信息記錄介質(zhì)用玻璃基板及其制造方法
【專利摘要】在對重疊的多張玻璃材料板的內(nèi)周端面進行研磨的工序中使用的研磨用刷子(80)中，使由多根刷毛材料(83)構(gòu)成的刷毛束(81)螺旋狀植入軸心部件(82)的外周面，多根刷毛材料(83)以如下方式植入軸心部件(82)：在與研磨用刷子(80)的旋轉(zhuǎn)軸(85)平行的方向上，與刷毛材料(83)植入軸心部件(82)的植入基部(R1)的寬度(W1)相比，由從該植入基部(R1)延伸的多根刷毛材料(83)各自的前端形成的區(qū)域(R2)的寬度(W2)較小。
【專利說明】信息記錄介質(zhì)用玻璃基板及其制造方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及信息記錄介質(zhì)用玻璃基板及其制造方法，尤其是，涉及作為信息記錄 介質(zhì)的一部分而被搭載在硬盤驅(qū)動器（HDD :Hard Disk Drive :硬盤驅(qū)動器）等的信息記錄 裝置中的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板及其制造方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 在硬盤驅(qū)動器等的信息記錄裝置的內(nèi)部，搭載有信息記錄介質(zhì)（磁盤）。信息記錄 介質(zhì)是通過在中央具有孔的圓盤狀的玻璃基板的主表面上，成膜有磁性記錄用的磁性記錄 層而制造出的。
[0003] 在信息記錄介質(zhì)的制造中使用的玻璃基板稱作信息記錄介質(zhì)用玻璃基板（以下， 也簡單稱作玻璃基板）。例如在日本特開2007-098484號公報（專利文獻1)和日本特開 2007-245319號公報（專利文獻2)中公開了信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法。
[0004] 現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0005] 專利文獻
[0006] 專利文獻1 :日本特開2007-098484號公報
[0007] 專利文獻2 :日本特開2007-245319號公報


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 發(fā)明要解決的問題
[0009] 隨著計算機等的使用用途和使用環(huán)境的擴展，對信息記錄介質(zhì)（磁盤）要求的耐 沖擊性或?qū)Ψ乐巩a(chǎn)生溶出物的要求也具有逐漸增高的趨勢。在信息記錄介質(zhì)的內(nèi)周端面存 在細微裂紋的情況下，信息記錄介質(zhì)的耐沖擊性下降。為了提高耐沖擊性，構(gòu)成信息記錄介 質(zhì)的玻璃材料板的內(nèi)周端面需要通過研磨加工而形成為足夠平滑。
[0010] 通常，為了得到高平滑度，玻璃基板（玻璃材料板）的內(nèi)周端面在通過研削加工進 行研削后，使用研磨漿料和研磨用刷子進行研磨。出于提高制造效率等的觀點，在對玻璃材 料板的內(nèi)周端面進行研磨加工時，有時玻璃材料板在多個玻璃材料板彼此重疊的狀態(tài)下成 批地進行研磨處理。
[0011] 本發(fā)明的目的在于提供一種信息記錄介質(zhì)用玻璃基板及其制造方法，即使在對多 個玻璃材料板成批地進行研磨處理的情況下，也能夠?qū)⒍鄠€玻璃材料板的內(nèi)周端面研磨得 更為平滑。
[0012] 用于解決問題的手段
[0013] 基于本發(fā)明的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法具有如下工序：準備具有內(nèi)周 端面的多張玻璃材料板；準備將由多根刷毛材料構(gòu)成的刷毛束螺旋狀地植入軸心部件的外 周面而成的研磨用刷子；在重疊了多張上述玻璃材料板后，配置上述研磨用刷子，使得處于 重疊狀態(tài)的多張上述玻璃材料板的上述內(nèi)周端面與上述刷毛束的前端彼此相對；以及使上 述研磨用刷子旋轉(zhuǎn)，使上述刷毛束相對于處于重疊狀態(tài)的多張上述玻璃材料板的上述內(nèi)周 端面滑動，來研磨多張上述玻璃材料板的上述內(nèi)周端面，多根上述刷毛材料以如下方式植 入上述軸心部件：在與上述研磨用刷子的旋轉(zhuǎn)軸平行的方向上，與多根上述刷毛材料植入 上述軸心部件的植入基部的寬度相比，由從該植入基部延伸的多根上述刷毛材料各自的前 端形成的區(qū)域的寬度較小。
[0014] 優(yōu)選的是，多根上述刷毛材料以如下方式植入上述軸心部件：在與上述研磨用刷 子的旋轉(zhuǎn)軸平行的方向上，多根刷毛材料的95%以上的上述刷毛材料的前端位于上述植入 基部的寬度方向的以中心線為基準±40%以內(nèi)的范圍內(nèi)，所述植入基部沿著與上述軸心部 件的表面垂直的方向延伸。
