專利名稱：物料取放機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種物料取放機(jī)構(gòu)，尤其涉及一種以一組四連桿機(jī)構(gòu)控制其水平動(dòng)作的物料取放機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
眾所周知，半導(dǎo)體元件在電子化的機(jī)具設(shè)備中扮演著核心般的角色，已成為產(chǎn)業(yè)與經(jīng)濟(jì)發(fā)展的重點(diǎn)項(xiàng)目，而其相關(guān)的工藝設(shè)備則決定其生產(chǎn)的效率。其中，用于取放一晶圓的芯片的快速取放機(jī)構(gòu)是黏晶機(jī)、芯片整列機(jī)等設(shè)備發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)。
公知的取放機(jī)構(gòu)，如公告于2002/6/11的中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)專利公告編號(hào)TW491407號(hào)所揭示的一種快速取放機(jī)構(gòu)，其包括一齒輪組、一連桿機(jī)構(gòu)、一升降機(jī)構(gòu)、一第一驅(qū)動(dòng)裝置以及一第二驅(qū)動(dòng)裝置。
上述公知的取放機(jī)構(gòu)，由于利用各齒輪之間的嚙合傳動(dòng)，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，必須克服各齒輪之間的組合與間隙調(diào)整等問(wèn)題。然而以目前黏晶機(jī)和芯片整列機(jī)動(dòng)輒高達(dá)8000至10000uph(unit per hour)以上的產(chǎn)能需求而言，當(dāng)其應(yīng)用于長(zhǎng)行程的工作條件時(shí)，如12英寸晶圓的芯片取放時(shí)，由于其速度的要求和行程的增加，會(huì)產(chǎn)生動(dòng)作不穩(wěn)定的現(xiàn)象，如此，將導(dǎo)致該取放機(jī)構(gòu)的應(yīng)用更加困難，影響生產(chǎn)的效率。因此，該取放機(jī)構(gòu)的尺寸須對(duì)應(yīng)地放大，以作長(zhǎng)行程的快速取放動(dòng)作。結(jié)果，該取放機(jī)構(gòu)的占用空間加大且更為復(fù)雜。
若利用YZ解耦式平臺(tái)進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)和升降運(yùn)動(dòng)，其架構(gòu)復(fù)雜且有剛性不足等問(wèn)題，且所需成本高。
所以，由上可知，上述公知的取放機(jī)構(gòu)，在實(shí)際使用上，顯然具有不便與缺失存在，而有待加以改善。
因此，本發(fā)明人有感上述缺失可改善，乃特別潛心研究并配合學(xué)理的運(yùn)用，終于提出一種設(shè)計(jì)合理且有效改善上述缺失的本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于提供一種物料取放機(jī)構(gòu)，使其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化且剛性強(qiáng)，以確保其在高速運(yùn)動(dòng)和長(zhǎng)行程時(shí)的穩(wěn)定性，從而能確實(shí)提升生產(chǎn)的效率，并能降低其所需成本。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明主要提供一種物料取放機(jī)構(gòu)，至少包含一水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置以及一垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置；該水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置至少包含一固定件、一第一驅(qū)動(dòng)單元、一驅(qū)動(dòng)件、一傳動(dòng)件和一輸出桿，該第一驅(qū)動(dòng)單元固定于該固定件，該驅(qū)動(dòng)件的一端樞接于該固定件，固定于該第一驅(qū)動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)軸，該傳動(dòng)件的一端樞接于該驅(qū)動(dòng)件的另一端，該輸出桿樞接于該傳動(dòng)件的另一端，該輸出桿的一端并樞接于該固定件且形成一樞接點(diǎn)，其中，當(dāng)該第一驅(qū)動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)軸帶動(dòng)該驅(qū)動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，該驅(qū)動(dòng)件的另一端帶動(dòng)該傳動(dòng)件且?guī)?dòng)該輸出桿，該輸出桿以該樞接點(diǎn)為一回轉(zhuǎn)中心作擺動(dòng)動(dòng)作；以及該垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置配置于該輸出桿的另一端作垂直升降的動(dòng)作。
