一種鉸鏈及應用該鉸鏈的腔室的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種鉸鏈，該鉸鏈包括：鉸鏈座、鉸鏈軸、鉸鏈臂，其特征在于：所述鉸鏈臂的一端通過所述鉸鏈軸與所述鉸鏈座連接；所述鉸鏈還包括支撐裝置，該支撐裝置設置于所述鉸鏈臂通過所述鉸鏈軸與所述鉸鏈座連接的一端的下方，所述支撐裝置包括能夠上下移動的支撐件。相應地，本發(fā)明還提供一種應用該鉸鏈的腔室。本發(fā)明能夠在頂蓋閉合過程中避免由于頂蓋對密封圈的過度擠壓和摩擦而對密封圈造成的磨損。
【專利說明】一種鉸鏈及應用該鉸鏈的腔室

【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及機械結構技術，尤其涉及一種鉸鏈及應用該鉸鏈的腔室。

【背景技術】
[0002]真空腔室常被用于半導體設備制作領域中，尤其是涉及晶片的傳送和工藝處理的腔室一般都是密封的真空腔室。為了能夠在腔室中進行取放晶片、維護設備等操作，通常都會在腔室頂部設置一個能夠開合的頂蓋，頂蓋與腔室用鉸鏈連接在一起，在兩者之間設置有密封圈，當頂蓋合上時就壓緊密封圈以保證腔室的密封性。
[0003]圖1為現(xiàn)有的用于開合腔室頂蓋的鉸鏈示意圖，圖1中，腔體101和頂蓋104通過鉸鏈103連接，氣彈簧102可以提供輔助開蓋力，圖2為圖1中I部分的局部視圖，圖2中，鉸鏈軸103b能夠在長圓孔103a中上下活動，用以補償密封圈105在抽真空過程中的壓縮變形，調(diào)節(jié)螺釘103c用來限制103b的向上活動量，保證頂蓋104和密封圈105的接觸。
[0004]該現(xiàn)有的鉸鏈在設計上出于省力的目的，開蓋力的作用點比頂蓋的重心相對于鉸鏈更遠，假設開蓋力為F，方向向上，其相對于鉸鏈的作用力臂為L，頂蓋自身重力為g，方向向下，其相對于鉸鏈的作用力臂為1，為了使得頂蓋能夠閉合，需FL彡gl，由于L > 1，可見頂蓋的受力情況為F < g，這個差值力f=F-g，方向向下，將由鉸鏈承擔。如圖1所示，受f下沉力的作用，頂蓋會將鉸鏈軸103b下壓到長圓孔103a的底部附近，使得頂蓋和腔室之間容納密封圈的空間很小，尤其是當β角很小時，密封圈105最靠近鉸鏈的部分會提前接觸到頂蓋，導致在隨后抽真空過程中，頂蓋對密封圈形成過度的擠壓和摩擦，造成密封圈的磨損?，F(xiàn)有的鉸鏈使得頂蓋每一次開合都會對密封圈造成磨損，縮短的密封圈的工作壽命，同時磨損產(chǎn)生的顆粒還會污染真空腔室的清潔。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]有鑒于此，本發(fā)明提供一種鉸鏈及應用該鉸鏈的腔室，用以避免腔室頂蓋閉合過程中對密封圈過度擠壓和摩擦而造成的密封圈磨損。
[0006]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種鉸鏈，包括:
[0007]鉸鏈座、鉸鏈軸、鉸鏈臂，
[0008]所述鉸鏈臂的一端通過所述鉸鏈軸與所述鉸鏈座連接；
[0009]所述鉸鏈還包括支撐裝置，該支撐裝置設置于所述鉸鏈臂通過所述鉸鏈軸與所述鉸鏈座連接的一端的下方，所述支撐裝置包括能夠上下移動的支撐件。
[0010]優(yōu)選地，所述鉸鏈臂通過所述鉸鏈軸與所述鉸鏈座連接的一端的外表面為圓柱面，所述支撐件的頂端與所述圓柱面接觸。
[0011 ] 優(yōu)選地，所述支撐件包括滑動件和導向軸，所述滑動件與所述圓柱面接觸，所述滑動件可上下滑動地設置在所述導向軸上。