[0015] 優(yōu)選的是，多根上述刷毛材料以如下方式植入上述軸心部件：在與上述研磨用刷 子的旋轉(zhuǎn)軸平行的方向上，上述刷毛束的前端呈圓弧狀。
[0016] 基于本發(fā)明的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板是使用基于本發(fā)明的上述信息記錄介質(zhì) 用玻璃基板的制造方法而制造出的。
[0017] 發(fā)明效果
[0018] 根據(jù)本發(fā)明，能夠得到一種信息記錄介質(zhì)用玻璃基板及其制造方法，即使在對多 個玻璃材料板成批地進行研磨處理的情況下，也能夠?qū)⒍鄠€玻璃材料板的內(nèi)周端面研磨得 更為平滑。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0019] 圖1是示出具有使用實施方式中的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法而制造 出的玻璃基板的信息記錄裝置的立體圖。
[0020] 圖2是示出通過實施方式中的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法而制造出的 玻璃基板的俯視圖。
[0021] 圖3是沿著圖2中的III-III線的方向觀察的剖視圖。
[0022] 圖4是示出具有通過實施方式中的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法而制造 出的玻璃基板的信息記錄介質(zhì)的俯視圖。
[0023] 圖5是沿著圖4中的V-V線的方向觀察的剖視圖。
[0024] 圖6是示出實施方式中的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法的流程圖。
[0025] 圖7是示出在實施方式中的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法的端面研磨工 序中使用的研磨用刷子的立體圖。
[0026] 圖8是示出在實施方式中的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法的端面研磨工 序中使用的研磨用刷子的側(cè)視圖。
[0027] 圖9是示意性將在實施方式中的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法的端面研 磨工序中使用的研磨用刷子放大示出的側(cè)視圖。
[0028] 圖10是將實施方式中的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法的端面研磨工序 (內(nèi)周端面研磨工序）被實施的情況放大而示出的側(cè)視圖。
[0029] 圖11是將在比較例中的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法的端面研磨工序中 使用的研磨用刷子放大而示意性示出的側(cè)視圖。
[0030] 圖12是將實施比較例中的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法的端面研磨工序 (內(nèi)周端面研磨工序）的情況放大而示出的側(cè)視圖。
[0031] 圖13是示出與實施方式相關(guān)的實施例和比較例的條件和結(jié)果的圖。
[0032] 圖14是示意性示出在與實施方式相關(guān)的比較例1中使用的研磨用刷子的側(cè)視圖。
[0033] 圖15是示意性示出在與實施方式相關(guān)的比較例2中使用的研磨用刷子的側(cè)視圖。 [0034] 圖16是示意性示出在與實施方式相關(guān)的實施例1、2中使用的研磨用刷子的側(cè)視 圖。
[0035] 圖17是將在與實施方式相關(guān)的實施例1、2中使用的研磨用刷子放大而示意性示 出的側(cè)視圖。
[0036] 圖18是示意性示出在與實施方式相關(guān)的比較例3中使用的研磨用刷子的側(cè)視圖。
[0037] 圖19是示意性示出在與實施方式相關(guān)的實施例3中使用的研磨用刷子的側(cè)視圖。

【具體實施方式】
[0038] 以下，參照附圖，對基于本發(fā)明的實施方式和各實施例進行說明。在實施方式和各 實施例的說明中，在沒有提及個數(shù)、數(shù)量等的情況下，除了特別進行記載的情況以外，本發(fā) 明的范圍不是必須限定于該個數(shù)、數(shù)量等。在實施方式和各實施例的說明中，對于相同部件 和相當部件，有時標注相同的參照編號，且不再反復重復的說明。
