專(zhuān)利名稱(chēng)：自動(dòng)蝕刻減薄裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對(duì)玻璃基板進(jìn)行蝕刻減薄的設(shè)備，尤其涉及一種自動(dòng)蝕刻減薄裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)在的顯示器正致力于向更輕、更薄的方向發(fā)展。這些顯示器包括平板顯示器 (簡(jiǎn)稱(chēng)FPD)，其中，F(xiàn)PD包括電致發(fā)光顯示器(ELD)、液晶顯示器(IXD)和等離子顯示器 (PDP)。玻璃基板是FPD中的重要部件，其重量與厚度直接決定著顯示器的重量與厚度。為了減小玻璃基板的厚度，使其達(dá)到預(yù)定的厚度，一般工藝是將玻璃基板浸入蝕 刻液中進(jìn)行蝕刻，再經(jīng)過(guò)拋光等工藝達(dá)到減薄的效果。而傳統(tǒng)的、用于對(duì)玻璃基板進(jìn)行蝕刻 的減薄設(shè)備，一般包括入料口、蝕刻池、檢測(cè)處、出料口。其中，入料口用于將待減薄的玻璃 基板送入蝕刻池；蝕刻池中置有蝕刻液，用于對(duì)玻璃基板進(jìn)行蝕刻和清洗；檢測(cè)處用于在 蝕刻過(guò)程中對(duì)玻璃基板的厚度進(jìn)行檢測(cè)；出料口則是將蝕刻完成的玻璃進(jìn)行清洗、烘干并 送出的設(shè)備。在傳統(tǒng)的減薄設(shè)備及方法中，無(wú)論是入料、檢測(cè)、還是出料，都需要技術(shù)人員現(xiàn)場(chǎng) 操作，且一般經(jīng)過(guò)入料、檢測(cè)后，如果厚度未達(dá)標(biāo)，需要再入料、再檢測(cè)這樣的循環(huán)操作，費(fèi) 時(shí)費(fèi)力，生產(chǎn)效率不高。由于蝕刻中用到的蝕刻液是一種具有強(qiáng)腐蝕性的酸性溶液，對(duì)生產(chǎn) 環(huán)境和操作員具有一定的危害，所以傳統(tǒng)的減薄設(shè)備及方法不利于環(huán)境保護(hù)及操作人員的 身體健康。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，提供一種自動(dòng)蝕刻減薄裝 置，能夠?qū)ΣＡЩ暹M(jìn)行自動(dòng)減薄處理，減少人工操作。本發(fā)明提供的一種自動(dòng)蝕刻減薄裝置，包括減薄處理器，具有自動(dòng)入料分配臺(tái)、蝕刻機(jī)、自動(dòng)出料臺(tái)，所述蝕刻機(jī)具有至少一 個(gè)減薄處理位，所述自動(dòng)入料分配臺(tái)將物料自動(dòng)輸送至設(shè)定的減薄處理位，所述減薄處理 位對(duì)物料進(jìn)行減薄處理，所述自動(dòng)出料臺(tái)將經(jīng)過(guò)減薄處理的物料輸送至出料位；檢測(cè)臺(tái)，支撐并輸送經(jīng)減薄處理器處理的物料；后處理器，包括入料輸送臺(tái)、處理機(jī)、出料輸送臺(tái)，對(duì)檢測(cè)臺(tái)輸送來(lái)的物料進(jìn)行清 洗、噴淋、烘干處理。優(yōu)選地，還包括吊車(chē)、提手、吊籃以及控制器，所述吊車(chē)與提手連接，所述控制器設(shè) 有吊車(chē)控制單元，控制所述吊車(chē)抓取并移動(dòng)吊籃。優(yōu)選地，所述蝕刻機(jī)具有至少兩個(gè)減薄處理位，每一減薄處理位依次包括一次清 洗單元、蝕刻單元、二次清洗單元、噴淋單元。優(yōu)選地，所述自動(dòng)入料分配臺(tái)設(shè)有自動(dòng)輸送臺(tái)、自動(dòng)入料門(mén)，所述自動(dòng)出料臺(tái)設(shè)有 自動(dòng)輸送臺(tái)以及自動(dòng)出料門(mén)。
