇，但是有必要使用與導(dǎo)入的功能液對應(yīng)的清洗液，所以清洗液供給管242與供液管203同樣，由具有耐腐蝕性的氟樹脂等構(gòu)成的樹脂形成。清洗液供給管242與回收用管232一起支撐在電纜支架(注冊商標(biāo))25(柔性支撐部件)上，能跟隨擦拭單元132(公共基臺(tái)24)的移動(dòng)。
廢液回收系統(tǒng)194用于回收噴出到?jīng)_洗部件133的功能液，具有存儲(chǔ)回收的功能液的廢液容器251；連接在沖洗部件133上，引導(dǎo)噴出到?jīng)_洗部件133的功能液的廢液用管252。
下面，說明空氣供給部件5。如圖13所示，空氣供給部件5例如把壓縮了惰性氣體(N2)的壓縮空氣向加壓容器201或供液容器202等各部供給，具有壓縮惰性氣體的空氣泵261、用于把由空氣泵261壓縮的壓縮空氣向各部供給的空氣供給管262。而且，在空氣供給管262中設(shè)置了用于按照壓縮空氣的供給目標(biāo)而把壓力保持在規(guī)定的一定壓力的調(diào)整器263。
下面，說明除電部件6。除電部件6主要用于把在供液管203、回收用管232和清洗液供給管242產(chǎn)生的靜電除掉。除電部件6由把在各管的可動(dòng)部即支撐在所述除電部件6和電纜支架(注冊商標(biāo))25上的部分產(chǎn)生的靜電除去的除電薄板271、把在各管的非可動(dòng)部即出去由電纜支架(注冊商標(biāo))25支撐的部分的部分產(chǎn)生的靜電除去的接頭單元272構(gòu)成。此外，如圖11～圖13所示，液滴噴出裝置1的功能液滴噴出頭41或擦拭單元132、、各容器類與接地285連接。變?yōu)槟軌虺?。此外，裝置框架10即架臺(tái)11或支柱13、機(jī)臺(tái)21也連接在接地285上。
如圖9A，B所示，除電薄板271在Y軸電纜支架123和電纜支架(注冊商標(biāo))25的管支撐面(安裝面)的整個(gè)面上，跨全長配置，與支撐在Y軸電纜支架123和電纜支架(注冊商標(biāo))25上的全部管子接觸。而且，在與除電薄板271的各管子的接觸面上形成無數(shù)除電用的細(xì)的起毛，增大與各管的接觸面積，能高效除電。此外，除電薄板271固定在Y軸電纜支架123和電纜支架(注冊商標(biāo))25上，所以去掉的靜電通過這些電纜支架接地連接到裝置框架10上。這樣，通過與各管的可動(dòng)部的長度和配置的各管的寬度對應(yīng)，設(shè)置跨全長接觸配置的全部管子的除電薄板271，能迅速去掉由樹脂構(gòu)成，最容易產(chǎn)生靜電的各管的可動(dòng)部的靜電，能把靜電導(dǎo)致的影響抑制在最小限度。
如圖10所示，接頭單元272具有連接在各管上的接地接頭281、用于把接地接頭281固定在裝置框架10上的支架282、用于把接地接頭281安裝在支架282上的截面為“L”字形的接頭固定部件283(接頭支撐零件)，這些它們由導(dǎo)電性部件例如銅、黃銅等金屬、混入了導(dǎo)電性材料的導(dǎo)電性樹脂構(gòu)成。因此，非可動(dòng)部的各管通過接地接頭281、接頭固定部件283和支架282接地連接在裝置框架10上，能去掉由非可動(dòng)部的各管產(chǎn)生的靜電。
下面，參照圖11和圖13，說明配置在供液管203周圍的除電部件6。從加壓容器201到功能液滴噴出頭41的供液管203的長度大致為9.0m，其中(供液管203的)可動(dòng)部長度大致1.2m。此外，從加壓容器201到供液容器202的長度大致為3.0m。如同一圖所示，在加壓容器201和供液容器202的近中間，把一個(gè)接頭單元272設(shè)置在供液管203上，在從Y軸電纜支架123(供液管203的可動(dòng)部)到功能液滴噴出頭41，把一個(gè)接頭單元272設(shè)置在供液管203上。此外，在從供液容器202開始大約1.8m的位置設(shè)置Y軸電纜支架123，在Y軸電纜支架123上，配置有與可動(dòng)部長度對應(yīng)的約1.2m的除電薄板271。此外，在設(shè)置在從Y軸電纜支架123到功能液滴噴出頭41之間的接頭單元272上配置了用于把供液管203分支為兩個(gè)的T字接頭284、用于使分支的供液管203(分支供液管204)能堵塞的供給閥門222(參照圖11)。
在供液管203的非可動(dòng)部，大致每1.5～1.8m就設(shè)置有接頭單元272，接地連接在裝置框架10上。即通過每隔規(guī)定的間隔設(shè)置接頭單元272，能恰當(dāng)去掉在供液管203的非可動(dòng)部分產(chǎn)生的靜電。此外，當(dāng)然能按照狀況適當(dāng)增減設(shè)置在供液管203的非可動(dòng)部上的接頭單元272，例如為了更高效地除掉由非可動(dòng)部分產(chǎn)生的靜電，增加接頭單元272的數(shù)量，每隔1.0m設(shè)置接頭單元272。
