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硅棒膠接機(jī)的制作方法

文檔序號:1951257閱讀:352來源:國知局
專利名稱:硅棒膠接機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及一種硅棒膠接機(jī)。主要用于硅棒切片廠家將單晶硅棒 切片前膠接于晶托上,以便于后續(xù)的切片。屬機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)
以往的硅棒膠接機(jī)是由膠接主機(jī)和電加熱裝置兩部分組成。其主要存 在以下不足
1、 電加熱裝置由加熱板直接接入電器控制箱內(nèi)接觸器,無法直接測得 加熱板的溫度。而溫度太高很大程度上會影響加熱板的使用壽命,也降低 了工作效率。
2、 硅棒膠接機(jī)工作原理是膠接開始,將晶托固定鎖緊于端架,將硅 棒平穩(wěn)夾持于中心架四個支點上,調(diào)節(jié)頂塊校準(zhǔn)硅棒,使其垂直于晶托。 翻轉(zhuǎn)電加熱裝置對晶托和硅棒同時進(jìn)行加熱,用熱熔膠試探晶托和硅棒的 溫度,當(dāng)熱熔膠碰到晶托和硅棒開始自熔時,這時的溫度已適合膠接。在 晶托端面和硅棒的一個端面打上熱熔膠水,移動中心架使晶托和硅棒緊貼、 粘接。粘接完畢,要取下粘接上的晶托和硅棒必須等溫度降至常溫,膠水 干固。這需要很長的時間,工作效率受到了很大的影響。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的在于克服上述不足,提供一種能控制加熱板的加熱 溫度、縮短晶托和硅棒冷卻時間的硅棒膠接機(jī)。
本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的 一種硅棒膠接機(jī),包括工作臺、中 心調(diào)節(jié)架、端架、晶托和加熱裝置,所述工作臺水平布置,工作臺臺面上 橫向布置有導(dǎo)軌,所述中心調(diào)節(jié)架向上設(shè)置于工作臺中間的導(dǎo)軌上,所述 中心調(diào)節(jié)架用于放置硅棒,所述端架向上裝置于工作臺的左邊,所述晶托 固定于所述端架上,所述加熱裝置垂直鉸接于工作臺上,并靠近晶托右端 面,其特征在于所述加熱裝置的加熱板上設(shè)置有溫度傳感器,溫度傳感器 與一溫控器電連接,該溫控器與加熱裝置的接觸器電連接。
本實用新型硅棒膠接機(jī),還包括有一干燥冷卻裝置,所述干燥冷卻裝 置包括風(fēng)機(jī)和通風(fēng)管路,風(fēng)機(jī)安裝在工作臺內(nèi),風(fēng)機(jī)出風(fēng)口與通風(fēng)管路相 連通,通風(fēng)管路出風(fēng)口設(shè)置于靠近晶托與硅棒膠接處正上方。
與現(xiàn)有硅棒膠接機(jī)相比,本實用新型具有如下優(yōu)點
1、 通過在二件加熱板的側(cè)面均安裝一個溫度傳感器,傳感器將測得的 溫度反饋至溫控器,溫控器控制接觸器是否繼續(xù)加熱,并將溫度顯示,設(shè) 定一個適宜的溫度。溫控器可以準(zhǔn)確的測得加熱板的溫度并顯示,可以較 清楚簡便的獲得加熱板的加熱信息,當(dāng)溫度高于設(shè)定值時,溫控器控制加 熱板,停止加熱,避免長時間過度加熱,既延長了加熱板的使用壽命,又 縮短了加熱時間,也提高了工作效率。
2、 通過在工作臺內(nèi)安裝一個風(fēng)機(jī),通過通風(fēng)管路在晶托與硅棒膠接端 進(jìn)行風(fēng)冷卻。有了這套干燥冷卻吹風(fēng)裝置,縮短了膠接后硅棒與晶托的冷卻時間,也提高了膠接的工作效率,可以縮短1/3的膠接時間。工作臺的 下部風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)口設(shè)置了濾網(wǎng),可以使吹風(fēng)更凈化。
綜上,本實用新型能控制加熱板的加熱溫度、縮短晶托和硅棒冷卻時間。


