一種硅片切割裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種硅片切割裝置，包括工件板、限位塊和用于固定連接硅塊的玻璃板，所述玻璃板粘接在工件板一側(cè)，所述限位塊粘接在工件板上；所述工件板與玻璃板粘接面上還設(shè)有冷卻槽。通過(guò)冷卻槽的設(shè)計(jì)，降低切割裝置內(nèi)溫度，減少高溫對(duì)砂漿的影響；通過(guò)限位塊的抵持，抵消掉切割過(guò)程中硅片間產(chǎn)生的側(cè)向力，保證硅塊位置的穩(wěn)定，提高了切割硅片的質(zhì)量，通過(guò)提高成品率進(jìn)一步降低生產(chǎn)成本。
【專(zhuān)利說(shuō)明】—種硅片切割裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及硅片生產(chǎn)加工領(lǐng)域，特別是，涉及一種硅片切割裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]硅片的切割過(guò)程中，產(chǎn)生大量的熱量，砂漿內(nèi)的硅與水會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，造成砂漿的粘度急劇升高，而流動(dòng)性降低，從而使得砂漿夾在相鄰兩硅片之間不容易滴落并逐漸累積，從而在硅棒兩端產(chǎn)生一個(gè)較大的側(cè)向力，而且這一側(cè)向力會(huì)沿著硅棒長(zhǎng)度方向逐漸累力口，位于硅棒兩端的硅片受到的側(cè)向力最大，最終導(dǎo)致硅片出現(xiàn)大量外張崩邊，甚至?xí)l(fā)生斷片的嚴(yán)重事故。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種硅片切割裝置，通過(guò)冷卻槽的設(shè)計(jì)，降低切割裝置內(nèi)溫度，減少高溫對(duì)砂漿的影響；通過(guò)限位塊的抵持，抵消掉切割過(guò)程中硅片間產(chǎn)生的側(cè)向力，保證硅塊位置的穩(wěn)定，提高了切割硅片的質(zhì)量，通過(guò)提高成品率進(jìn)一步降低生產(chǎn)成本。
[0004]為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案如下:
[0005]一種硅片切割裝置，包括工件板、限位塊和用于固定連接硅塊的玻璃板，所述玻璃板粘接在工件板一側(cè)，所述限位塊粘接在工件板上；所述工件板與玻璃板粘接面上還設(shè)有冷卻槽。
[0006]優(yōu)選的，所述冷卻槽兩端設(shè)有冷卻液進(jìn)出口。
[0007]優(yōu)選的，所述冷卻槽內(nèi)設(shè)有冷卻管，所述冷卻管在冷卻槽兩端設(shè)有冷卻液進(jìn)出口。
[0008]優(yōu)選的，所述冷卻管為金屬管。
[0009]優(yōu)選的，所述限位塊有2塊，且平行設(shè)置在玻璃板對(duì)稱(chēng)的兩端，與玻璃板相抵持。
[0010]優(yōu)選的，所述限位塊中心線(xiàn)平行于切割線(xiàn)運(yùn)行方向。
[0011]優(yōu)選的，所述限位塊高度不小于玻璃板厚度和硅塊厚度之和的1/2。
[0012]優(yōu)選的，所述限位塊高度等于玻璃板厚度和硅塊厚度之和。
[0013]優(yōu)選的，所述冷卻槽為平行設(shè)置的直線(xiàn)型槽。
[0014]優(yōu)選的，所述冷卻槽為平行設(shè)置的S型槽。
[0015]相比現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型的有益效果在于:
[0016]1、本實(shí)用新型通過(guò)冷卻槽的設(shè)計(jì)，降低切割裝置內(nèi)溫度，減少高溫對(duì)砂漿的影響；通過(guò)限位塊的抵持，抵消掉切割過(guò)程中硅片間產(chǎn)生的側(cè)向力，保證硅塊位置的穩(wěn)定，提高了切割硅片的質(zhì)量，通過(guò)提高成品率進(jìn)一步降低生產(chǎn)成本；
[0017]2、本實(shí)用新型選用平行設(shè)置的金屬冷卻管，大大增加了接觸面積，更好的達(dá)到降溫的效果。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0018]圖1為本實(shí)用新型硅片切割裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2為本實(shí)用新型中工件板上直線(xiàn)型槽結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖3為本實(shí)用新型中工件板上S型槽結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]其中，I為工件板,2為玻璃板,3為限位塊,4為娃塊,5為切割線(xiàn),6為冷卻槽。

【具體實(shí)施方式】
