專利名稱：一種防震不易變形的晶圓切割機(jī)底座結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及晶圓切割機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種防震不易變形的晶圓切割機(jī)底座結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
晶圓切割機(jī)又稱為劃片機(jī)，主要用于半導(dǎo)體行業(yè)中將硅片及各類陶瓷材料的切割成小塊，晶圓切割機(jī)通過(guò)配備底座、精密直線導(dǎo)軌和高精密主軸等精密部件，保證晶圓切割機(jī)在生產(chǎn)中所需要的精度。現(xiàn)有的晶圓切割機(jī)的底座一般采用鑄鐵或鋼材制成，這種由鑄鐵或鋼材制成的底座存在溫度影響而變形、減震和防震效果不理想等缺陷，需要進(jìn)一步改進(jìn)。
發(fā)明內(nèi)容為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種能夠有效防震、不易受溫度影響而變形的防震不易變形的晶圓切割機(jī)底座結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型為達(dá)到上述技術(shù)目的所采用的技術(shù)方案是一種防震不易變形的晶圓切割機(jī)底座結(jié)構(gòu)，其包括設(shè)于晶圓切割機(jī)中的底座，所述底座上設(shè)有用于固定晶圓切割機(jī)X軸、Y軸精密直線導(dǎo)軌的導(dǎo)軌安裝凸臺(tái)，所述導(dǎo)軌安裝凸臺(tái)上設(shè)有精密直線導(dǎo)軌固定孔，所述底座為由人造花崗巖或人造大理石制成的一體式底座。所述底座的厚度為80mm以上。本實(shí)用新型的有益效果是采用上述結(jié)構(gòu)，將晶圓切割機(jī)底座改為由人造花崗巖或人造大理石制成的一體式底座，人造花崗巖或人造大理石的溫差系數(shù)低、不容易變形，人造花崗巖或人造大理石的防震性能優(yōu)越，有利于提高晶圓切割機(jī)的穩(wěn)定性和加工精度。
以下結(jié)合附圖
和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。其中圖I是本實(shí)用新型防震不易變形的晶圓切割機(jī)底座結(jié)構(gòu)的示意圖。
具體實(shí)施方式
為詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征、所實(shí)現(xiàn)目的及效果，以下結(jié)合實(shí)施方式并配合附圖詳予說(shuō)明。請(qǐng)參閱圖I所不，本實(shí)用新型防震不易變形的晶圓切割機(jī)底座結(jié)構(gòu)包括設(shè)于晶圓切割機(jī)中的底座1，所述底座I上設(shè)有用于固定晶圓切割機(jī)X軸、Y軸精密直線導(dǎo)軌的導(dǎo)軌安裝凸臺(tái)11，所述導(dǎo)軌安裝凸臺(tái)11上設(shè)有精密直線導(dǎo)軌固定孔，所述底座I為由人造花崗巖或人造大理石制成的一體式底座。所述底座I的厚度為80mm以上。以上所述僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的專利范圍，凡是利用本實(shí)用新型說(shuō)明書(shū)及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種防震不易變形的晶圓切割機(jī)底座結(jié)構(gòu)，其特征在于包括設(shè)于晶圓切割機(jī)中的底座，所述底座上設(shè)有用于固定晶圓切割機(jī)X軸、Y軸精密直線導(dǎo)軌的導(dǎo)軌安裝凸臺(tái)，所述導(dǎo)軌安裝凸臺(tái)上設(shè)有精密直線導(dǎo)軌固定孔，所述底座為由人造花崗巖或人造大理石制成的一體式底座。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種防震不易變形的晶圓切割機(jī)底座結(jié)構(gòu)，其特征在于所述底座的厚度為80mm以上。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種防震不易變形的晶圓切割機(jī)底座結(jié)構(gòu)，其包括設(shè)于晶圓切割機(jī)中的底座，所述底座上設(shè)有用于固定晶圓切割機(jī)X軸、Y軸精密直線導(dǎo)軌的導(dǎo)軌安裝凸臺(tái)，所述導(dǎo)軌安裝凸臺(tái)上設(shè)有精密直線導(dǎo)軌固定孔，所述底座為由人造花崗巖或人造大理石制成的一體式底座；本實(shí)用新型將晶圓切割機(jī)底座改為由人造花崗巖或人造大理石制成的一體式底座，人造花崗巖或人造大理石的溫差系數(shù)低、不容易變形，人造花崗巖或人造大理石的防震性能優(yōu)越，有利于提高晶圓切割機(jī)的穩(wěn)定性和加工精度。
文檔編號(hào)B28D5/00GK202727130SQ201220333639
公開(kāi)日2013年2月13日 申請(qǐng)日期2012年7月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月11日
發(fā)明者李建文 申請(qǐng)人:福州勝憶電子科技有限公司