根據(jù)上述構(gòu)想的物料取放機(jī)構(gòu)，其中該第一驅(qū)動(dòng)單元為一伺服馬達(dá)；該輸出桿作擺動(dòng)動(dòng)作的平面平行于一物料取放面；該物料取放面為一晶圓的芯片取放面；該驅(qū)動(dòng)件和該傳動(dòng)件呈180度和0度的兩個(gè)位置為該輸出桿的第一死點(diǎn)位置和第二死點(diǎn)位置；該第一死點(diǎn)位置和該第二死點(diǎn)位置分別為該物料取放機(jī)構(gòu)的一物料取出點(diǎn)和一物料放置點(diǎn)；該垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置至少包含一第二驅(qū)動(dòng)單元和一真空吸取頭，該第二驅(qū)動(dòng)單元的一驅(qū)動(dòng)軸驅(qū)動(dòng)該真空吸取頭作垂直升降的動(dòng)作；該第二驅(qū)動(dòng)單元為一音圈馬達(dá)；該垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置的真空吸取頭作垂直升降的動(dòng)作的軌跡垂直于一物料取放面。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明主要提供一種物料取放機(jī)構(gòu)，其至少包含一水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置以及一垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置；該水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置至少包含一固定件、一第一驅(qū)動(dòng)單元、一驅(qū)動(dòng)件、一傳動(dòng)件和一輸出桿，該第一驅(qū)動(dòng)單元固定于該固定件，該驅(qū)動(dòng)件的一端樞接于該固定件且固定于該第一驅(qū)動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)軸，該傳動(dòng)件的一端樞接于該驅(qū)動(dòng)件的另一端，該輸出桿樞接于該傳動(dòng)件的另一端，該輸出桿的一端并樞接于該固定件且形成一樞接點(diǎn)，其中，當(dāng)該第一驅(qū)動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)軸帶動(dòng)該驅(qū)動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，該驅(qū)動(dòng)件的另一端帶動(dòng)該傳動(dòng)件且?guī)?dòng)該輸出桿，該輸出桿以該樞接點(diǎn)為一回轉(zhuǎn)中心作擺動(dòng)動(dòng)作；以及該垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)該水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置的固定件作垂直升降的動(dòng)作。
根據(jù)上述構(gòu)想的物料取放機(jī)構(gòu)，其中該第一驅(qū)動(dòng)單元為一伺服馬達(dá)；該輸出桿的另一端設(shè)有一真空吸取頭；該輸出桿作擺動(dòng)動(dòng)作的平面平行于一物料取放面；該物料取放面為一晶圓的芯片取放面；該驅(qū)動(dòng)件和該傳動(dòng)件呈180度和0度的兩個(gè)位置為該輸出桿的第一死點(diǎn)位置和第二死點(diǎn)位置；該第一死點(diǎn)位置和該第二死點(diǎn)位置分別為該物料取放機(jī)構(gòu)的一物料取出點(diǎn)和一物料放置點(diǎn)；該垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置至少包含一基座、一第二驅(qū)動(dòng)單元、一直線給進(jìn)構(gòu)件和一模板，該模板滑接于該基座，該第二驅(qū)動(dòng)單元固定于該基座，該第二驅(qū)動(dòng)單元的一驅(qū)動(dòng)軸固接于該直線給進(jìn)構(gòu)件的一端，該直線給進(jìn)構(gòu)件的另一端驅(qū)動(dòng)該模板作垂直升降的動(dòng)作，該水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置的固定件固接于該模板；該第二驅(qū)動(dòng)單元為一伺服馬達(dá)；該直線給進(jìn)構(gòu)件為一導(dǎo)螺桿；該垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置的模板作垂直升降的動(dòng)作的軌跡垂直于一物料取放面。