一種金剛石砂線切割機(jī)的切削線調(diào)節(jié)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及領(lǐng)域，具體涉及一種金剛石砂線切割機(jī)的切削線調(diào)節(jié)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]金剛石線切割機(jī)，是利用金剛石紗線上下往復(fù)、旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行切割的設(shè)備。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，金剛石紗線切割機(jī)主要分為往復(fù)式和單向循環(huán)式兩種。無論哪種機(jī)床，其運(yùn)絲機(jī)構(gòu)一般都為固定形式，金剛石線通過紗線輪與紗線滾筒等機(jī)構(gòu)形成循環(huán)之后，其空間位置就無法再改變，因此其切割方式比較單一，通常只能進(jìn)行單向直線切割。
[0004]如何設(shè)計(jì)出一種金剛石砂線切割機(jī)的切削線調(diào)節(jié)裝置，對(duì)切割線的位置與角度進(jìn)行調(diào)節(jié)，成為我們急需解決的技術(shù)問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，而提供一種金剛石砂線切割機(jī)的切削線調(diào)節(jié)裝置。
[0006]本實(shí)用新型的目的是通過如下技術(shù)方案來完成的，一種金剛石砂線切割機(jī)的切削線調(diào)節(jié)裝置，包括墻板Ia以及固定在墻板Ia上的絲桿座lb，絲桿座Ib中設(shè)有滑座槽lc，滑座槽Ic中設(shè)有滑座ld，滑座Id與絲桿座Ib之間設(shè)有X軸絲桿le、Z軸絲桿If，所述墻板Ia上固定有兩個(gè)電機(jī)lg，兩個(gè)電機(jī)Ig分別與X軸絲桿le、Z軸絲桿If的端部固定，滑座Ib下固定有第一絲架li，第一絲架Ii的兩端分別固定有紗線輪lh，金剛石紗線L相切在第一絲架Ii兩端的紗線輪Ih上。
[0007]所述墻板Ia上固定有位置檢測(cè)器Ir，位置檢測(cè)器Ir設(shè)在紗線輪Ih的下部，位置檢測(cè)器Ir對(duì)應(yīng)在金剛石紗線L沿著Y軸運(yùn)行的位置。
[0008]所述墻板Ia下部固定有第二絲架lj，第二絲架Ij的兩端分別固定有紗線輪lh，第二絲架Ij的左部固定有紗線滾筒lp，金剛石紗線L沿著紗線滾筒Ip下邊緣與第二絲架Ij右端的紗線輪Ih下邊緣相切。
[0009]所述第二絲架Ij與紗線滾筒Ip之間空隙處設(shè)有一個(gè)紗線輪lh，該紗線輪Ih固定在墻板Ia上，該紗線輪Ih的下邊緣與紗線滾筒Ip下邊緣以及第二絲架Ij右端的紗線輪Ih下邊緣在一條直線上。
[0010]所述第二絲架Ij的兩端分別固定有紗線輪lh，第二絲架Ij右端的紗線輪Ih直徑大于第二絲架Ij左端的紗線輪Ih直徑。
[0011]所述第一絲架Ii的左部固定有張力器lm，張力器Im可伸縮的固定在墻板Ia上，張力器Im的端部設(shè)有一個(gè)紗線輪lh，金剛石紗線L與張力器Im上的紗線輪Ih的外側(cè)邊緣相切。
[0012]所述第一絲架Ii的左部鉸接有第三絲架lk，第三絲架Ik上端與第一絲架Ii的左端部鉸接，第三絲架Ik下端鉸接有第二絲架lj，第二絲架Ij的左端部與第三絲架Ik的下端奴接。
[0013]所述第一絲架Ii的兩端分別固定有紗線輪lh，第一絲架Ii右端的紗線輪Ih直徑大于第一絲架Ii左端的紗線輪Ih直徑。
