一種方石英晶層網(wǎng)耐高溫石英管的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種方石英晶層網(wǎng)耐高溫石英管的制造方法，通過將AL2O3與乙醚混合形成AL2O3溶液，將AL2O3溶液噴涂在安裝在加工車床上的石英管，然后進行兩次燒結(jié)后得透明的AL2O3石英管，最后將AL2O3石英管用多次成型車床，從而使AL2O3與石英管結(jié)合形成方石英晶層網(wǎng)，得成品。本發(fā)明可耐高溫1280℃，還能提高使用壽命，降低擴散石英管成本。
【專利說明】一種方石英晶層網(wǎng)耐高溫石英管的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種耐高溫石英管的制造方法，特別是一種方石英晶層網(wǎng)耐高溫石英管的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]石英玻璃管是用二氧化硅制造的特種工業(yè)技術(shù)玻璃，是一種非常優(yōu)良的基礎(chǔ)材料。石英玻璃具有一系列優(yōu)良的物理、化學性能，其耐高溫，耐腐蝕，熱穩(wěn)定性好，透光性好，電絕緣性好。由石英玻璃制成的石英管大致可分為透明石英管、濾紫外石英管以及彩色石英管等。其中，透明石英管在應用最為廣泛。目前市場上，透明石英管在用于電子材料時，使用壽命在3個月左右，而且生產(chǎn)成本較高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于，提供一種方石英晶層網(wǎng)耐高溫石英管的制造方法。本發(fā)明可耐高溫1280°C，還能提高使用壽命，降低擴散石英管成本。
[0004]本發(fā)明的技術(shù)方案:一種方石英晶層網(wǎng)耐高溫石英管的制造方法，其特征在于:通過將AL2O3與乙醚混合形成AL2O3溶液，將AL2O3溶液噴涂在安裝在加工車床上的石英管，然后進行兩次燒結(jié)后得透明的AL2O3石英管，最后將AL2O3石英管用多次成型車床，從而使AL2O3與石英管結(jié)合形成方石英晶層網(wǎng)，得成品。
[0005]前述的方石英晶層網(wǎng)耐高溫石英管的制造方法中，具體按下述步驟進行:
[0006]①將AL2O3在滾磨裝置中汽化成均勻粉末與乙醚混合，再采用滾動式磨床進行高度混合，形成AL2O3密度為60-62%的AL2O3溶液；
[0007]②將石英管用18兆高純水沖洗，再用氮氣飽和烘干，將石英管安裝在加工車床上進行噴涂AL2O3溶液；
[0008]③再用溫度為1800°C的氫氧火焰燒結(jié)兩次后得透明的AL2O3石英管，最后將AL2O3石英管用3-8次成型車床使AL2O3熔合在石英管中，從而保證AL2O3與石英管結(jié)合形成方石英晶層網(wǎng)，得成品。
[0009]前述的方石英晶層網(wǎng)耐高溫石英管的制造方法中，所述兩次燒結(jié)依次為:
[0010]第一步燒結(jié):燒干噴涂在石英管上的AL2O3溶液得噴涂層，噴涂層厚度為2um ；
[0011]第二步燒結(jié):將噴涂層燒結(jié)至透明，透明度為95-99%。
[0012]前述的方石英晶層網(wǎng)耐高溫石英管的制造方法中，所述乙醚的純度為99.5%。
[0013]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明通過將AL2O3溶液噴涂在石英管上，并依次進行多次燒結(jié)與多次成型車床，從而使AL2O3熔合在石英管中，保證AL2O3與石英管結(jié)合形成方石英晶層網(wǎng)(方石英晶體網(wǎng))，使石英管可耐高溫1280°C，符合VDMOS器件電路擴散要求，同時還大幅延長使用壽命，在原來基礎(chǔ)3個月上延長一倍(即6個月)，還為生產(chǎn)廠家節(jié)約了 40-50%的擴散石英管成本，從而大大降低了生產(chǎn)成本。本發(fā)明工藝簡單，操作便利。【具體實施方式】
[0014]下面結(jié)合實施例對本發(fā)明作進一步的說明，但并不作為對本發(fā)明限制的依據(jù)。
[0015]實施例1。一種方石英晶層網(wǎng)耐高溫石英管的制造方法，
[0016]具體按下述步驟進行:
[0017]①將八。03在滾磨裝置中汽化成均勻粉末與乙醚混合，再采用滾動式磨床進行高度混合，形成八。03密度為60%的八。03溶液；
[0018]②將石英管用18兆高純水沖洗，再用氮氣飽和烘干，將石英管安裝在加工車床上進行噴涂41203溶液；
