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一種實驗室用硅片切割簡易裝置的制作方法

文檔序號:1804284閱讀:1176來源:國知局
專利名稱:一種實驗室用硅片切割簡易裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及一種切割裝置,特別是涉及一種實驗室用硅片切割簡易裝置。
背景技術(shù)
硅片是實驗室常用的半導(dǎo)體材料,直接購買的硅片尺寸一般很大,不能直接使用。實驗室一般采用手工切割的方法將尺寸較大的硅片分割成小塊,即使用玻璃刀、鋼尺等輔助工具,先在硅片背面劃一條線,然后用力在劃痕處按壓使硅片斷裂。手工切割方法難以對切割力進行控制,切割力過小達不到切割效果,切割力過大則會將硅片壓碎,且硅片切割起始位置和結(jié)束位置容易受到集中應(yīng)力而產(chǎn)生破壞。因此這種方法對操作人員技術(shù)要求高,且成功率低,浪費較嚴重,難以得到邊緣規(guī)整、尺寸精準(zhǔn)的硅片。

實用新型內(nèi)容為了解決上述問題,本實用新型提出了一種實驗室用硅片切割簡易裝置,該裝置結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、切割質(zhì)量高,不僅降低了對操作人員技術(shù)經(jīng)驗的要求,而且避免了對硅片的浪費。本實用新型為了解決上述技術(shù)問題所采取的技術(shù)方案是:一種實驗室用硅片切割簡易裝置,包括底板、側(cè)板、夾具、玻璃刀頭、刀柄、標(biāo)尺、游標(biāo)、銷軸、彈簧、緊固螺栓、手柄、頂桿、螺釘、導(dǎo)向槽和插槽,所述底板頂面四周分別設(shè)有夾具和插槽,所述插槽位于夾具的外側(cè);所述插槽內(nèi)活動連接有兩塊相互平行的側(cè)板,兩側(cè)板之間由螺釘固定連接有頂桿;所述標(biāo)尺的兩端與兩側(cè)板上的導(dǎo)向槽滑動配合連接;所述游標(biāo)與手柄為一體,活動安裝在標(biāo)尺上,并通過緊固螺栓固定;所述彈簧穿過銷軸安裝在游標(biāo)與刀柄之間,在切割過程中彈簧發(fā)生扭轉(zhuǎn)變形,使玻璃刀頭在硅片表面作用一定大小的切割力;所述玻璃刀頭與刀柄螺紋連接。本實用新型的有益效果是:該一種實驗室用硅片切割簡易裝置在切割過程中切割力大小均勻,不會出現(xiàn)硅片劃痕過淺或者壓碎的現(xiàn)象,切割邊緣規(guī)整,尺寸精確,可達到毫米級,提高了切割質(zhì)量;本裝置結(jié)構(gòu)簡單、操作便捷,可以實現(xiàn)連續(xù)多次切割,提高了切割效率。
以下結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進一步說明。