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明主要提供一種物料取放機(jī)構(gòu)的水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置，其至少包含一固定件、一第一驅(qū)動(dòng)單元、一驅(qū)動(dòng)件、一傳動(dòng)件、以及一輸出桿；該第一驅(qū)動(dòng)單元固定于該固定件；該驅(qū)動(dòng)件的一端樞接于該固定件且固定于該第一驅(qū)動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)軸；該傳動(dòng)件的一端樞接于該驅(qū)動(dòng)件的另一端；以及該輸出桿樞接于該傳動(dòng)件的另一端，該輸出桿的一端并樞接于該固定件且形成一樞接點(diǎn)；其中，當(dāng)該第一驅(qū)動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)軸帶動(dòng)該驅(qū)動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，該驅(qū)動(dòng)件的另一端帶動(dòng)該傳動(dòng)件且?guī)?dòng)該輸出桿，該輸出桿以該樞接點(diǎn)為一回轉(zhuǎn)中心作擺動(dòng)動(dòng)作。
根據(jù)上述構(gòu)想的物料取放機(jī)構(gòu)的水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置，其中該第一驅(qū)動(dòng)單元為一伺服馬達(dá)；該輸出桿的另一端設(shè)有一真空吸取頭；該輸出桿作擺動(dòng)動(dòng)作的平面平行于一物料取放面；其中該物料取放面為一晶圓的芯片取放面；該驅(qū)動(dòng)件和該傳動(dòng)件呈180度和0度的二位置為該輸出桿的第一死點(diǎn)位置和第二死點(diǎn)位置；該第一死點(diǎn)位置和該第二死點(diǎn)位置分別為該物料取放機(jī)構(gòu)的一物料取出點(diǎn)和一物料放置點(diǎn)。
在較佳的實(shí)施例中，該輸出桿作擺動(dòng)動(dòng)作的平面平行于一物料取放面。
在較佳的實(shí)施例中，該驅(qū)動(dòng)件和該傳動(dòng)件呈180度和0度的二位置為該輸出桿的第一死點(diǎn)位置和第二死點(diǎn)位置。
在較佳的實(shí)施例中，該第一死點(diǎn)位置和該第二死點(diǎn)位置分別為該物料取放機(jī)構(gòu)的一物料取出點(diǎn)和一物料放置點(diǎn)。
通過(guò)該水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置的固定件、驅(qū)動(dòng)件、傳動(dòng)件和輸出桿之間的樞接形成一組四連桿機(jī)構(gòu)，使該輸出桿的第一死點(diǎn)位置和第二死點(diǎn)位置分別為該物料取放機(jī)構(gòu)的一物料取出點(diǎn)和一物料放置點(diǎn)，從而使本發(fā)明的物料取放機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化且剛性強(qiáng)，以確保其在高速運(yùn)動(dòng)和長(zhǎng)行程時(shí)的穩(wěn)定性，從而能確實(shí)提升生產(chǎn)的效率，并能降低其所需成本。


圖1是本發(fā)明物料取放機(jī)構(gòu)第一實(shí)施例的立體組合圖。
圖2是本發(fā)明物料取放機(jī)構(gòu)第一實(shí)施例另一角度的立體組合圖。
圖3是本發(fā)明物料取放機(jī)構(gòu)第一實(shí)施例的垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置的立體圖。
圖4是本發(fā)明物料取放機(jī)構(gòu)的水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置動(dòng)作時(shí)的平面示意圖。
圖5是本發(fā)明物料取放機(jī)構(gòu)第二實(shí)施例的立體分解圖。
1水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置11固定件10第一驅(qū)動(dòng)單元 111驅(qū)動(dòng)軸12驅(qū)動(dòng)件121驅(qū)動(dòng)件一端122驅(qū)動(dòng)件另一端 13傳動(dòng)件131傳動(dòng)件一端 132傳動(dòng)件另一端14輸出桿141輸出桿一端142輸出桿另一端 143樞接點(diǎn)144平面 145第一死點(diǎn)位置146第二死點(diǎn)位置2垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置20第二驅(qū)動(dòng)單元 21真空吸取頭211軌跡3構(gòu)裝設(shè)備30物料取放面31承載裝置4晶圓
40芯片5置芯盒6垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置60基座 61第二驅(qū)動(dòng)單元611驅(qū)動(dòng)軸 62直線給進(jìn)構(gòu)件63模板 631軌跡具體實(shí)施方式