[0019]③再用溫度為18001的氫氧火焰燒結(jié)兩次后得透明的八1203石英管，最后將八1203石英管用8次成型車床使八1203熔合在石英管中，從而保證八1203與石英管結(jié)合形成方石英晶層網(wǎng)，得成品；
[0020]所述兩次燒結(jié)依次為:
[0021]第一步燒結(jié):燒干噴涂在石英管上的八。03溶液得噴涂層，噴涂層厚度為；
[0022]第二步燒結(jié):將噴涂層燒結(jié)至透明，透明度為95% ；
[0023]所述乙醚的純度為99.5%。
[0024]實施例2。一種方石英晶層網(wǎng)耐高溫石英管的制造方法，
`[0025]具體按下述步驟進行:
[0026]①將八。03在滾磨裝置中汽化成均勻粉末與乙醚混合，再采用滾動式磨床進行高度混合，形成八。03密度為62%的八。03溶液；
[0027]②將石英管用18兆高純水沖洗，再用氮氣飽和烘干，將石英管安裝在加工車床上進行噴涂41203溶液；
[0028]③再用溫度為18001的氫氧火焰燒結(jié)兩次后得透明的從203石英管，最后將八1203石英管用3次成型車床使八1203熔合在石英管中，從而保證八1203與石英管結(jié)合形成方石英晶層網(wǎng)，得成品；
[0029]所述兩次燒結(jié)依次為:
[0030]第一步燒結(jié):燒干噴涂在石英管上的八。03溶液得噴涂層，噴涂層厚度為；
[0031]第二步燒結(jié):將噴涂層燒結(jié)至透明，透明度為99% ；
[0032]所述乙醚的純度為99.5%。
[0033]實施例3。一種方石英晶層網(wǎng)耐高溫石英管的制造方法，
[0034]具體按下述步驟進行:
[0035]①將八。03在滾磨裝置中汽化成均勻粉末與乙醚混合，再采用滾動式磨床進行高度混合，形成八。03密度為61%的八。03溶液；
[0036]②將石英管用18兆高純水沖洗，再用氮氣飽和烘干，將石英管安裝在加工車床上進行噴涂41203溶液；
[0037]③再用溫度為18001的氫氧火焰燒結(jié)兩次后得透明的從203石英管，最后將八1203石英管用5次成型車床使八1203熔合在石英管中，從而保證八1203與石英管結(jié)合形成方石英晶層網(wǎng)，得成品；
[0038]所述兩次燒結(jié)依次為:
[0039]第一步燒結(jié):燒干噴涂在石英管上的八。03溶液得噴涂層，噴涂層厚度為；[0040]第二步燒結(jié):將噴涂層燒結(jié)至透明，透明度為97% ；
[0041]所述乙醚的純度為99.5%。
【權(quán)利要求】
1.一種方石英晶層網(wǎng)耐高溫石英管的制造方法，其特征在于:通過將八。03與乙醚混合形成八1203溶液，將八1203溶液噴涂在安裝在加工車床上的石英管，然后進行兩次燒結(jié)后得透明的從203石英管，最后將從203石英管用多次成型車床，從而使從203與石英管結(jié)合形成方石英晶層網(wǎng)，得成品。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方石英晶層網(wǎng)耐高溫石英管的制造方法，其特征在于，具體按下述步驟進行: ①將八。03在滾磨裝置中汽化成均勻粉末與乙醚混合，再采用滾動式磨床進行高度混合，形成從203密度為60-62%的從203溶液； ②將石英管用18兆高純水沖洗，再用氮氣飽和烘干，將石英管安裝在加工車床上進行噴涂從203溶液； ③再用溫度為18001的氫氧火焰燒結(jié)兩次后得透明的八。03石英管，最后將八。03石英管用3-8次成型車床使八。03熔合在石英管中，從而保證八。03與石英管結(jié)合形成方石英晶層網(wǎng)，得成品。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方石英晶層網(wǎng)耐高溫石英管的制造方法，其特征在于，所述兩次燒結(jié)依次為: 第一步燒結(jié):燒干噴涂在石英管上的八。03溶液得噴涂層，噴涂層厚度為； 第二步燒結(jié):將噴涂層燒 結(jié)至透明，透明度為95-99%。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的方石英晶層網(wǎng)耐高溫石英管的制造方法，其特征在于:所述乙醚的純度為99.5%。
【文檔編號】C03C17/23GK103833232SQ201410007376
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2014年1月7日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月7日
【發(fā)明者】張彩根 申請人:湖州東科電子石英有限公司