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一種小舟一次性組立治具的制作方法

文檔序號:8646421閱讀:566來源:國知局
一種小舟一次性組立治具的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及到一種治具,尤其涉及到一種焊接尺寸精準、生產(chǎn)效率高的小舟一次性組立治具。
【背景技術】
[0002]石英舟是硅片熱處理過程中的硅片承載工具,一般是由作業(yè)人員根據(jù)需求,采用不同的石墨塊和石墨片搭建并焊接,由于人員水平、使用工具等差異,搭建的石英舟一致性不好,造成產(chǎn)品品質較差,無法一次性達到設計要求,需要作業(yè)人員重新修整或返工,所需時間較長,如調整失敗會造成產(chǎn)品報廢,因此,生產(chǎn)效率低,加工成本高,生產(chǎn)周期長,無法滿足需求。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型主要解決現(xiàn)有石英舟加工一致性不佳、產(chǎn)品品質差、生產(chǎn)效率低的技術問題;提供了一種焊接尺寸精準、生產(chǎn)效率高的小舟一次性組立治具。
[0004]為了解決上述存在的技術問題,本實用新型主要是采用下述技術方案:
[0005]本實用新型的一種小舟一次性組立治具,用于石英舟的裝配,所述石英舟包括兩端的側板和連接側板且承載硅片的上溝棒、下溝棒,上下溝棒的內側均設有用于插接硅片的溝槽,所述組立治具包括基座和設于基座上的側板定位塊、上溝棒定位塊及下溝棒定位塊,所述基座為長方體,基座長度與所述溝棒的長度相吻合,基座寬度與所述側板的寬度相吻合,所述側板定位塊的下部分別與基座的左右兩側壁面貼合并固定,兩側側板定位塊的內面相互平行且垂直于基座上表面,石英舟側板可貼靠并定位于側板定位塊的內面,將石英舟的側板、上下溝棒均通過組立治具中的側板定位塊和上下溝棒定位塊來加以定位,精確設計和精密加工的各定位塊的定位面保證了石英舟側板和上下溝棒的垂直度、水平度和相對位置,石英舟組裝的一致性好,質量穩(wěn)定,生產(chǎn)效率高。
[0006]作為優(yōu)選,所述下溝棒定位塊呈H型結構,包括一體結構的前立板、后立板和前后立板之間的連接板,所述后立板的高度大于前立板的高度,前后立板的底部分別貼靠并固定于所述基座的前后壁面,前后立板的內面垂直于基座上表面,連接板呈水平狀并擱置于基座上表面,連接板的厚度與所述下溝棒的位置高度相吻合,凸出連接板上表面的前立板高度與下溝棒的直徑相吻合,前后立板內面與連接板上表面的接角處可擱置并定位下溝棒,H型設計使得下溝棒可卡裝在基座上,通過螺栓固定方式固定在基座上,使得下溝棒定位塊安裝方便準確牢固,下溝棒定位塊的連接板下表面貼合于基座上表面,保證水平板上表面水平度好,與前后立板配合可定位下溝棒的位置,連接板厚度為下溝棒與側板底之間的距離,使得下溝棒的定位方便快捷精確,下溝棒的水平度和位置度好。
[0007]作為優(yōu)選,所述上溝棒定位塊呈L型,包括立板和水平板,所述立板置于所述下溝棒定位塊的前立板上,水平板擱置于所述下溝棒上并壓緊下溝棒,水平板上表面與立板內面的接角處可擱置并定位上溝棒,上溝棒定位塊可通過螺栓固定方式而貼靠固定在基座上,安裝方便準確,上溝棒定位塊的水平板下表面抵壓下溝棒并固定下溝棒的位置,而上表面則可擱置上溝棒,并與立板配合定位上溝棒的位置,水平板厚度為上下溝棒之間的距離,使得上下溝棒的定位更方便快捷精確,上下溝棒的水平度和位置度更好。
[0008]作為優(yōu)選,所述側板定位塊對應上下溝棒端部的焊接位置處設有半圓狀通孔,設置四個半圓通孔,可以對焊接處背面進行預熱,同時,在焊接時還可以減少過熱,防止損壞側板定位塊,提高部件的使用壽命。
[0009]作為優(yōu)選,所述組立治具還包括溝部插板,所述溝部插板的寬度與所述側板的寬度相吻合,溝部插板的高度與上下溝棒之間的距離相吻合,溝部插板的厚度與溝棒上的溝槽相吻合,平整的溝部插板可以保證四個溝棒上的相應溝槽在同一平面上,硅片插入快捷可靠。
[0010]作為優(yōu)選,所述溝部插板前端部邊緣的形狀與所述溝槽的形狀相吻合,保證上下溝棒的溝槽相對位置精確,硅片加工質量好。
[0011]作為優(yōu)選,所述溝部插板材質為不銹鋼,加工精度高,保證石英舟的質量。
[0012]作為優(yōu)選,所述基座、側板定位塊和上下溝棒定位塊的材質均為高純石墨,較高的熔點使得治具在焊接加工時不容易受熱變形,同時,也不會逸出雜質離子而污染石英舟,保證石英舟的純凈。
[0013]本實用新型的有益效果是:將石英舟的側板和上下溝棒均通過組立治具中的側板定位塊和上下溝棒定位塊來加以定位,精確設計和精密加工的各定位塊的定位面保證了石英舟側板和上下溝棒的垂直度、水平度和相對尺寸,石英舟組裝的一致性好,質量穩(wěn)定,生產(chǎn)效率高,而組立治具各部件采用高純石墨制作,在保證較小的受熱變形情況下,又降低了石英舟受雜質離子污染的風險,提高硅片產(chǎn)品質量。
【附圖說明】
[0014]圖1是石英舟示意圖。
[0015]圖2是本實用新型的一種組立治具結構示意圖。
[0016]圖3是圖2結構的爆炸示意圖。
[0017]圖4是本實用新型的使用示意圖。
[0018]圖中1.石英舟,11.側板,12.上溝棒,121.溝槽,13.下溝棒,2.組立治具,21.基座,22.側板定位塊,221.通孔,23.上溝棒定位塊,231.立板,232.水平板,24.下溝棒定位塊,241.前立板,242.后立板,243.連接板。
【具體實施方式】
[0019]下面通過實施例,并結合附圖,對本實用新型的技術方案作進一步具體的說明。
[0020]實施例:本實施例的一種小舟一次性組立治具,用于石英舟的裝配,如圖1所示,石英舟I包括兩端的側板11和連接側板且承載硅片的上溝棒12、下溝棒13,上下溝棒的內側均設有用于插接硅片的溝槽121,如圖2和圖3所示,組立治具2包括基座21和設于基座上的側板定位塊22、上溝棒定位塊23、下溝棒定位塊24以及溝部插板,基座、側板定位塊、上下溝棒定位塊均由高純石墨制成,基座為長方體,基座長度與溝棒的長度相吻合,基座寬度與側板的寬度相吻合,側板定位塊的下部分別與基座的左右兩側壁面貼合
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