如圖12所示，與供液管203周圍同樣，在回收用管232和清洗液供給管242周圍也設(shè)置有除電部件6。即與回收用管232和清洗液供給管242的可動(dòng)部即支撐在所述電纜支架(注冊商標(biāo))25上的部分的長度對應(yīng)，在電纜支架(注冊商標(biāo))的管支撐面上配置了在表面具有細(xì)的起毛的除電薄板271。此外，在再利用容器231和電纜支架(注冊商標(biāo))25的近中央位置、清洗液容器241和電纜支架(注冊商標(biāo))25的近中央位置各配置了一個(gè)接頭單元272，能去掉在回收用管232和清洗液供給管242的非可動(dòng)部產(chǎn)生的靜電。
下面，說明控制部件7?？刂撇考?與各部件連接，控制裝置全體?？刂撇考?具有用于控制各部件的動(dòng)作的控制部，具有控制部存儲(chǔ)控制程序和控制數(shù)據(jù)，并且進(jìn)行各種控制處理的作業(yè)區(qū)。
下面，作為使用本實(shí)施例的液滴噴出裝置1制造的電光裝置(平板顯示器)，以濾色器、液晶顯示裝置、有機(jī)EL裝置、等離子體顯示器(PDP裝置)、電子發(fā)射裝置(FED裝置、SED裝置)、形成在這些顯示裝置中的有源矩陣基板等為例，說明它們的構(gòu)造和制造方法。此外，有源矩陣基板是指形成了薄膜晶體管、與薄膜晶體管電連接的源線、數(shù)據(jù)線的基板。
首先，說明納入液晶顯示裝置或有機(jī)EL裝置中的濾色器的制造方法。圖14是表示濾色器的制造步驟的程序流程圖，圖15A-E是制造步驟中所示的本實(shí)施例的濾色器500(濾色基體500A)的模式剖視圖。
首先，在黑矩陣形成步驟(S11)中，如圖15A所示，在基板(W)501上形成黑矩陣502。黑矩陣502由金屬鉻、金屬鉻和氧化鉻的層疊體、或樹脂黑等形成。在形成由金屬薄膜構(gòu)成的黑矩陣502時(shí)，能使用濺射法或蒸鍍法。此外，在形成由樹脂薄膜構(gòu)成的黑矩陣502時(shí)，能使用照相凹版印刷法、光刻膠法、熱復(fù)制法等。
然后，在隔岸形成步驟(S12)中，在黑矩陣502上以重疊的狀態(tài)形成隔岸503。即首先，如圖15B所示，覆蓋基板501和黑矩陣502形成負(fù)片型的由透明感光性樹脂構(gòu)成的抗蝕劑層504。然后，在用形成了矩陣圖案形狀的掩模薄膜505覆蓋了其上表面的形狀，進(jìn)行曝光處理。
如圖15C所示，通過蝕刻抗蝕劑層504的未曝光部分，對抗蝕劑層504構(gòu)圖，形成隔岸503。此外，在通過樹脂黑形成黑矩陣時(shí)，能把黑矩陣兼任隔岸。
該隔岸503和其下的黑矩陣502成為劃分各像素區(qū)域507的劃分壁部507b，在后面的著色層形成步驟中，在通過功能液滴噴出頭41形成著色層(成膜部)508R、508G、508B時(shí)，規(guī)定功能液滴的落下區(qū)域。
經(jīng)過以上的黑矩陣形成步驟和隔岸形成步驟，取得所述濾色基體500A。
此外，在本實(shí)施例中，作為隔岸503的材料，使用涂層表面成為斥液(斥水)型的樹脂材料。而且，基板(玻璃基板)501的表面具有親液(親水)性，所以在后面描述的著色層形成步驟中，液滴向包圍在隔岸503(劃分壁部507b)中的各像素區(qū)域507a內(nèi)的落下位置精度提高。
接著，在著色層的形成步驟(S13)中，如圖15D所示，通過功能液滴噴出頭41噴出功能液滴，使其落到由劃分壁部507b包圍的各像素區(qū)域507a內(nèi)。這時(shí)，使用功能液滴噴出頭41導(dǎo)入R、G、B等3色功能液(濾色材料)，進(jìn)行功能液滴的噴出。此外，作為R、G、B等3色的排列圖案，有條狀排列、鑲嵌排列和三角形排列。
然后，經(jīng)過干燥處理(加熱等處理)，使功能液固定，形成三色的著色層508R、508G、508B。如果形成了著色層508R、508G、508B，就轉(zhuǎn)移到保護(hù)膜形成步驟(S14)，如圖15E所示，覆蓋基板501、劃分壁部507b、著色層508R、508G、508B的上表面，形成保護(hù)膜509。
即向基板501的形成著色層508R、508G、508B的面全體噴出保護(hù)膜用涂敷液后，經(jīng)過干燥處理，形成保護(hù)膜509。
然后，在形成了保護(hù)膜509后，濾色器500轉(zhuǎn)移到成為下一步驟的透明電極的ITO(Indium Tin Oxide)等膜的附加步驟中。
圖16是表示作為使用了所述濾色器500的液晶顯示裝置一例的無源矩陣型液晶裝置(液晶裝置)的概略結(jié)構(gòu)的主要部分剖視圖。在該液晶裝置520中通過安裝液晶驅(qū)動(dòng)用IC、背光、支撐體等附帶要素，取得作為最終制品的透射型液晶顯示裝置。此外，濾色器500與圖15所示的濾色器相同，對于對應(yīng)的部分采用相同的符號(hào)，省略了其說明。
該液晶裝置520由濾色器500、由玻璃基板構(gòu)成的對置基板521、夾在它們之間的STN(Super Twisted Nematic)液晶組成物構(gòu)成的液晶層522構(gòu)成，在圖中上方(觀察者一側(cè))配置有濾色器500。
此外，雖然未圖示，但是在對置基板521和濾色器500的外表面(與液晶層522一側(cè)相反一側(cè)的面)上分別配置了偏振片，此外在位于對置基板521一側(cè)的偏振片外側(cè)配置有背光。
