專利名稱：用于線鋸的線引導(dǎo)件的夾具組件、線鋸和晶片鋸切系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本公開的實(shí)施例涉及線鋸、線引導(dǎo)件和用于線鋸的線引導(dǎo)件的夾具組件。本公開具體涉及用于光伏和/或半導(dǎo)體應(yīng)用的線鋸、線引導(dǎo)件和用于光伏和/或半導(dǎo)體的線鋸的線引導(dǎo)件的夾具組件。
背景技術(shù)：
線鋸被用在光伏和/或半導(dǎo)體工業(yè)中，其中對(duì)于這兩種應(yīng)用，半導(dǎo)體或半導(dǎo)體材料被線鋸裝置切割。例如，線鋸將半導(dǎo)體工件切割為適合于進(jìn)一步處理的形狀，例如，將硅鑄塊切割為晶片形、磚塊形或方形。對(duì)于各種應(yīng)用，晶片或切片具有相對(duì)于鑄塊的截面或直徑來(lái)說非常小的厚度。晶片因此具有大的柔性，并且可以屈曲或彎曲而與相鄰的切片相接觸。該柔性對(duì)于切割的精確度和平坦性是不期望的，并且可以對(duì)于經(jīng)鋸切的切片的表面產(chǎn)生起伏、條紋和不期望的不平整。這些不平整(甚至數(shù)個(gè)微米)足以使得切片不能夠被用于特定應(yīng)用，諸如許多太陽(yáng)能和半導(dǎo)體應(yīng)用。切片的變形可能甚至導(dǎo)致微裂痕和裂痕，特別是在切片連接到它們的支撐部的接合點(diǎn)附近。對(duì)半導(dǎo)體鑄塊切晶片的領(lǐng)域中的問題是如何保持薄切片的均勻，而使薄切片不具有不平整性。該問題被轉(zhuǎn)換為提供切割元件(即，線)和/或影響切割元件(即，線)的位置的線引導(dǎo)件的穩(wěn)定性。半導(dǎo)體材料制造的經(jīng)濟(jì)競(jìng)爭(zhēng)力受到許多參數(shù)影響，例如，生產(chǎn)速度，這必然由操作停工期(諸如替換線鋸的部件的時(shí)間和維護(hù)時(shí)間)不利的影響。具體地，將已使用的線和/或線引導(dǎo)件替換為新的件所需的時(shí)間不利地影響產(chǎn)量。也需要線、線網(wǎng)和/或線引導(dǎo)件的定位穩(wěn)定性，以產(chǎn)生期望厚度和厚度均勻性的切割件(具體是晶片)。期望產(chǎn)生均勻地薄的晶片，并且不具有變形和缺陷。本領(lǐng)域中的問題是如何設(shè)計(jì)這樣的線引導(dǎo)夾具組件，該線引導(dǎo)夾具組件能實(shí)現(xiàn)線、線網(wǎng)和/或線引導(dǎo)件的位置的精確控制和穩(wěn)定(以使得能夠制造均勻的薄晶片)，并且也能夠快速地替換諸如線和/或線引導(dǎo)件的部件(以使得停工期被縮短)?！┝硗獾?可能的問題是:減小襯底制造設(shè)備(諸如線鋸和它們的部件)的擁有成本(例如,具有低成本設(shè)備、低成本耗材、高系統(tǒng)產(chǎn)量、高機(jī)器工作時(shí)間)；增加每個(gè)處理周期處理的面積(例如，減小每個(gè)Wp的處理)；以及保持產(chǎn)品高質(zhì)量(例如，厚度均勻、沒有缺陷)。因此，特別是對(duì)于太陽(yáng)能電池應(yīng)用，需要成本有效地形成并制造薄的半導(dǎo)體襯底。線引導(dǎo)件(其通常為圓柱形并且繞圓柱軸線旋轉(zhuǎn))有時(shí)被稱作為輥、圓筒和線引導(dǎo)圓筒。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的實(shí)施例提供了一種夾具組件，其用于連接到用于切割晶片的線鋸的圓柱形線引導(dǎo)件，該夾具組件包括軸側(cè)連接器，其適合于連接到線鋸的軸，該軸具有旋轉(zhuǎn)軸線。軸側(cè)連接器包括:外表面，其與軸線垂直并且適合于抵靠線引導(dǎo)件的互補(bǔ)連接器的互補(bǔ)外表面；以及在外表面與軸線之間的錐表面，錐表面被繞軸線對(duì)稱地布置，并且適合于抵靠線引導(dǎo)件的互補(bǔ)表面。優(yōu)選地，外表面是平面；外表面的一部分被定位在從軸線到軸側(cè)連接器的徑向外邊緣的距離的至少65%、70%、75%或80%的距離處；軸側(cè)連接器的錐表面包括可變形材料；夾具組件還包括保持機(jī)構(gòu)，保持機(jī)構(gòu)從液壓系統(tǒng)、氣壓系統(tǒng)、螺紋件或這些項(xiàng)的組合中選擇。用在這里的術(shù)語(yǔ)“晶片”指的是半導(dǎo)體或光伏晶片。根據(jù)另一個(gè)實(shí)施例，提供了一種夾具組件，其用于將圓柱形線引導(dǎo)件連接到線鋸的軸，該線鋸適合于切割晶片。軸具有旋轉(zhuǎn)軸線。夾具組件包括:外表面，其與軸線垂直并且適合于抵靠軸的互補(bǔ)連接器的互補(bǔ)外表面；以及在外表面與軸線之間的錐表面，錐表面被繞軸線對(duì)稱地布置，并且適合于抵靠互補(bǔ)連接器的互補(bǔ)表面。優(yōu)選地，錐表面被安裝到線引導(dǎo)件。根據(jù)另一個(gè)實(shí)施例，公開了一種夾具組件，其用于連接到用于切割晶片的線鋸的圓柱形線引導(dǎo)件。該夾具組件包括具有旋轉(zhuǎn)軸線的軸，該軸直接或間接地連接到軸側(cè)連接器。軸側(cè)連接器包括:外表面，其與軸線垂直并且適合于抵靠線引導(dǎo)件的互補(bǔ)連接器的互補(bǔ)外表面；以及在外表面與軸線之間的錐表面，錐表面被繞軸線對(duì)稱地布置，并且適合于抵靠線引導(dǎo)件的互補(bǔ)表面。根據(jù)另一實(shí)施例，公開了一種線鋸，該線鋸具有根據(jù)上述實(shí)施例中任意一項(xiàng)所述的至少一個(gè)夾具組件。根據(jù)另一實(shí)施例，公開了一種晶片鋸切系統(tǒng)，其包括:鑄塊輸入模塊；鑄塊輸出模塊；兩個(gè)或更多個(gè)線鋸切室；以及機(jī)器人。每個(gè)鋸切室包括:兩個(gè)線引導(dǎo)圓筒，其中，線引導(dǎo)圓筒中的至少一者由根據(jù)上述實(shí)施例中任意一項(xiàng)所述的夾具組件夾??；至少一個(gè)線，其被布置為橫跨兩個(gè)線引導(dǎo)圓筒；支撐臺(tái)，其被構(gòu)造為接收單個(gè)鑄塊；以及鑄塊定位系統(tǒng)，其被構(gòu)造為將布置在支撐臺(tái)上的單個(gè)鑄塊向至少一個(gè)線推動(dòng)。機(jī)器人被構(gòu)造為將單個(gè)鑄塊在鑄塊輸入模塊、兩個(gè)或更多個(gè)線鋸切室的至少一者以及鑄塊輸出室之間傳送。此外，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)、特征、方面和細(xì)節(jié)將會(huì)通過權(quán)利要求、說明書和附圖變得清楚。實(shí)施例也涉及用于執(zhí)行所公開的方法的設(shè)備并且包括用于執(zhí)行所描述的每個(gè)方法步驟的設(shè)備部分。這些方法步驟可以通過借助于硬件組件、由合適的硬件編程的計(jì)算機(jī)、通過這兩者的結(jié)合或以其他形式來(lái)執(zhí)行。此外，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例也涉及操作所描述的設(shè)備的方法。這包括用于執(zhí)行設(shè)備的每個(gè)功能的方法步驟。