為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)到預(yù)定目的所采取的技術(shù)手段及功效，請(qǐng)參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說(shuō)明與附圖，相信本發(fā)明的目的、特征與特點(diǎn)，當(dāng)可由此得一深入且具體的了解，然而附圖僅提供參考與說(shuō)明用，并非用來(lái)對(duì)本發(fā)明加以限制。
請(qǐng)參閱圖1至圖3所示，為本發(fā)明第一實(shí)施例。本發(fā)明是一種物料取放機(jī)構(gòu)，其至少包含一水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置1和一垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置2，其中水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置1，如圖1和圖2所示，其至少包含一固定件10、一第一驅(qū)動(dòng)單元11、一驅(qū)動(dòng)件12、一傳動(dòng)件13和一輸出桿14。該第一驅(qū)動(dòng)單元11可為一伺服馬達(dá)，其固定于該固定件10。該驅(qū)動(dòng)件12的一端121樞接于該固定件10，且以一連軸器(未標(biāo)示)固定于該第一驅(qū)動(dòng)單元11的一驅(qū)動(dòng)軸111。該傳動(dòng)件13的一端131樞接于該驅(qū)動(dòng)件12的另一端122。該輸出桿14樞接于該傳動(dòng)件13的另一端132，該輸出桿14的一端141并樞接于該固定件10且形成一樞接點(diǎn)143。
垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置2，其配置于該輸出桿14的另一端142作垂直升降的動(dòng)作。如圖3所示，本實(shí)施例中，該垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置2至少包含一第二驅(qū)動(dòng)單元20和一真空吸取頭21。該第二驅(qū)動(dòng)單元20為一音圈馬達(dá)，其固定于該輸出桿14的另一端142。該第二驅(qū)動(dòng)單元20的一驅(qū)動(dòng)軸驅(qū)動(dòng)該真空吸取頭21作垂直升降的動(dòng)作。
本發(fā)明的物料取放機(jī)構(gòu)用以取出位于一承載裝置內(nèi)的物料，并將該取出的物料放置于一特定的位置。如本發(fā)明的物料取放機(jī)構(gòu)為一種應(yīng)用于芯片構(gòu)裝設(shè)備中的芯片取放機(jī)構(gòu)，其可將位于一晶圓承載裝置中晶圓的芯片由該晶圓的藍(lán)模上依序取出，并將該取出的芯片依序放置于一置芯盒內(nèi)、一基板上或一特定的工件或物體上。
請(qǐng)參閱圖4所示，并配合參閱圖1至圖3所示，本發(fā)明的物料取放機(jī)構(gòu)配置于一構(gòu)裝設(shè)備3上，該構(gòu)裝設(shè)備3至少包含一電控系統(tǒng)(圖略)、一真空系統(tǒng)(圖略)、一平面定位平臺(tái)(圖略)和一承載裝置31。該電控系統(tǒng)用以控制該水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置1、該垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置2、該真空系統(tǒng)和該平面定位平臺(tái)等的動(dòng)作，該真空系統(tǒng)用以控制該真空吸取頭21的動(dòng)作，該平面定位平臺(tái)用以定位該承載裝置31，從而定位其內(nèi)的物料的XY平面位置。
當(dāng)該第一驅(qū)動(dòng)單元11的驅(qū)動(dòng)軸111帶動(dòng)該驅(qū)動(dòng)件12的一端121轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，該驅(qū)動(dòng)件12的另一端122帶動(dòng)該傳動(dòng)件13且?guī)?dòng)該輸出桿14，該輸出桿14的另一端142以該樞接點(diǎn)143為一回轉(zhuǎn)中心作水平位移的擺動(dòng)動(dòng)作。該輸出桿14作水平位移的擺動(dòng)動(dòng)作的平面144平行于一物料取放面30，如一晶圓的芯片取放面，另該垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置2的真空吸取頭21作垂直升降動(dòng)作的軌跡211垂直于該物料取放面30。該驅(qū)動(dòng)件12和該傳動(dòng)件13呈180度和0度的兩個(gè)位置為該輸出桿14的第一死點(diǎn)位置145和第二死點(diǎn)位置146，該第一死點(diǎn)位置145和該第二死點(diǎn)位置146分別為該物料取放機(jī)構(gòu)的一物料取出點(diǎn)(或一物料放置點(diǎn))和一物料放置點(diǎn)(或一物料取出點(diǎn))，且當(dāng)該輸出桿14擺動(dòng)至該第一死點(diǎn)位置145或該第二死點(diǎn)位置146時(shí)，該輸出桿14的速度為零，使其橫向剛性為最佳狀態(tài)。
