本技術(shù)涉及半導(dǎo)體加工，尤其涉及一種載架及加工裝置。

背景技術(shù)：

1、對(duì)部分零部件加工時(shí)，需要將零部件置于工作臺(tái)的工作面，通過(guò)在工作面上方搭建載架，載架的載梁承載加工組件以對(duì)零部件進(jìn)行加工，其中，載梁及加工組件相對(duì)工作面的方位直接決定了加工組件對(duì)零部件的加工精確度。

2、現(xiàn)有技術(shù)中，載梁作為剛性件與工作臺(tái)的相對(duì)位置一般固定不動(dòng)或僅能夠整體沿z向上下進(jìn)行高度調(diào)節(jié)，而工作臺(tái)的工作面的平面度以及載梁連接于工作臺(tái)時(shí)的安裝精度均存在誤差，從而導(dǎo)致加工組件與工作面的相對(duì)方位無(wú)法保證，致使對(duì)其上零部件的加工精確度較低，以及不同工作臺(tái)的工作面的平面度不同，載梁連接于不同的工作臺(tái)時(shí)，其加工組件與不同工作面的相對(duì)方位也不同，致使對(duì)不同工作面上的零部件的加工一致性也無(wú)法保證；部分載架中載梁相對(duì)工作面的方位雖然能夠調(diào)節(jié)，但是調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的設(shè)置使得載梁的穩(wěn)定性較差，使用過(guò)程中，載梁容易傾斜，嚴(yán)重地，甚至?xí)嗔训袈洹?/p>

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種載架及加工裝置，以解決現(xiàn)有部分載架中載梁相對(duì)工作面的方位雖然能夠調(diào)節(jié)，但是調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的設(shè)置使得載梁的穩(wěn)定性較差，使用過(guò)程中，載梁容易傾斜，嚴(yán)重地，甚至?xí)嗔训袈涞募夹g(shù)問(wèn)題。

2、為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種載架，包括載梁和兩個(gè)支架，所述支架設(shè)有z向驅(qū)動(dòng)件，所述z向驅(qū)動(dòng)件連接有連接座，所述連接座通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)座，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸沿y向延伸；

3、所述載梁沿x向延伸并連接于兩個(gè)所述轉(zhuǎn)動(dòng)座之間，且所述載梁x向的至少一端作為滑移端與相應(yīng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)座的頂部沿x向滑接。

4、可選地，所述載梁的滑移端可拆卸式固接有滑移座，所述滑移座與相應(yīng)的所述轉(zhuǎn)動(dòng)座的頂部沿x向滑動(dòng)卡接。

5、可選地，所述連接座朝向所述載梁的一側(cè)設(shè)有容置槽，所述轉(zhuǎn)動(dòng)座容置于所述容置槽內(nèi)。

6、可選地，所述容置槽的頂部為開(kāi)口設(shè)置。

7、可選地，所述連接座自上向下劃分為上部座體和下部座體，所述容置槽位于所述上部座體，所述下部座體朝向所述載梁的側(cè)壁自上向下背離所述載梁傾斜形成避讓區(qū)。

8、可選地，所述下部座體朝向所述z向驅(qū)動(dòng)件的一側(cè)設(shè)有連接板，所述連接板連接于所述z向驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端。

9、可選地，所述支架包括基座和設(shè)于所述基座頂部的架體，所述基座朝向所述載梁的一側(cè)設(shè)有調(diào)節(jié)座，所述調(diào)節(jié)座與相應(yīng)的所述連接板之間可拆卸式連接有第一z向調(diào)距部件。

