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脆性材料基板中的垂直裂紋形成方法及其分割方法與流程

文檔序號(hào):11120192閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種脆性材料基板中的垂直裂紋形成方法,在厚度方向上分割脆性材料基板時(shí)在分割位置上形成垂直裂紋,其特征在于,

所述脆性材料基板中的垂直裂紋形成方法具備:

槽線形成工序,在所述脆性材料基板的一主面上形成作為線狀槽部的槽線;以及

輔助線形成工序,通過使劃線輪在所述一主面上壓接滾動(dòng)來(lái)形成作為與所述槽線相交的加工痕跡的輔助線,所述劃線輪的外周具備等間隔設(shè)置有多個(gè)槽的刀尖,

在所述槽線形成工序中,以在所述槽線的正下方維持無(wú)裂紋狀態(tài)的方式形成所述槽線,

在所述輔助線形成工序中,使用所述多個(gè)槽相對(duì)于所述外周非對(duì)稱的形狀形成的所述劃線輪,形成所述輔助線,

使垂直裂紋以所述槽線與所述輔助線的交點(diǎn)作為起點(diǎn)從所述槽線沿所述脆性材料基板的厚度方向伸展。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的脆性材料基板中的垂直裂紋形成方法,其特征在于,

在所述輔助線形成工序中,使內(nèi)部裂紋區(qū)域伴隨所述輔助線的形成而產(chǎn)生,所述內(nèi)部裂紋區(qū)域?yàn)樗龃嘈圆牧匣宓膬?nèi)部并且在所述輔助線的側(cè)方存在多個(gè)輔助裂紋,

確定所述槽線與所述輔助線的形成位置,以使所述內(nèi)部裂紋區(qū)域在所述槽線上的垂直裂紋的計(jì)劃伸展方向一側(cè)形成。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的脆性材料基板中的垂直裂紋形成方法,其特征在于,

所述輔助線以在與所述槽線上的垂直裂紋的計(jì)劃伸展方向相反一側(cè)附近與所述槽線相交的方式形成。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的脆性材料基板中的垂直裂紋形成方法,其特征在于,

在形成所述槽線之后,形成所述輔助線。

5.一種脆性材料基板中的垂直裂紋形成方法,在厚度方向上分割脆性材料基板時(shí)在分割位置上形成垂直裂紋,其特征在于,

所述脆性材料基板中的垂直裂紋形成方法具備:

槽線形成工序,在所述脆性材料基板的一主面上形成作為線狀槽部的槽線;以及

輔助線形成工序,通過使劃線輪在所述一主面上壓接滾動(dòng)來(lái)形成作為與所述槽線相交的加工痕跡的輔助線,所述劃線輪的外周具備等間隔設(shè)置有多個(gè)槽的刀尖,

在所述槽線形成工序中,以在所述槽線的正下方維持無(wú)裂紋狀態(tài)的方式形成所述槽線,

在所述輔助線形成工序中,使用所述多個(gè)槽在所述外周的左右側(cè)具有不同深度的方式形成的所述劃線輪,形成所述輔助線,

使垂直裂紋以所述槽線與所述輔助線的交點(diǎn)作為起點(diǎn)從所述槽線沿所述脆性材料基板的厚度方向伸展。

6.一種脆性材料基板的分割方法,對(duì)脆性材料基板在厚度方向上進(jìn)行分割,其特征在于,

所述脆性材料基板的分割方法具備:

垂直裂紋形成工序,通過權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的垂直裂紋形成方法,在所述脆性材料基板上形成垂直裂紋;以及

斷開工序,沿著所述垂直裂紋而斷開所述脆性材料基板。

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