[0012]優(yōu)選地，所述支撐裝置還包括設置在所述滑動件下方的彈性件，所述彈性件用于支撐所述滑動件。
[0013]優(yōu)選地，所述滑動件包括滑動架、滾輪和輪軸，所述滾輪與所述圓柱面接觸并通過所述輪軸固定在所述滑動架上，所述滑動架可沿所述導向軸上下滑動。
[0014]優(yōu)選地，所述導向軸頂部設置有軸肩以防止所述滑動架滑脫。
[0015]優(yōu)選地，所述滑動件還包括:軸承，所述軸承設置于所述滑動架與所述導向軸之間，用于減少所述滑動架與所述導向軸之間的摩擦。
[0016]優(yōu)選地，所述鉸鏈臂上設置有第一安裝孔，所述鉸鏈座上設置有第二安裝孔，所述鉸鏈軸穿過所述第一安裝孔和所述第二安裝孔將所述鉸鏈臂與所述鉸鏈座連接。
[0017]優(yōu)選地，所述第一安裝孔為長圓孔，所述鉸鏈軸能夠在所述第一安裝孔內(nèi)相對于所述鉸鏈臂移動。
[0018]優(yōu)選地，所述第二安裝孔為長圓孔，所述鉸鏈軸能夠在所述第二安裝孔內(nèi)相對于所述鉸鏈座移動。
[0019]優(yōu)選地，其特征在于，所述鉸鏈軸的外表面設置有減磨軸套，用于減少所述鉸鏈軸與所述鉸鏈臂之間的摩擦。
[0020]優(yōu)選地，其特征在于，所述鉸鏈還包括柱塞，所述鉸鏈臂上設置有鎖定孔，所述柱塞固定在所述鉸鏈座上，所述柱塞的柱塞桿能夠插入所述鎖定孔中，以使得所述頂蓋處于打開位置。
[0021]優(yōu)選地，當所述頂蓋處于所述打開位置時，所述頂蓋的打開角在60°至75°之間。
[0022]相應地，本發(fā)明還提供了一種腔室，該腔室包括腔體、頂蓋、密封圈和鉸鏈，所述密封圈設置在所述腔體的上端面，所述鉸鏈為上述本發(fā)明所提供的鉸鏈，所述鉸鏈座固定在所述腔體上，所述鉸鏈臂與所述頂蓋相連，且鉸鏈的支撐間隙大于所述密封圈在未被壓縮時的高度，所述支撐間隙為:所述頂蓋閉合后且所述腔體內(nèi)未抽真空時，所述頂蓋在所述支撐裝置的支撐下與所述密封圈之間的間隙。
[0023]優(yōu)選地，所述鉸鏈軸能夠在所述第一安裝孔內(nèi)相對于所述鉸鏈臂移動的距離大于所述鉸鏈的支撐間隙。
[0024]優(yōu)選地，所述鉸鏈軸能夠在所述第二安裝孔內(nèi)相對于所述鉸鏈座移動的距離大于所述鉸鏈的支撐間隙。
[0025]優(yōu)選地，所述鉸鏈的鉸鏈臂通過緊固件在腔室頂蓋上進行固定。
[0026]可見，本發(fā)明能夠通過設置于鉸鏈臂下方的支撐裝置，在頂蓋閉合時向鉸鏈臂提供支撐力，從而避免了閉合過程中由于頂蓋對密封圈的過度擠壓和摩擦而對密封圈造成的磨損。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0027]附圖是用來提供對本發(fā)明的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與下面的【具體實施方式】一起用于解釋本發(fā)明，但并不構成對本發(fā)明的限制。在附圖中:
[0028]圖1為現(xiàn)有的用于開合腔室頂蓋的鉸鏈結構示意圖；
[0029]圖2為圖1中I部分的局部視圖；
[0030]圖3為本發(fā)明實施例所提供的鉸鏈結構示例圖；
[0031]圖4為本發(fā)明實施例所提供的鉸鏈的內(nèi)部結構示例圖；
[0032]圖5為本發(fā)明實施例所提供的鉸鏈鎖定位置示例圖；
[0033]圖6為本發(fā)明實施例所提供的鉸鏈的另一結構示例圖。
[0034]附圖標記說明
