專利名稱：：固體成像元件用覆蓋玻璃及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及作為透過光線的窗材而配置在收納固體成像元件的封裝件上，并保護(hù)固體成像元件的覆蓋玻璃及其制造方法。
背景技術(shù)：
：固體成像元件由于在掃描儀和傳真機(jī)等上使用的耗電低的CIS(ContactImageSensor)的使用用途，同時(shí)數(shù)碼相機(jī)被搭載于手機(jī)和PHS等小型的信息終端設(shè)備等，而變得更多樣且被要求高度的性能。以這樣的用途被使用的固體成像元件大致可劃分為CCD(ChargeCoupledDevice)禾卩CMOS(ComplementaryMetalOxideSemiconductor、也稱為互補(bǔ)型MOS)。在1990年代，CCD從顯著的高像素化等開始，各種性能大幅提高，但是近年來，關(guān)于CMOS，由于要克服技術(shù)課題，促進(jìn)了多樣的用途的使用。關(guān)于作為輸入這樣的固體成像元件的圖像信息的窗材而使用的覆蓋玻璃，隨著固體成像元件的發(fā)展，各種各樣的課題被相繼解決。對于包含在平板玻璃中的Pt等貴金屬、耐火物等各種各樣的微細(xì)異物，或者附著在玻璃表面的粉塵、垃圾和顆粒等，把減少這些物質(zhì)的數(shù)量作為目標(biāo)而付出了堅(jiān)持不懈的努力。在專利文獻(xiàn)1中，公開了為了區(qū)分覆蓋玻璃正面和背面地檢測出附著在覆蓋玻璃表面的垃圾，而使用結(jié)合了垂直照明和斜光照明的檢測裝置。因?yàn)楦采w玻璃表面的垃圾的附著是作為干擾信號(hào)被檢測出來的，所以在要求高精度畫像的固體成像元件上，這個(gè)檢測變得重要。另外，專利文獻(xiàn)2提供放射性同位素的含有量少的玻璃成分，以減少由覆蓋玻璃中含有的鈾和釷等放射性同位素所產(chǎn)生的a射線的量。因?yàn)閛c射線是在由固體成像元件所拍攝的圖像中產(chǎn)生被稱為白點(diǎn)的缺陷的原因，所以專利文獻(xiàn)2實(shí)施相應(yīng)的解4決方案。再有，在專利文獻(xiàn)3中公開了能夠通過將具有指定成分的薄板玻璃成形品的側(cè)面形狀限定為指定的形狀而實(shí)現(xiàn)高強(qiáng)度、高化學(xué)耐久性的發(fā)明。在專利文獻(xiàn)4中，公開了通過限定預(yù)先在一面形成覆蓋膜的固體成像元件用覆蓋玻璃的端緣部的形狀，能夠減少因覆蓋膜邊緣部所引起的覆蓋玻璃的缺陷的發(fā)明。專利文獻(xiàn)l:日本特開2000-295639號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:日本特開平7-215733號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3:日本特開2004-221541號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4:日本特開2006-140458號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容發(fā)明所要解決的技術(shù)問題但是，僅僅通過現(xiàn)在為止實(shí)施的發(fā)明，在以穩(wěn)定的品質(zhì)提供更高性能的固體成像元件用覆蓋玻璃方面存在有問題。使用固體成像元件的電子設(shè)備正在推進(jìn)各種各樣的技術(shù)革新，不僅是在功能方面，而且對于大小和形狀等也在謀求輕薄短小化。因此，隨著固體成像元件的輕薄短小化，固體成像元件用覆蓋玻璃也變得需要輕薄短小化，與此相應(yīng)的產(chǎn)品正在被開發(fā)。