在濾色器500的保護(hù)膜509(液晶層一側(cè))，以規(guī)定的間隔形成多個(gè)在圖中左右方向長的長方形第一電極523，覆蓋該第一電極523的與濾色器500相反一側(cè)的面形成第一定向膜524。
而在對置基板521的與濾色器500相對的面上，以規(guī)定的間隔形成多個(gè)在與濾色器500的第一電極523正交的方向長的長方形第二電極526，覆蓋該第二電極526的液晶層522一側(cè)的面形成第二定向膜527。這些第一電極523和第二電極526由ITO等透明導(dǎo)電材料形成。
設(shè)置在液晶層522內(nèi)的隔離塊528是用于使液晶層522的厚度(單元間隔)保持一定的部件。此外，密封材料529是用于防止液晶層522內(nèi)的液晶組成物向外部泄漏的部件。此外，第一電極523的一端部作為包圍部件523a，延伸到密封材料529的外側(cè)。
而且，第一電極523和第二電極526交叉的部分是像素，濾色器500的著色層508R、508G、508B位于成為該像素的部分。
在通常的制造步驟中，通過對濾色器500進(jìn)行第一電極的構(gòu)圖和第一定向膜524的涂敷，生成濾色器500一側(cè)的部分，并且在另外對于對置基板521進(jìn)行第二電極526的構(gòu)圖和第二定向膜527的涂敷，生成對置基板521一側(cè)的部分。然后，在對置基板521一側(cè)的部分生成隔離塊528和密封材料529，在該狀態(tài)下，與濾色器500一側(cè)的部分貼在一起。接著，從密封材料529的注入口注入構(gòu)成液晶層522的液晶，密封注入口。然后，層疊兩個(gè)偏振片和背光。
實(shí)施例的液滴噴出裝置1能涂敷構(gòu)成所述單元間隔的隔離材料(功能液)，并且在向?qū)χ没?21一側(cè)的部分粘貼濾色器500一側(cè)的部分之前，向由密封材料529包圍的區(qū)域均一涂敷液晶(功能液)。此外，也能用功能液滴噴出頭41進(jìn)行所述密封材料529的印刷。也能用功能液滴噴出頭41進(jìn)行第一和第二定向膜524、527的涂敷。
圖17是表示使用了在本實(shí)施例中制造的濾色器500的液晶裝置的第二例概略結(jié)構(gòu)的主要部分剖視圖。
本液晶裝置530與所述液晶裝置520的最大不同點(diǎn)在于在圖中下方(與觀測者一側(cè)相反一側(cè))配置了濾色器500。
該液晶裝置530的結(jié)構(gòu)為在濾色器500和由玻璃基板構(gòu)成的對置基板531之間夾持著由STN液晶構(gòu)成的液晶層532。此外，雖然未圖示，但是在對置基板531和濾色器500的外表面上分別配置有偏振片。
在濾色器500的保護(hù)膜509上(液晶層532一側(cè))，以規(guī)定的間隔形成多個(gè)在圖中向里方向長的長方形第一電極533，覆蓋該第一電極533的液晶層532一側(cè)的面形成第一定向膜534。
而在對置基板531的與濾色器500相對的面上，以規(guī)定的間隔形成多個(gè)在與濾色器500一側(cè)的第一電極533正交的方向延伸的長方形第二電極536，覆蓋該第二電極536的液晶層532一側(cè)的面形成第二定向膜537。
在液晶層532中設(shè)置了用于使該液晶層532厚度保持一定的隔離塊538、用于防止液晶層532內(nèi)的液晶組成物向外部泄漏的密封材料539。
而且，與所述液晶裝置520同樣，第一電極533和第二電極536交叉的部分是像素，濾色器500的著色層508R、508G、508B位于成為該像素的部位。
圖18表示使用本發(fā)明的濾色器500構(gòu)成液晶裝置的第三例，是表示透射型TFT(Thin Film Transistor)型液晶裝置的概略結(jié)構(gòu)的分解立體圖。
該液晶裝置550是把濾色器500配置在圖中上方(觀察者一側(cè))。
液晶裝置550由濾色器500、與它相對配置的對置基板551、夾持在它們之間的未圖示的液晶層、配置在濾色器500的上表面一側(cè)(觀察者一側(cè))的偏振片555、配置在對置基板551的下表面一側(cè)的偏振片(未圖示)構(gòu)成。
在濾色器500的保護(hù)膜509的表面(對置基板551一側(cè)的面)上形成液晶驅(qū)動(dòng)用電極556。該電極556由ITO等透明導(dǎo)電材料構(gòu)成，成為覆蓋形成后面描述的像素電極560的區(qū)域全體的全面電極。此外，以覆蓋了與該電極556的與像素電極560相反一側(cè)的面的狀態(tài)下，設(shè)置了定向膜557。
在對置基板551的與濾色器500相對的面上形成絕緣膜558，在該絕緣膜558上以彼此正交的狀態(tài)形成掃描線561和信號(hào)線562。而且，在包圍在這些掃描線561和信號(hào)線562中的區(qū)域內(nèi)形成像素電極560。此外，在實(shí)際的液晶裝置中，在像素電極560上設(shè)置有定向膜，但是省略了圖示。