因此，以其應(yīng)用于一晶圓4的芯片40的取放為例，首先，該輸出桿14位于該第一死點(diǎn)位置145，該平面定位平臺(tái)定位該承載裝置31，從而定位其內(nèi)的晶圓4的芯片40的XY平面位置，使該晶圓4中的一預(yù)備取出的芯片40位于該第一死點(diǎn)位置145的下方，即該預(yù)備取出的芯片40位于該輸出桿14的另一端142的真空吸取頭21下方。其次，該垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置2的第二驅(qū)動(dòng)單元20驅(qū)動(dòng)該真空吸取頭21垂直地向下方引伸，當(dāng)該真空吸取頭21吸附該預(yù)備取出的芯片40后，該垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置2的第二驅(qū)動(dòng)單元20驅(qū)動(dòng)該真空吸取頭21垂直地反向動(dòng)作。接著，該水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置1的驅(qū)動(dòng)件12帶動(dòng)該傳動(dòng)件13且?guī)?dòng)該輸出桿14，使該輸出桿14水平地向前方引伸，從而使該輸出桿14擺動(dòng)至該第二死點(diǎn)位置146，即該真空吸取頭21所吸附的預(yù)備取出的芯片40位于一置芯盒5上方。繼而，該垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置2的第二驅(qū)動(dòng)單元20驅(qū)動(dòng)該真空吸取頭21垂直地向下方引伸，當(dāng)該真空吸取頭21將該預(yù)備取出的芯片40放置于該置芯盒5后，該垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置2的第二驅(qū)動(dòng)單元20驅(qū)動(dòng)該真空吸取頭21垂直地反向動(dòng)作。通過(guò)該水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置1以及該垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置2的往復(fù)運(yùn)動(dòng)，使該晶圓4的芯片40自該承載裝置31內(nèi)依序移至該置芯盒5內(nèi)。
請(qǐng)參閱圖5所示，為本發(fā)明第二實(shí)施例。第二實(shí)施例中，該輸出桿14的另一端142設(shè)有一真空吸取頭21。該垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置6驅(qū)動(dòng)該水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置1的固定件10作垂直升降的動(dòng)作。該垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置6至少包含一基座60、一第二驅(qū)動(dòng)單元61、一直線給進(jìn)構(gòu)件62和一模板63。該模板63滑接于該基座60。該第二驅(qū)動(dòng)單元61可為一伺服馬達(dá)，其固定于該基座60。該直線給進(jìn)構(gòu)件62可為一導(dǎo)螺桿。該第二驅(qū)動(dòng)單元61的一驅(qū)動(dòng)軸611固接于該直線給進(jìn)構(gòu)件62的一端，該直線給進(jìn)構(gòu)件62的另一端驅(qū)動(dòng)該模板63作垂直升降的動(dòng)作。該垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置6的模板63作垂直升降動(dòng)作的軌跡631垂直于該物料取放面30。該水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置1的固定件10固接于該模板63。
請(qǐng)參閱圖4和圖5所示，首先，該輸出桿14位于該第一死點(diǎn)位置145，該平面定位平臺(tái)定位該承載裝置31，從而定位其內(nèi)的晶圓4的芯片40的XY平面位置，使該晶圓4中的一預(yù)備取出的芯片40位于該第一死點(diǎn)位置145的下方，即該預(yù)備取出的芯片40位于該輸出桿14的另一端142的真空吸取頭21下方。其次，該垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置6的模板63向下滑行，使該輸出桿14垂直地向下方引伸，當(dāng)該真空吸取頭21吸附該預(yù)備取出的芯片40后，該模板63向上滑行，使該輸出桿14垂直地反向動(dòng)作。接著，該水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置1的驅(qū)動(dòng)件12帶動(dòng)該傳動(dòng)件13且?guī)?dòng)該輸出桿14，使該輸出桿14水平地向前方引伸，從而使該輸出桿14擺動(dòng)至該第二死點(diǎn)位置146，即該真空吸取頭21所吸附的預(yù)備取出的芯片40位于一置芯盒5上方。