優(yōu)選地，所述處理機(jī)包括依次設(shè)置的堿洗單元、噴淋單元、水洗單元、慢提單元、烘 干單元。優(yōu)選地，所述堿洗單元包括一次堿洗單元、二次堿洗單元，所述水洗單元包括一次 水洗單元、二次水洗單元。優(yōu)選地，所述控制器還包括減薄處理控制單元，控制自動(dòng)入料分配臺(tái)以及自動(dòng)出 料臺(tái)沿水平方向的移動(dòng)以及自動(dòng)入料門(mén)、自動(dòng)出料門(mén)的開(kāi)合。優(yōu)選地，所述自動(dòng)入料門(mén)、自動(dòng)出料門(mén)分別設(shè)有紅外感應(yīng)器，所述紅外感應(yīng)器與所 述減薄處理控制單元電性連接。優(yōu)選地，所述控制器還包括后處理控制單元，控制入料運(yùn)輸臺(tái)中的進(jìn)料門(mén)的開(kāi)合、 出料運(yùn)輸臺(tái)的出料門(mén)的開(kāi)合。優(yōu)選地，所述控制器還包括返蝕刻控制單元，按照設(shè)定的指令將物料從檢測(cè)臺(tái)經(jīng) 由自動(dòng)出料臺(tái)送至蝕刻機(jī)中重新進(jìn)行減薄處理。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的自動(dòng)蝕刻減薄裝置由于設(shè)置減薄處理器、檢測(cè)臺(tái)、后處 理器，通過(guò)減薄處理器的自動(dòng)入料分配臺(tái)、蝕刻機(jī)、自動(dòng)出料臺(tái)，對(duì)物料進(jìn)行減薄處理，而后 送至檢測(cè)臺(tái)等待檢測(cè)，經(jīng)檢測(cè)到達(dá)預(yù)定厚度的，則送入后處理器，如沒(méi)有達(dá)到預(yù)定厚度，則 從自動(dòng)出料臺(tái)進(jìn)入蝕刻機(jī)中返減薄處理；后處理器通過(guò)其設(shè)置的入料運(yùn)輸臺(tái)、處理機(jī)、出料 運(yùn)輸臺(tái)，對(duì)檢測(cè)臺(tái)輸送來(lái)的物料進(jìn)行清洗、噴淋、烘干處理。由于自動(dòng)入料分配臺(tái)、自動(dòng)出料 臺(tái)、檢測(cè)臺(tái)、入料運(yùn)輸臺(tái)、出料運(yùn)輸臺(tái)的設(shè)置，整個(gè)處理過(guò)程中，操作人員只需檢測(cè)檢測(cè)臺(tái)上 的經(jīng)減薄處理的物料是否達(dá)到預(yù)定厚度即可，因而，利用本發(fā)明的自動(dòng)蝕刻減薄裝置能夠 極大程度地減少操作人員直接操作，在蝕刻過(guò)程減少操作人員搬運(yùn)的動(dòng)作，降低操作人員 的勞動(dòng)強(qiáng)度，而且減少了蝕刻液對(duì)操作人員的身體健康的危害。


圖1為本發(fā)明自動(dòng)蝕刻減薄裝置一優(yōu)選實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案、效果更加清楚，下面結(jié)合附圖和一優(yōu)選實(shí)施例對(duì)本 發(fā)明的自動(dòng)蝕刻減薄裝置進(jìn)一步描述。參見(jiàn)圖1，本發(fā)明的自動(dòng)蝕刻減薄裝置包括減薄處理器，具有進(jìn)料臺(tái)1、自動(dòng)入料分配臺(tái)2、蝕刻機(jī)3、自動(dòng)出料臺(tái)4。本發(fā)明中 的蝕刻機(jī)具有兩個(gè)減薄處理位3A、3B，自動(dòng)入料分配臺(tái)將物料自動(dòng)輸送至設(shè)定的減薄處理 位，減薄處理位對(duì)物料進(jìn)行減薄處理，自動(dòng)出料臺(tái)4將從減薄處理位3A JB出來(lái)的物料輸送 至出料位4A ；檢測(cè)臺(tái)5，支撐并輸送經(jīng)減薄處理器處理的物料；后處理器，包括入料運(yùn)輸臺(tái)6、處理機(jī)7、出料運(yùn)輸臺(tái)8，對(duì)檢測(cè)臺(tái)5輸送來(lái)的物料進(jìn) 行清洗、噴淋、烘干處理。