可以通過參照實(shí)施例更具體地理解本發(fā)明的上述特征，并獲得更具體的描述。在下文中描述了涉及實(shí)施例的附圖:圖1示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的線鋸的線引導(dǎo)和夾具組件；圖2示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的線鋸的線引導(dǎo)和夾具組件；圖3示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的線引導(dǎo)件和夾具組件的一部分；圖4示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的線引導(dǎo)件和夾具組件的一部分；[0022]圖5示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的線引導(dǎo)件和夾具組件的一部分；圖6示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的連接器的圖；圖7示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的連接器的圖；圖8示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的連接器的圖；圖9示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的連接器的圖；圖10示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的線鋸的線引導(dǎo)件和夾具組件；圖11示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的線鋸的線引導(dǎo)件和夾具組件；圖12示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的線引導(dǎo)件和夾具組件的一部分；圖13示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的線鋸的線引導(dǎo)件和夾具組件；圖14示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的線鋸中的夾具組件；圖15是根據(jù)這里描述的實(shí)施例的晶片鋸切系統(tǒng)的立體圖；圖16是根據(jù)這里描述的實(shí)施例的用在晶片鋸切系統(tǒng)中的機(jī)器人裝置的立體圖；和圖17是根據(jù)這里描述的實(shí)施例的晶片鋸切系統(tǒng)的立體圖。
具體實(shí)施方式
將會(huì)具體描述各種實(shí)施例，其中的一個(gè)或多個(gè)示例在附圖中示出。每個(gè)示例僅由示例的方式提供并且不意味著限制。此外，示出或描述為一個(gè)實(shí)施例的一部分的特征可以被用在其他實(shí)施例上或與其他實(shí)施例結(jié)合使用，以產(chǎn)生其他實(shí)施例。說明書意圖包括這種修改和改變。這里，“線鋸”、“線鋸裝置”、“線鋸切裝置”和“線切割裝置”被可互換地使用。這里，術(shù)語(yǔ)“鋸切”和“切割”被可互換地使用；并且“晶片切割線鋸”和“切片機(jī)”被可互換地使用。這里，“鑄塊”可以包括一個(gè)或多個(gè)分離的半導(dǎo)體塊，例如，多個(gè)半導(dǎo)體塊。這里，“鑄塊”被廣義地使用，以表示在晶片鋸切中被鋸切的至少一個(gè)大塊或者未被切割的元件。這里，“半導(dǎo)體”指的是諸如用在光伏工業(yè)中的半導(dǎo)體材料。這里，“線引導(dǎo)圓柱”、“引導(dǎo)圓柱”和“圓柱形線引導(dǎo)件”被可互換地使用。這里，線鋸可以被用來(lái)形成來(lái)自大塊(諸如鑄塊、晶錠或塊)的不同類型的襯底或晶片，諸如太陽(yáng)能電池襯底、半導(dǎo)體襯底或其他有用的襯底。這里，“支承件”被用來(lái)表示支撐其他部分的機(jī)器、部件或結(jié)構(gòu)部分。另外地或附加地，“支承件”是用于旋轉(zhuǎn)(或往返運(yùn)動(dòng))機(jī)械部件的支撐件、引導(dǎo)件或定位件。在另一方面中，“支承件”是允許一部分支承(支撐)另一部分的機(jī)械元件。這里，“支承件”和“連接器”可以被同時(shí)使用。這里，“外”和“內(nèi)”可以被用來(lái)表示軸向方向，并且在這種情景中，“內(nèi)”通常表示朝向部件的中心的方向，并且“外”通常表示遠(yuǎn)離部件的中心的方向。在示例性情景中，在提到不同連接器時(shí)，使用了“內(nèi)”和“外”，諸如相對(duì)于線引導(dǎo)件的中心在內(nèi)側(cè)和外側(cè)的、互補(bǔ)的“內(nèi)”和“外”連接器(例如，線引導(dǎo)件側(cè)和軸側(cè)連接器)。在這里使用的另一個(gè)情景中，“內(nèi)”和“外”可以被用來(lái)表示軸向，具體地是與圓柱形線引導(dǎo)件軸線的軸向方向垂直的方向。在示例性情景中，在提到連接器的不同表面時(shí)，使用“內(nèi)”和“外”表面，諸如連接器的內(nèi)錐形表面(或者在軸線與外表面之間的錐形表面)以及連接器的外表面(例如位于內(nèi)錐形表面與徑向外邊緣之間的表面)。這里，“錐形”可以指的是:中空或者不中空的錐形狀的結(jié)構(gòu)以及/或者截頭錐形結(jié)構(gòu)。此外，“錐形”也可以指的是由錐的片段(特別是由錐或截頭錐的縱向片段(縱向片段的含義是錐片段被從錐沿著與錐的對(duì)稱軸平行的平面切割的錐片段)形成的片段)形成的基本錐形的結(jié)構(gòu)。這里，“連接器”主要是用于線鋸的夾具組件的、用于將圓柱形線引導(dǎo)件連接到線鋸(或者反之亦然)的部件，即，用于將線鋸(特別是線鋸的軸)連接到圓柱形線引導(dǎo)件的部件。為了清楚，用在這里的錐形部分不與通常限定了二維曲線的圓錐曲線相混淆；相反，這里的錐形部分具有三維形狀。例如，用在這里的錐形部分的幾何形狀可以通過由方向平行于錐軸的平面來(lái)切割實(shí)心或空心錐而形成。例如，兩個(gè)錐部分可以通過一次切割通過錐的中心而形成?？梢酝ㄟ^例如以120°的三次切割來(lái)形成三個(gè)，每次切割通過錐的一半，并且每次切割在錐的軸線處相遇。通常，在線鋸中，(一個(gè)或多個(gè))線被至少一個(gè)線引導(dǎo)件引導(dǎo)，線引導(dǎo)件旋轉(zhuǎn)并且使得/允許線移動(dòng)，該移動(dòng)基本沿著線的長(zhǎng)度。通常，引導(dǎo)圓柱由一個(gè)或多個(gè)支承部支撐，支承部可以被連接到線張緊系統(tǒng)，該線張緊系統(tǒng)適合于通過使至少一個(gè)線引導(dǎo)件相對(duì)于彼此移動(dòng)而向(一個(gè)或多個(gè))線提供期望的張緊。