圖1是一種實驗室用硅片切割簡易裝置的主視圖;。圖2是一種實驗室用硅片切割簡易裝置的左視圖;。圖3是一種實驗室用硅片切割簡易裝置的俯視圖。圖中,1.底板,2.側(cè)板,3.夾具,4.硅片,5.玻璃刀頭,6.刀柄,7.標(biāo)尺,8.游標(biāo),
9.銷軸,10.彈簧,11.緊固螺栓,12.手柄,13.頂桿,14.螺釘,15.導(dǎo)向槽,16.插槽。
具體實施方式
在附圖中,該一種實驗室用硅片切割簡易裝置,包括底板1、側(cè)板2、夾具3、玻璃刀頭5、刀柄6、標(biāo)尺7、游標(biāo)8、銷軸9、彈簧10、緊固螺栓11、手柄12、頂桿13、螺釘14、導(dǎo)向槽15和插槽16,所述底板I頂面四周分別設(shè)有夾具3和插槽16,所述插槽16位于夾具3的外側(cè);所述插槽16內(nèi)活動連接有兩塊相互平行的側(cè)板2,兩側(cè)板2之間由螺釘14固定連接有頂桿13,用于防止側(cè)板2的傾斜;所述標(biāo)尺7的兩端與兩側(cè)板2上的導(dǎo)向槽15滑動配合連接;所述游標(biāo)8與手柄12為一體,活動安裝在標(biāo)尺7上,并通過緊固螺栓11固定;所述彈簧10穿過銷軸9安裝在游標(biāo)8與刀柄6之間,在切割過程中彈簧10發(fā)生扭轉(zhuǎn)變形,使玻璃刀頭5在硅片4表面作用一定大小的切割力,更換不同剛度的彈簧可以得到不同大小的切割力;所述玻璃刀頭5與刀柄6螺紋連接,更換刀頭時非常方便。切割硅片4時可以通過轉(zhuǎn)換側(cè)板2的連接方向來改變切割的方向。利用本實用新型切割硅片4時的步驟如下:將該裝置組裝好,標(biāo)尺7移動到導(dǎo)向槽15 一端;用夾具3將硅片4固定在底板I上,調(diào)節(jié)游標(biāo)8到指定位置,擰緊緊固螺栓11 ;拉動手柄12使標(biāo)尺7沿導(dǎo)向槽15移動,直到玻璃刀頭5到達切割結(jié)束位置;將玻璃刀頭5抬離硅片4表面,同時將標(biāo)尺7復(fù)位,按照切割尺寸調(diào)節(jié)游標(biāo)8位置,進行下一次切割。
權(quán)利要求1.一種實驗室用硅片切割簡易裝置,包括底板(I)、側(cè)板(2)、夾具(3)、玻璃刀頭(5)、刀柄(6)、標(biāo)尺(7)、游標(biāo)(8)、銷軸(9)、彈簧(10)、緊固螺栓(11)、手柄(12)、頂桿(13)、螺釘(14)、導(dǎo)向槽(15)和插槽(16),其特征在于:所述底板(I)頂面四周分別設(shè)有夾具(3)和插槽(16),所述插槽(16)位于夾具(3)的外側(cè);所述插槽(16)內(nèi)活動連接有兩塊相互平行的側(cè)板(2),兩側(cè)板(2)之間由螺釘(14)固定連接有頂桿(13);所述標(biāo)尺(7)的兩端與兩側(cè)板(2)上的導(dǎo)向槽(15)滑動配合連接;所述游標(biāo)(8)與手柄(12)為一體,活動安裝在標(biāo)尺(7)上,并通過緊固螺栓(11)固定;所述彈簧(10)穿過銷軸(9)安裝在游標(biāo)(8)與刀柄(6 )之間,在切割過程中彈簧(10 )發(fā)生扭轉(zhuǎn)變形,使玻璃刀頭(5 )在硅片(4)表面作用一定大小的切割力;所述玻璃刀頭(5)與刀柄(6)螺紋連接。
專利摘要本實用新型涉及一種實驗室用硅片切割簡易裝置,所述底板頂面四周分別設(shè)有夾具和插槽,所述插槽位于夾具的外側(cè);所述插槽內(nèi)活動連接有兩塊相互平行的側(cè)板,兩側(cè)板之間由螺釘固定連接有頂桿;所述標(biāo)尺的兩端與兩側(cè)板上的導(dǎo)向槽滑動配合連接;所述游標(biāo)與手柄為一體,活動安裝在標(biāo)尺上,并通過緊固螺栓固定;所述彈簧穿過銷軸安裝在游標(biāo)與刀柄之間;所述玻璃刀頭與刀柄螺紋連接,該裝置在切割過程中切割力大小均勻,不會出現(xiàn)硅片劃痕過淺或者壓碎的現(xiàn)象,切割邊緣規(guī)整,尺寸精確,可達到毫米級,提高了切割質(zhì)量;本裝置結(jié)構(gòu)簡單、操作便捷,可以實現(xiàn)連續(xù)多次切割,提高了切割效率。
文檔編號B28D5/00GK202934713SQ201220669928
公開日2013年5月15日 申請日期2012年12月7日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月7日
發(fā)明者馬立靜, 陸小倩, 司睿, 陸化宇 申請人:中國礦業(yè)大學(xué)
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