本發(fā)明的自動(dòng)蝕刻減薄裝置還包括吊車(chē)、提手、吊籃以及控制器(圖中均未示 出)，吊車(chē)與提手連接，吊籃中放置物料，控制器設(shè)有吊車(chē)控制單元，控制吊車(chē)移動(dòng)提手，提 手抓取并移動(dòng)吊籃至進(jìn)料臺(tái)，進(jìn)料臺(tái)將物料輸送至自動(dòng)入料分配臺(tái)。其中，提手包括入料提手、減薄處理提手、出料提手，分別用于在相應(yīng)過(guò)程中抓取吊籃。每一減薄處理位從進(jìn)料到出料方向依次包括一次清洗單元、一次蝕刻單元、二次 蝕刻單元、二次清洗單元、三次清洗單元、噴淋單元。其中，一次清洗單元、二次清洗單元、三 次清洗單元均采取DI水對(duì)物料進(jìn)行清洗，一次蝕刻單元、二次蝕刻單元均采取HF (氫氟酸) 液對(duì)物料進(jìn)行蝕刻、減薄；噴淋單元采取DI水對(duì)物料進(jìn)行噴淋。其中，自動(dòng)入料分配臺(tái)設(shè)有自動(dòng)輸送臺(tái)、自動(dòng)入料門(mén)，自動(dòng)出料臺(tái)設(shè)有自動(dòng)輸送臺(tái) 以及自動(dòng)出料門(mén)。其中，處理機(jī)包括依次設(shè)置的堿洗單元、噴淋單元、水洗單元、慢提單元、烘干單 元。堿洗單元采用堿液對(duì)物料進(jìn)行清洗，包括一次堿洗單元、二次堿洗單元；噴淋單元采用 DI水對(duì)物料進(jìn)行噴淋；水洗單元采用DI水對(duì)物料進(jìn)行清洗，包括一次水洗單元、二次水洗 單元；烘干單元對(duì)經(jīng)過(guò)水洗的物料進(jìn)行干燥，為出料準(zhǔn)備，包括一次烘干單元、二次烘干單元。其中，控制器還包括減薄處理控制單元，控制自動(dòng)入料分配臺(tái)以及自動(dòng)出料臺(tái)沿 水平方向的移動(dòng)以及自動(dòng)入料門(mén)、自動(dòng)出料門(mén)的開(kāi)合。其中，自動(dòng)入料門(mén)、自動(dòng)出料門(mén)分別設(shè)有紅外感應(yīng)器，獲取吊籃的信號(hào)后，發(fā)送信 號(hào)至控制器的減薄處理控制單元，控制器發(fā)出開(kāi)閉門(mén)指令，自動(dòng)入料門(mén)、自動(dòng)出料門(mén)打開(kāi)或 閉合。其中，控制器還包括后處理控制單元，控制后處理器中自動(dòng)進(jìn)料臺(tái)的進(jìn)料門(mén)的開(kāi) 合、自動(dòng)送料臺(tái)的出料門(mén)的開(kāi)合。其中，控制器還包括返蝕刻控制單元，按照設(shè)定的指令，發(fā)出控制指令至吊車(chē)，吊 車(chē)通過(guò)提手將物料從檢測(cè)臺(tái)經(jīng)由自動(dòng)出料臺(tái)送至蝕刻機(jī)中重新進(jìn)行減薄處理。其中，本發(fā)明的自動(dòng)蝕刻減薄裝置還設(shè)有屏風(fēng)9。其中，本發(fā)明的自動(dòng)蝕刻減薄裝置設(shè)有一操作臺(tái)(圖中未示出)，通過(guò)此操作臺(tái)上 的各種按鈕向控制器輸入控制請(qǐng)求，各種按鈕還設(shè)有相應(yīng)的指示燈，指示燈亮?xí)r，表示相應(yīng) 的按鈕所代表的操作正在進(jìn)行。本發(fā)明的自動(dòng)蝕刻減薄裝置的工作過(guò)程如下自動(dòng)入料本過(guò)程可手動(dòng)或自動(dòng)操作。