一種機(jī)械手結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種機(jī)械手結(jié)構(gòu)，所述的機(jī)械手結(jié)構(gòu)的活動(dòng)板(2)上設(shè)置多道凹進(jìn)的軌道(3)，多道軌道(3)之間設(shè)置為非平行布置的結(jié)構(gòu)，每個(gè)軌道(3)內(nèi)分別安裝一個(gè)活動(dòng)吸桿(4)，多個(gè)活動(dòng)吸桿(4)分別與驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件(1)連接，驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件(1)設(shè)置為能夠帶動(dòng)多個(gè)活動(dòng)吸桿(4)沿各個(gè)軌道(3)上下移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)，自動(dòng)化程度高，調(diào)節(jié)活動(dòng)吸桿間距無需人工手動(dòng)操作；調(diào)節(jié)精度高，伺服電機(jī)只需在一秒內(nèi)就能完成各個(gè)活動(dòng)吸桿不同間距的調(diào)節(jié)；擴(kuò)展性強(qiáng)，可根據(jù)生產(chǎn)實(shí)際需要，擴(kuò)展不同數(shù)量的活動(dòng)吸桿。
【專利說明】一種機(jī)械手結(jié)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體的生產(chǎn)工藝設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，更具體地說，是涉及一種機(jī)械手結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，半導(dǎo)體芯片的來料一般都盛放在等間距的托盤里，出貨方式也是放在等間距的托盤或者編帶里。因此在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，使用機(jī)械手將半導(dǎo)體芯片從等間距的托盤或者編帶里搬運(yùn)的應(yīng)用十分廣泛。由于單個(gè)機(jī)械手已無法滿足現(xiàn)在大規(guī)模生產(chǎn)的需要，目前的半導(dǎo)體設(shè)備一般采用多個(gè)機(jī)械手共同工作的方式?，F(xiàn)有的半導(dǎo)體設(shè)備主要有三種方式:1)手動(dòng)調(diào)整的方式，通過工具手動(dòng)松開吸桿上的螺絲，左右移動(dòng)到需要到達(dá)的位置，然后再手動(dòng)擰緊固定螺絲。這種結(jié)構(gòu)的缺陷和不足之處在于:花費(fèi)時(shí)間較長(zhǎng)，調(diào)整精度不夠；2)慢速自動(dòng)調(diào)節(jié)方式，該方式的機(jī)械手裝置，通過設(shè)置一排機(jī)械手讓該裝置逐個(gè)調(diào)整至需要的位置。該結(jié)構(gòu)的缺陷和不足之處在于:精度較高，但是速度太慢，花費(fèi)時(shí)間較長(zhǎng)3)快速自動(dòng)調(diào)節(jié)的方式，這種結(jié)構(gòu)的裝置，兩個(gè)機(jī)械手固定在一根皮帶上，皮帶在電機(jī)和皮帶輪的帶動(dòng)下可以左右移動(dòng)，因此可以均等調(diào)整機(jī)械手間距。其缺陷和不足之處在于:雖然精度高，速度也快，但是機(jī)械手的數(shù)量太少，只限2個(gè)機(jī)械手。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是:針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，能夠方便快捷地實(shí)現(xiàn)多個(gè)活動(dòng)吸桿間隙調(diào)整，從而滿足在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中對(duì)活動(dòng)吸桿不同間距的要求的機(jī)械手結(jié)構(gòu)。
[0004]要解決以上所述的技術(shù)問題，本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案為:
[0005]本實(shí)用新型為一種機(jī)械手結(jié)構(gòu)，所述的機(jī)械手結(jié)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件，活動(dòng)板，活動(dòng)板上設(shè)置多道凹進(jìn)的軌道，多道軌道之間設(shè)置為非平行布置的結(jié)構(gòu)，每個(gè)軌道內(nèi)分別安裝一個(gè)活動(dòng)吸桿，多個(gè)活動(dòng)吸桿分別與驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件連接，驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件設(shè)置為能夠帶動(dòng)多個(gè)活動(dòng)吸桿沿各個(gè)軌道上下移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。