[0035]101-腔體；102-氣彈簧；103-鉸鏈；104-頂蓋；105-密封圈；103a-長圓孔；103b-鉸鏈軸；103c-調(diào)節(jié)螺釘；201-鉸鏈座；201a-第一安裝孔；202_鉸鏈軸；203_柱塞；204_鉸鏈臂；204a-第二安裝孔；204b_圓柱面；204c_鎖定孔；205_減磨軸套；206_支撐裝置；206a-滑動架；206b-軸承；206c_彈簧；206d_導向軸；206e_螺釘；206f-滾輪；206g-輪軸；213-螺釘；221_頂蓋；222_腔體;223_密封圈。

【具體實施方式】
[0036]以下結合附圖對本發(fā)明的【具體實施方式】進行詳細說明。應當理解的是，此處所描述的【具體實施方式】僅用于說明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。
[0037]作為本發(fā)明的一個方面，提供一種鉸鏈，如圖3至圖6所示，該鉸鏈可以包括:鉸鏈座201、鉸鏈軸202、鉸鏈臂204和支撐裝置206。
[0038]如圖3所示，鉸鏈座201能夠固定于腔室上，鉸鏈臂204的一端能夠固定于頂蓋上，另一端則可以通過鉸鏈軸202與鉸鏈座201連接，支撐裝置206可以設置在鉸鏈臂204通過鉸鏈軸202與鉸鏈座201連接的一端的下方，支撐裝置206中可以包括可上下移動的支撐件，該支撐件可在頂蓋閉合時為鉸鏈臂204提供支撐力。
[0039]具體地，支撐裝置206中的支撐件可以隨著鉸鏈臂204的轉動而上下移動，并為鉸鏈臂204提供支撐力，從而相應地對頂蓋形成支撐作用，使得在頂蓋閉合后尚未抽真空時，頂蓋不會因其重力而過度下壓。
[0040]支撐件可以固定在鉸鏈座201上，也可以固定在腔室上。支撐件可以與鉸鏈臂204上和鉸鏈座201連接的一端相接觸，并通過該接觸點向鉸鏈臂204提供支撐力。需要說明的是，支撐件和鉸鏈臂204無固定的連接關系，兩者相互獨立。
[0041]更進一步地，鉸鏈臂204通過鉸鏈軸202與鉸鏈座201連接的一端的外表面可以為圓柱面，且支撐件的頂端與該圓柱面接觸。采用圓柱面的結構可以使得鉸鏈臂204在轉動過程中能與支撐件保持平穩(wěn)的接觸，且支撐件能穩(wěn)定地隨著鉸鏈臂204的轉動而上下移動。
[0042]更進一步地，支撐件可以包括滑動件和導向軸，滑動件設置在導向軸上并可沿導向軸上下滑動，同時，滑動件與上述圓柱面接觸，彈性件設置在滑動件的下方，用于為滑動件提供支撐力。
[0043]圖4為本發(fā)明實施例所提供的鉸鏈的內(nèi)部結構示例圖。
[0044]如圖4所示，滑動件可以包括:滑動架206a、滾輪206f和輪軸206g ;支撐件可以包括滑動件和導向軸206d。具體地，滾輪206f可以通過輪軸206g安裝在滑動架206a上，滑動架206a設置在導向軸206d上并可沿導向軸206d上下滑動。
[0045]更進一步地，支撐裝置還可以包括設置在滑動件下方的彈性件，該彈性件可以包括彈簧206c，用于對滑動件進行支撐。彈簧206c可以套在導向軸206d上并設置在滑動架206a和鉸鏈座201之間，導向軸206d可以通過螺釘206e固定在鉸鏈座201上。需要說明的是，彈性件除使用彈簧外，還可以采用彈性橡膠材料等制成。
[0046]在圖4所示實施例中，鉸鏈臂204與鉸鏈座201連接的一端的外表面可以為圓柱面204b，滾輪206f可以和該圓柱面204b滾動接觸，使得在頂蓋的開合過程中，滑動件可以隨著鉸鏈臂204的轉動而平穩(wěn)地上下移動，并通過彈性件提供相應的支撐力。