[0039] [實施方式]
[0040] (信息記錄裝置30)
[0041] 首先，參照圖1，對信息記錄裝置30進行說明。圖1是示出信息記錄裝置30的立 體圖。信息記錄裝置30具有通過實施方式中的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板（以下，簡單稱作 玻璃基板）的制造方法而制造出的玻璃基板1來作為信息記錄介質(zhì)10。
[0042] 具體而言，信息記錄裝置30具有信息記錄介質(zhì)10、殼體20、磁頭滑塊21、懸架22、 臂23、垂直軸24、音圈（voice coil) 25、音圈電機26、鉗夾部件27和固定螺釘28。在殼體 20的上表面上，設(shè)置有主軸電機（未圖不）。
[0043] 磁盤等信息記錄介質(zhì)10通過鉗夾部件27和固定螺釘28,以能夠旋轉(zhuǎn)的方式固定 于上述主軸電機。信息記錄介質(zhì)10被該主軸電機以例如數(shù)千rpm的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。信息 記錄介質(zhì)10是在玻璃基板1上形成化學強化層12 (參照圖5)和磁性記錄層14 (參照圖4 和圖5)而制造出的，詳細情況將參照圖4和圖5在后面描述。
[0044] 臂23被安裝為能夠繞垂直軸24擺動。在臂23的前端，安裝有形成為板簧（單側(cè) 固定梁）狀的懸架22。在懸架22的前端，以夾著信息記錄介質(zhì)10的方式安裝有磁頭滑塊 21。
[0045] 在臂23的與磁頭滑塊21相反的一側(cè)，安裝有音圈25。音圈25被設(shè)置在殼體20 上的磁體（未圖不）夾持著。由音圈25和該磁體構(gòu)成了音圈電機26。
[0046] 向音圈25提供規(guī)定的電流。臂23借助由流過音圈25的電流和上述磁體的磁場 產(chǎn)生的電磁力的作用，繞垂直軸24擺動。通過臂23的擺動，懸架22和磁頭滑塊21也沿箭 頭AR1方向擺動。磁頭滑塊21沿信息記錄介質(zhì)10的半徑方向在信息記錄介質(zhì)10的正面 上和反面上往復移動。設(shè)置在磁頭滑塊21上的磁頭（未圖示）進行尋道動作。
[0047] 在進行該尋道動作的同時，磁頭滑塊21由于伴隨信息記錄介質(zhì)10的旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生 的空氣流，受到上浮力。利用該上浮力與懸架22的彈性力（按壓力）之間的平衡，磁頭滑 塊21相對于信息記錄介質(zhì)10的表面保持一定的上浮量而行進。通過該行進，設(shè)置在磁頭 滑塊21上的磁頭能夠?qū)π畔⒂涗浗橘|(zhì)10內(nèi)的規(guī)定磁道進行信息（數(shù)據(jù)）的記錄和再現(xiàn)。 如上所述，構(gòu)成了搭載有玻璃基板1來作為構(gòu)成信息記錄介質(zhì)10的部件的一部分的信息記 錄裝置30。
[0048](玻璃基板1)
[0049] 圖2是示出通過基于本實施方式的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法而制造 出的玻璃基板1的俯視圖。圖3是沿著圖2中的III-III線的方向觀察的剖視圖。
[0050] 如圖2和圖3所示，在信息記錄介質(zhì)10 (參照圖4和圖5)中，作為信息記錄介質(zhì) 的一部分來使用的玻璃基板1 (信息記錄介質(zhì)用玻璃基板）具有主表面2、主表面3、內(nèi)周端 面4、孔5和外周端面6,并整體形成為圓盤狀?？?被設(shè)置為從一個主表面2朝另一個主 表面3貫通。在主表面2與內(nèi)周端面4之間以及主表面3與內(nèi)周端面4之間，分別形成有 倒角部7。在主表面2與外周端面6之間以及主表面3與外周端面6之間，形成有倒角部 8(斜面部）。
[0051] 玻璃基板1的大小例如為0.8英寸、1.0英寸、1.8英寸、2. 5英寸或3. 5英寸。出 于防止破損的觀點，玻璃基板的厚度例如為0. 30mm?2. 2mm。本實施方式中的玻璃基板的 大小設(shè)為：外徑約64mm，內(nèi)徑約20mm，厚度約0. 8mm。玻璃基板的厚度是指根據(jù)在玻璃基板 上的作為點對象的任意多個點處測定出的值的平均而計算出的值。
[0052] (信息記錄介質(zhì)10)
[0053] 圖4是示出具有玻璃基板1作為信息記錄介質(zhì)的信息記錄介質(zhì)10的俯視圖。圖 5是沿著圖4中的V-V線的方向觀察的剖視圖。