[0006]所述的機(jī)械手結(jié)構(gòu)還包括固定板，固定板與活動(dòng)板活動(dòng)連接，驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件與活動(dòng)板連接，驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件設(shè)置為能夠帶動(dòng)活動(dòng)板相對(duì)固定板上下移動(dòng)的結(jié)構(gòu)，固定板上設(shè)置一道水平布置的開槽，開槽內(nèi)安裝橫向滑軌，橫向滑軌上活動(dòng)安裝多個(gè)滑塊，滑塊后端部分別嵌裝在一個(gè)軌道內(nèi)，每個(gè)滑塊前端部分別安裝一個(gè)活動(dòng)吸桿。
[0007]所述的驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件包括伺服電機(jī)，絲桿，絲桿一端與伺服電機(jī)連接，絲桿另一端設(shè)置為穿過活動(dòng)板上的絲孔的結(jié)構(gòu)，伺服電機(jī)與能夠控制伺服電機(jī)啟停和正反轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)器連接，伺服電機(jī)設(shè)置為正反轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)能夠分別帶動(dòng)活動(dòng)板上下運(yùn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)。
[0008]所述的每道軌道分別包括軌道上端部和軌道下端部，每?jī)傻儡壍赖能壍郎隙瞬恐g距離設(shè)置為大于兩個(gè)軌道下端部之間距離的結(jié)構(gòu)。
[0009]所述的軌道設(shè)置為“一”字形結(jié)構(gòu)，所述的固定板的左端部和右端部分別設(shè)置一個(gè)上下滑軌，所述的兩個(gè)上下滑軌內(nèi)分別安裝在兩個(gè)上下滑塊上，兩個(gè)上下滑塊分別與活動(dòng)板左端部和右端部連接。
[0010]所述的每個(gè)滑塊的后端部上分別設(shè)置一個(gè)凸出的卡柱部，每個(gè)滑塊分別通過卡柱部卡裝在多個(gè)軌道內(nèi)。
[0011]所述的機(jī)械手結(jié)構(gòu)還包括一個(gè)固定吸桿，固定吸桿與固定板左端部連接。
[0012]采用本實(shí)用新型的技術(shù)方案，能得到以下的有益效果:
[0013]本實(shí)用新型所述的機(jī)械手結(jié)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)活動(dòng)板相對(duì)于固定板上下運(yùn)動(dòng)，當(dāng)驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件帶動(dòng)活動(dòng)板上下運(yùn)動(dòng)時(shí)，嵌裝在多個(gè)軌道內(nèi)的多個(gè)滑塊分別沿著軌道上下運(yùn)動(dòng)，由于軌道設(shè)置為非平行結(jié)構(gòu)，當(dāng)活動(dòng)板向下運(yùn)動(dòng)時(shí)，不同軌道內(nèi)的多個(gè)滑塊之間距離縮小，活動(dòng)板向上運(yùn)動(dòng)時(shí)，不同軌道內(nèi)的多個(gè)滑塊之間距離增大，由于多個(gè)活動(dòng)吸桿分別與多個(gè)滑塊連接，這樣，多個(gè)滑塊之間距離變化時(shí)，即達(dá)到了調(diào)節(jié)多個(gè)活動(dòng)吸桿之間距離的問題。本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)，自動(dòng)化程度高，調(diào)節(jié)活動(dòng)吸桿間距時(shí)無需人工手動(dòng)操作，完全由驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件自動(dòng)調(diào)整；調(diào)節(jié)精度高。采用活動(dòng)板、固定板、伺服電機(jī)、絲杠、滑軌和滑塊互相配合的方式，調(diào)整精度可達(dá)0.02_，從而確保鏟平精度。速度快。伺服電機(jī)只需在一秒內(nèi)就能完成各個(gè)活動(dòng)吸桿不同間距尺寸的轉(zhuǎn)換，而且同時(shí)完成多個(gè)活動(dòng)吸桿之間間距的調(diào)整；擴(kuò)展性強(qiáng)。可根據(jù)生產(chǎn)實(shí)際需要，擴(kuò)展不同數(shù)量的活動(dòng)吸桿，提高本實(shí)用新型裝置的適用范圍。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]下面對(duì)本說明書各附圖所表達(dá)的內(nèi)容及圖中的標(biāo)記作出簡(jiǎn)要的說明:
[0015]圖1為本實(shí)用新型所述的機(jī)械手結(jié)構(gòu)的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2為本實(shí)用新型所述的機(jī)械手結(jié)構(gòu)的固定板的正視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖3為本實(shí)用新型所述的機(jī)械手結(jié)構(gòu)的活動(dòng)板的正視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖4為本實(shí)用新型所述的機(jī)械手結(jié)構(gòu)的固定板的后視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]附圖中標(biāo)記分別為:1、驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件；2、活動(dòng)板；3、軌道；4、活動(dòng)吸桿；5、固定板；
6、開槽；7、橫向滑軌；8、滑塊；9、伺服電機(jī)；10、絲桿；11、驅(qū)動(dòng)器；12、軌道上端部；13、軌道下端部；14、上下滑軌；15、上下滑塊；16、卡柱部；17、固定吸桿。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面對(duì)照附圖，通過對(duì)實(shí)施例的描述，對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】如所涉及的各構(gòu)件的形狀、構(gòu)造、各部分之間的相互位置及連接關(guān)系、各部分的作用及工作原理等作進(jìn)一步的詳細(xì)說明:
[0021]如附圖1一附圖4所示，本實(shí)用新型為一種機(jī)械手結(jié)構(gòu)，所述的機(jī)械手結(jié)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件1，活動(dòng)板2，所述的活動(dòng)板2上設(shè)置多道凹進(jìn)的軌道3，多道軌道3之間設(shè)置為非平行布置的結(jié)構(gòu)，每個(gè)軌道3內(nèi)分別安裝一個(gè)活動(dòng)吸桿4，多個(gè)活動(dòng)吸桿4分別與驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件I連接，驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件I設(shè)置為能夠帶動(dòng)多個(gè)活動(dòng)吸桿4沿各個(gè)軌道3上下移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。這樣，當(dāng)驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件I帶動(dòng)活動(dòng)板2上下運(yùn)動(dòng)時(shí)，嵌裝在多個(gè)軌道3內(nèi)的多個(gè)滑塊8分別沿著軌道3上下運(yùn)動(dòng)，由于軌道3設(shè)置為非平行結(jié)構(gòu)，當(dāng)活動(dòng)板2向下運(yùn)動(dòng)時(shí)，不同軌道3內(nèi)的多個(gè)滑塊8之間距離縮小，活動(dòng)板2向上運(yùn)動(dòng)時(shí)，不同軌道3內(nèi)的多個(gè)滑塊之間距離增大，由于多個(gè)活動(dòng)吸桿4分別與多個(gè)滑塊8連接，這樣，多個(gè)滑塊8之間距離變化時(shí)，即達(dá)到了調(diào)節(jié)多個(gè)活動(dòng)吸桿4之間距離的問題。
[0022]所述的機(jī)械手結(jié)構(gòu)還包括固定板5，固定板5與活動(dòng)板2活動(dòng)連接，驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件I與活動(dòng)板2連接，驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件I設(shè)置為能夠帶動(dòng)活動(dòng)板2相對(duì)固定板5上下移動(dòng)的結(jié)構(gòu)，固定板5上設(shè)置一道水平布置的開槽6，開槽6內(nèi)安裝橫向滑軌7，橫向滑軌7上活動(dòng)安裝多個(gè)滑塊8，滑塊8后端部分別嵌裝在一個(gè)軌道3內(nèi)，每個(gè)滑塊8前端部分別安裝一個(gè)活動(dòng)吸桿4。
[0023]所述的每道軌道3分別包括軌道上端部12和軌道下端部13，每?jī)傻儡壍?的軌道上端部12之間距離設(shè)置為大于兩個(gè)軌道下端部13之間距離的結(jié)構(gòu)。這樣的結(jié)構(gòu)設(shè)置，當(dāng)驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件帶動(dòng)活動(dòng)板相對(duì)于固定板上下運(yùn)動(dòng)時(shí)，多個(gè)滑塊從上向下運(yùn)動(dòng)，即分別從各自軌道的軌道上端部12向軌道下端部13方向運(yùn)動(dòng)時(shí)，由于每?jī)傻儡壍?的軌道上端部12之間距離大于兩個(gè)軌道下端部13之間距離，這樣，滑塊在運(yùn)動(dòng)過程中，滑塊之間的距離是一個(gè)由大變小的過程，即與多個(gè)滑塊分別連接的多個(gè)活動(dòng)吸桿之間距離不斷縮小的過程，同理，滑塊從軌道下端部13向軌道上端部12運(yùn)動(dòng)時(shí)，多個(gè)滑塊之間的距離是一個(gè)由小變大的過程，即與多個(gè)滑塊分別連接的多個(gè)活動(dòng)吸桿之間距離不斷變大的過程，滑塊在沿軌道移動(dòng)時(shí)，同時(shí)沿橫向軌道自由移動(dòng)。