選擇手動(dòng)時(shí)，按下操作臺(tái)的按鈕后各自執(zhí)行動(dòng)作，此時(shí)中間按鈕的指示燈亮。按自動(dòng)時(shí)，中間按鈕指示燈滅，入料提手自動(dòng)對(duì)位，對(duì)位完畢后入料提手保持在中 間位置，入料提手下行到下限位待機(jī)；此時(shí)，將裝有玻璃基板的吊籃放到固定位置，放置好 吊籃后，按動(dòng)操作臺(tái)上的“后”鍵，入料提手自動(dòng)前行提吊籃，而后將其移放到進(jìn)料臺(tái)上，由 進(jìn)料臺(tái)送入到自動(dòng)入料分配臺(tái)上，入料提手在控制器的作用下自動(dòng)回位等待。吊籃放置到 自動(dòng)入料分配臺(tái)上后，自動(dòng)入料門(mén)自動(dòng)打開(kāi)，吊籃隨同自動(dòng)入料分配臺(tái)前進(jìn)，(此前可在控 制屏上設(shè)置先入減薄處理位3A或;3B或減薄處理位3AJB分流入)，到達(dá)減薄處理位3A或 3B處停下，等減薄處理提手吊取，此時(shí)，自動(dòng)入料門(mén)自動(dòng)關(guān)閉，減薄處理提手取走吊籃后，自 動(dòng)入料分配臺(tái)的自動(dòng)輸送臺(tái)自動(dòng)后退，自動(dòng)入料門(mén)自動(dòng)打開(kāi)，自動(dòng)輸送臺(tái)退到位待料，自動(dòng) 入料門(mén)自動(dòng)關(guān)閉。蝕刻
吊籃由吊車(chē)從自動(dòng)入料分配臺(tái)自動(dòng)提吊到蝕刻機(jī)中，分別進(jìn)入減薄處理位3A、3B， 在減薄處理位3A或;3B中依次進(jìn)行一次水洗、蝕刻、二次水洗、噴淋后，吊到自動(dòng)出料臺(tái)等待 輸送；各槽時(shí)間及蝕刻次數(shù)均可在操作臺(tái)設(shè)置，水位控制、噴淋控制均為自動(dòng)完成(亦可手 動(dòng)操作)；排水、排酸液為電動(dòng)控制，可手動(dòng)觸摸操作，蝕刻機(jī)內(nèi)設(shè)置有視頻監(jiān)視裝置，監(jiān)視 玻璃基板的蝕刻情況。吊車(chē)完成了蝕刻流程后，直接將吊籃放置到自動(dòng)出料臺(tái)上，然后回走到噴淋缸；此 時(shí)自動(dòng)出料臺(tái)的自動(dòng)輸送臺(tái)向中間的出料位前進(jìn)，到達(dá)位置后停止，出料提手在控制器的 控制下自動(dòng)前去提吊。出料提手動(dòng)作如下手動(dòng)時(shí)(中間按鈕燈亮?xí)r)按下各對(duì)應(yīng)按鈕執(zhí) 行各動(dòng)作；在“前位”及“后位”到位時(shí)才能上、下動(dòng)作；自動(dòng)時(shí)(中間按鈕燈滅)，提手自動(dòng) 后行到位后下行到最下限，此時(shí)對(duì)位完畢；自動(dòng)時(shí)運(yùn)動(dòng)方式為上行到中間位，前行到位后 上行，上行到位后后行后行到位后下行到最下限。厚度檢測(cè)當(dāng)提手把吊籃放入到后處理器的入料運(yùn)輸臺(tái)后，此時(shí)自動(dòng)出料門(mén)自動(dòng)打開(kāi)，后處 理器的入料輸送臺(tái)將吊籃輸送到檢查臺(tái)，等待檢測(cè)，自動(dòng)出料門(mén)自動(dòng)關(guān)閉。在檢測(cè)臺(tái)上，經(jīng) 過(guò)檢測(cè)，玻璃基板的厚度如果沒(méi)有達(dá)到預(yù)定厚度時(shí)，則需要返蝕刻，返蝕刻的過(guò)程為檢查 完畢后，按動(dòng)操作臺(tái)上的返蝕按鍵，此時(shí)自動(dòng)出料門(mén)自動(dòng)打開(kāi)，后處理器的入料運(yùn)輸臺(tái)自動(dòng) 退入蝕刻機(jī)內(nèi)，自動(dòng)出料門(mén)關(guān)閉，提手自動(dòng)吊起需返蝕刻的玻璃基板，放回到蝕刻機(jī)的自動(dòng) 出料臺(tái)上，自動(dòng)出料臺(tái)回位，待吊車(chē)吊入蝕刻機(jī)中重新蝕刻，此時(shí)的蝕刻過(guò)程，需要修改蝕 刻參數(shù)。