此外，在包圍在像素電極560的切口部、掃描線561和信號(hào)線562中的部分中設(shè)置了具有源電極、漏電極、半導(dǎo)體和柵電極的薄膜晶體管563。而且，通過外加對于掃描線561和信號(hào)線562的信號(hào)，使薄膜晶體管563導(dǎo)通和斷開，能進(jìn)行對像素電極560的通電控制。
此外，所述各例的液晶裝置520、530、550為透射型結(jié)構(gòu)，但是也能設(shè)置反射層或半透射反射層，成為反射型的液晶裝置或半透射反射型的液晶裝置。
下面，圖19是有機(jī)EL裝置的顯示區(qū)(以下只稱作顯示裝置600)的主要部分剖視圖。
該顯示裝置600以在基板(W)601上層疊了電路元件部602、發(fā)光元件部603和陰極604的狀態(tài)下構(gòu)成。
在顯示裝置600中，從發(fā)光元件部603向基板601一側(cè)發(fā)出的光透過電路元件部602和基板601，出射到觀測者一側(cè)，從發(fā)光元件部603向基板601的相反一側(cè)發(fā)出的光由陰極604反射后，透射電路元件部602和基板601，出射到觀測者一側(cè)。
在透射電路元件部602和基板601之間形成由氧化硅膜構(gòu)成的底層保護(hù)膜606，在底層保護(hù)膜606上(發(fā)光元件部603一側(cè))形成由多晶硅構(gòu)成的島狀半導(dǎo)體膜607。在該半導(dǎo)體膜607的左右區(qū)域上通過高濃度陽離子注入分別形成源區(qū)607a和漏區(qū)607b。而且，未注入陽離子的中央部變?yōu)闇系绤^(qū)607c。
此外，在電路元件部602中形成覆蓋底層保護(hù)膜606和半導(dǎo)體膜607的透明柵絕緣膜608，在該柵絕緣膜608上的與半導(dǎo)體膜607的溝道區(qū)607c對應(yīng)的位置形成由Al、Mo、Ta、Ti、W等構(gòu)成的柵電極609。在該柵電極609和柵絕緣膜608上形成第一層間絕緣膜611a和第二層間絕緣膜611b。此外，形成貫通第一、第二層間絕緣膜611a、611b，分別連通在半導(dǎo)體膜607的源區(qū)607a、漏區(qū)607b上的接觸孔612a、612b。
然后，在第二層間絕緣膜611b上，把由ITO等構(gòu)成的像素電極613構(gòu)圖形成規(guī)定的形狀，該像素電極613通過接觸孔612a連接在源區(qū)607a上。
此外，在第一層間絕緣膜611a上配置有電源線614，該電源線614通過接觸孔612b連接在漏區(qū)607b上。
這樣，在電路元件部602上分別形成連接在各像素電極613上的驅(qū)動(dòng)用薄膜晶體管615。
所述發(fā)光元件部603由分別層疊在多個(gè)像素電極613上的功能層617、設(shè)置在各像素電極613和功能層617之間的劃分各功能層617的隔岸部618構(gòu)成。
通過像素電極613、功能層617和配置在功能層617上的陰極604構(gòu)成發(fā)光元件。此外，像素電極613形成為在平面視圖中為近矩形，在各像素電極613之間形成隔岸部618。
隔岸部618由以下部分構(gòu)成例如由SiO、SiO2、TiO2等無機(jī)材料形成的無機(jī)物隔岸層618a(第一隔岸層)；層疊在無機(jī)物隔岸層618a上，由丙烯酸樹脂、聚酰亞胺樹脂等耐熱性、耐溶劑性優(yōu)異的抗蝕劑形成的截面為梯形的有機(jī)物隔岸層618b(第二隔岸層)構(gòu)成。以騎上像素電極613的邊緣部上的狀態(tài)形成該隔岸部618的一部分。
而且，在各隔岸部618之間，形成對于像素電極613向上方逐漸擴(kuò)大的開口部619。
所述功能層617由在開口部619內(nèi)以層疊狀態(tài)形成在像素電極613上的空穴注入/輸送層617a、形成在空穴注入/輸送層617a上的發(fā)光層617b構(gòu)成。此外，還可以與該發(fā)光層617b相鄰，形成具有其他功能的其他功能層。例如也能形成電子輸送層。
空穴注入/輸送層617a具有從像素電極613一側(cè)輸送空穴，向發(fā)光層617b注入的功能。通過噴出包括空穴注入/輸送層形成材料的第一組成物(功能液)，形成該空穴注入/輸送層617a。作為空穴注入/輸送層形成材料，使用公知的材料。
發(fā)光層617b發(fā)出紅色(R)、綠色(G)或藍(lán)色(B)中的任意顏色的光，通過噴出包括發(fā)光層形成材料(發(fā)光材料)的第二組成物(功能液)而形成。作為第二組成物的溶劑(非極性溶劑)，希望使用對于空穴注入/輸送層617a不溶解的公開的材料，通過把這樣的非極性溶劑作為發(fā)光層617b的第二組成物，不會(huì)使空穴注入/輸送層617a再溶解，就能形成發(fā)光層617b。
而且，在發(fā)光層617b中，從空穴注入/輸送層617a注入的空穴和從陰極604注入的電子在發(fā)光層中再結(jié)合、發(fā)光。
以覆蓋發(fā)光元件部603的整個(gè)面的狀態(tài)形成陰極604，與像素電極613成對實(shí)現(xiàn)使電流流過功能層617的任務(wù)。此外，在該陰極604的上部配置有未圖示的密封部件。