[0054] 如圖4和圖5所示，信息記錄介質(zhì)10包含玻璃基板1、化學強化層12和磁性記錄 層14。化學強化層12形成為覆蓋玻璃基板1的主表面2、3、內(nèi)周端面4和外周端面6。磁 性記錄層14形成為覆蓋化學強化層12的在主表面2、3上的規(guī)定區(qū)域。在玻璃基板1的內(nèi) 周端面4上形成化學強化層12,在內(nèi)周端面4的內(nèi)側(cè)形成孔15。利用孔15,將信息記錄介 質(zhì)10固定于設(shè)置在殼體20 (參照圖1)上的主軸電機上。
[0055] 在圖5示出的信息記錄介質(zhì)10中，在形成于主表面2上的化學強化層12和形成 于主表面3上的化學強化層12這雙方（雙面）上，形成有磁性記錄層14。磁性記錄層14 可以僅設(shè)置在形成于主表面2上的化學強化層12上（單面），也可以設(shè)置在形成于主表面 3上的化學強化層12上（單面）。
[0056] 磁性記錄層14是通過在玻璃基板1的主表面2、3上的化學強化層12上，旋涂分 散有磁性粒子的熱固化性樹脂而形成的（旋涂法）。磁性記錄層14可以通過對玻璃基板1 的主表面2、3上的化學強化層12實施的濺射法或無電解鍍法等來形成。
[0057] 關(guān)于磁性記錄層14的膜厚，在旋涂法的情況下為約0. 3 μ m?1. 2 μ m，在濺射法的 情況下為約〇. 04 μ m?0. 08 μ m，在無電解鍍法的情況下為約0. 05 μ m?0. 1 μ m。出于薄 膜化和高密度化的觀點，用濺射法或者無電解鍍法來形成磁性記錄層14較好。
[0058] 作為用于磁性記錄層14的磁性材料，適當?shù)氖?，為了得到高保持力，以結(jié)晶各向 異性性較高的Co為主成分，為了調(diào)整殘留磁通密度，附加地使用加入了 Ni或Cr的Co系合 金等。
[0059] 為了提高磁頭的光滑度，可以在磁性記錄層14的表面薄薄地涂覆潤滑劑。作為潤 滑劑，例如可舉出用氟利昂類等的溶劑稀釋作為液體潤滑劑的全氟聚醚（PFPE)而得到的 潤滑劑。
[0060] 可以根據(jù)需要，對磁性記錄層14設(shè)置基底層或者保護層。信息記錄介質(zhì)10中的 基底層根據(jù)磁性膜的種類來進行選擇。作為基底層的材料，例如可舉出從Cr、Mo、Ta、Ti、W、 V、B、A1或Ni等非磁性金屬中選出的至少一種以上的材料。
[0061] 對磁性記錄層14設(shè)置的基底層不限于單層，也可以設(shè)為層疊相同種類或不同種 類的層而成的多層結(jié)構(gòu)。例如，可以設(shè)為Cr/Cr、Cr/CrMo、Cr/CrV、NiAl/Cr、NiAl/CrMo或 NiAl/CrV等的多層基底層。
[0062] 作為防止磁性記錄層14的磨損和腐蝕的保護層，例如可舉出Cr層、Cr合金層、碳 層、氫化碳層、氧化鋯層或二氧化硅層。這些保護層能夠與基底層和磁性膜等一起，利用內(nèi) 聯(lián)型濺射裝置來連續(xù)地形成。這些保護層可以設(shè)為單層，或者設(shè)為由相同種類或不同種類 的層構(gòu)成的多層結(jié)構(gòu)。
[0063] 可以在上述保護層上形成其它保護層，或者，替代上述保護層而形成其它保護層。 例如，替代上述保護層，在Cr層上，在用酒精類的溶劑稀釋四烷氧基硅烷得到的產(chǎn)物中，分 散地涂覆膠態(tài)二氧化硅微粒子并進行燒結(jié)，形成氧化硅（Si02)層。
[0064](玻璃基板的制造方法）
[0065] 接下來，使用圖6所示的流程圖，對本實施方式中的玻璃基板（信息記錄介質(zhì)用玻 璃基板）的制造方法（S100)進行說明。本實施方式中的玻璃基板的制造方法（S100)具有 玻璃材料板準備工序（S10)、氧化鋁研磨工序（S20)、取心（coreing)加工工序（S30)、端面 研削工序（S40)、端面研磨工序（S50)、磨削加工工序（S60)、拋光加工工序（S70)和化學強 化工序（S80)。
[0066] 對經(jīng)過化學強化工序（S80)得到的玻璃基板實施磁性記錄層成膜工序（S200)。經(jīng) 過磁性記錄層成膜工序（S200)，得到了信息記錄介質(zhì)10 (參照圖4和圖5)。以下，依次對 構(gòu)成玻璃基板的制造方法（S100)的各工序S10?S80的詳細情況進行說明，在以下的說明 中，有時沒有對在各工序S10?S80之間適當進行的簡易清洗進行詳細記載。
[0067] (S10 :玻璃材料板準備工序）
[0068] 首先，準備規(guī)定張數(shù)的構(gòu)成玻璃基板的大致圓盤狀的玻璃材料板。玻璃材料板例 如是使用上模、下模、體模來直接對熔融玻璃進行模壓而得到的。此時，也可以替代直接模 壓法，利用研削磨具從使用下拉（down draw)法或浮式法形成的片狀玻璃中進行切割，從而 得到圓板狀的玻璃材料板。
[0069] (S20 :氧化鋁研磨工序）
[0070] 接下來，對規(guī)定張數(shù)的玻璃材料板實施氧化鋁研磨處理。該氧化鋁研磨處理的目 的在于提高尺寸精度和形狀精度。氧化鋁研磨處理是使用磨削裝置進行的。使用粒度#400 的氧化鋁磨粒，將負荷設(shè)定為l〇〇kg左右，使內(nèi)轉(zhuǎn)齒輪和外轉(zhuǎn)齒輪旋轉(zhuǎn)，由此，對收納在支 架內(nèi)的玻璃材料板的兩個主表面進行研磨。
