一種硅片切割砂漿循環(huán)系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種硅片切割砂漿循環(huán)系統(tǒng)，包括硅片切割室、過濾網(wǎng)和砂漿罐，所述過濾網(wǎng)設(shè)置在硅片切割室與砂漿罐之間；還包括砂漿純化裝置和砂漿補(bǔ)充罐，所述砂漿純化裝置設(shè)置在過濾網(wǎng)與砂漿罐之間，所述砂漿補(bǔ)充罐與砂漿罐通過管道連接；所述硅片切割室、砂漿純化裝置、砂漿罐通過管道依次連接形成循環(huán)通路。本系統(tǒng)利用砂漿純化裝置對(duì)砂漿進(jìn)行純化的同時(shí)，補(bǔ)充新的砂漿進(jìn)入純化后的砂漿中，使SiC顆粒的保持在有效濃度內(nèi)，保證生產(chǎn)中切割效率的同時(shí)，大大降低了生產(chǎn)成本。
【專利說明】 一種硅片切割砂漿循環(huán)系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種循環(huán)利用系統(tǒng)，特別是，涉及一種硅片切割砂漿循環(huán)系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]砂漿在切割一次后，大量硅粉、鋼線磨損后的金屬化合物混入砂漿里，附著并包圍在SiC顆粒上，使SiC顆粒在切割前沿硅塊表面打滑，切割力減弱；為了消除硅粉及部分金屬化合物，每次切割后需要更換大量的砂漿，但經(jīng)過掃描電鏡觀察，一次切割后的廢砂漿里，90%以上的SiC仍未充分利用，頻繁的更換砂漿，造成生產(chǎn)中原料的浪費(fèi)，不利于降低生產(chǎn)成本。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種硅片切割砂漿循環(huán)系統(tǒng)，利用砂漿純化裝置對(duì)砂漿進(jìn)行純化的同時(shí)，補(bǔ)充新的砂漿進(jìn)入純化后的砂漿中，使SiC顆粒的保持在有效濃度內(nèi)，保證生產(chǎn)中切割效率的同時(shí)，大大降低了生產(chǎn)成本。
[0004]為解決上述問題，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案如下:
[0005]一種硅片切割砂漿循環(huán)系統(tǒng)，包括硅片切割室、過濾網(wǎng)和砂漿罐，所述過濾網(wǎng)設(shè)置在硅片切割室與砂漿罐之間；還包括砂漿純化裝置和砂漿補(bǔ)充罐，所述砂漿純化裝置設(shè)置在過濾網(wǎng)與砂漿罐之間，所述砂漿補(bǔ)充罐與砂漿罐通過管道連接；所述硅片切割室、砂漿純化裝置、砂漿罐通過管道依次連接形成循環(huán)通路。
[0006]優(yōu)選的，所述砂漿純化裝置為高速離心機(jī)。
[0007]優(yōu)選的，所述沙漿純化裝置內(nèi)設(shè)有用于檢測(cè)SiC顆粒濃度的檢測(cè)模塊。
[0008]優(yōu)選的，所述砂漿罐與砂漿純化裝置、砂漿補(bǔ)充罐之間的管路上設(shè)有閥門。
[0009]優(yōu)選的，還包括過濾罐，所述過濾罐設(shè)置在砂漿罐與硅片切割室之間的管道上。
[0010]優(yōu)選的，所述過濾罐由罐體、罐蓋和內(nèi)置過濾網(wǎng)組成，所述內(nèi)置過濾網(wǎng)設(shè)置在罐體內(nèi)，所述罐蓋通過螺接設(shè)置在罐體頂端，所述罐體兩側(cè)分別設(shè)置有進(jìn)出口。
[0011]優(yōu)選的，所述砂漿罐內(nèi)設(shè)置有用于砂漿混勻的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
[0012]相比現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型的有益效果在于:
[0013]1、本實(shí)用新型利用砂漿純化裝置對(duì)砂漿進(jìn)行純化的同時(shí)，補(bǔ)充新的砂漿進(jìn)入純化后的砂漿中，使SiC顆粒的保持在有效濃度內(nèi)，保證生產(chǎn)中切割效率的同時(shí)，大大降低了生產(chǎn)成本；
[0014]2、本實(shí)用新型在砂漿純化裝置設(shè)置SiC顆粒濃度檢測(cè)模塊，在SiC顆粒濃度低于80%時(shí)啟動(dòng)砂漿純化裝置，同時(shí)注入SiC顆粒濃度稍高的新的砂漿液，保證了砂漿良好的切割性能；
[0015]3、本實(shí)用新型在砂漿罐后設(shè)置可拆卸的過濾罐，保證進(jìn)入硅片切割室砂漿的純度，避免大顆粒雜質(zhì)對(duì)切割的影響，而且便于日常維護(hù)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1為本實(shí)用新型中娃片切割砂衆(zhòng)循環(huán)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)不意圖；
[0017]其中，I為硅片切割室，2為過濾網(wǎng)，3為砂漿罐，4為砂漿純化裝置，5為砂漿補(bǔ)充罐，6為過濾罐。