[0014]所述墻板Ia中共設(shè)有6個(gè)紗線輪lh，金剛石紗線L呈凹形狀纏繞在6個(gè)紗線輪Ih上。
[0015]所述第一絲架I i下固定有導(dǎo)輪座11。
[0016]本實(shí)用新型至少具有調(diào)節(jié)切割線的位置與角度的效果。
【附圖說明】
[0017]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖中，墻板la、絲桿座lb、滑座槽lc、滑座ld、X軸絲桿le、Z軸絲桿If、電機(jī)lg、紗線輪lh、第一絲架l1、第二絲架lj、第三絲架lk、張力器lm、紗線滾筒lp、位置檢測(cè)器Ir、導(dǎo)輪座11、切削臺(tái)2、物料21 ;
[0019]L為金剛石紗線；0ΧΥΖ為空間直角坐標(biāo)系；Χ為水平線，Y為豎向垂直水平線，Z為縱向垂直水平線。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)的介紹:如圖1中所示，本實(shí)用新型所述的一種金剛石砂線切割機(jī)的切削線調(diào)節(jié)裝置，包括墻板Ia以及固定在墻板Ia上的絲桿座lb，絲桿座Ib中設(shè)有滑座槽lc，滑座槽Ic中設(shè)有滑座ld，滑座Ib與絲桿座Ib之間設(shè)有X軸絲桿le、Z軸絲桿If，所述墻板Ia上固定有兩個(gè)電機(jī)lg，兩個(gè)電機(jī)Ig分別與X軸絲桿le、Z軸絲桿If的端部固定，滑座Ib下固定有第一絲架li，第一絲架Ii的兩端分別固定有紗線輪lh，金剛石紗線L相切在第一絲架Ii兩端的紗線輪Ih上；至少具有調(diào)節(jié)切割線的位置與角度的效果。
[0021]如圖1中所示，一種金剛石砂線切割機(jī)的切削線調(diào)節(jié)裝置，包括墻板Ia以及固定在墻板Ia上的絲桿座lb，絲桿座Ib中設(shè)有滑座槽lc，滑座槽Ic中設(shè)有滑座ld，滑座Ib與絲桿座Ib之間設(shè)有X軸絲桿le、Z軸絲桿If，X軸絲桿Ie固定在滑座Ib上，X軸絲桿Ie的旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)滑座Ib在X軸的方向進(jìn)行左右滑動(dòng)，Z軸絲桿Ie固定在滑座Ib上，Z軸絲桿If的旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)滑座Ib在Z軸的方向進(jìn)行前后滑動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)滑座Ib在滑座槽Ic中沿著OXZ平面進(jìn)行調(diào)節(jié)，滑座Ib下固定有第一絲架li，金剛石紗線L穿過第一絲架li，對(duì)第一絲架Ii進(jìn)行前后左右的調(diào)節(jié)，便可以調(diào)節(jié)，金剛石紗線L的前后左右的位置。
[0022]墻板Ia為總體支撐的固定結(jié)構(gòu)，墻板Ia采用鑄鐵材料制作，墻板Ia是平面的結(jié)構(gòu)體，將長(zhǎng)方體形的絲桿座Ib垂直固定在墻板Ia的平面上，在絲桿座Ib中設(shè)有空心長(zhǎng)方體形的滑座槽lc，滑座Ib是體積小于滑座槽Ic的長(zhǎng)方體，滑座Ib與滑座槽Ic之間具有間隙，該間隙為滑座Ib在滑座槽Ic中的滑動(dòng)空間，將該間隙擴(kuò)大，即將滑座槽Ic的長(zhǎng)方體擴(kuò)大即可，X軸絲桿Ie與Z軸絲桿If固定在滑座Ib上，采用絲桿結(jié)構(gòu)調(diào)節(jié)滑座Ib的位置較為精細(xì)，可以提高加工時(shí)的精度。