下面，參照圖20～圖24說明所述顯示裝置600的制造步驟。
如圖20所示，該顯示裝置600經(jīng)過隔岸部形成步驟(S21)、表面處理步驟(S22)、空穴注入/輸送層形成步驟(S23)、發(fā)光層形成步驟(S24)和對置電極形成步驟(S25)制造。此外，制造步驟并不局限于例示的步驟，按照必要有時(shí)刪除步驟，有時(shí)追加步驟。
首先，在隔岸部形成步驟(S21)中，如圖21所示，在第二層間絕緣膜611b上形成無機(jī)物隔岸層618a。在形成位置形成了無機(jī)物膜后，通過光刻技術(shù)等把該無機(jī)物膜構(gòu)圖，形成無機(jī)物隔岸層618a。這時(shí)，形成為無機(jī)物隔岸層618a的一部分與像素電極613的邊緣部重疊。
如果形成了無機(jī)物隔岸層618a，則如圖22所示，在無機(jī)物隔岸層618a上形成有機(jī)物隔岸層618b。與無機(jī)物隔岸層618a同樣，通過光刻技術(shù)等構(gòu)圖形成該有機(jī)物隔岸層618b。
這樣，就形成了隔岸部618。此外，伴隨著此，在各隔岸部618間，形成對于像素電極613在上方開口的開口部619。該開口部619規(guī)定像素區(qū)。
在表面處理步驟(S22)中，進(jìn)行親液處理和防液處理。進(jìn)行親液處理的區(qū)域是親液處理的第一層疊部618aa和像素電極613的電極面613a，這些區(qū)域通過以氧為處理氣體的等離子體處理，表面處理為親液性。該等離子體處理液也兼任像素電極613的ITO的清洗。
此外，防液處理對有機(jī)物隔岸層618b的壁面618s和有機(jī)物隔岸層618b的上表面618t進(jìn)行，通過例如以四氟甲烷為處理氣體的等離子體處理，對表面進(jìn)行氟化處理(處理為防液性)。
通過進(jìn)行表面處理步驟，當(dāng)使用功能液滴噴出頭41形成功能層617時(shí)，能更可靠地使功能液滴落在像素區(qū)域中，此外，能防止落在像素區(qū)中的功能液滴從開口部619溢出。
而且，通過以上的步驟，取得顯示裝置基體600A。把該顯示裝置基體600A放置在液滴噴出裝置1的設(shè)置臺(tái)(省略圖示)上，進(jìn)行以下的空穴注入/輸送層形成步驟(S23)和發(fā)光層形成步驟(S24)。
如圖23所示，在空穴注入/輸送層形成步驟(S23)中，從功能液滴噴出頭41向像素區(qū)的各開口部619內(nèi)噴出包括空穴注入/輸送層形成材料的第一組成物。然后如圖24所示，進(jìn)行干燥處理和熱處理，使第一組成物種包括的極性溶劑蒸發(fā)，在像素電極(電極面613)上形成空穴注入/輸送層617a。
下面，說明發(fā)光層形成步驟(S24)。在該發(fā)光層形成步驟中，如上所述，為了防止空穴注入/輸送層617a的再溶解，作為發(fā)光層的形成時(shí)使用的第二組成物的溶劑，使用對于空穴注入/輸送層617a不溶解的非極性溶劑。
可是，空穴注入/輸送層617a對于非極性溶劑的親和性低，所以即使向空穴注入/輸送層617a上噴出包括非極性溶劑的第二組成物，也無法使空穴注入/輸送層617a和發(fā)光層617b緊貼，或者無法均勻涂敷發(fā)光層617b。
因此，為了提高空穴注入/輸送層617a的表面對于非極性溶劑和發(fā)光層形成材料的親和性，希望在形成發(fā)光層之前進(jìn)行表面處理(表面改質(zhì)處理)。把與形成發(fā)光層時(shí)使用的第二組成物的非極性溶劑同一或與它類似的溶劑的表面改質(zhì)材料涂敷在空穴注入/輸送層617a上，使它干燥，進(jìn)行該表面處理。
通過實(shí)施該處理，空穴注入/輸送層617a的表面變得容易與非極性溶劑親和，在此后的步驟中，能均勻地把包括發(fā)光層形成材料的第二組成物向空穴注入/輸送層617a涂敷。
然后，如圖25所示，把包括與各色中的任意一個(gè)(在圖25的例子中，藍(lán)色(B))對應(yīng)的發(fā)光層形成材料的第二組成物作為功能液滴向像素區(qū)(開口部619)內(nèi)注入規(guī)定的量。注入到像素區(qū)中的第二組成物在空穴注入/輸送層617a上擴(kuò)散，充滿開口部619內(nèi)。此外，即使第二組成物從像素區(qū)偏離，落在隔岸部618的上表面618t上時(shí)，如上所述，因?yàn)閷υ撋媳砻?18t進(jìn)行了防液處理，所以第二組成物容易落入開口部619中。
然后，通過進(jìn)行干燥處理，干燥處理噴出后的第二組成物，使第二組成物中包括的非極性溶劑蒸發(fā)，如圖26所示，在空穴注入/輸送層617a上形成有機(jī)物隔岸層618b。這時(shí)，形成與藍(lán)色(B)對應(yīng)的發(fā)光層617b。
同樣，使用功能液滴噴出頭41，如圖27所示，依次進(jìn)行與所述藍(lán)色(B)所對應(yīng)的發(fā)光層617b時(shí)同樣的步驟，形成與其它顏色(紅色(R)和綠色(G))對應(yīng)的發(fā)光層617b。此外，發(fā)光層617b的形成步驟并不局限于例示的順序，可以用任意的順序形成。例如，能按照發(fā)光層形成材料決定形成的順序。此外，作為R、G、B三色的排列圖案，有條狀排列、鑲嵌排列和三角形排列。