【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0019]如圖1所示，為硅片切割砂漿循環(huán)系統(tǒng)，包括硅片切割室1、過濾網(wǎng)2和砂漿罐3，過濾網(wǎng)2設(shè)置在硅片切割室I與砂漿罐3之間；還包括砂漿純化裝置4和砂漿補(bǔ)充罐5，砂漿純化裝置4設(shè)置在過濾網(wǎng)2與砂漿罐3之間，砂漿補(bǔ)充罐5與砂漿罐3通過管道連接；硅片切割室1、砂漿純化裝置4、砂漿罐3通過管道依次連接形成循環(huán)通路；還包括過濾罐6，過濾罐6設(shè)置在砂漿罐3與硅片切割室I之間的管道上。
[0020]在一個(gè)具體實(shí)施例中，所述砂漿純化裝置4為高速離心機(jī)，高速離心機(jī)內(nèi)設(shè)有用于檢測(cè)SiC顆粒濃度的檢測(cè)模塊，當(dāng)檢測(cè)到砂漿濃度低于80%時(shí)，啟動(dòng)高速離心機(jī)進(jìn)行純化。過濾罐6由罐體、罐蓋和內(nèi)置過濾網(wǎng)組成，所述內(nèi)置過濾網(wǎng)設(shè)置在罐體內(nèi)，所述罐蓋通過螺接設(shè)置在罐體頂端，所述罐體兩側(cè)分別設(shè)置有進(jìn)出口。砂漿罐3內(nèi)設(shè)置有用于砂漿混勻的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
[0021]使用時(shí)，硅片切割室I內(nèi)砂漿經(jīng)過管道上過濾網(wǎng)2過濾后進(jìn)入砂漿純化裝置4，經(jīng)檢測(cè)裝置檢測(cè)，確定是否啟動(dòng)純化，如不需要純化則砂漿直接流入砂漿罐3內(nèi)，砂漿補(bǔ)充罐5管道上閥門處于關(guān)閉狀態(tài)；如需要純化，則啟動(dòng)砂漿純化裝置4，同時(shí)砂漿補(bǔ)充罐5管道上閥門開啟，經(jīng)處理后的砂漿流入砂漿罐3，并在砂漿罐3內(nèi)進(jìn)行混勻。硅片切割室I需要砂漿時(shí)，砂漿罐3內(nèi)的砂漿經(jīng)過過濾罐6過濾后進(jìn)入硅片切割室I。
[0022]對(duì)本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，可根據(jù)以上描述的技術(shù)方案以及構(gòu)思，做出其它各種相應(yīng)的改變以及形變，而所有的這些改變以及形變都應(yīng)該屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種硅片切割砂漿循環(huán)系統(tǒng)，包括硅片切割室⑴、過濾網(wǎng)⑵和砂漿罐(3)，所述過濾網(wǎng)(2)設(shè)置在硅片切割室(I)與砂漿罐(3)之間；其特征在于，還包括砂漿純化裝置(4)和砂漿補(bǔ)充罐(5)，所述砂漿純化裝置(4)設(shè)置在過濾網(wǎng)(2)與砂漿罐(3)之間，所述砂漿補(bǔ)充罐(5)與砂漿罐(3)通過管道連接；所述硅片切割室(I)、砂漿純化裝置(4)、砂漿罐(3)通過管道依次連接形成循環(huán)通路。
2.如權(quán)利要求1所述的硅片切割砂漿循環(huán)系統(tǒng)，其特征在于，所述砂漿純化裝置(4)為高速離心機(jī)。
3.如權(quán)利要求1所述的硅片切割砂漿循環(huán)系統(tǒng)，其特征在于，所述沙漿純化裝置(4)內(nèi)設(shè)有用于檢測(cè)SiC顆粒濃度的檢測(cè)模塊。
4.如權(quán)利要求1所述的硅片切割砂漿循環(huán)系統(tǒng)，其特征在于，所述砂漿罐(3)與砂漿純化裝置(4)、砂漿補(bǔ)充罐(5)之間的管路上設(shè)有閥門。
5.如權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的硅片切割砂漿循環(huán)系統(tǒng)，其特征在于，還包括過濾罐(6)，所述過濾罐(6)設(shè)置在砂漿罐(3)與硅片切割室(I)之間的管道上。
6.如權(quán)利要求5所述的硅片切割砂漿循環(huán)系統(tǒng)，其特征在于，所述過濾罐(6)由罐體、罐蓋和內(nèi)置過濾網(wǎng)組成，所述內(nèi)置過濾網(wǎng)設(shè)置在罐體內(nèi)，所述罐蓋通過螺接設(shè)置在罐體頂端，所述罐體兩側(cè)分別設(shè)置有進(jìn)出口。
7.如權(quán)利要求6所述的硅片切割砂漿循環(huán)系統(tǒng)，其特征在于，所述砂漿罐(3)內(nèi)設(shè)置有用于砂漿混勻的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
【文檔編號(hào)】B28D5/04GK204076543SQ201420509639
【公開日】2015年1月7日 申請(qǐng)日期:2014年9月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月5日
【發(fā)明者】張建, 狄紅祥, 靳達(dá)興 申請(qǐng)人:中衛(wèi)市銀陽新能源有限公司