[0024]所述的驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件I包括伺服電機(jī)9，絲桿10，絲桿10 —端與伺服電機(jī)9連接，絲桿10另一端設(shè)置為穿過活動(dòng)板2上的絲孔的結(jié)構(gòu)，伺服電機(jī)9與能夠控制伺服電機(jī)9啟停和正反轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)器11連接，伺服電機(jī)9設(shè)置為正反轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)能夠分別帶動(dòng)活動(dòng)板2上下運(yùn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)。伺服電機(jī)9帶動(dòng)絲桿10轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)伺服電機(jī)9帶動(dòng)絲桿10正轉(zhuǎn)時(shí)，活動(dòng)板2相對(duì)于固定板5向上運(yùn)動(dòng)，伺服電機(jī)9帶動(dòng)絲桿10反轉(zhuǎn)時(shí)，活動(dòng)板2相對(duì)于固定板5向下運(yùn)動(dòng)。
[0025]所述的軌道3設(shè)置為“一”字形結(jié)構(gòu)，所述的固定板5的左端部和右端部分別設(shè)置一個(gè)上下滑軌14，所述的兩個(gè)上下滑軌14內(nèi)分別安裝在兩個(gè)上下滑塊15上，兩個(gè)上下滑塊15分別與活動(dòng)板2左端部和右端部連接。
[0026]所述的每個(gè)滑塊8的后端部上分別設(shè)置一個(gè)凸出的卡柱部16，每個(gè)滑塊8分別通過卡柱部16卡裝在多個(gè)軌道3內(nèi)。
[0027]所述的機(jī)械手結(jié)構(gòu)還包括一個(gè)固定吸桿17，固定吸桿17與固定板5左端部連接。
[0028]本實(shí)用新型所述的機(jī)械手結(jié)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)活動(dòng)板相對(duì)于固定板上下運(yùn)動(dòng)，當(dāng)驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件帶動(dòng)活動(dòng)板上下運(yùn)動(dòng)時(shí)，嵌裝在多個(gè)軌道內(nèi)的多個(gè)滑塊分別沿著軌道上下運(yùn)動(dòng)，由于軌道設(shè)置為非平行結(jié)構(gòu)，當(dāng)活動(dòng)板向下運(yùn)動(dòng)時(shí)，不同軌道內(nèi)的多個(gè)滑塊之間距離縮小，活動(dòng)板向上運(yùn)動(dòng)時(shí)，不同軌道內(nèi)的多個(gè)滑塊之間距離增大，由于多個(gè)活動(dòng)吸桿分別與多個(gè)滑塊連接，這樣，多個(gè)滑塊之間距離變化時(shí)，即達(dá)到了調(diào)節(jié)多個(gè)活動(dòng)吸桿之間距離的問題。本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)，自動(dòng)化程度高，調(diào)節(jié)活動(dòng)吸桿間距時(shí)無需人工手動(dòng)操作，完全由驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件自動(dòng)調(diào)整；調(diào)節(jié)精度高。采用活動(dòng)板、固定板、伺服電機(jī)、絲杠、滑軌和滑塊互相配合的方式，調(diào)整精度可達(dá)0.02_，從而確保鏟平精度。速度快。伺服電機(jī)只需在一秒內(nèi)就能完成各個(gè)活動(dòng)吸桿不同間距尺寸的轉(zhuǎn)換，而且同時(shí)完成多個(gè)活動(dòng)吸桿之間間距的調(diào)整；擴(kuò)展性強(qiáng)?？筛鶕?jù)生產(chǎn)實(shí)際需要，擴(kuò)展不同數(shù)量的活動(dòng)吸桿，提高本實(shí)用新型裝置的適用范圍。
