專利名稱：一種金剛石線切割硅片脫膠新型裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種清洗工裝具，尤其是涉及一種用于金剛石線切割硅片脫膠清洗的新型裝置。
背景技術(shù)：
目前在太陽能級單晶硅片切割中，一種新型的金剛石線切割技術(shù)正在取代傳統(tǒng)的砂漿切割技術(shù)，新型的金剛石線切割技術(shù)有硅片精度控制好、硅片損傷層小、切割成本低以及高效環(huán)保等多優(yōu)勢，目前國內(nèi)外太陽能切片企業(yè)都在積極開發(fā)該切割技術(shù)。然而新型的金剛石切割技術(shù)是通過普通鋼線上電鍍一層金剛石顆粒，通過金剛石顆粒的高效切削能力來切割硅片，這種切割方式切削效率是傳統(tǒng)砂漿切割能力的2-3倍，同時由于金剛石線高效的切割速度造成切割過程中硅棒的受力大，切割過程中片比例高，這就需要在粘棒的
工藝中采用固化能力更強的粘棒膠體。由于粘棒膠體的硬度高，脫膠時間一般在25-30min，這大大增加硅片的脫膠清洗時間。

實用新型內(nèi)容針對上述現(xiàn)有技術(shù)中金剛石線切割硅片脫膠時間長，清洗不方便的問題，本實用新型提供了一種不僅可縮短脫膠時間在10分鐘以上，提高硅片的產(chǎn)出效率，而且還可以降低硅片脫膠溫度，提高硅片的表面質(zhì)量的脫膠新型裝置。本實用新型要解決的技術(shù)問題所采取的技術(shù)方案是所述一種金剛石線切割硅片脫膠新型裝置包括設(shè)置在槽體內(nèi)底部的加熱器、設(shè)置在槽體內(nèi)并裝有硅片的工裝上支架和工裝下支架，在工裝下支架下部設(shè)置有起泡裝置，所述起泡裝置包括與進氣管相連的起泡管，在起泡管上間隔設(shè)置有起泡孔。本實用新型通過在脫膠工裝中的水槽體內(nèi)加入起泡裝置，使水槽體中產(chǎn)生適量的氣泡，氣泡的流動可以使清洗槽上層的溫度和底部保持一致，使得硅片粘膠部分水體溫度和水槽底部加熱區(qū)域溫度保持一致；同時由于氣泡的沖擊作用使硅片表面的膠體很容易在外力的帶動下脫離。本實用新型不僅縮短了硅片脫膠的時間，脫膠時間縮短了 10分鐘以上，提高了脫膠生產(chǎn)效率，同時還可以通過降低脫膠的溫度來提高硅片表面質(zhì)量。

圖I是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。在圖中，I、槽體2、加熱器 3、排水閥4、工裝下支架 5、起泡孔6、起泡管7、進氣管8、氣控閥9、硅片10、工裝上支架。
具體實施方式
將處理好的晶體硅棒裝入切片機，固定好晶棒位置，預機循環(huán)；熱機結(jié)束后，進行硅片切割，其中臺速控制在0. 3 0.9mm/min，線速度控制在60(Tl500m/s采用雙向切割工藝；切割結(jié)束后，停機、下棒，硅片待清洗；將下的硅片放入預清洗槽，除去硅片表面的硅粉和切削液；如圖I所示，將沖洗好的硅片連同工裝放入硅片脫膠用的槽體I內(nèi)，槽體內(nèi)底部設(shè)置有加熱器2、加熱器為電加熱，在槽體內(nèi)裝有工裝上支架10和工裝下支架4，工裝上支架與工裝下支架之間裝有硅片9，在槽 體底部裝有用于清洗槽體的排水閥3，在工裝下支架下部設(shè)置有起泡裝置，所述起泡裝置包括與進氣管7 —端相連的起泡管6，在起泡管上(上圓弧面上)間隔設(shè)置有起泡孔5，起泡孔為圓孔，起泡孔也可以是方孔、腰形孔等，進氣管另一端裝有氣控閥8并與氣源相連，起泡管直徑控制在10-20mm，在起泡管管壁上等距離打入起泡孔，其孔徑控制在2-4mm，起泡管一端或兩端接入進氣管7，氣體可以是空氣，氮氣等，氣體的流量可以通過控制其他閥門直接控制。起泡的頻率通過調(diào)節(jié)氣體的壓力來控制，槽體通過電加熱來控制水體溫度，目標溫度控制60 0C ,脫膠時間10-15min，將脫膠好的硅片再進行硅片清洗、分選和包裝。
權(quán)利要求1. 一種金剛石線切割硅片脫膠新型裝置，它包括設(shè)置在槽體(I)內(nèi)底部的加熱器(2)、設(shè)置在槽體內(nèi)并 裝有硅片(9)的工裝上支架(10)和工裝下支架(4)，其特征是在工裝下支架下部設(shè)置有起泡裝置，所述起泡裝置包括與進氣管(7)相連的起泡管(6)，在起泡管上間隔設(shè)置有起泡孔(5)。
專利摘要本實用新型公開了一種金剛石線切割硅片脫膠新型裝置，它包括設(shè)置在槽體(1)內(nèi)底部的加熱器(2)、設(shè)置在槽體內(nèi)并裝有硅片(9)的工裝上支架(10)和工裝下支架(4)，在工裝下支架下部設(shè)置有起泡裝置，所述起泡裝置包括與進氣管(7)相連的起泡管(6)，在起泡管上間隔設(shè)置有起泡孔(5)。本實用新型通過在脫膠工裝中的水槽體內(nèi)加入起泡裝置，使水槽體中產(chǎn)生(適量)的氣泡，氣泡的流動可以使清洗槽上層的溫度和底部保持一致,使得硅片粘膠部分水體溫度和水槽底部加熱區(qū)域溫度保持一致。同時由于氣泡的沖擊作用硅片表面的膠體很容易在外力的帶動下脫離。它不僅縮短了硅片脫膠的時間，脫膠時間縮短了10分鐘以上，提高了脫膠生產(chǎn)效率。
文檔編號B28D5/04GK202507414SQ20122013836
公開日2012年10月31日 申請日期2012年4月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月5日
發(fā)明者于景, 俞建業(yè), 廖芳, 李畢武 申請人:江西金葵能源科技有限公司