10、可選地，所述調(diào)節(jié)座與相應(yīng)的所述連接座之間可拆卸式連接有第二z向調(diào)距部件。

11、可選地，所述支架與所述連接板之間連接有z向?qū)驒C(jī)構(gòu)。

12、本實(shí)用新型還提供了一種加工裝置，包括工作臺(tái)和上述載架，所述載架安裝于所述工作臺(tái)，所述載架的載梁連接有加工組件。

13、本實(shí)用新型提供的載架中，通過(guò)在載梁兩端設(shè)置能夠繞y軸相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)的連接座和轉(zhuǎn)動(dòng)座，以及設(shè)置載梁的至少一端作為滑移端能夠搭接并沿x向滑接于同側(cè)的轉(zhuǎn)動(dòng)座頂部，從而在載梁的兩端均釋放一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度以及在載梁的至少一端釋放一個(gè)移動(dòng)自由度，進(jìn)而在支架、z向驅(qū)動(dòng)件及連接座于x向固定不動(dòng)的基礎(chǔ)上，實(shí)現(xiàn)載梁兩端沿z向的錯(cuò)位調(diào)節(jié)，相應(yīng)地，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)載梁加工面相對(duì)工作面平面度的調(diào)節(jié)，從而確保載梁承載的加工組件與工作面的相對(duì)方位，相應(yīng)提高加工組件對(duì)置于工作面的零部件的加工精確度，以及對(duì)置于不同工作面的零部件的加工一致性；同時(shí)滑移端與相應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)座形成的滑移轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性較高，且能夠穩(wěn)定承載載梁及其上的加工組件，從而確保滑移轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的穩(wěn)定運(yùn)行以及載梁的方位穩(wěn)定性，相應(yīng)確保加工裝置的穩(wěn)定運(yùn)行。

技術(shù)特征：

1.一種載架，其特征在于，包括載梁(100)和兩個(gè)支架(300)，所述支架(300)設(shè)有z向驅(qū)動(dòng)件(400)，所述z向驅(qū)動(dòng)件(400)連接有連接座(210)，所述連接座(210)通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)軸(220)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)座(230)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸(220)沿y向延伸；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載架，其特征在于，所述載梁(100)的滑移端(110)可拆卸式固接有滑移座(250)，所述滑移座(250)與相應(yīng)的所述轉(zhuǎn)動(dòng)座(230)的頂部沿x向滑接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載架，其特征在于，所述連接座(210)朝向所述載梁(100)的一側(cè)設(shè)有容置槽(211)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)座(230)容置于所述容置槽(211)內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的載架，其特征在于，所述容置槽(211)的頂部為開(kāi)口設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的載架，其特征在于，所述連接座(210)自上向下劃分為上部座體(214)和下部座體(215)，所述容置槽(211)位于所述上部座體(214)，所述下部座體(215)朝向所述載梁(100)的側(cè)壁自上向下背離所述載梁(100)傾斜形成避讓區(qū)(216)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的載架，其特征在于，所述下部座體(215)朝向所述z向驅(qū)動(dòng)件(400)的一側(cè)設(shè)有連接板(530)，所述連接板(530)連接于所述z向驅(qū)動(dòng)件(400)的驅(qū)動(dòng)端。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的載架，其特征在于，所述支架(300)包括基座(310)和設(shè)于所述基座(310)頂部的架體(320)，所述基座(310)朝向所述載梁(100)的一側(cè)設(shè)有調(diào)節(jié)座(330)，所述調(diào)節(jié)座(330)與相應(yīng)的所述連接板(530)之間可拆卸式連接有第一z向調(diào)距部件。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的載架，其特征在于，所述調(diào)節(jié)座(330)與相應(yīng)的所述連接座(210)之間可拆卸式連接有第二z向調(diào)距部件。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的載架，其特征在于，所述支架(300)與所述連接板(530)之間連接有z向?qū)驒C(jī)構(gòu)。

10.一種加工裝置，其特征在于，包括工作臺(tái)和權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的載架(20)，所述載架(20)安裝于所述工作臺(tái)，所述載架(20)的載梁(100)連接有加工組件。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供一種載架及加工裝置，涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域。該載架包括載梁和兩個(gè)支架，支架設(shè)有Z向驅(qū)動(dòng)件，Z向驅(qū)動(dòng)件連接有連接座，連接座通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)座，轉(zhuǎn)動(dòng)軸沿Y向延伸；載梁沿X向延伸并連接于兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)座之間，且載梁X向的至少一端作為滑移端與相應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)座的頂部沿X向滑接。該加工裝置包括工作臺(tái)和上述載架，載架安裝于工作臺(tái)，載架的載梁連接有加工組件。該載架能夠保證對(duì)工作面上零部件的加工精確度及一致性，且滑移端與相應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)座形成的滑移轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性較高，且能夠穩(wěn)定承載載梁及其上的加工組件，從而確?；妻D(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的穩(wěn)定運(yùn)行以及載梁的方位穩(wěn)定性，相應(yīng)確保加工裝置的穩(wěn)定運(yùn)行。

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受保護(hù)的技術(shù)使用者：杭州天睿精密科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240428
技術(shù)公布日：2024/12/26