繼而，該垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置6的模板63向下滑行，使該輸出桿14垂直地向下方引伸，當(dāng)該真空吸取頭21將該預(yù)備取出的芯片40放置于該置芯盒5后，該模板63向上滑行，使該輸出桿14垂直地反向動(dòng)作。通過(guò)該水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置1以及該垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置6的往復(fù)運(yùn)動(dòng)，使該晶圓4的芯片40自該承載裝置31內(nèi)依序移至該置芯盒5內(nèi)。
所以，本發(fā)明的物料取放機(jī)構(gòu)具有如下述特點(diǎn)
1、該水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置的固定件、驅(qū)動(dòng)件、傳動(dòng)件和輸出桿之間的樞接形成一組四連桿機(jī)構(gòu)，使該輸出桿的第一死點(diǎn)位置和第二死點(diǎn)位置分別為該物料取放機(jī)構(gòu)的一物料取出點(diǎn)和一物料放置點(diǎn)，且當(dāng)該輸出桿擺動(dòng)至該第一死點(diǎn)位置或該第二死點(diǎn)位置時(shí)，該輸出桿的速度為零，使其橫向剛性為最佳狀態(tài)，從而使本發(fā)明的物料取放機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化且剛性強(qiáng)，以確保其在高速運(yùn)動(dòng)和長(zhǎng)行程時(shí)的穩(wěn)定性。
2、該輸出桿的剛性強(qiáng)且該物料取出點(diǎn)和該物料放置點(diǎn)的位置準(zhǔn)確，因此能加速其取放速度，從而能確實(shí)提升生產(chǎn)的效率。
3、該水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置具有動(dòng)作所需的剛性和穩(wěn)定性，且其元件簡(jiǎn)單，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化，因此能降低其成本。
以上所述僅為本發(fā)明具體實(shí)施例的詳細(xì)說(shuō)明與附圖，并非用以限制本發(fā)明及本發(fā)明的特征，本領(lǐng)域技術(shù)人員依據(jù)本發(fā)明的精神，可做出各種等效修飾或變化，這些修飾或變化都應(yīng)包含于本發(fā)明所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍中。
權(quán)利要求
1.一種物料取放機(jī)構(gòu)，其中包含一水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置，其至少包含一固定件、一第一驅(qū)動(dòng)單元、一驅(qū)動(dòng)件、一傳動(dòng)件和一輸出桿，該第一驅(qū)動(dòng)單元固定于該固定件，該驅(qū)動(dòng)件的一端樞接于該固定件且固定于該第一驅(qū)動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)軸，該傳動(dòng)件的一端樞接于該驅(qū)動(dòng)件的另一端，該輸出桿樞接于該傳動(dòng)件的另一端，該輸出桿的一端并樞接于該固定件且形成一樞接點(diǎn)，其中，當(dāng)該第一驅(qū)動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)軸帶動(dòng)該驅(qū)動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，該驅(qū)動(dòng)件的另一端帶動(dòng)該傳動(dòng)件且?guī)?dòng)該輸出桿，該輸出桿以該樞接點(diǎn)為一回轉(zhuǎn)中心作擺動(dòng)動(dòng)作；以及一垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置，其配置于該輸出桿的另一端作垂直升降的動(dòng)作。
2.如權(quán)利要求1所述的物料取放機(jī)構(gòu)，其中該第一驅(qū)動(dòng)單元為一伺服馬達(dá)。
3.如權(quán)利要求1所述的物料取放機(jī)構(gòu)，其中該輸出桿作擺動(dòng)動(dòng)作的平面平行于一物料取放面。
4.如權(quán)利要求3所述的物料取放機(jī)構(gòu)，其中該物料取放面為一晶圓的芯片取放面。
5.如權(quán)利要求1所述的物料取放機(jī)構(gòu)，其中該驅(qū)動(dòng)件和該傳動(dòng)件呈180度和0度的兩個(gè)位置為該輸出桿的第一死點(diǎn)位置和第二死點(diǎn)位置。