如上所述，在像素電極613上形成了功能層617即空穴注入/輸送層617a和發(fā)光層617b。然后，轉(zhuǎn)移到對置電極形成步驟(S25)。
在對置電極形成步驟(S25)中，如圖28所示，在發(fā)光層617b和有機(jī)物隔岸層618b的整個(gè)面上通過例如蒸鍍法、濺射法、CVD法等形成陰極604(對置電極)。在本實(shí)施例中，例如層疊鈣層和鋁層而構(gòu)成該陰極604。
在該陰極604的上部適當(dāng)設(shè)置作為電極的Al膜、Ag膜等的用于防止其氧化的SiO2、SiN等保護(hù)層。
這樣形成了陰極604后，進(jìn)行通過密封材料密封該陰極604的上部的密封處理和布線處理等其他處理，取得顯示裝置600。
圖29是等離子體顯示裝置(PDP裝置，以下只稱作顯示裝置700)的主要部分的分解立體圖。此外，圖28以切去其一部分的狀態(tài)表示顯示裝置700。
該顯示裝置700由彼此相對配置的第一基板701、第二基板702、形成在它們之間的放電顯示部703構(gòu)成。放電顯示部703由多個(gè)放電室705構(gòu)成。在這些放電室705中，紅色放電室705R、綠色放電室705G、藍(lán)色放電室705B等三個(gè)放電室成為組，構(gòu)成一個(gè)像素。
在第一基板701的上表面上，地址電極706以規(guī)定的間隔形成條紋狀，覆蓋該地址電極706和第一基板701的上表面形成介質(zhì)層707。在介質(zhì)層707上，位于各地址電極706之間，并且沿著各地址電極706，直立設(shè)置有隔壁708。該隔壁708如圖所示，包括在地址電極706的寬度方向兩側(cè)延伸的部分、在與地址電極706 交的方向延伸的部分。
而且，由該隔壁708劃分的區(qū)域成為放電室705。在放電室705內(nèi)配置有熒光體709。熒光體709發(fā)出紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)中的任意顏色的熒光，在紅色放電室705R的底部配置有紅色熒光體709R，在綠色放電室705G的底部配置有綠色熒光體709G，在藍(lán)色放電室705B的底部配置有藍(lán)色熒光體709B。
在第二基板702的圖中下方的面上，在與所述地址電極706正交的方向上，以規(guī)定的間隔把多個(gè)顯示電極711形成條紋狀。而且，覆蓋它們形成介質(zhì)層712和由MgO等構(gòu)成的保護(hù)膜713。
在地址電極706和顯示電極711彼此正交的狀態(tài)下使第一基板701和第二基板702相對粘貼在一起。此外，所述地址電極706和顯示電極711連接在未圖示的交流電源上。
而且，通過對各電極706、711通電，在放電顯示部703中，熒光體709激勵(lì)發(fā)光，能進(jìn)行彩色顯示。
在本實(shí)施例中，能使用圖1所示的液滴噴出裝置1形成所述地址電極706、顯示電極711、熒光體709。下面，表示第一基板701的地址電極706的形成步驟。
這時(shí)，在把第一基板701放置在液滴噴出裝置1的設(shè)置臺(tái)(省略圖示)上的狀態(tài)下進(jìn)行以下的步驟。
首先，通過功能液滴噴出頭41把包括導(dǎo)電膜布線形成用材料的液體材料(功能液)作為功能液滴，使其落在電極形成區(qū)中。該液體材料作為導(dǎo)電膜布線形成用材料，是把金屬等導(dǎo)電性微粒分散到分散劑中。作為該導(dǎo)電性微粒，使用包括金、銀、銅或鎳等的金屬微粒、導(dǎo)電性聚合物。
關(guān)于成為補(bǔ)充對象的全部地址形成區(qū)，如果液體材料的補(bǔ)充結(jié)束，就對噴出后的液體材料進(jìn)行干燥處理，通過使液體材料中包括的分散劑蒸發(fā)，形成地址電極706。
可是，在所述中，表示了地址電極706的形成，但是關(guān)于所述顯示電極711和熒光體709，經(jīng)過所述各步驟也能形成。
當(dāng)形成各顯示電極711時(shí)，與地址電極706的情形同樣，把含有導(dǎo)電膜布線形成用材料的液體材料(功能液)作為功能液滴，使其落在顯示電極形成區(qū)中。
此外，在形成熒光體709時(shí)，從功能液滴噴出頭41把包括與各色(R、G、B)對應(yīng)的熒光材料的液體材料(功能液)作為液滴噴出，使其落在對應(yīng)顏色的放電室705內(nèi)。
圖30是表示電子發(fā)射裝置(也稱作FED裝置或SED裝置，以下只稱作顯示裝置800)的主要部分剖視圖。此外，在圖30中，把其一部分作為剖面表示了顯示裝置800。
該顯示裝置800具有彼此相對配置的第一基板801、第二基板802和形成在它們之間的電場發(fā)射顯示部803。電場發(fā)射顯示部803由配置為矩陣狀的多個(gè)電子發(fā)射部805構(gòu)成。