[0071] (S30:取心加工工序）
[0072] 接下來，使用圓筒狀的磨具，在規(guī)定張數(shù)的玻璃材料板的中心部分別形成孔。該孔 對應于圖2和圖3中的孔5,在將信息記錄介質(zhì)10固定于主軸電機時使用該孔。
[0073] (S40:端面研削工序）
[0074] 在端面研削工序（S40)中，使用研削用的磨具，分別對規(guī)定張數(shù)的玻璃材料板的 內(nèi)周端面和外周端面進行研削，進而，對內(nèi)周端面和外周端面實施規(guī)定的倒角加工。通過這 些加工，玻璃材料板1的內(nèi)周端面4被研削為具有倒角部7的規(guī)定形狀，玻璃材料板1的外 周端面6被研削為具有倒角部8的規(guī)定形狀。
[0075] (S50 :端面研磨工序）
[0076] 接下來，實施使用氧化鋪等研磨楽料的端面研磨工序（S50)。端面研磨工序（S50) 包含內(nèi)周端面研磨工序（S51)和外周端面研磨工序（S52)。
[0077] 參照圖7,在進行內(nèi)周端面研磨工序（S51)時，使用研磨用刷子80(研磨部件）。研 磨用刷子80是將由多根刷毛材料構(gòu)成的刷毛束81螺旋狀地植入圓柱狀的軸心部件82的 外周面而構(gòu)成的。關(guān)于研磨用刷子80的更詳細的結(jié)構(gòu)，將參照圖9和圖10在后面描述。
[0078] 參照圖8,如圖8所示，實施內(nèi)周端面4和外周端面的研削處理的玻璃材料板1例 如每批400張，在重疊成塊狀（塊體9)的狀態(tài)下用規(guī)定的固定夾具（未圖示）進行固定。 最好在相鄰的玻璃材料板1彼此之間設(shè)置間隔物等。
[0079] 在將多個玻璃材料板1定位和固定后，在內(nèi)周端面4的內(nèi)側(cè)配置研磨用刷子80,使 得處于重疊狀態(tài)的多張玻璃材料板1的內(nèi)周端面4與刷毛束81的前端彼此相對。在該狀 態(tài)下，使研磨用刷子80旋轉(zhuǎn)，使刷毛束81相對于處于重疊狀態(tài)多張玻璃材料板1的內(nèi)周端 面4滑動，來研磨多張玻璃材料板1的內(nèi)周端面4。
[0080] 參照圖9,此處，在本實施方式中的內(nèi)周端面研磨工序（S51)中使用的研磨用刷子 80是如下構(gòu)成的。如上所述，研磨用刷子80的刷毛束81由多根刷毛材料83、83構(gòu)成。多 根刷毛材料83、83以如下方式植入軸心部件82 :在與研磨用刷子80的旋轉(zhuǎn)軸85平行的方 向上，與多根刷毛材料83、83植入軸心部件82的植入基部R1的寬度W1相比，由從該植入 基部R1延伸的多根刷毛材料83、83各自的前端形成的區(qū)域R2的寬度W2較小。
[0081] 優(yōu)選的是，多根刷毛材料83、83最好以如下方式植入軸心部件82 :在與研磨用刷 子80的旋轉(zhuǎn)軸85平行的方向上，多根刷毛材料83、83中的95%以上刷毛材料的前端位于 植入基部R1的寬度方向的以中心線81C為基準±40%以內(nèi)的范圍Q、Q(沿與中心線81C平 行的方向進行投影的情況下的范圍）內(nèi)，所述植入基部R1沿著與軸心部件82的表面垂直 的方向延伸。
[0082] 參照圖10,在使用研磨用刷子80來研磨處于重疊狀態(tài)的多張玻璃材料板1的內(nèi)周 端面4時，多個刷毛材料83、83各自的毛尖與玻璃材料板1的內(nèi)周端面4和倒角部7抵接。 多個刷毛材料83、83各自的毛尖在與玻璃材料板1的內(nèi)周端面4和倒角部7接觸時，集中 于窄小范圍內(nèi)，從而能夠在相鄰的玻璃材料板1的倒角部7、7彼此之間定期地施加強負荷。 由此，能夠有效地去除殘留在相鄰的玻璃材料板1的倒角部7、7彼此之間的殘渣88 (研磨 屑），從而確保對倒角部7的優(yōu)良加工率。
[0083] 參照圖11，與此相對，在比較例中的研磨用刷子80Z中，多根刷毛材料83、83以相 對于軸心部件82的表面垂直立起的方式進行植入，且被配置為彼此具有大致均等的間隔。
[0084] 參照圖12,在使用研磨用刷子80Z來研磨處于重疊狀態(tài)的多張玻璃材料板1的內(nèi) 周端面4時，研磨用刷子80Z的刷毛材料83因與內(nèi)周端面4和倒角部7抵接而向外側(cè)擴展。 多個刷毛材料83、83各自的毛尖在與玻璃材料板1的內(nèi)周端面4和倒角部7接觸時，不能 集中到窄小范圍內(nèi)。僅在相鄰的玻璃材料板1的倒角部7、7彼此之間始終施加一定的較弱 的負荷，而不能定期地施加與本實施方式的研磨用刷子80不同的較強的負荷。其結(jié)果是， 難以有效地去除殘留在相鄰的玻璃材料板1的倒角部7、7彼此之間的殘渣88 (研磨屑）。 [0085] 因此，根據(jù)本實施方式中的玻璃基板的制造方法中使用的研磨用刷子80,多個刷 毛材料83、83各自的毛尖在與玻璃材料板1的內(nèi)周端面4和倒角部7接觸時，集中于窄小 范圍內(nèi)，從而能夠在相鄰的玻璃材料板1的倒角部7、7彼此之間定期地施加強負荷。由此， 能夠有效地去除殘留在相鄰的玻璃材料板1的倒角部7、7彼此之間的殘渣88 (研磨屑），從 而確保對倒角部7的優(yōu)良加工率。