而后，出料提手自動(dòng)回到后位待機(jī)。其中，出料提手返蝕刻時(shí)的運(yùn)動(dòng)方式為上行 到最上限位后前行，前行到位后下行到中間位，然后后行，后行到后位，下行到最下限。清洗當(dāng)蝕刻完畢、吊籃出到檢查臺(tái)時(shí)，經(jīng)檢測(cè)，玻璃基板的厚度達(dá)到要求后，檢查完畢， 按動(dòng)入籃按鈕，后處理器的入料門(mén)上升，吊籃得以自動(dòng)送入處理機(jī)進(jìn)行清洗，此時(shí)入料門(mén)自 動(dòng)關(guān)閉。吊籃到位后，一吊車(chē)帶動(dòng)吊籃依次進(jìn)行一次堿洗、二次堿洗、一次噴淋水洗、二次 噴淋水洗、慢提缸，吊車(chē)帶動(dòng)吊籃自動(dòng)進(jìn)行慢提、一次烘干、二次烘干的流程，而后出料。其 中，清洗過(guò)程中，各水位及溫控均可自動(dòng)控制，各槽位浸泡時(shí)間可在操作臺(tái)上更改，加水及 排水可在操作上手動(dòng)操作進(jìn)行。當(dāng)?shù)踯?chē)完成清洗工藝流程后，將吊籃放置到出料運(yùn)輸臺(tái)上，此時(shí)自動(dòng)出料門(mén)自動(dòng) 打開(kāi)，運(yùn)輸?shù)趸@出料，出料到位后自動(dòng)出料門(mén)自動(dòng)關(guān)閉，這時(shí)可把吊籃取下，按動(dòng)“進(jìn)”按鈕， 出料門(mén)打開(kāi)，運(yùn)輸臺(tái)退入機(jī)器內(nèi)待料，出料門(mén)自動(dòng)關(guān)閉。以上僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出的是，上述優(yōu)選實(shí)施方式不應(yīng)視為對(duì) 本發(fā)明的限制，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的 普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改 進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種自動(dòng)蝕刻減薄裝置，其特征在于，包括減薄處理器，具有自動(dòng)入料分配臺(tái)、蝕刻機(jī)、自動(dòng)出料臺(tái)，所述蝕刻機(jī)具有至少一個(gè)減 薄處理位，所述自動(dòng)入料分配臺(tái)將物料自動(dòng)輸送至設(shè)定的減薄處理位，所述減薄處理位對(duì) 物料進(jìn)行減薄處理，所述自動(dòng)出料臺(tái)將經(jīng)過(guò)減薄處理的物料輸送至出料位； 檢測(cè)臺(tái)，支撐并輸送經(jīng)減薄處理器處理的物料；后處理器，包括入料運(yùn)輸臺(tái)、處理機(jī)、出料運(yùn)輸臺(tái)，對(duì)檢測(cè)臺(tái)輸送來(lái)的物料進(jìn)行清洗、噴 淋、烘干處理。
2.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)蝕刻減薄裝置，其特征在于，還包括吊車(chē)、提手、吊籃以及控制器，所述吊車(chē)與提手連接，所述控制器設(shè)有吊車(chē)控制單元，控制所述吊車(chē)抓取并移動(dòng)吊籃 ο