圖1為本實用新型硅棒膠接機(jī)的正面結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為圖1的俯視圖。
圖3為圖1的左側(cè)視圖。
圖4為圖1的A向放大圖。
圖5為本實用新型硅棒膠接機(jī)的溫控原理框圖。
圖中晶托l(wèi)、端架2、校準(zhǔn)棒3、中心調(diào)節(jié)架4、絲桿5、頂塊6、支 承塊7、加熱裝置8、導(dǎo)桿鎖緊裝置9、絲桿鎖緊裝置10、干燥冷卻裝置 11、溫度傳感器12、溫控柜13、工作臺14、風(fēng)機(jī)15、電控盒16、通風(fēng)管 路17、過濾網(wǎng)18。
具體實施方式
參見圖1 3,本實用新型涉及的硅棒膠接機(jī),主要由工作臺14、中心 調(diào)節(jié)架4、絲桿5、頂塊6、支承塊7、端架2、晶托l(wèi)、導(dǎo)桿鎖緊裝置9、 絲桿鎖緊裝置10、加熱裝置8和干燥冷卻裝置11組成。所述工作臺14水 平布置,工作臺14臺面上橫向布置有二件導(dǎo)軌。所述中心調(diào)節(jié)架4有二件, 一左一右向上設(shè)置于工作臺14中間的導(dǎo)軌上。所述絲桿5也有二件,分別 裝置在左右二件中心調(diào)節(jié)架4上。所述頂塊6和支承塊7各有四件,分別兩兩裝置于所述二件中心調(diào)節(jié)架4中間開口處的內(nèi)緣。所述端架2有一件, 向上裝置于工作臺14的左邊。所述晶托1固定鎖緊于所述端架2上。所述 導(dǎo)桿鎖緊裝置9連接于中心調(diào)節(jié)架4與工作臺14之間。所述絲桿鎖緊裝置 10連接于絲桿5與中心調(diào)節(jié)架4之間。
所述加熱裝置8垂直鉸接于工作臺14上,且加熱裝置8設(shè)置于端架2 上晶托1與左邊一個中心調(diào)節(jié)架4之間,并靠近晶托1右端面。
所述干燥冷卻裝置11由風(fēng)機(jī)15與通風(fēng)管路17組成。風(fēng)機(jī)15安裝在 工作臺14內(nèi),風(fēng)機(jī)15出風(fēng)口與通風(fēng)管路17相連通,通風(fēng)管路17出風(fēng)口 置于晶托1與硅棒膠接處正上方。所述風(fēng)機(jī)15進(jìn)風(fēng)口設(shè)置有過濾網(wǎng)18, 如圖4。
參見圖5,所述加熱裝置8由二件加熱板8.1、 二件接觸器8.2和二件 溫控器8.3組成。二件加熱板8.1 —左一右固定連接在一起,兩件加熱板 8.1的側(cè)面均安裝有一件溫度傳感器12,溫度傳感器12與溫控器8.3電連 接,溫控器8.3與接觸器8.2電連接,接觸器8.2與加熱板8.1電連接。
在使用本機(jī)器前先用校準(zhǔn)棒對組件進(jìn)行校正
晶托固定鎖緊于所述端架上,將校準(zhǔn)棒放置于左右兩件中心調(diào)節(jié)架上, 左旋絲桿,使頂塊和支承塊將校準(zhǔn)棒夾緊,向左推動左邊的中心調(diào)節(jié)架使 左邊的中心調(diào)節(jié)架靠近晶托,使晶托的右端面與檢測棒的左端面緊貼,無 間隙,并且圓周面平齊。
膠接硅棒
1、首先將晶托固定于端架。2、 右旋絲桿,使中心調(diào)節(jié)架中間開口張開至合適位置,小心放入硅棒, 左旋絲桿,使中心調(diào)節(jié)架上的四個支承塊夾持硅棒平穩(wěn)。
3、 硅棒夾緊后硅棒連同二件中心調(diào)節(jié)架一起整體向裝有晶托的方向慢 慢移動至硅棒與晶托接觸,輕松使硅棒可以轉(zhuǎn)動,看晶托面與硅棒面是否 平行并轉(zhuǎn)動硅棒使硅棒上的棱線對準(zhǔn)晶托的角。絲桿鎖緊裝置,將硅棒夾 緊后輕輕向右移開。
4、 向前翻轉(zhuǎn)加熱裝置,保持硅棒一端、晶托平面和加熱板間距為5mm 左右,便于同時達(dá)到需要的溫度,按下加熱電源,使晶托和硅棒同時受熱, 當(dāng)溫度加熱至250°C-300°C (膠水自溶)時,關(guān)閉加熱電源(如果接著做下 一根硅棒的膠接,可以不關(guān)閉電源),移開電加熱裝置。