圖1是根據(jù)這里描述的實(shí)施例的、被構(gòu)造為例如在維護(hù)活動(dòng)期間被快速替換的線引導(dǎo)件321的側(cè)視圖。通常，線引導(dǎo)件321具有凹槽333，凹槽333可以限定線層的相鄰線之間的間距，例如，從線網(wǎng)中的一個(gè)線的中心到其最接近的(兩個(gè))相鄰線的距離。在切割期間，例如線引導(dǎo)件321繞軸線10旋轉(zhuǎn)，并且線的移動(dòng)部分地在線引導(dǎo)件321的旋轉(zhuǎn)表面上，SP，沿著線引導(dǎo)件321的凹槽333。通常在線引導(dǎo)件321上有約1500個(gè)凹槽，例如，2000個(gè)或更多的凹槽。線引導(dǎo)件適合于將晶片切割為約0.02mm到0.4mm厚、或約0.05mm到0.2mm厚或者約0.1mm到0.15mm厚，例如約0.1mm厚或約0.15mm厚。線和/或線引導(dǎo)件321可能通過使用而受到磨損或損傷，使得線和/或線引導(dǎo)件321被不定期地和/或定期地替換和/或受到維護(hù)，這可能臨時(shí)地將晶片切割中斷。期望將線和/或線引導(dǎo)件的替換時(shí)間最小化，
以將產(chǎn)量最大化。在實(shí)施例中，包括線引導(dǎo)件的組件包括線引導(dǎo)件321、軸側(cè)連接器502和第二軸側(cè)連接器505，軸側(cè)連接器502適合于與線引導(dǎo)件321上的線引導(dǎo)件側(cè)連接器503相配合，第二軸側(cè)連接器505適合于與在線引導(dǎo)件321上的第二線引導(dǎo)件側(cè)連接器504相配合。線引導(dǎo)件側(cè)連接器503和504可以與線引導(dǎo)件一體形成、形成在線引導(dǎo)件上和/或安裝到線引導(dǎo)件上。軸側(cè)連接器可以形成和/或被安裝到各個(gè)軸、支承盒軸、支承盒、軸、旋轉(zhuǎn)構(gòu)件等；這里，軸側(cè)連接器通常指的是可以繞旋轉(zhuǎn)軸線10旋轉(zhuǎn)的軸。軸側(cè)連接器中的一者或兩者可以被安裝到各個(gè)軸、相同的軸和/或軸組件。旋轉(zhuǎn)軸線10與線引導(dǎo)件321、連接器和/或可選地包括線引導(dǎo)件和/或軸的夾具組件的對(duì)稱軸一致。圖1示出了包括線引導(dǎo)件的組件的未連接構(gòu)造，例如，線引導(dǎo)件321脫離并且互補(bǔ)連接器對(duì)(502和503)以及(504和505)不抵靠。也可以預(yù)料到互補(bǔ)連接器對(duì)中僅有一者不抵靠的分離和/或部分分離的構(gòu)造。[0051]通常，軸側(cè)連接器502和505可以被稱為“外連接器”或“連接器”。同樣，線引導(dǎo)件側(cè)連接器503和504也可以被稱作為“內(nèi)連接器”或“連接器”。在圖2中示出的實(shí)施例中，軸側(cè)連接器是母連接器，并且線引導(dǎo)件側(cè)連接器是公連接器。其他的布置也可以預(yù)料到(例如，在圖1中，軸側(cè)連接器是公連接器，并且線引導(dǎo)件側(cè)連接器是母連接器)。具體地，在夾具系統(tǒng)包括作為保持機(jī)構(gòu)和/或自動(dòng)夾具的液壓系統(tǒng)的情況中，軸側(cè)連接器502和505可以是母連接器。軸側(cè)連接器502和505的優(yōu)點(diǎn)是可能在連接器與支承件(例如，在軸上的、可以將軸連接到電機(jī)和/或框架的支承件)之間具有更短的距離；因此，徑向載荷更接近支承件，導(dǎo)致更長(zhǎng)的支承件壽命。在包括中央張緊螺紋件的保持機(jī)構(gòu)(例如手動(dòng)夾具或手動(dòng)保持機(jī)構(gòu))的情況中，軸側(cè)連接器也可以是公連接器。很明顯，通過比較圖1和圖2，軸側(cè)連接器502和/或505中的至少一者可以相對(duì)于彼此沿著軸向移動(dòng)；使得線引導(dǎo)件321可以被連接和斷開，并且/或者接合或脫離。由于連接器的位置、形狀和類型，線引導(dǎo)件可以例如在被用壞時(shí)迅速地替換。圖2示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的線鋸的線引導(dǎo)和夾具組件。相比于圖1，圖2也示出了可選的連接器對(duì)，其中軸側(cè)連接器502和505是公連接器并且線引導(dǎo)件側(cè)連接器503和504是母連接器。通常，連接器的互補(bǔ)對(duì)適合于相抵靠和/或相配合。根據(jù)實(shí)施例，圖2示出了包括線引導(dǎo)件的組件的已連接的構(gòu)造，例如，線引導(dǎo)件321被接合并且兩組互補(bǔ)連接器對(duì)(502和503)以及(504和505)配合，S卩，緊靠。關(guān)于術(shù)語(yǔ)，通常當(dāng)互補(bǔ)對(duì)中的一者被稱作為連接器時(shí)，另一者可以被稱作為互補(bǔ)連接器。這里，“互補(bǔ)連接器”與“互補(bǔ)支承件”、“對(duì)立支承件”等同義。通?？梢岳斫?，給定諸如軸側(cè)連接器502和/或505的軸側(cè)連接器，互補(bǔ)連接器503和/或504可以是線引導(dǎo)件321的部件。此外，互補(bǔ)連接器503和/或504也可以是表面，即，線引導(dǎo)件的表面。或者，連接器503和/或504可以是分離的連接器，其能夠分別連接到線引導(dǎo)件321和/或軸側(cè)連接器502和/或505中的每一者。在可以與任何其他實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，圖2中示出的軸60可以被作為線鋸的部件，并且/或者是夾具組件的部件；此外，軸60可以被作為單個(gè)軸、或者多個(gè)軸(諸如一對(duì)軸)，例如電機(jī)側(cè)軸和自由旋轉(zhuǎn)軸。在可以與任何其他實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，軸可以延伸通過線引導(dǎo)件321，例如，通過線引導(dǎo)件321的中心。圖3示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的軸側(cè)連接器50。例如，軸側(cè)連接器50是用于連接到線鋸的圓柱形線引導(dǎo)件321的夾具組件的至少一部分，該線鋸用于切割半導(dǎo)體鑄塊，例如來(lái)制造晶片。軸側(cè)連接器50包括與軸線10基本垂直的外表面30 (“外”指的是從軸側(cè)連接器50的中心向外指向的方向)，即，夕卜表面30面向線引導(dǎo)件321。外表面適合于抵靠互補(bǔ)連接器51的互補(bǔ)外表面31和/或線引導(dǎo)件321的互補(bǔ)表面。通常，互補(bǔ)外表面31也至少與軸線10基本垂直，并且面向軸側(cè)連接器50。當(dāng)被連接時(shí)，可以通過使外表面和互補(bǔ)外表面30、31相接觸而傳遞載荷和/或力。