[0029]上面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了示例性的描述，顯然本實(shí)用新型具體的實(shí)現(xiàn)并不受上述方式的限制，只要采用了本實(shí)用新型的方法構(gòu)思和技術(shù)方案進(jìn)行的各種改進(jìn)，或未經(jīng)改進(jìn)將本實(shí)用新型的構(gòu)思和技術(shù)方案直接應(yīng)用于其他場(chǎng)合的，均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種機(jī)械手結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的機(jī)械手結(jié)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件(1)，活動(dòng)板(2)，所述的活動(dòng)板(2)上設(shè)置多道凹進(jìn)的軌道(3)，多道軌道(3)之間設(shè)置為非平行布置的結(jié)構(gòu)，每個(gè)軌道(3)內(nèi)分別安裝一個(gè)活動(dòng)吸桿(4)，多個(gè)活動(dòng)吸桿(4)分別與驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件(I)連接，驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件(I)設(shè)置為能夠帶動(dòng)多個(gè)活動(dòng)吸桿(4)沿各個(gè)軌道(3)上下移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的機(jī)械手結(jié)構(gòu)還包括固定板(5)，固定板(5)與活動(dòng)板(2)活動(dòng)連接，驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件(I)與活動(dòng)板(2)連接，驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件(I)設(shè)置為能夠帶動(dòng)活動(dòng)板(2)相對(duì)固定板(5)上下移動(dòng)的結(jié)構(gòu)，固定板(5)上設(shè)置一道水平布置的開槽(6)，開槽(6)內(nèi)安裝橫向滑軌(7)，橫向滑軌(7)上活動(dòng)安裝多個(gè)滑塊(8)，滑塊(8)后端部分別嵌裝在一個(gè)軌道(3)內(nèi)，每個(gè)滑塊(8)前端部分別安裝一個(gè)活動(dòng)吸桿⑷。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機(jī)械手結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)部件(I)包括伺服電機(jī)(9)，絲桿(10)，絲桿(10) —端與伺服電機(jī)(9)連接，絲桿(10)另一端設(shè)置為穿過活動(dòng)板(2)上的絲孔的結(jié)構(gòu)，伺服電機(jī)(9)與能夠控制伺服電機(jī)(9)啟停和正反轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)器(11)連接，伺服電機(jī)(9)設(shè)置為正反轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)能夠分別帶動(dòng)活動(dòng)板(2)上下運(yùn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的機(jī)械手結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的每道軌道(3)分別包括軌道上端部(12)和軌道下端部(13)，每?jī)傻儡壍?3)的軌道上端部(12)之間距離設(shè)置為大于兩個(gè)軌道下端部(13)之間距離的結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的機(jī)械手結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的軌道(3)設(shè)置為“一”字形結(jié)構(gòu)，所述的固定板(5)的左端部和右端部分別設(shè)置一個(gè)上下滑軌(14)，所述的兩個(gè)上下滑軌(14)內(nèi)分別安裝在兩個(gè)上下滑塊(15)上，兩個(gè)上下滑塊(15)分別與活動(dòng)板(2)左端部和右端部連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的機(jī)械手結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的每個(gè)滑塊(8)的后端部上分別設(shè)置一個(gè)凸出的卡柱部(16)，每個(gè)滑塊(8)分別通過卡柱部(16)卡裝在多個(gè)軌道(3)內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的機(jī)械手結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的機(jī)械手結(jié)構(gòu)還包括一個(gè)固定吸桿(17)，固定吸桿(17)與固定板(5)左端部連接。
【文檔編號(hào)】B25J15/00GK203812861SQ201420223500
【公開日】2014年9月3日 申請(qǐng)日期:2014年5月4日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月4日
【發(fā)明者】邵毅, 溫艷, 張明玉 申請(qǐng)人:宿州學(xué)院