6.如權(quán)利要求5所述的物料取放機(jī)構(gòu)，其中該第一死點(diǎn)位置和該第二死點(diǎn)位置分別為該物料取放機(jī)構(gòu)的一物料取出點(diǎn)和一物料放置點(diǎn)。
7.如權(quán)利要求1所述的物料取放機(jī)構(gòu)，其中該垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置至少包含一第二驅(qū)動(dòng)單元和一真空吸取頭，該第二驅(qū)動(dòng)單元的一驅(qū)動(dòng)軸驅(qū)動(dòng)該真空吸取頭作垂直升降的動(dòng)作。
8.如權(quán)利要求7所述的物料取放機(jī)構(gòu)，其中該第二驅(qū)動(dòng)單元為一音圈馬達(dá)。
9.如權(quán)利要求7所述的物料取放機(jī)構(gòu)，其中該垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置的真空吸取頭作垂直升降的動(dòng)作的軌跡垂直于一物料取放面。
10.一種物料取放機(jī)構(gòu)，其中包含一水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置，其至少包含一固定件、一第一驅(qū)動(dòng)單元、一驅(qū)動(dòng)件、一傳動(dòng)件和一輸出桿，該第一驅(qū)動(dòng)單元固定于該固定件，該驅(qū)動(dòng)件的一端樞接于該固定件且固定于該第一驅(qū)動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)軸，該傳動(dòng)件的一端樞接于該驅(qū)動(dòng)件的另一端，該輸出桿樞接于該傳動(dòng)件的另一端，該輸出桿的一端并樞接于該固定件且形成一樞接點(diǎn)，其中，當(dāng)該第一驅(qū)動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)軸帶動(dòng)該驅(qū)動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，該驅(qū)動(dòng)件的另一端帶動(dòng)該傳動(dòng)件且?guī)?dòng)該輸出桿，該輸出桿以該樞接點(diǎn)為一回轉(zhuǎn)中心作擺動(dòng)動(dòng)作；以及一垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置，其驅(qū)動(dòng)該水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置的固定件作垂直升降的動(dòng)作。
11.如權(quán)利要求10所述的物料取放機(jī)構(gòu)，其中該第一驅(qū)動(dòng)單元為一伺服馬達(dá)。
12.如權(quán)利要求10所述的物料取放機(jī)構(gòu)，其中該輸出桿的另一端設(shè)有一真空吸取頭。
13.如權(quán)利要求10所述的物料取放機(jī)構(gòu)，其中該輸出桿作擺動(dòng)動(dòng)作的平面平行于一物料取放面。
14.如權(quán)利要求13所述的物料取放機(jī)構(gòu)，其中該物料取放面為一晶圓的芯片取放面。
15.如權(quán)利要求10所述的物料取放機(jī)構(gòu)，其中該驅(qū)動(dòng)件和該傳動(dòng)件呈180度和0度的兩個(gè)位置為該輸出桿的第一死點(diǎn)位置和第二死點(diǎn)位置。
16.如權(quán)利要求15所述的物料取放機(jī)構(gòu)，其中該第一死點(diǎn)位置和該第二死點(diǎn)位置分別為該物料取放機(jī)構(gòu)的一物料取出點(diǎn)和一物料放置點(diǎn)。
17.如權(quán)利要求10所述的物料取放機(jī)構(gòu)，其中該垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置至少包含一基座、一第二驅(qū)動(dòng)單元、一直線給進(jìn)構(gòu)件和一模板，該模板滑接于該基座，該第二驅(qū)動(dòng)單元固定于該基座，該第二驅(qū)動(dòng)單元的一驅(qū)動(dòng)軸固接于該直線給進(jìn)構(gòu)件的一端，該直線給進(jìn)構(gòu)件的另一端驅(qū)動(dòng)該模板作垂直升降的動(dòng)作，該水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置的固定件固接于該模板。
18.如權(quán)利要求17所述的物料取放機(jī)構(gòu)，其中該第二驅(qū)動(dòng)單元為一伺服馬達(dá)。
19.如權(quán)利要求17所述的物料取放機(jī)構(gòu)，其中該直線給進(jìn)構(gòu)件為一導(dǎo)螺桿。
20.如權(quán)利要求17所述的物料取放機(jī)構(gòu)，其中該垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置的模板作垂直升降的動(dòng)作的軌跡垂直于一物料取放面。