[0047]更進一步地，如圖4所示，還可以在導向軸206d的頂部設置軸肩以防止滑動架206a滑脫?；瑒蛹€可以包括軸承206b，軸承206b可用樹脂材料制成，設置于滑動架206a與導向軸206d之間，用于減少滑動架206a與導向軸206d之間的摩擦。
[0048]更進一步地，如圖4所示，鉸鏈軸202的外表面還可以設置有減磨軸套205，該減磨軸套205可以采用聚四氟乙烯、聚甲醛等具有自潤滑性的工程塑料制成，用于減少鉸鏈臂204和鉸鏈軸202之間的摩擦，同時可起到緩沖作用。
[0049]更進一步地，如圖3所示，本發(fā)明所提供的用于開合腔室的頂蓋的鉸鏈還可以包括柱塞203，同時，如圖4所示，鉸鏈臂204上還設置有鎖定孔204c。柱塞203固定在鉸鏈座201上，柱塞203的柱塞桿能夠插入鎖定孔204c中，以將頂蓋221鎖定在打開位置。在頂蓋閉合時和打開時，柱塞203和鎖定孔204c的位置對應關系分別為如圖4和圖5所示，圖5中，可將柱塞203的柱塞桿插入鎖定孔204c中以鎖定頂蓋221的打開位置，α為頂蓋的打開角，即:將頂蓋鎖定在打開位置時，頂蓋與水平面之間的夾角。打開角α的大小由柱塞203和鎖定孔204c的位置關系決定，優(yōu)選地，可以設定α的大小在60°至75°之間。
[0050]更進一步地，本發(fā)明所提供的鉸鏈中，鉸鏈臂上可以設置有第一安裝孔，鉸鏈座上設置有第二安裝孔，鉸鏈軸穿過該第一安裝孔和該第二安裝孔將鉸鏈臂與鉸鏈座連接。
[0051]為補償頂蓋閉合后密封圈在抽真空過程中的壓縮變形量，需在上述第一安裝孔或第二安裝孔中設定能夠使鉸鏈軸進行相對移動的可移動量。具體地，可以如圖4或圖5所示，設定鉸鏈臂204上的第一安裝孔204a為長圓孔，該長圓孔的長度方向的兩端內(nèi)表面為圓柱面，寬度方向的兩端的內(nèi)表面為平面，鉸鏈軸202能夠在沿該長圓孔的長度方向相對于鉸鏈臂204移動，當頂蓋221閉合時，該長圓孔的長度方向為豎直方向；或者，也可以采用圖6所示結構，圖6中，設定鉸鏈座201上的第二安裝孔201a為長圓孔，L為該長圓孔的長度，鉸鏈軸202能夠沿該長圓孔的長度方向相對于鉸鏈座201移動，當頂蓋221閉合時，該長圓孔的長度方向為豎直方向。
[0052]需要說明的是，采用圖4或圖5所示結構時，鉸鏈軸202在第一安裝孔204a中的可移動空間位于第一安裝孔204a中的下部，即頂蓋221閉合后腔體222內(nèi)抽真空時，鉸鏈軸202在第一安裝孔204a中向下移動來補償密封圈的變形；采用圖6所示結構時，鉸鏈軸202在第二安裝孔201a中的可移動空間位于第二安裝孔201a中的上部，即頂蓋221閉合后抽真空時，鉸鏈軸202在第二安裝孔201a中向下移動來補償密封圈的變形。
[0053]作為本發(fā)明的另一個方面，還提供一種腔室，該腔室包括腔體、頂蓋、密封圈和鉸鏈，其中，鉸鏈為上述本發(fā)明所提供的用于開合腔室的頂蓋的鉸鏈，該鉸鏈的鉸鏈座固定在腔室的腔體上，鉸鏈臂與頂蓋相連，并且，鉸鏈的支撐間隙大于腔室的密封圈在未被壓縮時的高度。
[0054]鉸鏈的支撐間隙即指，頂蓋閉合后且腔體內(nèi)尚未抽真空時，頂蓋與腔體之間的間隙。如圖4所示，頂蓋221閉合后且腔體222內(nèi)尚未抽真空時，頂蓋221與密封圈223之間的間隙e即為圖4所示實施例中的鉸鏈支撐間隙。由于頂蓋在閉合后，鉸鏈的支撐裝置會對鉸鏈臂提供支撐力，從而相應地對頂蓋形成支撐作用，因此，鉸鏈的支撐間隙受鉸鏈的支撐裝置所提供的支撐力影響。為了避免密封圈被磨損，需要使得鉸鏈的支撐間隙大于密封圈未被壓縮時的高度，具體地，可以根據(jù)需要設定鉸鏈支撐裝置中彈性件的彈性系數(shù)，以在頂蓋閉合后尚未抽真空時獲得相應的支撐力。由于支撐間隙的設置不同，以及零件加工精度、機構配合精度的影響，本發(fā)明提供的鉸鏈在實際應用中可能出現(xiàn)下述三種情況:
[0055]1、頂蓋閉合后剛好與密封圈接觸。
[0056]2、頂蓋閉合后輕微壓縮密封圈。輕微壓縮是指頂蓋對密封圈的壓縮量不大于密封圈高度的20%，由于密封圈通常具有較好的彈性，因此這樣的輕微壓縮不會對密封圈產(chǎn)生磨損。
[0057]3、頂蓋閉合與密封圈之間有微小間隙。微小間隙是指頂蓋與密封圈之間的間隙小于1_，這樣的微小間隙仍能保證抽真空時腔室內(nèi)外存在氣壓差，由于頂蓋面積通常較大，因此氣壓差對頂蓋的作用能夠確保頂蓋下壓完成密封。
[0058]上述三種情況均為本發(fā)明在工作中的正常狀態(tài)。根據(jù)實際使用經(jīng)驗，為了達到更好的效果，可以使得鉸鏈的支撐間隙比密封圈未被壓縮時的高度大0.5?1_。
[0059]更進一步地，當本發(fā)明所提供腔室中鉸鏈的鉸鏈臂上的第一安裝孔為長圓孔時，鉸鏈軸能夠在第二安裝孔內(nèi)相對于鉸鏈座移動的距離可以大于鉸鏈的支撐間隙，即第一安裝孔的長度與鉸鏈軸直徑的差值大于上述鉸鏈的支撐間隙。第一安裝孔的長度與鉸鏈軸直徑的差值即為鉸鏈軸在第一安裝孔中的可移動量，如圖4所示，d即為圖4所示實施例中的鉸鏈軸在第一安裝孔中的可移動量。相應地，當本發(fā)明所提供腔室中鉸鏈的鉸鏈臂上的第二安裝孔為長圓孔時，鉸鏈軸能夠在第二安裝孔內(nèi)相對于鉸鏈座移動的距離可以大于鉸鏈的支撐間隙，即第二安裝孔的長度與鉸鏈軸直徑的差值大于上述鉸鏈的支撐間隙。第二安裝孔的長度與鉸鏈軸直徑的差值即為鉸鏈軸在第一安裝孔中的可移動量，如圖6所示實施例，L為第二安裝孔的長度，L與鉸鏈軸202的直徑的差值即為鉸鏈軸202在第二安裝孔的可移動量。在實際使用中，為了達到更好的效果，可以使得鉸鏈軸在第一安裝孔或第二安裝孔中的可移動量比鉸鏈的支撐間隙大2?3mm。
[0060]更進一步地，在本發(fā)明所提供的腔室中，鉸鏈的鉸鏈臂可以通過緊固件在腔室頂蓋上進行固定。具體可以如圖4或圖5中所示，采用螺釘213進行固定。此外，也可以采用螺栓螺母，或者可以通過焊接的方式進行固定。
[0061]通過上述對本發(fā)明所提供的用于開合腔室的頂蓋的鉸鏈及應用該鉸鏈的腔室的描述，可以看出，本發(fā)明通過設置于鉸鏈臂下方的支撐裝置，能夠在頂蓋閉合時向鉸鏈臂提供支撐力，使得頂蓋閉合尚未抽真空時，頂蓋與腔室的腔體間有足夠的空間容納密封圈，避免了因對密封圈過度擠壓和摩擦而造成的磨損，從而進一步避免了因密封圈磨損造成的密封圈工作壽命縮短和對腔室清潔的污染。
[0062]可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對于本領域內(nèi)的普通技術人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本發(fā)明的保護范圍。
【權利要求】
1.一種鉸鏈，所述鉸鏈包括:鉸鏈座、鉸鏈軸、鉸鏈臂，其特征在于: 所述鉸鏈臂的一端通過所述鉸鏈軸與所述鉸鏈座連接； 所述鉸鏈還包括支撐裝置，該支撐裝置設置于所述鉸鏈臂通過所述鉸鏈軸與所述鉸鏈座連接的一端的下方，所述支撐裝置包括能夠上下移動的支撐件。
