本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制成技術(shù)，具體涉及一種具有內(nèi)部循環(huán)風(fēng)扇的超凈間。

背景技術(shù)：

超凈間用于制藥工業(yè)或者半導(dǎo)體制成工業(yè)，在制作晶圓、TFT或者LCD時(shí)，都需要使用超凈間，超凈間最主要的作用在于控制產(chǎn)品所接觸的大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造?，F(xiàn)有技術(shù)中，超凈間的循環(huán)風(fēng)扇往往是從外部進(jìn)行循環(huán)，這樣有一定概率代入外部的。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明公開(kāi)了一種。

本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

一種具有內(nèi)部循環(huán)風(fēng)扇的超凈間，包括設(shè)置于超凈間兩側(cè)的入風(fēng)端、設(shè)置于超凈間后端的出風(fēng)端和設(shè)置于超凈間內(nèi)側(cè)左右邊的走風(fēng)通道；超凈間左右兩側(cè)的中軸線上設(shè)置有操作通道，操作通道的兩側(cè)設(shè)置有起重設(shè)備；在所述起重設(shè)備和所述走風(fēng)通道之間設(shè)置有左右通透的儲(chǔ)物區(qū)，儲(chǔ)物區(qū)中放置有儲(chǔ)物架；貼靠?jī)?chǔ)物區(qū)的外側(cè)還設(shè)置有內(nèi)循環(huán)風(fēng)扇單元，超凈間后端還設(shè)置有用于供操作員出入的門；所述出風(fēng)端的入風(fēng)口設(shè)置在門的左右兩側(cè)，出風(fēng)端的出風(fēng)口設(shè)置于超凈間的左右邊的墻壁之上；所述入風(fēng)端處還設(shè)置有多個(gè)并列排布的外循環(huán)風(fēng)扇單元，外循環(huán)風(fēng)扇單元均貼靠超凈間兩側(cè)墻壁安裝。

本發(fā)明的有益技術(shù)效果是：

本發(fā)明設(shè)置有內(nèi)循環(huán)風(fēng)扇，可以增強(qiáng)超凈間之內(nèi)的循環(huán)效果。又由于內(nèi)循環(huán)風(fēng)扇貼靠?jī)?chǔ)物區(qū)安裝，可以針對(duì)儲(chǔ)物區(qū)的空氣進(jìn)行循環(huán)，保證放置于儲(chǔ)物區(qū)中的物品達(dá)到相關(guān)的超凈標(biāo)準(zhǔn)。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的示意圖。

具體實(shí)施方式

如圖1所示，本發(fā)明包括設(shè)置于超凈間兩側(cè)的入風(fēng)端1、設(shè)置于超凈間后端的出風(fēng)端2和設(shè)置于超凈間內(nèi)側(cè)左右邊的走風(fēng)通道3；超凈間左右兩側(cè)的中軸線上設(shè)置有操作通道4，操作通道4的兩側(cè)設(shè)置有起重設(shè)備5；在起重設(shè)備5和走風(fēng)通道3之間設(shè)置有左右通透的儲(chǔ)物區(qū)7，儲(chǔ)物區(qū)7中放置有儲(chǔ)物架8；貼靠?jī)?chǔ)物區(qū)7的外側(cè)還設(shè)置有內(nèi)循環(huán)風(fēng)扇單元6，超凈間后端還設(shè)置有用于供操作員出入的門9；出風(fēng)端2的入風(fēng)口設(shè)置在門9的左右兩側(cè)，出風(fēng)端2的出風(fēng)口設(shè)置于超凈間的左右邊的墻壁之上；入風(fēng)端1處還設(shè)置有多個(gè)并列排布的外循環(huán)風(fēng)扇單元10，外循環(huán)風(fēng)扇單元10均貼靠超凈間兩側(cè)墻壁安裝。

操作員由門9進(jìn)入超凈間，并進(jìn)入操作通道4，進(jìn)行工作，起重設(shè)備5可根據(jù)操作員的指示，由儲(chǔ)物區(qū)7中的儲(chǔ)物架8之上拿取或者放下相關(guān)設(shè)備，幫助操作員工作。潔凈風(fēng)由超凈室左右兩側(cè)的入風(fēng)端1的外循環(huán)風(fēng)扇單元10吹入超凈室，經(jīng)由走風(fēng)通道3吹出，在走風(fēng)通道3中時(shí)，一部分風(fēng)還向側(cè)邊吹入儲(chǔ)物區(qū)7，經(jīng)過(guò)儲(chǔ)物架8，由操作通道4吹出，最后所有的風(fēng)均吹向門9的方向，但從門9的左右兩側(cè)的出風(fēng)端2的入風(fēng)口吹入，最后由出風(fēng)端2的出風(fēng)口吹出。在此同時(shí)，內(nèi)循環(huán)風(fēng)扇單元6配合外循環(huán)風(fēng)扇單元10也在工作，對(duì)超凈室內(nèi)部的空氣進(jìn)行循環(huán)，由于存在內(nèi)循環(huán)風(fēng)扇單元6，可以使得更多的潔凈空氣引向儲(chǔ)物區(qū)7。

以上所述的僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，本發(fā)明不限于以上實(shí)施例?？梢岳斫猓绢I(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和構(gòu)思的前提下直接導(dǎo)出或聯(lián)想到的其他改進(jìn)和變化，均應(yīng)認(rèn)為包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。