21.一種物料取放機(jī)構(gòu)的水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置，其中包含一固定件；一第一驅(qū)動(dòng)單元，其固定于該固定件；一驅(qū)動(dòng)件，其一端樞接于該固定件且固定于該第一驅(qū)動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)軸；一傳動(dòng)件，其一端樞接于該驅(qū)動(dòng)件的另一端；以及一輸出桿，其樞接于該傳動(dòng)件的另一端，該輸出桿的一端并樞接于該固定件且形成一樞接點(diǎn)；其中當(dāng)該第一驅(qū)動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)軸帶動(dòng)該驅(qū)動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，該驅(qū)動(dòng)件的另一端帶動(dòng)該傳動(dòng)件且?guī)?dòng)該輸出桿，該輸出桿以該樞接點(diǎn)為一回轉(zhuǎn)中心作擺動(dòng)動(dòng)作。
22.如權(quán)利要求21所述的物料取放機(jī)構(gòu)的水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置，其中該第一驅(qū)動(dòng)單元為一伺服馬達(dá)。
23.如權(quán)利要求21所述的物料取放機(jī)構(gòu)的水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置，其中該輸出桿的另一端設(shè)有一真空吸取頭。
24.如權(quán)利要求21所述的物料取放機(jī)構(gòu)的水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置，其中該輸出桿作擺動(dòng)動(dòng)作的平面平行于一物料取放面。
25.如權(quán)利要求24所述的物料取放機(jī)構(gòu)的水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置，其中該物料取放面為一晶圓的芯片取放面。
26.如權(quán)利要求21所述的物料取放機(jī)構(gòu)的水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置，其中該驅(qū)動(dòng)件和該傳動(dòng)件呈180度和0度的二位置為該輸出桿的第一死點(diǎn)位置和第二死點(diǎn)位置。
27.如權(quán)利要求26所述的物料取放機(jī)構(gòu)的水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置，其中該第一死點(diǎn)位置和該第二死點(diǎn)位置分別為該物料取放機(jī)構(gòu)的一物料取出點(diǎn)和一物料放置點(diǎn)。
全文摘要
一種物料取放機(jī)構(gòu)，用于將一承載裝置內(nèi)的晶圓的芯片快速地取放至一置芯盒內(nèi)，至少包含一水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置以及一垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置；該水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置至少包含一固定件、一第一驅(qū)動(dòng)單元、一驅(qū)動(dòng)件、一傳動(dòng)件和一輸出桿；該第一驅(qū)動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)軸帶動(dòng)該驅(qū)動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)，該驅(qū)動(dòng)件的另一端帶動(dòng)該傳動(dòng)件，該傳動(dòng)件的另一端帶動(dòng)該輸出桿，從而使該輸出桿作擺動(dòng)動(dòng)作；該垂直升降運(yùn)動(dòng)裝置可配置于該輸出桿上作垂直升降的動(dòng)作，或可驅(qū)動(dòng)該水平點(diǎn)對(duì)點(diǎn)運(yùn)動(dòng)裝置的固定件作垂直升降的動(dòng)作；由此，使該輸出桿可往復(fù)地取放與移動(dòng)該晶圓的芯片。本發(fā)明的物料取放機(jī)構(gòu)不但結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、剛性和穩(wěn)定性強(qiáng)，并且取放速度快、成本低和生產(chǎn)效率高。
文檔編號(hào)B25J3/00GK1796057SQ20041008194
公開(kāi)日2006年7月5日 申請(qǐng)日期2004年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月21日
發(fā)明者徐嘉彬, 洪嘉宏, 林業(yè)超, 劉俊賢, 蔡雅惠, 張瀛方 申請(qǐng)人:財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院