2.根據(jù)權利要求1所述的鉸鏈，其特征在于，所述鉸鏈臂通過所述鉸鏈軸與所述鉸鏈座連接的一端的外表面為圓柱面，所述支撐件的頂端與所述圓柱面接觸。
3.根據(jù)權利要求2所述的鉸鏈，其特征在于，所述支撐件包括滑動件和導向軸，所述滑動件與所述圓柱面接觸，所述滑動件可上下滑動地設置在所述導向軸上。
4.根據(jù)權利要求3所述的鉸鏈，其特征在于，所述支撐裝置還包括設置在所述滑動件下方的彈性件，所述彈性件用于支撐所述滑動件。
5.根據(jù)權利要求3所述的鉸鏈，其特征在于，所述滑動件包括滑動架、滾輪和輪軸，所述滾輪與所述圓柱面接觸并通過所述輪軸固定在所述滑動架上，所述滑動架可沿所述導向軸上下滑動。
6.根據(jù)權利要求5所述的鉸鏈，其特征在于，所述導向軸頂部設置有軸肩以防止所述滑動架滑脫。
7.根據(jù)權利要求5所述的鉸鏈，其特征在于，所述滑動件還包括:軸承，所述軸承設置于所述滑動架與所述導向軸之間，用于減少所述滑動架與所述導向軸之間的摩擦。
8.根據(jù)權利要求1至7中任意一項所述的鉸鏈，其特征在于，所述鉸鏈臂上設置有第一安裝孔，所述鉸鏈座上設置有第二安裝孔，所述鉸鏈軸穿過所述第一安裝孔和所述第二安裝孔將所述鉸鏈臂與所述鉸鏈座連接。
9.根據(jù)權利要求8所述的鉸鏈，其特征在于，所述第一安裝孔為長圓孔，所述鉸鏈軸能夠在所述第一安裝孔內(nèi)相對于所述鉸鏈臂移動。
10.根據(jù)權利要求8所述的鉸鏈，其特征在于，所述第二安裝孔為長圓孔，所述鉸鏈軸能夠在所述第二安裝孔內(nèi)相對于所述鉸鏈座移動。
11.根據(jù)權利要求1至7中任意一項所述的鉸鏈，其特征在于，所述鉸鏈軸的外表面設置有減磨軸套，用于減少所述鉸鏈軸與所述鉸鏈臂之間的摩擦。
12.根據(jù)權利要求1至7中任意一項所述的鉸鏈，其特征在于，所述鉸鏈還包括柱塞，所述鉸鏈臂上設置有鎖定孔，所述柱塞固定在所述鉸鏈座上，所述柱塞的柱塞桿能夠插入所述鎖定孔中，以使得所述頂蓋處于打開位置。
13.根據(jù)權利要求12所述的鉸鏈，其特征在于，當所述頂蓋處于所述打開位置時，所述頂蓋的打開角在60°至75°之間。
14.一種腔室，該腔室包括腔體、頂蓋、密封圈和鉸鏈，其特征在于，所述鉸鏈為權利要求I至13中任意一項所述的鉸鏈，所述密封圈設置在所述腔體的上端面，所述鉸鏈座固定在所述腔體上，所述鉸鏈臂與所述頂蓋相連，且鉸鏈的支撐間隙大于所述密封圈在未被壓縮時的高度，所述支撐間隙為:所述頂蓋閉合后且所述腔體內(nèi)未抽真空時，所述頂蓋在所述支撐裝置的支撐下與所述密封圈之間的間隙。
15.根據(jù)權利要求14所述的腔室，其特征在于，所述鉸鏈為權利要求9所述的鉸鏈，且所述鉸鏈軸能夠在所述第一安裝孔內(nèi)相對于所述鉸鏈臂移動的距離大于所述鉸鏈的支撐間隙。
16.根據(jù)權利要求14所述的腔室，其特征在于，所述鉸鏈為權利要求11所述的鉸鏈，且所述鉸鏈軸能夠在所述第二安裝孔內(nèi)相對于所述鉸鏈座移動的距離大于所述鉸鏈的支撐間隙。
17.根據(jù)權利要求14所述的腔室，其特征在于，所述鉸鏈的鉸鏈臂通過緊固件在腔室頂蓋上進行固定。
【文檔編號】E05D11/00GK104343302SQ201310326939
【公開日】2015年2月11日 申請日期:2013年7月30日 優(yōu)先權日:2013年7月30日
【發(fā)明者】張鵬 申請人:北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司