外表面30和/或互補(bǔ)外表面31可以被稱作為冠(crown)接觸面,特別是當(dāng)其與互補(bǔ)表面相接觸時(shí)。在已連接的構(gòu)造中，根據(jù)實(shí)施例，軸向定向載荷可以通過外表面30、31(即，冠接觸表面)傳遞。通過外表面30、31 (即，互補(bǔ)外表面30、31)傳遞軸向載荷改善了線引導(dǎo)件321的軸向支撐。此外，經(jīng)改善的軸向支撐增加線引導(dǎo)件的穩(wěn)定性、并且加強(qiáng)線和/或線網(wǎng)的位置的對(duì)準(zhǔn)穩(wěn)定性和精確性。在實(shí)施例中，徑向定向載荷不通過外表面30、31傳遞，即，僅軸向載荷通過與軸線10基本垂直的外表面30、31來(lái)傳遞。在實(shí)施例中，外表面30相比于線引導(dǎo)件的凹槽表面處于距軸線更近的徑向距離處。外表面平行于旋轉(zhuǎn)平面(旋轉(zhuǎn)平面與旋轉(zhuǎn)軸10垂直)，這可能導(dǎo)致在外表面30與其互補(bǔ)外表面31之間只產(chǎn)生軸向接觸力。在實(shí)施例中，軸側(cè)連接器50具有在外表面30與軸線10之間的錐表面40(換言之，外表面30被布置在相比于錐表面距軸線更遠(yuǎn)的徑向距離處)。錐表面40適合于抵靠(例如配合)互補(bǔ)連接器51和/或線引導(dǎo)件321的互補(bǔ)表面41，特別是在已接合或已連接的構(gòu)造中。在實(shí)施例中，在已連接的構(gòu)造中，徑向和軸向載荷通過錐表面40和互補(bǔ)表面41 (特別是互補(bǔ)錐表面)傳遞。根據(jù)實(shí)施例，在外表面30與軸線10之間具有錐表面的有利點(diǎn)是外表面30在距軸線10更遠(yuǎn)的徑向距離處主要地或者甚至是僅僅傳遞軸向載荷。特別是相比于利用旋轉(zhuǎn)接頭的用于線引導(dǎo)件的夾具組件來(lái)說，這可以改善對(duì)于線引導(dǎo)件的軸向支撐。例如，在處于已連接的構(gòu)造中時(shí)，軸側(cè)連接器50的外表面30與互補(bǔ)外表面31抵靠。由于該抵靠，特別是外表面30與31的抵靠，線引導(dǎo)件321的軸向位置(具體地是由線引導(dǎo)件的凹槽所引導(dǎo)的線)(特別是關(guān)于線引導(dǎo)件和/或一個(gè)或多個(gè)線的軸向位置)被精切地控制和/或知曉。因此，例如，可以切割出更均勻的晶片。在可以與任何其他實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，錐表面40被繞軸線10對(duì)稱地布置。在可以與任何其他實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，軸側(cè)連接器50是中空的。在可以與任何其他實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，外表面30是環(huán)形成形的，成為連續(xù)的環(huán)形形狀或者由環(huán)的片段構(gòu)成的形狀。片段可以允許連接器由于例如加熱/冷卻而產(chǎn)生某種程度的膨脹和收縮，同時(shí)將對(duì)于連接器和/或其完整性的損傷最小化。在可以與任何其他實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，外表面30與錐表面40相鄰。在可以與任何其他實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，外表面是平面表面，特別是與軸線10垂直的平面表面。特別是相比于由旋轉(zhuǎn)接頭支撐的線引導(dǎo)件來(lái)說，環(huán)形外表面例如可以改善線引導(dǎo)件的軸向支撐。因此，可以想到不具有旋轉(zhuǎn)接頭的連接器和/或連接組件。圖4示出了根據(jù)可以與這里描述的任何其他實(shí)施例結(jié)合的軸側(cè)連接器150?；九c軸線10垂直的外表面30在軸側(cè)連接器50的除主體55之外的部件上，例如，外表面30是環(huán)形的環(huán)或一同形成環(huán)形的多個(gè)弧形部件。根據(jù)實(shí)施例，外表面30是平滑的和/或不起皺的表面。根據(jù)可以與任何其他實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例，錐表面40可以包括可變形/柔性材料以及/或者可變形/柔性材料的層。材料例如可以是鋼合金(諸如具有良好的表面硬度的那些鋼合金)、陶瓷和/或碳纖維加強(qiáng)的聚合物(CFRP)以及它們的組合。具有可變形材料的錐表面40可以在處于已連接的構(gòu)造中的互補(bǔ)連接器之間產(chǎn)生更緊密的接觸。實(shí)現(xiàn)了線引導(dǎo)件321的增加的軸向和徑向支撐中的至少一者。例如，軟的(即，可變形的)錐表面40可以允許外表面30與互補(bǔ)外表面31更親密地接觸。通常并且不局限于圖4的實(shí)施例，軸側(cè)連接器150(特別是在錐表面后方與線引導(dǎo)件相反方向的空間)可以是中空的，這可以增加軸表面的可變形性。然而，也可以預(yù)料到基本或完全實(shí)心的連接器，特別是使用可變形和/或柔性材料的那些連接器。圖5示出了根據(jù)實(shí)施例的軸側(cè)連接器250和線引導(dǎo)件321，其中軸側(cè)連接器250是母連接器，并且線側(cè)連接器或互補(bǔ)連接器251是公連接器?？蛇x地，在可以與任何其他實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，公連接器的錐表面至少略微大于互補(bǔ)表面，具體地為大于母連接器的互補(bǔ)錐表面。在一些實(shí)施例中，略微更大的公連接器改善了互補(bǔ)表面(具體地為互補(bǔ)錐表面)之間的接觸。在這種情景中，略微更大的公連接器表示公連接器的表面的最大直徑(沿著與外表面30平行的方向取得的)比互補(bǔ)(母)連接器的互補(bǔ)表面的最大直徑更大約0.001%到約0.01%，或者更大約0.003%到約0.005%。圖6示出了根據(jù)實(shí)施例的軸側(cè)連接器250的圖。在實(shí)施例中，外表面30的、在已連接的構(gòu)造中與互補(bǔ)外表面31抵靠的一部分處于距軸線相對(duì)更大的徑向距離處，例如從軸線10到軸側(cè)連接器50的徑向邊緣90的徑向距離的約2/3。通常，錐表面40位于外表面30與軸線10之間。可選地，中心表面20與軸線10交叉，并且可以與軸線垂直，并且也可以適合于與互補(bǔ)連接器的互補(bǔ)中央表面抵靠。母類型(諸如在圖6的圖中說明的實(shí)施例中所示)和公類型(諸如在圖7的圖中說明的實(shí)施例中所示)連接器都能夠被想到。在實(shí)施例中，外表面30的一部分(例如其徑向最內(nèi)側(cè)部分或最外側(cè)部分)可以是從軸線10到軸側(cè)連接器250的徑向邊緣90的距離的約65%、70%和/或80%。外表面30，特別是其如上所述的布置，可以加強(qiáng)線引導(dǎo)件的穩(wěn)定性。