開方機(jī)晶托的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開一種開方機(jī)晶托，包括方形的本體，本體的上下表面均為平面，在本體的上表面的縱向和橫向分別開有若干個等距的線槽，每個所述線槽均貫穿于本體的兩端并且線槽的寬度至少為20mm。本實用新型設(shè)計的開方機(jī)晶托，總高度達(dá)到100mm，這樣可以留有足夠的空間來消化掉切割時產(chǎn)生的線弓，可以避免鋼線切割到晶托的情況的發(fā)生，并且為后期提高切割速度提供了物質(zhì)保障。可以保證母錠能夠一次性切透，提高工作效率，并且省去擾曲復(fù)原時間并省去這部分時間所使用的鋼線，降低成本；同時為后續(xù)對工藝的優(yōu)化，特別是提高切割速度提供物質(zhì)保障；實現(xiàn)了消除鋼線切割到晶托底座的隱患，延長其使用壽命的目的。
【專利說明】開方機(jī)晶托
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型是一種開方機(jī)晶托，屬于開方機(jī)設(shè)備領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]開方機(jī)晶托是母錠的載體，切割前需要將母錠粘在晶托的規(guī)定位置。由于開方機(jī)的橫向和縱向鋼線不在同一平面內(nèi)(高度差為25mm)，故切割鋼線在下行切割的過程中容易損傷到晶托。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型的目的是提供一種開方機(jī)晶托，可以有效的防止切割鋼線在下行切割的過程中損傷到晶托。
[0004]本實用新型的目的通過以下技術(shù)方案來具體實現(xiàn):
[0005]開方機(jī)晶托，包括方形的本體，本體的上下表面均為平面，在本體的上表面的縱向和橫向分別開有若干個等距的線槽，每個所述線槽均貫穿于本體的兩端并且線槽的寬度至少為20mm。
[0006]所述線槽的深度至少為100mm。
[0007]相鄰兩個線槽之間的寬度為135mm。
[0008]本體的邊長為1090mm。
[0009]本發(fā)明設(shè)計的開方機(jī)晶托，總高度達(dá)到100mm，這樣可以留有足夠的空間來消化掉切割時產(chǎn)生的線弓，可以避免鋼線切割到晶托的情況的發(fā)生，并且為后期提高切割速度提供了物質(zhì)保障?？梢员ＷC母錠能夠一次性切透，提高工作效率，并且省去擾曲復(fù)原時間并省去這部分時間所使用的鋼線，降低成本；同時為后續(xù)對工藝的優(yōu)化，特別是提高切割速度提供物質(zhì)保障；實現(xiàn)了消除鋼線切割到晶托底座的隱患，延長其使用壽命的目的。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]下面根據(jù)附圖和實施例對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0011]圖1是本實用新型實施例所述開方機(jī)晶托的平面結(jié)構(gòu)圖。
[0012]圖2是側(cè)視圖。
【具體實施方式】
[0013]如圖1-2所示，本實用新型實施例所述開方機(jī)晶托，包括方形的本體，本體的上下表面均為平面，在本體的上表面的縱向和橫向分別開有若干個等距的線槽，每個所述線槽均貫穿于本體的兩端并且線槽的寬度至少為20mm。
[0014]所述線槽的深度至少為100mm。
[0015]相鄰兩個線槽之間的寬度為135mm。
[0016]本體的邊長為1090mm。[0017]本發(fā)明設(shè)計的開方機(jī)晶托，總高度達(dá)到100mm，這樣可以留有足夠的空間來消化掉切割時產(chǎn)生的線弓，可以避免鋼線切割到晶托的情況的發(fā)生，并且為后期提高切割速度提供了物質(zhì)保障?？梢员ＷC母錠能夠一次性切透，提高工作效率，并且省去擾曲復(fù)原時間并省去這部分時間所使用的鋼線，降低成本；同時為后續(xù)對工藝的優(yōu)化，特別是提高切割速度提供物質(zhì)保障；實現(xiàn)了消除鋼線切割到晶托底座的隱患，延長其使用壽命的目的。
【權(quán)利要求】
1.開方機(jī)晶托，包括方形的本體，其特征在于，本體的上下表面均為平面，在本體的上表面的縱向和橫向分別開有若干個等距的線槽，每個所述線槽均貫穿于本體的兩端并且線槽的寬度至少為20mm。
2.如權(quán)利要求1所述的開方機(jī)晶托，其特征在于，所述線槽的深度至少為100mm。
3.如權(quán)利要求1所述的開方機(jī)晶托，其特征在于，相鄰兩個線槽之間的寬度為135mm。
4.如權(quán)利要求1所述的開方機(jī)晶托，其特征在于，本體的邊長為1090mm。
【文檔編號】B28D5/04GK203485318SQ201320599994
【公開日】2014年3月19日 申請日期:2013年9月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月27日
【發(fā)明者】劉耀峰, 潘振東 申請人:無錫榮能半導(dǎo)體材料有限公司