[0086] 在外周端面研磨工序（S52)中，使用與研磨用刷子80相同的刷子。在進行外周端 面研磨工序（S52)時，與內(nèi)周端面研磨工序（S51)同樣，在將多張玻璃材料板1重疊的狀態(tài) 下研磨外周端面6。在端面研磨工序（S50)中，可以在將塊體9(參照圖8)和研磨用刷子 80完全浸漬于研磨液中的狀態(tài)下實施研磨處理，也可以一邊使研磨漿料流入（流過）內(nèi)周 端面4或外周端面6與研磨用刷子80之間，一邊實施研磨處理。
[0087] (S60:磨削加工工序）
[0088] 再次參照圖6,對經(jīng)過端面研磨工序（S50)后的玻璃材料板1 (玻璃材料板1)進 行清洗，然后進行磨削加工。將磨粒的粒度變更為更小的磨粒后，對玻璃材料板1的主表面 2、3進行使用了磨削裝置的磨削加工。
[0089] (S70 :拋光加工工序）
[0090] 對經(jīng)過磨削加工工序（S60)后的玻璃材料板1進行清洗，然后進行拋光加工。使 用研磨裝置（硬質(zhì)和軟質(zhì)的研磨墊（pad))，對玻璃材料板1的主表面2、3進行拋光加工。
[0091] (S80:化學強化工序）
[0092] 接下來，對結(jié)束了清洗工序的玻璃材料板1實施化學強化處理。準備化學強化處 理槽，在其中注入混合硝酸鉀（60% )和硝酸鈉（40% )而成的化學強化液。將化學強化液 加熱到300°C?400°C，并將清洗完的玻璃材料板1預熱到200°C?300°C。
[0093] 在化學強化液中，將玻璃材料板1浸漬3小時?4小時。在進行浸漬時，優(yōu)選的是， 為了使玻璃材料板1的表面整體被化學強化，以利用各個端面來保持多個玻璃材料板1的 方式，在將多個玻璃材料板1收納于保持架等的狀態(tài)下進行浸漬。
[0094] 玻璃材料板1中包含的鋰、鈉離子等的堿金屬離子被離子半徑比這些離子大的鉀 離子等的堿金屬離子所置換（離子交換法）。由于因離子半徑不同而產(chǎn)生的變形，在被進行 離子交換的區(qū)域中產(chǎn)生壓縮應力，將玻璃材料板的兩主表面強化。
[0095] 在結(jié)束了以上各工序后，玻璃材料板1上殘存的附著物消失，玻璃材料板1使用 950kHz的高頻進行超聲波清洗，或者使用堿性洗劑進行清洗。然后，使用IPA蒸汽對玻璃材 料板1進行干燥。通過以上方式，得到了本實施方式中的玻璃基板。
[0096] 通過去除經(jīng)過化學強化工序后殘留在玻璃基板1的主表面上的附著物，減少了在 使用玻璃基板1 (參照圖2和圖3)制造出的磁盤等的信息記錄介質(zhì)10 (參照圖4和圖5) 上產(chǎn)生磁頭碰撞的情況。如上所述，構(gòu)成了本實施方式中的玻璃基板的制造方法（S100)。
[0097] (S200 :磁性薄膜形成工序）
[0098] 對完成了化學強化處理的玻璃基板的兩個主表面（或者任意一個主表面）形成 磁性記錄層。磁性記錄層例如是通過如下方式形成的：將由Cr合金構(gòu)成的緊密附著層、由 CoFeZr合金構(gòu)成的軟磁性層、由Ru構(gòu)成的配向控制基底層、由CoCrPt合金構(gòu)成的垂直磁性 記錄層、由C系構(gòu)成的保護層和F系構(gòu)成的潤滑層依次成膜。通過形成磁性記錄層，能夠得 到圖4和圖5所示的信息記錄介質(zhì)10。
[0099](作用/效果）
[0100] 如上所述，在本實施方式中的玻璃基板的制造方法中，研磨用刷子80的多個刷毛 材料83、83各自的毛尖在與玻璃材料板1的內(nèi)周端面4和倒角部7接觸時，集中于窄小范 圍內(nèi)，能夠在相鄰的玻璃材料板1的倒角部7、7彼此之間定期地施加強負荷。由此，能夠有 效地去除殘留在相鄰的玻璃材料板1的倒角部7、7彼此之間的殘渣88 (研磨屑），確保對倒 角部7的優(yōu)良加工率。
[0101] [實驗例]
[0102] 參照圖13,對作為實施例的基于上述實施方式的實施例1?3以及與它們對應的 比較例1?3進行實驗。在實施例1?3和比較例1?3中，對玻璃材料板準備工序、確保 平坦度的氧化鋁研磨工序、取心加工工序和端面研削工序設(shè)置與上述的實施方式相同的條 件。