例如，位于軸側(cè)連接器250的徑向邊緣90與錐表面40之間的外表面30可以將圖10中描繪的線引導(dǎo)件321的彎曲(B卩，彎曲角85、86)最小化并且/或者防止該彎曲。因此，例如可以切割出更均勻的晶片，減小了線破裂的風(fēng)險(xiǎn)，并且/或者減小了諸如線引導(dǎo)件321的部件上的磨損率。在另外的實(shí)施例中，錐表面40的、可以與外表面30的內(nèi)邊緣相鄰的外邊緣位于從軸線10到軸側(cè)連接器250的外邊緣90的距離的從約65%到85%處或者從約70%到約80%(諸如約75%)處。圖7示出了根據(jù)實(shí)施例的軸側(cè)公連接器150的圖。在實(shí)施例中，軸側(cè)連接器150包括可以作為(或者不作為)主體55的一部分的外表面30。根據(jù)實(shí)施例，外表面30與軸線10基本垂直，并且適合于抵靠互補(bǔ)連接器的互補(bǔ)外表面。軸側(cè)連接器150還可以可選地包括中心表面，中心表面基本與軸線10垂直并相交。圖8示出了根據(jù)實(shí)施例的連接器350的圖。在圖8中描繪的可以與這里描述的全部其他所述特征/實(shí)施例結(jié)合的特征是包括錐部分400的錐表面40。例如，錐部分可以在它們之間具有間隙，以特別地在已連接(B卩，連接到互補(bǔ)連接器)的構(gòu)造中允許變形/彎曲，特別是錐部分400、錐表面40和/或軸側(cè)連接器50的徑向朝向的變形/彎曲?？梢韵氲骄哂?、2、3、4、5、6個(gè)或更多的錐部分400。在實(shí)施例中，錐部分以及錐表面繞軸線10對(duì)稱地布置，該軸線10與由圖8提供的附圖垂直并且與對(duì)稱中心重合。圖9示出了根據(jù)實(shí)施例的連接器450的圖。在圖9中描繪的可以與這里描述的全部其他所述特征/實(shí)施例結(jié)合的特征是包括部分300 (例如弧形部分)的外表面30。例如，部分300可以在其之間具有間隙?？梢韵氲骄哂?、2、3、4、5、6個(gè)或更多的外表面部分300。在實(shí)施例中，外表面部分300以及外表面30繞軸線10對(duì)稱地布置，該軸線10與由圖9提供的附圖垂直并且與對(duì)稱中心重合。圖10示出了與夾具組件的的未對(duì)準(zhǔn)和/或線引導(dǎo)件的彎曲相關(guān)的角85、86。由于連接的剛性，特別是相比于在先已知的夾具組件(諸如采用旋轉(zhuǎn)接頭接口的那種夾具組件)，這里公開的(一個(gè)或多個(gè))連接器和/或夾具組件減小了未對(duì)準(zhǔn)并且減小了角85、86。例如，使用旋轉(zhuǎn)接頭接口的鋼線引導(dǎo)件在線鋸的整個(gè)切割操作循環(huán)期間可能不足夠精確。利用具有與軸線10垂直的外表面30的夾具組件特別地減小了未對(duì)準(zhǔn)。圖11示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的用于夾具組件的保持機(jī)構(gòu)70、71(保持機(jī)構(gòu)70,71為能夠與這里的任何實(shí)施例結(jié)合的特征)。通常，夾具組件包括保持機(jī)構(gòu)70、71，諸如氣壓或液壓保持機(jī)構(gòu)。另外地或可選地，保持機(jī)構(gòu)70、71包括螺紋。例如,保持機(jī)構(gòu)70、71可以允許線引導(dǎo)件321與軸側(cè)連接器502、505接合或脫離，例如，保持機(jī)構(gòu)允許連接器(特別是軸側(cè)連接器)移動(dòng)，特別是在接合和/或脫離期間。另外地或可選地，保持機(jī)構(gòu)70、71確保了在線引導(dǎo)件的每一側(cè)上的接觸面之間的接觸，即，確保了外連接器和內(nèi)連接器(即，分別是軸側(cè)連接器和線引導(dǎo)件側(cè)連接器)之間的接觸。在實(shí)施例中，軸向支撐和轉(zhuǎn)矩傳遞被從徑向支撐分離，從而允許(例如，線和/或線網(wǎng)的)精確的徑向和軸向輸送(run-out)。在實(shí)施例中，保持機(jī)構(gòu)70、71施加約200kN的軸向力，例如，從約50kN直到約500kN，或者從約IOOkN直到約300kN，或者從約150kN直到約250kN。相比來(lái)說，通常線施加到線引導(dǎo)件上的力對(duì)于每個(gè)線或線區(qū)段為約25N，該力與夾緊力垂直地施加并且總和為約100到150kN。根據(jù)實(shí)施例，保持機(jī)構(gòu)70、71 (特別是包括螺紋的那一者)通常包括在線引導(dǎo)件中的中心孔，該中心孔可以帶螺紋。在可以與這里描述的任何其他實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，保持機(jī)構(gòu)70、71(特別是施加軸向力(諸如僅有軸向力)的保持機(jī)構(gòu))在已連接的構(gòu)造中保持連接組件。例如，保持機(jī)構(gòu)70、71施加軸向力，該軸向力將產(chǎn)生軸側(cè)連接器502、505的外表面30與互補(bǔ)連接器503、504的互補(bǔ)外表面31之間的軸向接觸力。此外，線引導(dǎo)件321的錐表面40和互補(bǔ)表面41可以具有包括軸向和徑向分量的接觸力，軸向和徑向成分的組合是從圓錐地布置的界面產(chǎn)生的，并且雖然保持機(jī)構(gòu)70、71施加軸向力(例如，僅施加軸向力而不具有徑向分量)，仍然可以產(chǎn)生該軸向和徑向分量的組合。圖12示出了根據(jù)實(shí)施例的線引導(dǎo)件321的截面，該線引導(dǎo)件321包括碳纖維加強(qiáng)聚合物(CFRP)部分100和可選的凸緣110。CFRP具有期望的熱特性，諸如低的并且/或者受控的熱膨脹，這可能減小或消除對(duì)于冷卻線引導(dǎo)件321的需要。CFRP可以被用于這里描述的全部實(shí)施例?；蛘?，CFRP可以減小線引導(dǎo)件321的轉(zhuǎn)動(dòng)慣量和質(zhì)量，并且可以在與這里描述的其他實(shí)施例結(jié)合時(shí)非常有用。凸緣110可以例如由鋼、鋼合金、陶瓷和/或CFRP制成。凸緣可以被用來(lái)允許內(nèi)部連接部503、504的安裝，或者可以可選地被作為內(nèi)部連接部503、504 ;例如，凸緣110具有外表面(其可以在已連接的構(gòu)造中與軸側(cè)連接部的外表面緊鄰)，該外表面與軸線10垂直，并且凸緣110具有與軸側(cè)連接器的錐表面互補(bǔ)的表面?？蛇x地，線引導(dǎo)件具有外殼，凹槽333形成在該外殼上，但是可以想到凹槽直接形成在CFRP部分110上。圖13示出了根據(jù)實(shí)施例的處于已連接的構(gòu)造中的線引導(dǎo)件組件，該圖示意性地示出了支撐部120、125并且也示出了硅鑄塊130。鑄塊130的可能的熱膨脹和收縮由箭頭135表示。線引導(dǎo)件和/或夾具組件的膨脹(收縮)由下方箭頭335示出。在已連接的構(gòu)造中，線引導(dǎo)件321由軸側(cè)連接器502、505 (直接地或間接地)接觸。