專利名稱：中溫太陽(yáng)能平板集熱器吸熱翅片板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于太陽(yáng)能光熱應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種平板集熱器吸熱 板，具體地說(shuō)是一種中溫太陽(yáng)能平板集熱器吸熱翅片板。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)的平板集熱器吸熱翅片板，包括金屬底板，金屬底板上設(shè)有 一層反射膜，鍍膜材料為TiNxOy或NiCr。這種結(jié)構(gòu)的平板集熱器吸熱翅片板在生產(chǎn)和使用 中，存在的不足是，對(duì)抗遠(yuǎn)紅外反射和抗熱輻射的性能都不很理想，也就是對(duì)陽(yáng)光的吸收和 對(duì)熱量保存效果都沒(méi)有達(dá)到最好效果，特別是中溫150°C左右使用時(shí)，還有許多問(wèn)題有待于 業(yè)內(nèi)科技人員加以完善。發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是解決現(xiàn)有技術(shù)存在對(duì)抗遠(yuǎn)紅外反射和抗熱輻射 的性能不理想技術(shù)問(wèn)題，的目的是解決現(xiàn)有技術(shù)存在對(duì)抗遠(yuǎn)紅外反射和抗熱輻射的性能不 理想技術(shù)問(wèn)題，提供一種中溫太陽(yáng)能平板集熱器吸熱翅片板，從而克服現(xiàn)有技術(shù)的不足。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型中溫太陽(yáng)能平板集熱器吸熱翅片板，包括金屬底板， 其要點(diǎn)是在金屬底板上依次設(shè)有一層氮化鋁鈦抗紅外反射膜、兩層氮氧化鋁鈦復(fù)合吸收膜 和一層氧化鋁鈦抗輻射復(fù)合保護(hù)膜。本發(fā)明的有益效果是，由于氮化鋁鈦(TiAlN)的紅外反射率和紅外反射率與金接 近，具有更低的低溫發(fā)射率和熱損，保溫性能更好，同時(shí)TiAlN是一種優(yōu)質(zhì)的高硬度、耐磨 和抗氧化材料，因此使用該涂層的平板集熱器具有良好的耐候性和耐氧化性，可以在150°C 左右中溫使用性能好。本實(shí)用新型解決了現(xiàn)有技術(shù)存在對(duì)抗遠(yuǎn)紅外反射和抗熱輻射的性能 不理想技術(shù)問(wèn)題。


附圖為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、抗紅外反射膜 2、第一復(fù)合吸收膜 3、第二復(fù)合吸收膜 4、抗輻射復(fù)合 保護(hù)膜5、金屬底板具體實(shí)施方式
參照附圖，本實(shí)用新型中溫太陽(yáng)能平板集熱器吸熱翅片板，包括 金屬底板5，在金屬底板5上依次設(shè)有一層氮化鋁鈦抗紅外反射膜1、兩層氮氧化鋁鈦復(fù)合 吸收膜2、3和一層氧化鋁鈦抗輻射復(fù)合保護(hù)膜4。本實(shí)用新型在膜層制備時(shí)，將工件金屬底板5裝在雙靶磁控濺射鍍膜機(jī)的轉(zhuǎn)架 上，工件公轉(zhuǎn)的同時(shí)自轉(zhuǎn)，自動(dòng)程序控制濺射鍍膜工藝運(yùn)行，工藝運(yùn)行完后取出工件。操作工藝如下膜層的制備方法屬于磁控反應(yīng)濺射法，濺射氣體為氬氣，反應(yīng)氣體為高純氧氣和 氮?dú)?，膜層共分四層濺射，其間有若干過(guò)渡層。1、抗紅外反射膜1氮化鋁鈦TiAlN的濺射工作壓強(qiáng)0. 2-0. 5Pa，反應(yīng)氣體氮?dú)饬?0_20(^ccm，濺射厚度0. 04-0. 3 μ m ；2、第一復(fù)合吸收膜2，氧氮化鋁鈦TiAlNO濺射，鈦鋁比例1 1，工作壓強(qiáng) 0. 2-0. 8Pa，反應(yīng)氣體氮?dú)猓醣壤?. 2 1，氣體量60_150Sccm，濺射厚度0. 04-0. Iym ；3、第二復(fù)合吸收膜3，氮氧化鋁鈦TiAlNO濺射，鈦鋁比例1 1，工作壓 強(qiáng)0. 2-0. 8Pa,反應(yīng)氣體氮?dú)猓醣壤?. 2 1，氣體量60-150Sccm，濺射厚度 0. 04-0. 15ym ；[0016]4、抗輻射復(fù)合保護(hù)膜4，氧化鋁鈦TiAW濺射，鈦鋁比例1 1工作壓強(qiáng) 0. 2-0. 8Pa，反應(yīng)氣體氧氣量30-20(^ccm，濺射厚度0. 03-0. 12 μ m。膜層按濺射材料分，膜系結(jié)構(gòu)共分四層濺射形成，每一層濺射膜的厚度是由相同 材質(zhì)的材料至少通過(guò)兩次以上濺射完成，最終形成金屬/TiAlN/TiA10N/TiA10N/TiA10復(fù) 合鍍膜集熱板。
權(quán)利要求1. 一種中溫太陽(yáng)能平板集熱器吸熱翅片板，包括金屬底板，其特征是在金屬底板上依 次設(shè)有一層氮化鋁鈦抗紅外反射膜、兩層氮氧化鋁鈦復(fù)合吸收膜和一層氧化鋁鈦抗輻射復(fù) 合保護(hù)膜。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種中溫太陽(yáng)能平板集熱器吸熱翅片板，包括金屬底板，其要點(diǎn)是在金屬底板上依次設(shè)有一層氮化鋁鈦抗紅外反射膜、兩層氮氧化鋁鈦復(fù)合吸收膜和一層氧化鋁鈦抗輻射復(fù)合保護(hù)膜。本實(shí)用新型的有益效果是，由于氮化鋁鈦(TiAlN)的紅外反射率和紅外反射率與金接近，具有更低的低溫發(fā)射率和熱損，保溫性能更好，同時(shí)TiAlN是一種優(yōu)質(zhì)的高硬度、耐磨和抗氧化材料，因此使用該涂層的平板集熱器具有良好的耐候性和耐氧化性，可以在150℃左右中溫使用性能好。本實(shí)用新型解決了現(xiàn)有技術(shù)存在對(duì)抗遠(yuǎn)紅外反射和抗熱輻射的性能不理想技術(shù)問(wèn)題。
文檔編號(hào)B32B9/04GK201903207SQ20102061654
公開日2011年7月20日 申請(qǐng)日期2010年11月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月19日
發(fā)明者安百軍, 安百盈, 張振濤, 王德法 申請(qǐng)人:山東帥克新能源有限公司