[0022]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0023]如圖1所示，為一種硅片切割裝置，包括工件板1、限位塊3和用于固定連接硅塊4的玻璃板2，玻璃板2粘接在工件板I 一側(cè)，工件板I與玻璃板2粘接面上還設(shè)有冷卻槽6，冷卻槽6兩端設(shè)有冷卻液進(jìn)出口 ；限位塊3有2塊，粘接在工件板I上，且平行設(shè)置在玻璃板2對(duì)稱(chēng)的兩端，與玻璃板2相抵持；限位塊3中心線(xiàn)平行于切割線(xiàn)運(yùn)行方向。限位塊3高度不小于玻璃板2厚度和硅塊4厚度之和的1/2。
[0024]實(shí)施例1
[0025]硅片切割裝置包括工件板1、限位塊3和用于固定連接硅塊4的玻璃板2，玻璃板2粘接在工件板I 一側(cè)，工件板I與玻璃板2粘接面上還設(shè)有平行設(shè)置的直線(xiàn)型冷卻槽6，冷卻槽6內(nèi)設(shè)有金屬冷卻管，冷卻管在冷卻槽6兩端設(shè)有冷卻液進(jìn)出口 ；限位塊3有2塊，粘接在工件板I上，且平行設(shè)置在玻璃板2兩端，與玻璃板2相抵持；限位塊3中心線(xiàn)平行于切割線(xiàn)運(yùn)行方向；限位塊3高度等于玻璃板2厚度和硅塊4厚度之和的1/2。工件板I和玻璃板2之間采用粘玻璃膠相互粘接，玻璃板2和硅塊4之間采用粘棒膠相粘接。
[0026]實(shí)施例2
[0027]硅片切割裝置包括工件板1、限位塊3和用于固定連接硅塊4的玻璃板2，玻璃板2粘接在工件板I 一側(cè)，工件板I與玻璃板2粘接面上還設(shè)有平行設(shè)置的S型冷卻槽6，冷卻槽6內(nèi)設(shè)有金屬冷卻管，冷卻管在冷卻槽6兩端設(shè)有冷卻液進(jìn)出口 ；限位塊3有2塊，粘接在工件板I上，且平行設(shè)置在玻璃板2兩端，與玻璃板2相抵持；限位塊3中心線(xiàn)平行于切割線(xiàn)運(yùn)行方向；限位塊3高度等于玻璃板2厚度和硅塊4厚度之和。工件板I和玻璃板2之間采用粘玻璃膠相互粘接，玻璃板2和硅塊4之間采用粘棒膠相粘接。
[0028]使用時(shí)，將寬度與限位塊3之間玻璃板2等寬的硅塊4粘連在玻璃板2上，冷卻槽6內(nèi)開(kāi)始通入冷卻液，在切割線(xiàn)5下進(jìn)行切割即得穩(wěn)定質(zhì)量硅片。
[0029]對(duì)本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，可根據(jù)以上描述的技術(shù)方案以及構(gòu)思，做出其它各種相應(yīng)的改變以及形變，而所有的這些改變以及形變都應(yīng)該屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種硅片切割裝置，其特征在于:包括工件板(I)、限位塊(3)和用于固定連接硅塊(4)的玻璃板(2)，所述玻璃板(2)粘接在工件板(I) 一側(cè)，所述限位塊(3)粘接在工件板(1)上；所述工件板(I)與玻璃板(2)粘接面上還設(shè)有冷卻槽(6)。
2.如權(quán)利要求1所述的硅片切割裝置，其特征在于:所述冷卻槽(6)兩端設(shè)有冷卻液進(jìn)出口。
3.如權(quán)利要求2所述的硅片切割裝置，其特征在于:所述冷卻槽(6)內(nèi)設(shè)有冷卻管，所述冷卻管在冷卻槽(6)兩端設(shè)有冷卻液進(jìn)出口。
4.如權(quán)利要求3所述的硅片切割裝置，其特征在于:所述冷卻管為金屬管。
5.如權(quán)利要求1所述的硅片切割裝置，其特征在于:所述限位塊(3)有2塊，且平行設(shè)置在玻璃板(2)對(duì)稱(chēng)的兩端，與玻璃板(2)相抵持。
6.如權(quán)利要求1所述的硅片切割裝置，其特征在于:所述限位塊(3)中心線(xiàn)平行于切割線(xiàn)(5)運(yùn)行方向。
7.如權(quán)利要求1所述的硅片切割裝置，其特征在于:所述限位塊(3)高度不小于玻璃板⑵厚度和硅塊⑷厚度之和的1/2。
8.如權(quán)利要求7所述的硅片切割裝置，其特征在于:所述限位塊(3)高度等于玻璃板(2)厚度和硅塊(4)厚度之和。
9.如權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的硅片切割裝置，其特征在于:所述冷卻槽(6)為平行設(shè)置的直線(xiàn)型槽。
10.如權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的硅片切割裝置，其特征在于:所述冷卻槽(6)為平行設(shè)置的S型槽。
【文檔編號(hào)】B28D7/04GK204076549SQ201420511626
【公開(kāi)日】2015年1月7日 申請(qǐng)日期:2014年9月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月5日
【發(fā)明者】狄紅祥, 張建, 靳達(dá)興 申請(qǐng)人:中衛(wèi)市銀陽(yáng)新能源有限公司