例如，如圖13所示，示意性地示出的支撐件120、125提供了剛性和支撐，使得線引導(dǎo)件(特別是鋼的線引導(dǎo)件)的膨脹將會(huì)朝向右側(cè)，例如，朝向“自由的”支承盒；并且按照?qǐng)D13所示，硅鑄塊的膨脹將會(huì)沿著兩個(gè)(相反的)軸向方向，圖13中的左方向和右方向。根據(jù)這里描述的實(shí)施例，例如，通過具有更小熱膨脹系數(shù)和/或與鑄塊更類似的熱膨脹系數(shù)的基于CFRP的線引導(dǎo)件，基于CFRP的線引導(dǎo)件(特別是使用這里公開的夾具組件的線引導(dǎo)件)減小或消除膨脹的效果?；贑FRP的線引導(dǎo)件(特別是使用這里公開的夾具組件的線引導(dǎo)件)因此可以根據(jù)實(shí)施例減小熱膨脹的有害效果和對(duì)于利用線鋸切割晶片的質(zhì)量的其他調(diào)整因素。圖14示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的包括夾具組件的線鋸，該線鋸用于切割半導(dǎo)體或光伏晶片。圖14中示出的非限制性示例示出了要被切割(例如利用線網(wǎng)700切晶片)的鑄塊600。線網(wǎng)700由通過兩個(gè)線引導(dǎo)件321、322引導(dǎo)的線而形成，該線引導(dǎo)件能夠繞各自的軸線10、110旋轉(zhuǎn)并且連接到各自的軸60、160。每個(gè)軸60、160可以具有電機(jī)側(cè)和相反側(cè)，例如，支承盒電機(jī)側(cè)和支承盒操作者側(cè)。線的運(yùn)動(dòng)(其與線引導(dǎo)件的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)一致)通常(但是在一些實(shí)施例中不是排他的)垂直于切割方向，由鑄塊600的移動(dòng)相對(duì)于線網(wǎng)700限定的切割方向例如通常垂直于由圖14提供的圖。在實(shí)施例中，線鋸包括用于連接到線引導(dǎo)件的夾具組件。通常，線鋸具有多個(gè)線引導(dǎo)件，例如，圖14中示出的兩個(gè)線引導(dǎo)件321、322。夾具組件將線鋸連接到線引導(dǎo)件，但是也可以想到用于將線鋸連接到相應(yīng)的多個(gè)線引導(dǎo)件的多個(gè)夾具組件。也在圖14中示出的特征是第一夾具組件和第二夾具組件(分別是1504、1503、1505和1502)的相應(yīng)的線引導(dǎo)件側(cè)連接器(504、503)和軸側(cè)連接器(505、502)。在圖14中也示出了軸60、160，軸60,160可以被認(rèn)為是線鋸的部件以及/或者用于連接到響應(yīng)的線引導(dǎo)件321、322的夾具組件的部件。(如連接器那樣)軸60、160適合于繞相應(yīng)的軸線10、160旋轉(zhuǎn)，該旋轉(zhuǎn)與線引導(dǎo)件321、322的旋轉(zhuǎn)和線網(wǎng)700中的線的移動(dòng)一致。根據(jù)本發(fā)明的方面，這里描述的夾具組件可以有利地被用在如下所述的晶片鋸切系統(tǒng)中。晶片鋸切系統(tǒng)包括鑄塊輸入模塊、鑄塊輸出模塊、兩個(gè)或更多個(gè)線鋸切室以及機(jī)器人，每個(gè)線鋸切室都包括兩個(gè)線引導(dǎo)圓筒、布置為橫跨兩個(gè)線引導(dǎo)圓柱的至少一個(gè)線、被構(gòu)造為接收單個(gè)鑄塊的支撐臺(tái)以及鑄塊定位系統(tǒng)，鑄塊定位系統(tǒng)被構(gòu)造為將布置在支撐臺(tái)上的單個(gè)鑄塊向至少一個(gè)線推動(dòng)，機(jī)器人被構(gòu)造為將單個(gè)鑄塊在鑄塊輸入模塊、兩個(gè)或更多個(gè)線鋸切室中的至少一者與鑄塊輸出室之間傳送。因此，這里描述的夾具組件可以有利地被用在如下所述鋸切鑄塊的方法中。在晶片鋸切系統(tǒng)中鋸切鑄塊的方法包括將單個(gè)鑄塊從輸入模塊傳送到相對(duì)于傳送室的傳送區(qū)域定位的多個(gè)線鋸切室的一者，在線鋸切室中鋸切單個(gè)鑄塊，并且將經(jīng)鋸切的鑄塊從線鋸切室傳送到輸出模塊，其中，鋸切單個(gè)鑄塊包括:從布置在傳送室中的機(jī)器人接收單個(gè)鑄塊，向布置為橫跨兩個(gè)線引導(dǎo)件的線的層推動(dòng)單個(gè)鑄塊，以及相對(duì)于單個(gè)鑄塊移動(dòng)線的層。這里描述的線鋸切系統(tǒng)包括多個(gè)線鋸切室，每個(gè)線鋸切室都可以獨(dú)立地鋸切鑄塊以形成薄襯底。晶片鋸切系統(tǒng)可以被用來(lái)從大塊(諸如鑄塊、晶錠或塊)形成不同類型的襯底或晶片，諸如太陽(yáng)能電池襯底、半導(dǎo)體襯底或其他有用的襯底。在一個(gè)構(gòu)造中，晶片鋸切系統(tǒng)被構(gòu)造為接收晶體硅(C-Si)鑄塊并且執(zhí)行用于形成清潔并干燥的襯底所需的全部處理步驟。為了討論的簡(jiǎn)單并且避免混亂，術(shù)語(yǔ)鑄塊將會(huì)被用在這里以廣義地表示可以在晶片鋸切系統(tǒng)中鋸切的更大的塊或者未被切割的元件。圖15是晶片鋸切系統(tǒng)100的立體圖，晶片鋸切系統(tǒng)100具有布置在中心傳送室125上并且/或者與中心傳送室125連接的多個(gè)線鋸切室300。每個(gè)鋸切室可以具有至少一個(gè)(通常精確地為一個(gè))如這里(特別是參照?qǐng)D14)所描述的線鋸I。在一個(gè)示例中，為了改善產(chǎn)量和室正常運(yùn)行的考慮，晶片鋸切系統(tǒng)100具有可以對(duì)鑄塊獨(dú)立地進(jìn)行鋸切的至少六個(gè)線鋸切室300。然而，可以使用數(shù)目更少或更多的線鋸切室300。晶片鋸切系統(tǒng)100通常包括輸入模塊102、中心傳送室125、中心機(jī)器人120、輸出模塊110、系統(tǒng)控制器128和布置在形成于中心傳送室125上的多個(gè)處理位置103-108處的多個(gè)線鋸切室300。在一個(gè)實(shí)施例中，線鋸切室300都被安裝到中心傳送室125上或者與中心傳送室125連接。線鋸切室300通常被安裝到中心傳送室125上或與中心傳送室125連接，使得線鋸切室300都被相對(duì)于彼此以及中心傳送室125振動(dòng)隔離，以避免在鋸切期間產(chǎn)生振動(dòng)而影響在一個(gè)另外的相鄰室中的晶片鋸切處理。圖16是機(jī)器人裝置(例如，中心機(jī)器人120)的立體圖，機(jī)器人裝置可以被連接到中心傳送室125，以傳送來(lái)自于布置在晶片鋸切系統(tǒng)100中的各種類型的處理室中的未被處理的和已被處理的鑄塊。在處理期間，未被切割的鑄塊被中心機(jī)器人120從輸入模塊102通過傳送區(qū)域而傳送到線鋸切室300中的一者。之后，在線鋸切室300中被鋸切之后，經(jīng)鋸切的鑄塊被傳送到輸出模塊110。