[0103] 作為內(nèi)周端面研磨工序中的內(nèi)周端面的研磨條件，設(shè)為一次加工張數(shù)為400張的 塊體9,將具有螺旋狀的刷毛束81的研磨用刷子80的轉(zhuǎn)速設(shè)定為4000rpm，將塊體9的轉(zhuǎn) 速設(shè)定為30rpm。玻璃材料板1的孔5的內(nèi)徑為20. 01mm，研磨加工時間為20min。在研磨 時，使研磨漿料流過內(nèi)周端面4與研磨用刷子80之間。關(guān)于在內(nèi)周端面研磨工序中使用的 研磨刷子，如后述那樣，在實施例1?3和比較例1?3中分別使用不同的刷子。在外周端 面研磨中，設(shè)為刷子研磨，并使用了氧化鋪。氧化鋪的濃度設(shè)為15 wt%。
[0104] 在磨削加工中，實施例1?3和比較例1?3同樣進行基于雙面研磨機和金剛石 片固定磨粒的研削。在拋光加工工序中，實施例1?3和比較例1?3同樣，作為第1拋光 加工工序（P1)，使用了氧化鈰磨粒和硬質(zhì)聚氨酯墊，作為第2拋光加工工序（P2)，使用了膠 態(tài)二氧化硅磨粒和硬質(zhì)皮革（7& 一卜'')墊。然后，對所得到的玻璃材料板1進行化學 強化，得到玻璃基板。
[0105] (比較例1)
[0106] 參照圖13和圖14,在比較例1中使用的研磨用刷子的刷毛材料83的長度L為 4臟，刷毛材料83的植入范圍R為1. 5mm，刷毛材料83的毛尖范圍Q為1. 05mm。根據(jù)植入 范圍R和毛尖范圍Q而計算出的Q/R比為70%。作為刷毛束81的毛尖形狀，呈放射狀。
[0107] (比較例2)
[0108] 參照圖13和圖15,在比較例2中使用的研磨用刷子的刷毛材料83的長度L為 4臟，刷毛材料83的植入范圍R為1. 5mm，刷毛材料83的毛尖范圍Q為0· 75mm。根據(jù)植入 范圍R和毛尖范圍Q而計算出的Q/R比為50%。作為刷毛束81的毛尖形狀，呈平坦狀。
[0109] (實施例1)
[0110] 參照圖13、圖16和圖17,在實施例1中使用的研磨用刷子的刷毛材料83的長度 L為4臟，刷毛材料83的植入范圍R為1. 5mm，刷毛材料83的毛尖范圍Q為0· 60mm。根據(jù) 植入范圍R和毛尖范圍Q而計算出的Q/R比為40%。作為刷毛束81的毛尖形狀，呈如圓弧 89(參照圖17)所描繪那樣的曲線狀（圓弧狀）。
[0111] (實施例2)
[0112] 參照圖13、圖16和圖17,與實施例1同樣，在實施例2中使用的研磨用刷子的刷 毛材料83的長度L為4mm，刷毛材料83的植入范圍R為1. 5mm。在實施例2中，刷毛材料 83的毛尖范圍Q為0.45mm。根據(jù)植入范圍R和毛尖范圍Q而計算出的Q/R比為30%。作 為刷毛束81的毛尖形狀，與實施例1同樣，呈如圓弧89 (參照圖17)所描繪那樣的曲線狀 (圓弧狀）。
[0113] (比較例3)
[0114] 參照圖13和圖18,在比較例3中使用的研磨用刷子的刷毛材料83的長度L為 4臟，刷毛材料83的植入范圍R為1. 2mm，刷毛材料83的毛尖范圍Q為0· 60mm。根據(jù)植入 范圍R和毛尖范圍Q而計算出的Q/R比為50%。作為刷毛束81的毛尖形狀，呈平坦狀。
[0115] (實施例3)
[0116] 參照圖13和圖19,在實施例3中使用的研磨用刷子的刷毛材料83的長度L為 4臟，刷毛材料83的植入范圍R為1. 5mm，刷毛材料83的毛尖范圍Q為0· 60mm。根據(jù)植入 范圍R和毛尖范圍Q而計算出的Q/R比為40%。作為刷毛束81的毛尖形狀，呈平坦狀。
[0117] 針對根據(jù)實施例1?3和比較例1?3而得到的玻璃材料板1，進行內(nèi)周端面4的 倒角部7(倒角面）的檢查。作為檢查方法，使用AFM(比克（一=)公司制Dimensi 〇n3100 和計測軟件Nan〇SC〇pe7. 2)，對內(nèi)周端面4的倒角部7進行粗糙度計測，對表面粗糙度Ra的 值為1. Onm以上的玻璃材料板1的比例進行調(diào)査，將對應的玻璃材料板1的比例為10%以 上的情況評價為B，將小于10%且6%以上的情況評價為A，將小于6%的情況評價為S。
[0118] 此外，對玻璃材料板1實施成膜處理，形成信息記錄介質(zhì)10,將其組裝到實際的信 息記錄裝置30 (硬盤驅(qū)動器）中，針對各條件，進行每批50臺的讀寫試驗，來確認良品率。
[0119] 如圖13所示，其結(jié)果是，在實施例1?3中，倒角部7的狀態(tài)均評價為A或評價為 S，與此相對，在比較例1?3中均評價為B。此外，在實施例1、2中，得到比實施例3更好的 評價?？梢哉J為：由于刷毛束81的毛尖形狀呈曲線狀（圓弧狀），刷毛材料83的前端部分 深入到倒角部7、7之間的深處，從而能夠均勻地研磨倒角部7。
[0120] 此外可以認為：在比較例1、2、3中，由于玻璃材料板1的內(nèi)周端面4不充分的研 磨，使得溶出物產(chǎn)生并附著于玻璃材料板1的表面，在成膜后的信息記錄介質(zhì)10中成為缺 陷，使記錄特性產(chǎn)生異常。
