1.一種硅片傳輸手動(dòng)機(jī)械手，其特征在于：包括機(jī)械手座(100)，升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(200)和取放片機(jī)構(gòu)(300)，所述機(jī)械手座(100)布置在機(jī)械手底部，為機(jī)械手的基座；所述升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(200)布置在機(jī)械手座(100)上方，可在機(jī)械手座(100)上調(diào)節(jié)安裝高度，由M4頂絲(101)固定，具有升降和旋轉(zhuǎn)兩自由度的運(yùn)動(dòng)；所述取放片機(jī)構(gòu)(300)安裝在升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(200)上方，其機(jī)械臂(301)內(nèi)部開(kāi)通長(zhǎng)孔，通過(guò)調(diào)節(jié)通氣桿(304)可實(shí)現(xiàn)機(jī)械臂(301)取放片臺(tái)真空的得失，從而實(shí)現(xiàn)硅片的取片與放片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片傳輸手動(dòng)機(jī)械手，其特征在于：所述升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(200)由中軸(201)、套筒(202)、轉(zhuǎn)軸(203)、彈簧(204)、調(diào)節(jié)圓片(205)、限位蓋(206)、限位筒(207)、M3頂絲(208)組成；所述中軸(201)安裝在機(jī)械手座(100)上，并可以調(diào)節(jié)安裝高度，由M4頂絲(101)鎖緊；所述套筒(202)其內(nèi)螺紋與中軸外螺紋連接；所述轉(zhuǎn)軸(203)安裝在套筒(202)內(nèi)，其與中軸(201)通過(guò)彈簧(204)連接，轉(zhuǎn)軸(203)可以繞套筒(202)中心軸旋轉(zhuǎn)，同時(shí)可在套筒(202)內(nèi)做升降運(yùn)動(dòng)，彈簧(204)可對(duì)其下降運(yùn)動(dòng)進(jìn)行復(fù)位；彈簧(204)與套筒(202)之前安裝調(diào)節(jié)圓片(205)，可對(duì)彈簧的硬度進(jìn)行調(diào)整；所述限位蓋(206)其內(nèi)螺紋與套筒(202)外螺紋連接，對(duì)中軸(201)的運(yùn)動(dòng)起上限位的作用；所述限位筒(207)套在限位蓋(206)外側(cè)，由M3頂絲(208)鎖緊，其對(duì)機(jī)械手轉(zhuǎn)動(dòng)的位置起限位作用。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片傳輸手動(dòng)機(jī)械手，其特征在于：所述取放片機(jī)構(gòu)(300)由機(jī)械臂(301)、把手蓋(302)、氣嘴(303)、通氣桿(304)、密封圈(305)、軸端連接件(306)、M2頂絲(307)、彈簧(308)組成，所述機(jī)械臂(301)固連在轉(zhuǎn)軸(203)上，內(nèi)部加工通氣長(zhǎng)孔，下端圓面加工通氣溝槽，實(shí)現(xiàn)硅片的吸附；所述把手蓋(302)固連在機(jī)械臂(301)上，方便人手操作；所述氣嘴(303)安裝在機(jī)械臂下方，實(shí)現(xiàn)真空氣源的供氣；所述通氣桿(304)安裝在機(jī)械臂(301)內(nèi)部，其獨(dú)特的設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)真空氣體的通斷；所述密封圈(305)鑲在通氣桿(304)上，防止漏氣；所述軸端連接件(306)安裝在通氣桿(304)兩端，采用M2頂絲(307)鎖緊，方便人手對(duì)通氣桿(304)的操作；所述彈簧(308)套在通氣桿(304)上，一端接觸軸端連接件(306)端面，另一端接觸機(jī)械臂(301)側(cè)端面，實(shí)現(xiàn)氣體通斷操作時(shí)的復(fù)位動(dòng)作。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的一種硅片傳輸手動(dòng)機(jī)械手，其特征在于：升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(200)可實(shí)現(xiàn)機(jī)械手升降和旋轉(zhuǎn)兩自由度的運(yùn)動(dòng)，同時(shí)其限位筒(207)可對(duì)機(jī)械手取片與放片的位置進(jìn)行限位；取放片機(jī)構(gòu)(300)可實(shí)現(xiàn)硅片的取片與放片的動(dòng)作，其機(jī)械臂(301)下端圓面加工通氣溝槽，通氣桿(304)在機(jī)械臂(301)內(nèi)部處于不同位置時(shí)可實(shí)現(xiàn)機(jī)械臂(301)下端圓面真空的通斷。
5.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的一種硅片傳輸手動(dòng)機(jī)械手，其特征在于：該機(jī)械手可與光刻機(jī)及硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)臺(tái)配合使用，根據(jù)光刻機(jī)與硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)臺(tái)的位置，確定機(jī)械手操作面高度、機(jī)械臂(301)的長(zhǎng)度以及限位筒(207)的開(kāi)口角度。