在第一基板801的上表面，彼此正交形成構(gòu)成陰極806的第一元件電極806a和第二元件電極806b。此外，在由第一元件電極806a和第二元件電極806b劃分的部分中形成有形成間隔808的導(dǎo)電性膜807。即通過第一元件電極806a、第二元件電極806b和導(dǎo)電性膜807，構(gòu)成多個(gè)電子發(fā)射部805。導(dǎo)電性膜807由氧化鈀(PdO)等構(gòu)成，此外，在形成了導(dǎo)電性膜807后，通過成形等形成間隔808。
在第二基板802的下面形成與陰極806對置的陽極809。在陽極809的下表面形成格子狀的隔岸部811，在由該隔岸部811包圍的向下的各開口部812中，與電子發(fā)射部805對應(yīng)配置有熒光體813。熒光體813發(fā)出紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)等任意顏色熒光，在各開口部812中，以規(guī)定的圖案配置有紅色熒光體813R、綠色熒光體813G、藍(lán)色熒光體813B。
而且，把這樣構(gòu)成的第一基板801和第二基板802保存微小間隔貼在一起。在顯示裝置800中，通過導(dǎo)電性膜(間隔)，從陰極的第一元件電極806a或第二元件電極806b飛出的電子撞擊形成在陽極即陽極809上的熒光體813，激勵(lì)發(fā)光，彩色顯示成為可能。
這時(shí)，與其它實(shí)施例同樣，使用液滴噴出裝置1能形成第一元件電極806a、第二元件電極806b、導(dǎo)電性膜807和陽極809，而且使用液滴噴出裝置1能形成各色熒光體813R、813G、813B。
第一元件電極806a、第二元件電極806b、導(dǎo)電性膜807具有圖31(a)所示的平面形狀，當(dāng)形成它們時(shí)，如圖31(b)所示，預(yù)先保留形成第一元件電極806a、第二元件電極806b、導(dǎo)電性膜807的部分，形成隔岸部BB(光刻法)。接著在由隔岸部BB構(gòu)成的溝部分中形成(基于液滴噴出裝置1的噴墨法)第一元件電極806a、第二元件電極806b，使其溶劑干燥，進(jìn)行了成膜后，形成導(dǎo)電性膜807(基于液滴噴出裝置1的噴墨法)。然后，在形成導(dǎo)電性膜807后，除掉隔岸部BB(灰化剝離處理)，轉(zhuǎn)移到所述成形處理。此外，與所述有機(jī)EL裝置時(shí)同樣，希望進(jìn)行對隔岸部811、BB的防液處理。
此外，作為其他電光裝置，考慮到包括金屬布線的形成、透鏡的形成、保護(hù)膜的形成和光擴(kuò)散體的形成、顯微鏡用標(biāo)本的形成的裝置。
即所述液滴噴出裝置1通過適當(dāng)去除靜電，能與多種多樣的功能液以及清洗液對應(yīng)，所以能在各種電光裝置(器件)的制造中使用，能高效制造各種電光裝置。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明液滴噴出裝置，能通過除電部件更高效地去掉樹脂制的連接管中產(chǎn)生的靜電。即在由于移動(dòng)而特別容易產(chǎn)生靜電的連接管的可動(dòng)部，跨可動(dòng)部的全長，使除電薄板接觸，迅速去掉產(chǎn)生的靜電，并且在非可動(dòng)部分設(shè)置除電用的接頭，適當(dāng)進(jìn)行除電。此外，通過用具有導(dǎo)電性的部件構(gòu)成通常的接頭，能把它作為除電用接頭利用，所以不必另外設(shè)置其他部件，能謀求裝置在空間上的節(jié)省，而且能簡化裝置。
此外，在本發(fā)明的電光裝置的制造方法、電光裝置、電子儀器中，使用所述液滴噴出裝置進(jìn)行了制造，所以很難受到靜電的影響，使高效制造成為可能。
權(quán)利要求
1.一種液滴噴出裝置，具有被配置在移動(dòng)臺(tái)上的與該移動(dòng)臺(tái)同步地進(jìn)行掃描，向工件噴出功能液的功能液滴噴出頭、和向功能液滴噴出頭供給功能液的功能液供給部件，其特征在于所述功能液供給部件具有供給功能液的功能液容器；連接所述功能液滴噴出頭和所述功能液容器的樹脂制的連接管；一端固定在所述移動(dòng)臺(tái)上，并且另一端固定在裝置框架上，支撐所述連接管，并且伴隨著所述功能液滴噴出頭的掃描，使所述連接管跟蹤移動(dòng)的柔性支撐部件；被設(shè)置在柔性支撐部件上，通過與所述連接管接觸，使該連接管與所述裝置框架構(gòu)成接地連接的除電部件。