3.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)蝕刻減薄裝置，其特征在于，所述蝕刻機(jī)具有至少兩個(gè)減 薄處理位，每一減薄處理位依次包括一次清洗單元、蝕刻單元、二次清洗單元、噴淋單元。
4.如權(quán)利要求2所述的自動(dòng)蝕刻減薄裝置，其特征在于，所述自動(dòng)入料分配臺(tái)設(shè)有自 動(dòng)輸送臺(tái)、自動(dòng)入料門(mén)，所述自動(dòng)出料臺(tái)設(shè)有自動(dòng)輸送臺(tái)以及自動(dòng)出料門(mén)。
5.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)蝕刻減薄裝置，其特征在于，所述處理機(jī)包括依次設(shè)置的 堿洗單元、噴淋單元、水洗單元、慢提單元、烘干單元。
6.如權(quán)利要求5所述的自動(dòng)蝕刻減薄設(shè)備，其特征在于，所述堿洗單元包括一次堿洗 單元、二次堿洗單元，所述水洗單元包括一次水洗單元、二次水洗單元。
7.如權(quán)利要求4所述的自動(dòng)蝕刻減薄裝置，其特征在于，所述控制器還包括減薄處理 控制單元，控制自動(dòng)入料分配臺(tái)以及自動(dòng)出料臺(tái)沿水平方向的移動(dòng)以及自動(dòng)入料門(mén)、自動(dòng) 出料門(mén)的開(kāi)合。
8.如權(quán)利要求7所述的自動(dòng)蝕刻減薄裝置，其特征在于，所述自動(dòng)入料門(mén)、自動(dòng)出料門(mén) 分別設(shè)有紅外感應(yīng)器，所述紅外感應(yīng)器與所述減薄處理控制單元電性連接。
9.如權(quán)利要求2所述的自動(dòng)蝕刻減薄裝置，其特征在于，所述控制器還包括后處理控 制單元，控制入料運(yùn)輸臺(tái)中的進(jìn)料門(mén)的開(kāi)合、出料運(yùn)輸臺(tái)的出料門(mén)的開(kāi)合。
10.如權(quán)利要求2所述的自動(dòng)蝕刻減薄裝置，其特征在于，所述控制器還包括返蝕刻 控制單元，按照設(shè)定的指令將物料從檢測(cè)臺(tái)經(jīng)由自動(dòng)出料臺(tái)送至蝕刻機(jī)中重新進(jìn)行減薄處 理。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)一種自動(dòng)蝕刻減薄裝置，包括減薄處理器，具有自動(dòng)入料分配臺(tái)、蝕刻機(jī)、自動(dòng)出料臺(tái)，所述蝕刻機(jī)具有至少一個(gè)減薄處理位，所述自動(dòng)入料分配臺(tái)將物料自動(dòng)輸送至設(shè)定的減薄處理位，所述減薄處理位對(duì)物料進(jìn)行減薄處理，所述自動(dòng)出料臺(tái)將經(jīng)過(guò)減薄處理的物料輸送至出料位；檢測(cè)臺(tái)，支撐并輸送經(jīng)減薄處理器處理的物料；后處理器，包括入料運(yùn)輸臺(tái)、處理機(jī)、出料運(yùn)輸臺(tái)，對(duì)檢測(cè)臺(tái)輸送來(lái)的物料進(jìn)行清洗、噴淋、烘干處理。本發(fā)明的自動(dòng)蝕刻減薄裝置能夠極大程度地減少操作人員直接操作，在蝕刻過(guò)程減少操作人員搬運(yùn)的動(dòng)作，降低操作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度。
文檔編號(hào)C03C15/00GK102108009SQ20111008158
公開(kāi)日2011年6月29日 申請(qǐng)日期2011年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月31日
發(fā)明者何基強(qiáng), 蔡良照, 鄭志智 申請(qǐng)人:信利半導(dǎo)體有限公司