在一個(gè)實(shí)施例中，清洗站(未示出)(例如，圖17中的附圖標(biāo)記209)被布置在處理位置103-108中的一者處，并且被用來(lái)在經(jīng)鋸切的鑄塊由中心機(jī)器人120傳送到輸出模塊110之前，從經(jīng)鋸切的鑄塊清潔掉漿液材料。中心機(jī)器人120通常包括常規(guī)的機(jī)器人裝置，諸如SCARA機(jī)器人或如圖6所示的六軸機(jī)器人，機(jī)器人裝置具有能夠從晶片鋸切系統(tǒng)100中的一個(gè)室拾取鑄塊并將鑄塊傳送到下一個(gè)室的至少一個(gè)終端受動(dòng)器(end-effector) 121、122。在一個(gè)實(shí)施例中，中心機(jī)器人120具有至少兩個(gè)終端受動(dòng)器121和122，它們可以被用來(lái)將鑄塊傳送通過晶片鋸切系統(tǒng)100。在該構(gòu)造中，第一終端受動(dòng)器121可以被用來(lái)從輸入模塊102接收未被切割的鑄塊(例如，清潔和干燥的塊)，并且第二終端受動(dòng)器122可以被用來(lái)將經(jīng)鋸切的鑄塊(例如，濕潤(rùn)、不干凈并且易碎的元件)從線鋸切室300傳送到輸出模塊110。第二終端受動(dòng)器122可以包括被連接到終端受動(dòng)器122的支撐托盤元件(例如，柔性刷狀元件(未示出))，以在傳送處理期間支撐易碎的切割晶片或襯底。在一個(gè)實(shí)施例中，終端受動(dòng)器121和122的一部分被構(gòu)造為與安裝板376 (圖4)接合，在安裝板上安裝了鑄塊317，以確保將未切割以及經(jīng)鋸切的鑄塊可靠地傳送通過晶片鋸切系統(tǒng)100。輸入模塊102可以一般包括被構(gòu)造為接收已經(jīng)被結(jié)合到安裝板376的未切割型的鑄塊317的一個(gè)或多個(gè)存儲(chǔ)架(未示出)。在一個(gè)實(shí)施例中，安裝板376包括陶瓷材料，其具有形成在其中的多個(gè)通道(未示出)，以在已經(jīng)于鑄塊317上執(zhí)行晶片鋸切處理期間和/或之后允許熱交換流體和/或沖洗流體在其中流動(dòng)。輸出模塊110 —般包括被構(gòu)造為在已經(jīng)于鑄塊317上執(zhí)行晶片鋸切處理之后接收鑄塊317和安裝板376的一個(gè)或多個(gè)存儲(chǔ)架(未示出)。輸出模塊110也可以包括沖洗裝置(例如，DI (去離子)水供應(yīng)系統(tǒng))或沖洗站，沖洗裝置或沖洗站能夠保持經(jīng)鋸切的鑄塊濕潤(rùn)，以使得用在鋸切處理中的漿液不會(huì)在經(jīng)處理的鑄塊上變干。在一個(gè)實(shí)施例中，輸出模塊110可以包括對(duì)經(jīng)鋸切的鑄塊進(jìn)行清潔以移除在所形成的襯底表面上發(fā)現(xiàn)的任何污染物的沖
洗裝置/系統(tǒng)。一般來(lái)說，系統(tǒng)控制器128被用來(lái)控制一個(gè)或多個(gè)部件和在晶片鋸切系統(tǒng)中執(zhí)行的處理。系統(tǒng)控制器128 —般被設(shè)計(jì)為有助于晶片鋸切系統(tǒng)的控制和自動(dòng)操作，并且特別包括中央處理單元(CPU)(未示出)、存儲(chǔ)器(未示出)和支持電路(I/O)(未示出)。CPU可以是用在工業(yè)設(shè)置中的任何形式的計(jì)算機(jī)處理器中的一者，以控制各種系統(tǒng)功能、襯底移動(dòng)、室處理、處理定時(shí)和支持硬件(例如傳感器、機(jī)器人、電機(jī)、定式裝置等)以及監(jiān)視處理(例如化學(xué)濃度、處理變量、室處理時(shí)間、I/O信號(hào)等)。存儲(chǔ)器被連接到CPU，并且可以是一種或多種容易獲得的存儲(chǔ)器，諸如隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(RAM)、只讀存儲(chǔ)器(ROM)、軟盤、硬盤或本地或遠(yuǎn)程的任何其他形式的數(shù)字存儲(chǔ)器。軟件命令和數(shù)據(jù)可以被編碼和存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中，以指示CPU。支持電路也被連接到CPU,來(lái)以常規(guī)的方式支持處理器。支持電路可以包括高速緩存、電源、時(shí)鐘電路、輸入/輸出電路、子系統(tǒng)等。可以由系統(tǒng)控制器128讀取的程序或計(jì)算機(jī)指令判斷可以在襯底上執(zhí)行什么任務(wù)。優(yōu)選地，程序是可以由系統(tǒng)控制器128讀取的軟件，軟件包括執(zhí)行與移動(dòng)的監(jiān)視、執(zhí)行和控制、支持、以及/或者鑄塊在晶片鋸切系統(tǒng)中的定位有關(guān)的任務(wù)，以及在晶片鋸切系統(tǒng)中的每個(gè)線鋸切室300中執(zhí)行的各種晶片鋸切方案任務(wù)以及各種晶片鋸切室處理方案步驟。圖17是直線式晶片鋸切系統(tǒng)200的立體圖，該系統(tǒng)具有布置在傳送室225上并且/或者與傳送室225連接的多個(gè)線鋸切室300。一般來(lái)說，任何數(shù)目的線鋸切室300可以被布置在線性機(jī)器人220的任一側(cè)，以實(shí)現(xiàn)期望的系統(tǒng)產(chǎn)量。在一個(gè)示例中，為了改善系統(tǒng)產(chǎn)量和室可利用性的考慮，晶片鋸切系統(tǒng)200具有布置在傳送室225的一側(cè)或者均勻地布置在傳送室225的兩側(cè)上的至少六個(gè)線鋸切室300。然而，可以使用更少或更多的線鋸切室300。晶片鋸切系統(tǒng)200 —般包括輸入模塊202、傳送室225、線性機(jī)器人220、輸出模塊210、系統(tǒng)控制器128和布置在形成于傳送室225上的多個(gè)處理位置203-206和212-215處的多個(gè)線鋸切室300。在一個(gè)實(shí)施例中，線鋸切室300都被安裝或連接到傳送室225。線鋸切室300通常被安裝到傳送室225上或與傳送室225連接，使得線鋸切室300都被如上所述地相對(duì)于彼此以及中心傳送室125振動(dòng)隔離。輸入模塊202和輸出模塊210 —般分別類似于如上所述的輸入模塊120和輸出模塊110，并且因此在這里不進(jìn)一步討論。線性機(jī)器人220被用來(lái)將未切割的鑄塊從輸入模塊202傳送到線鋸切室300的一者中，并且之后在執(zhí)行鋸切處理之后，經(jīng)鋸切的鑄塊被傳送到清洗站209或者輸出模塊210。在一個(gè)實(shí)施例中，清洗站209用來(lái)在經(jīng)鋸切的鑄塊由線性機(jī)器人220傳送到輸出模塊210之前從經(jīng)鋸切的鑄塊清潔漿液材料并對(duì)該鋸切的鑄塊進(jìn)行干燥。機(jī)器人220通常包括常規(guī)的機(jī)器人裝置，諸如SCARA機(jī)器人或六軸機(jī)器人，其被構(gòu)造為沿著軌道221 (即，圖2中的方向“M”)移動(dòng)，軌道221被布置在橫跨線性機(jī)器人220的長(zhǎng)度的傳送區(qū)域中。一般來(lái)說，線性機(jī)器人220至少具有一個(gè)終端受動(dòng)器(未示出)，諸如上文討論的終端受動(dòng)器121、122，他們能夠?qū)㈣T塊從一個(gè)室拾取并傳送到晶片鋸切系統(tǒng)200中的下一個(gè)室。雖然上文涉及本發(fā)明的實(shí)施例，但是可以在不背離基本范圍的情況下得出本發(fā)明的其他和另外的實(shí)施例，并且本發(fā)明的范圍由權(quán)利要求確定。