5、 迅速在晶托的右端面上和硅棒的左端面上打上膠水,然后將晶托和 硅棒的打膠水面壓緊,粘合,并鎖緊導(dǎo)桿鎖緊裝置,使中心調(diào)節(jié)架沒有松 動,保證膠接質(zhì)量。
6、 待膠水基本固定,將干燥冷卻裝置的風(fēng)口對準(zhǔn)晶托與硅棒膠接處, 并打開干燥裝置電源,對膠接處進(jìn)行干燥和冷卻,等膠接處溫度接近常溫 時,關(guān)閉干燥器電源并移開干燥通風(fēng)口,準(zhǔn)備卸下膠接完畢的硅棒。
7、 擰開端架的固定螺栓,松開導(dǎo)桿鎖緊裝置,將兩個中心調(diào)節(jié)架同時 向中間移動,使晶托遠(yuǎn)離端架,在兩個中心調(diào)節(jié)架之間硅棒下面架一個V 型的枕木,松開絲桿鎖緊裝置并左旋絲桿至適宜位置,小心緩慢的從晶托 一端移出膠接完畢的硅棒。
權(quán)利要求1、一種硅棒膠接機(jī),包括工作臺(14)、中心調(diào)節(jié)架(4)、端架(2)、晶托(1)和加熱裝置(8),所述工作臺(14)水平布置,工作臺(14)臺面上橫向布置有導(dǎo)軌,所述中心調(diào)節(jié)架(4)向上設(shè)置于工作臺(14)中間的導(dǎo)軌上,所述中心調(diào)節(jié)架(4)用于放置硅棒,所述端架(2)向上裝置于工作臺(14)的左邊,所述晶托(1)固定于所述端架(2)上,所述加熱裝置(8)垂直鉸接于工作臺(14)上,并靠近晶托(1)右端面,其特征在于所述加熱裝置(8)的加熱板(8.1)上設(shè)置有溫度傳感器(12),溫度傳感器(12)與一溫控器(8.3)電連接,該溫控器(8.3)與加熱裝置的接觸器(8.2)電連接。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅棒膠接機(jī),其特征在于所述硅棒膠 接機(jī)還包括有一干燥冷卻裝置(ll),所述干燥冷卻裝置(11)包括風(fēng)機(jī)(15)和 通風(fēng)管路(17),風(fēng)機(jī)(15)安裝在工作臺(14)內(nèi),風(fēng)機(jī)(15)出風(fēng)口與通風(fēng)管路(17) 相連通,通風(fēng)管路(17)出風(fēng)口置于晶托(1)與硅棒膠接處正上方。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種硅棒膠接機(jī),其特征在于所述風(fēng)機(jī)(15) 進(jìn)風(fēng)口設(shè)置有過濾網(wǎng)(18)。
專利摘要本實用新型涉及一種硅棒膠接機(jī),主要用于硅棒切片廠家將單晶硅棒切片前膠接于晶托上,以便于后續(xù)的切片。它包括工作臺(14)、中心調(diào)節(jié)架(4)、端架(2)、晶托(1)和加熱裝置(8),所述工作臺(14)水平布置,工作臺(14)臺面上橫向布置有導(dǎo)軌,所述中心調(diào)節(jié)架(4)向上設(shè)置于工作臺(14)中間的導(dǎo)軌上,所述中心調(diào)節(jié)架(4)用于放置硅棒,所述端架(2)向上裝置于工作臺(14)的左邊,所述晶托(1)固定于所述端架(2)上,所述加熱裝置(8)垂直鉸接于工作臺(14)上,并靠近晶托(1)右端面,其特征在于所述加熱裝置(8)的加熱板(8.1)上設(shè)置有溫度傳感器(12),溫度傳感器(12)與一溫控器(8.3)電連接,該溫控器(8.3)與加熱裝置的接觸器(8.2)電連接。本實用新型能控制加熱板的加熱溫度、縮短晶托和硅棒冷卻時間。
文檔編號B28D7/04GK201245585SQ200820038468
公開日2009年5月27日 申請日期2008年6月23日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月23日
發(fā)明者張衛(wèi)華, 張志興, 張銀海 申請人:江陰市南豐橡塑機(jī)械有限公司
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