[0023]所述墻板Ia上固定有兩個(gè)電機(jī)lg，兩個(gè)電機(jī)Ig分別與X軸絲桿le、Z軸絲桿If的端部固定，兩個(gè)電機(jī)Ig分別固定在墻板Ia上，電機(jī)Ig與墻板Ia固定并對(duì)X軸絲桿le、Z軸絲桿If上連接的滑座Ib進(jìn)行調(diào)節(jié)，電機(jī)Ig的運(yùn)行狀態(tài)可以由中央處理器CPU進(jìn)行控制，便于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制。
[0024]滑座Ib下固定有第一絲架Ii，第一絲架Ii為長(zhǎng)軸、也可以是空心軸有助于減緩金剛石紗線L的震動(dòng)，該軸也可以是長(zhǎng)度可調(diào)節(jié)的伸縮軸，通過第一絲架Ii的兩端分別固定的紗線輪Ih對(duì)金剛石紗線L的軌跡進(jìn)行控制，金剛石紗線L相切在第一絲架Ii兩端的紗線輪Ih上，當(dāng)?shù)谝唤z架Ii的位置隨著滑座Ib進(jìn)行前后左右的運(yùn)動(dòng)時(shí)，金剛石紗線L也跟從第一絲架Ii兩端的紗線輪Ih進(jìn)行前后左右位置的調(diào)節(jié)；因?yàn)榻饎偸喚€L在第一絲架Ii右端的紗線輪Ih處向下轉(zhuǎn)折延伸至切削臺(tái)2的物料21上進(jìn)行切削，當(dāng)?shù)谝唤z架Ii右端紗線輪Ih進(jìn)行前后左右調(diào)節(jié)時(shí)，金剛石紗線L將沿著切削臺(tái)2進(jìn)行前后左右的調(diào)節(jié)，金剛石紗線L與物料21之間的切割角度也將隨著金剛石紗線L位置的調(diào)節(jié)而改變。
[0025]所述墻板Ia上固定有位置檢測(cè)器Ir，位置檢測(cè)器Ir可以是光電傳感器，當(dāng)金剛石紗線L被第一絲架Ii帶動(dòng)時(shí)，光電傳感器對(duì)金剛石紗線L相對(duì)墻體Ia的位置進(jìn)行檢測(cè)，光電傳感器將接收的位置信號(hào)傳輸至中央處理器CPU中，通過中央處理器CPU的判斷金剛石紗線L當(dāng)前位置，從而使中央處理器CPU對(duì)X軸絲桿le、Z軸絲桿If上連接的兩個(gè)電機(jī)Ig運(yùn)行狀態(tài)進(jìn)行調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)位置檢測(cè)器Ir反饋與電機(jī)Ig調(diào)節(jié)相互配合的自動(dòng)化運(yùn)行。
[0026]位置檢測(cè)器Ir設(shè)在第一絲架Ii右端的紗線輪Ih下部，第一絲架Ii右端的紗線輪Ih下部為金剛石紗線L的轉(zhuǎn)折點(diǎn)，位置檢測(cè)器Ir對(duì)應(yīng)在金剛石紗線L沿著Y軸運(yùn)行的位置，使位置檢測(cè)器Ir檢測(cè)金剛石紗線L在OXZ平面的位置，該OXZ平面與滑座Ib運(yùn)行的平面為平行面；位置檢測(cè)器Ir檢測(cè)的平面與滑座Ib運(yùn)行的平面同時(shí)垂直于Y軸，即位置檢測(cè)器Ir檢測(cè)的平面與滑座Ib運(yùn)行的平面同時(shí)垂直于金剛石紗線L，反饋與調(diào)節(jié)同步運(yùn)行，金剛石紗線L發(fā)生偏差時(shí)會(huì)及時(shí)調(diào)節(jié)恢復(fù)，提高金剛石紗線L運(yùn)行的精度。
[0027]所述墻板Ia下部固定有第二絲架lj，