權(quán)利要求1.一種夾具組件，其用于連接到用于切割晶片的線鋸的圓柱形線引導(dǎo)件(321)，其特征是，所述夾具組件包括: 軸側(cè)連接器(50、502、505)，其適合于連接到線鋸的軸，所述軸具有旋轉(zhuǎn)軸線(10)，其中，所述軸側(cè)連接器(50、502、505)包括: 外表面(30)，其與所述軸線(10)垂直并且適合于抵靠所述線引導(dǎo)件(321)的互補(bǔ)連接器(51、503、504)的互補(bǔ)外表面(31)，以及 在所述外表面(30 )與所述軸線(10 )之間的錐表面(40 )，所述錐表面(40 )被繞所述軸線(10 )對(duì)稱地布置并且適合于抵靠所述線弓I導(dǎo)件的互補(bǔ)表面(41)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具組件，其特征是，所述外表面(30)是平面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具組件，其特征是， 所述外表面(30)與所述錐表面(40)相鄰。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具組件，其特征是，所述外表面(30)是環(huán)形成形的。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具組件，其特征是， 所述外表面(30)的一部分被定位在從所述軸線(10)到所述軸側(cè)連接器(502、505)的徑向外邊緣(90)的距離的至少65%、70%、75%或80%的距離處。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具組件，其特征是， 所述軸側(cè)連接器(50)的所述錐表面(40)包括可變形材料。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具組件，其特征是， 所述錐表面(40)包括1、2、3、或4個(gè)錐部分。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具組件，其特征是， 所述軸側(cè)連接器(50)是中空的。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具組件，其特征是，所述軸側(cè)連接器(50、502、505)是母連接器。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具組件，其特征是，所述夾具組件還包括 保持機(jī)構(gòu)(70、71)，其從液壓系統(tǒng)、氣壓系統(tǒng)、螺紋件或這些項(xiàng)的組合中選擇。
11.根據(jù)任何在先權(quán)利要求所述的夾具組件，其特征是，所述夾具組件還包括 所述軸被連接到所述軸側(cè)連接器。
12.—種夾具組件，其用于將圓柱形線引導(dǎo)件(321)連接到線鋸的軸，所述線鋸適合于切割晶片，其特征是 所述軸具有旋轉(zhuǎn)軸線(10)， 所述夾具組件包括: 外表面(31)，其與所述軸線(10)垂直并且適合于抵靠所述軸的互補(bǔ)連接器(50、503、504)的互補(bǔ)外表面(30)，以及 在所述外表面(30 )與所述軸線(10 )之間的錐表面(40 )，所述錐表面(40 )被繞所述軸線(10 )對(duì)稱地布置，并且適合于抵靠所述互補(bǔ)連接器(50 )的互補(bǔ)表面(40 )。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的夾具組件，其特征是 所述錐表面(40 )被安裝到所述線引導(dǎo)件(321)。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的夾具組件，其特征是，所述外表面(30)與所述錐表面(40)相鄰。
15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的夾具組件，其特征是 所述圓柱形線引導(dǎo)件(321)包括碳纖維加強(qiáng)的聚合物部分(100)。
16.根據(jù)權(quán)利要求12所述的夾具組件，其特征是 所述外表面(30)是環(huán)形成形的。
17.根據(jù)權(quán)利要求12所述的夾具組件，其特征是，所述外表面(30)包括1、2、3或4個(gè)部分。
18.—種線鋸，其特征是，所述線鋸具有根據(jù)權(quán)利要求1-17中任意一項(xiàng)所述的至少一個(gè)夾具組件。
19.一種晶片鋸切系統(tǒng)，其特征是，所述晶片鋸切系統(tǒng)包括: 鑄塊輸入模塊； 鑄塊輸出模塊； 兩個(gè)或更多個(gè)線鋸切室，每個(gè)鋸切室包括: 兩個(gè)線引導(dǎo)圓筒，其中，所述線引導(dǎo)圓筒中的至少一者由根據(jù)權(quán)利要求1-17中任意一項(xiàng)所述的夾具組件夾??； 至少一個(gè)線，其被布置為橫跨兩個(gè)所述線引導(dǎo)圓筒； 支撐臺(tái)，其被構(gòu)造為接收單個(gè)鑄塊；以及 鑄塊定位系統(tǒng)，其被構(gòu)造為將布置在所述支撐臺(tái)上的所述單個(gè)鑄塊向所述至少一個(gè)線推動(dòng)；以及 機(jī)器人，其被構(gòu)造為將所述單個(gè)鑄塊在所述鑄塊輸入模塊、所述兩個(gè)或更多個(gè)線鋸切室的至少一者以及所述鑄塊輸出室之間傳送。
專利摘要本實(shí)用新型涉及用于線鋸的線引導(dǎo)件的夾具組件、線鋸和晶片鋸切系統(tǒng)。公開了一種夾具組件，其用于連接到用于切割晶片的線鋸的圓柱形線引導(dǎo)件。公開了軸側(cè)連接器，其適合于連接到線鋸的軸，該軸具有旋轉(zhuǎn)軸線。軸側(cè)連接器包括外表面，其與軸線垂直并且適合于抵靠線引導(dǎo)件的互補(bǔ)連接器的互補(bǔ)外表面。錐表面在外表面與軸線之間，錐表面被繞軸線對(duì)稱地布置，并且適合于抵靠線引導(dǎo)件的互補(bǔ)表面。
文檔編號(hào)B28D5/04GK203062971SQ201220546860
公開日2013年7月17日 申請(qǐng)日期2012年10月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月22日
發(fā)明者安德烈亞斯·施密特, 紀(jì)堯姆·麥卡, 亞歷山大·米塔茲 申請(qǐng)人:應(yīng)用材料瑞士有限責(zé)任公司