2.一種液滴噴出裝置，具有功能液滴噴出頭、通過相對所述功能液滴噴出頭移動(dòng)而擦拭該功能液滴噴出頭的噴嘴面的擦拭單元、配置所述擦拭單元并且使所述擦拭單元相對功能液滴噴出頭移動(dòng)的移動(dòng)臺(tái)、向所述擦拭單元供給擦拭用清洗液的清洗液供給部件，其特征在于清洗液供給部件具有供給清洗液的清洗液容器；連接所述清洗液容器和所述擦拭單元的樹脂制連接管；一端固定在所述移動(dòng)臺(tái)上，并且另一端固定在裝置框架上，支撐所述連接管，并且伴隨著所述擦拭單元的移動(dòng)，使所述連接管跟蹤移動(dòng)的柔性支撐部件；被設(shè)置在柔性支撐部件上，通過與所述連接管接觸，使該連接管與所述裝置框架構(gòu)成接地連接的除電部件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于所述除電部件由配置在所述柔性支撐部件的所述連接管的支撐面上的除電薄板構(gòu)成。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液滴噴出裝置，其特征在于所述除電部件由配置在所述柔性支撐部件的所述連接管的支撐面上的除電薄板構(gòu)成。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液滴噴出裝置，其特征在于跨所述柔性支撐部件的支撐面的全長設(shè)置除電薄板。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的液滴噴出裝置，其特征在于跨所述柔性支撐部件的支撐面的全長設(shè)置除電薄板。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液滴噴出裝置，其特征在于在所述除電薄板的與所述連接管的接觸面上設(shè)置除電用的起毛。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的液滴噴出裝置，其特征在于在所述除電薄板的與所述連接管的接觸面上設(shè)置除電用的起毛。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于還具有設(shè)置在所述連接管的除了被支撐在所述柔性支撐部件上的部分的非可動(dòng)部分上，使所述連接管與所述裝置框架構(gòu)成接地連接的導(dǎo)電接頭。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液滴噴出裝置，其特征在于還具有設(shè)置在所述連接管的除了被支撐在所述柔性支撐部件上的部分的非可動(dòng)部分上，使所述連接管與所述裝置框架構(gòu)成接地連接的導(dǎo)電接頭。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的液滴噴出裝置，其特征在于所述接頭以規(guī)定的間隔設(shè)置在所述連接管的非可動(dòng)部分上。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的液滴噴出裝置，其特征在于所述接頭以規(guī)定的間隔設(shè)置在所述連接管的非可動(dòng)部分上。
13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的液滴噴出裝置，其特征在于所述接頭通過導(dǎo)電性的接頭支撐零件與所述裝置框架構(gòu)成接地連接。
14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的液滴噴出裝置，其特征在于所述接頭通過導(dǎo)電性的接頭支撐零件與所述裝置框架構(gòu)成接地連接。
15.一種電光裝置的制造方法，其特征在于使用權(quán)利要求9所述的液滴噴出裝置，在所述工件上形成由從所述功能液滴噴出頭噴出的功能液滴構(gòu)成的成膜部。
16.一種電光裝置的制造方法，其特征在于使用權(quán)利要求10所述的液滴噴出裝置，在所述工件上形成由從所述功能液滴噴出頭噴出的功能液滴構(gòu)成的成膜部。
17.一種電光裝置，其特征在于使用權(quán)利要求9所述的液滴噴出裝置，在工件上形成了由從功能液滴噴出頭噴出的功能液滴構(gòu)成的成膜部。
18.一種電光裝置，其特征在于使用權(quán)利要求10所述的液滴噴出裝置，在工件上形成了由從功能液滴噴出頭噴出的功能液滴構(gòu)成的成膜部。
19.一種利用權(quán)利要求15或16所述電光裝置的制造方法制造的電光裝置。
20.一種電子儀器，其特征在于配置了權(quán)利要求17或18所述的電光裝置。
全文摘要
本發(fā)明的液滴噴出裝置(1)具有與基于移動(dòng)臺(tái)(111)的掃描同步噴出功能液的功能液滴噴出頭(41)、向功能液滴噴出頭(41)供給功能液的功能液供給部件(191)，功能液供給部件(191)具有供給功能液的功能液容器(202)；用于配管連接的樹脂制的連接管(203)；支撐連接管(203)，并且伴隨著功能液滴噴出頭(41)的掃描，使所述連接管(203)跟蹤移動(dòng)的柔性支撐部件(123)；設(shè)置在柔性支撐部件(123)上，與連接管(203)接觸，使該連接管(203)與裝置框架(10)構(gòu)成接地連接的除電部件(6)。這樣，通過把連接管接地，能去掉連接管中產(chǎn)生的靜電。
文檔編號(hào)B41J29/02GK1496824SQ0314349
公開日2004年5月19日 申請日期2003年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2002年10月1日
發(fā)明者中村真一 申請人:精工愛普生株式會(huì)社