[0121] 此外，在毛尖范圍Q與實施例1相等且毛尖范圍Q與植入范圍R相等的比較例3 中，與實施例1相比，得到不優(yōu)選的結(jié)果。這被認為是由于刷毛材料83的毛尖在碰到玻璃 材料板1時會倒向特定的方向、從而使研磨率下降的結(jié)果。
[0122] 此外，在實施例3中，通過在植入方法上想辦法，將作為刷毛束81的前端部分設(shè)為 平坦狀。端面檢查的結(jié)果評價為A，但記錄特性試驗稍低于實施例1。通過調(diào)査原因，結(jié)果 發(fā)現(xiàn)：在實施例3中，盡管倒角部7的粗糙度達到合格水平，但是在主表面附近和內(nèi)周端面 4附近，粗糙度的值有偏差。這被認為是由于：與實施例3的情況相比，在實施例1中，集中 在前端的刷毛材料83的毛尖更好地進入到倒角部7的間隙。
[0123] 因此，根據(jù)本實施例的結(jié)果可知，根據(jù)上述的實施方式中的研磨用刷子80,研磨用 刷子80的多個刷毛材料83、83各自的毛尖在與玻璃材料板1的內(nèi)周端面4和倒角部7接 觸時，集中于窄小范圍內(nèi)，從而能夠在相鄰的玻璃材料板1的倒角部7、7彼此之間定期地施 加強負荷。由此可知，殘留在相鄰的玻璃材料板1的倒角部7、7彼此之間的殘渣（研磨屑） 被有效地去除，從而能夠確保對倒角部7的優(yōu)良加工率。
[0124] 以上，對基于本發(fā)明的各實施方式和各實施例進行了說明，但是本次所公開的各 實施方式和各實施例在全部方面只是例示而不是限制。本發(fā)明的技術(shù)的范圍由權(quán)利要求書 表示，意在包含與權(quán)利要求書等同的含義和范圍內(nèi)的全部變更。
[0125] 標號說明
[0126] 1 玻璃基板（玻璃材料板）；2、3 主表面；4內(nèi)周端面；5、15 孔；6 外周 端面；7、8倒角部；9塊體；10信息記錄介質(zhì)；12化學強化層；14磁性記錄層；20 殼體；21磁頭滑塊；22懸架；23臂；24垂直軸；25音圈；26音圈電機；27鉗夾 部件；28固定螺釘；30 信息記錄裝置；80 ;80Z研磨用刷子；81刷毛束；81C中心 線；82軸心部件；83刷毛材料；85旋轉(zhuǎn)軸；88殘渣；89圓??；Q毛尖范圍；R植 入范圍；R1植入基部；R2區(qū)域。
【權(quán)利要求】
1. 一種信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法，具有如下工序： 準備具有內(nèi)周端面的多張玻璃材料板； 準備將由多根刷毛材料構(gòu)成的刷毛束螺旋狀地植入軸心部件的外周面而成的研磨用 刷子； 在重疊了多張所述玻璃材料板后，配置所述研磨用刷子，使得處于重疊狀態(tài)的多張所 述玻璃材料板的所述內(nèi)周端面與所述刷毛束的前端彼此相對；以及 使所述研磨用刷子旋轉(zhuǎn)，使所述刷毛束相對于處于重疊狀態(tài)的多張所述玻璃材料板的 所述內(nèi)周端面滑動，來研磨多張所述玻璃材料板的所述內(nèi)周端面， 多根所述刷毛材料以如下方式植入所述軸心部件：在與所述研磨用刷子的旋轉(zhuǎn)軸平行 的方向上，與多根所述刷毛材料植入所述軸心部件的植入基部的寬度相比，由從該植入基 部延伸的多根所述刷毛材料各自的前端形成的區(qū)域的寬度較小。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法，其中， 多根所述刷毛材料以如下方式植入所述軸心部件：在與所述研磨用刷子的旋轉(zhuǎn)軸平行 的方向上，多根刷毛材料中的95%以上的所述刷毛材料的前端位于所述植入基部的寬度方 向的以中心線為基準±40%以內(nèi)的范圍內(nèi)，所述植入基部沿著與所述軸心部件的表面垂直 的方向延伸。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的信息記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法，其中， 多根所述刷毛材料以如下方式植入所述軸心部件：在與所述研磨用刷子的旋轉(zhuǎn)軸平行 的方向上，所述刷毛束的前端呈圓弧狀。
4. 一種信息記錄介質(zhì)用玻璃基板，其是使用權(quán)利要求1?3中的任意一項所述的信息 記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法而制造出的。
【文檔編號】C03C19/00GK104160445SQ201280062603
【公開日】2014年11月19日 申請日期:2012年12月14日 優(yōu)先權(quán)日:2011年12月28日
【發(fā)明者】小松隆史 申請人:Hoya株式會社