但是由于快速地推進(jìn)小型化和薄型化，為了穩(wěn)定提供固體成像元件，僅僅通過現(xiàn)在為止實(shí)施的對固體成像元件用覆蓋玻璃的各種改善和發(fā)明，變得不足夠。具體地，作為對固體成像元件用的覆蓋玻璃的要求，一方面是即使減小收納固體成像元件的封裝件的外形尺寸，也具有不但滿足覆蓋玻璃和封裝件基板不會(huì)剝離的足夠高的接合強(qiáng)度，而且即使在封裝件中被收納的固體成像元件的面積增大，也能收納入封裝件內(nèi)的足夠的內(nèi)腔部面積，另一方面，具有能實(shí)現(xiàn)與封裝件基板的足夠的接合強(qiáng)度的接合部面積，能實(shí)現(xiàn)優(yōu)良品質(zhì)和性能。進(jìn)一步地，除上述那樣對封裝件和覆蓋玻璃要求輕薄短小外，另外關(guān)于對各種波長的光線透光的板玻璃表面，要求具有為了實(shí)現(xiàn)要求的透過率的高潔凈度，具有高的化學(xué)耐久性，而且即使是厚度尺寸和透光面面積小的覆蓋玻璃，也可實(shí)現(xiàn)實(shí)際使用時(shí)無困難的強(qiáng)度。伴隨厚度尺寸和透光面面積變小，特別隨著手機(jī)等各種攜帶設(shè)備的顯著發(fā)展，在搭載于那樣的精密設(shè)備里的固體成像元件中，存在產(chǎn)生如下致命問題的危險(xiǎn)如果在覆蓋玻璃上存在威脅穩(wěn)定的機(jī)械強(qiáng)度的表面?zhèn)捅懒训雀鞣N表面缺陷，當(dāng)被施加大的沖擊時(shí)，覆蓋玻璃就會(huì)因?yàn)檫@些表面缺陷而變得容易破裂。因此，對于作為封裝件和覆蓋玻璃被使用的平板玻璃，要求比以前更高的精密加工精度和高形狀品質(zhì)。另外，對于固體成像元件用覆蓋玻璃，可通過在它的透光面遮蓋要求的膜來使用，但在覆蓋膜成膜于玻璃表面的狀態(tài)下的固體成像元件用覆蓋玻璃的潔凈度，存在根據(jù)成膜后的使用履歷如何，膜周緣變得容易剝落，剝落的微細(xì)剝離物漂浮并附著在覆蓋玻璃表面等問題，關(guān)于被成膜的固體成像元件用覆蓋玻璃的潔凈度，實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)成為重要的課題。為此，本發(fā)明者們進(jìn)行了所述專利文獻(xiàn)4的發(fā)明，但關(guān)于僅有專利文獻(xiàn)4還不足夠的地方，重新看它的制造工序，對可以更高效地制造的固體成像元件用覆蓋玻璃，并且用于實(shí)現(xiàn)具有穩(wěn)定的品質(zhì)的被成膜的固體成像元件用覆蓋玻璃進(jìn)行了反復(fù)研究。即本發(fā)明的發(fā)明者們鑒于這種狀況，為了制造作為用作高像素的固體成像元件的透光窗的覆蓋玻璃而具有優(yōu)越加工精度和高形狀品質(zhì)的玻璃板材，而把提供設(shè)在覆蓋玻璃透光面的覆蓋膜很難輕易剝離，實(shí)現(xiàn)與基板的足夠的粘結(jié)面積和粘結(jié)強(qiáng)度，平板玻璃端面的加工品質(zhì)也優(yōu)越，其結(jié)果是具有高機(jī)械強(qiáng)度、高光學(xué)性能、更穩(wěn)定的化學(xué)性能的潔凈度高的固體成像元件用覆蓋玻璃及其制造方法作為課題。解決技術(shù)問題的手段本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃是無機(jī)氧化物玻璃制的薄板狀的固體成像元件用覆蓋玻璃，其特征在于，在厚度方向上相對的兩個(gè)6透光面中的至少一個(gè)透光面具有覆蓋膜，覆蓋玻璃的外周端面由用激光切斷的面形成，覆蓋膜是在激光切斷之前形成的。這里，無機(jī)氧化物玻璃制的薄板狀的固體成像元件用覆蓋玻璃是指由玻璃組分按無機(jī)元素的氧化物換算的質(zhì)量百分率表示來表現(xiàn)的玻璃組成的，按固體成像元件用途而遮蓋固體成像元件的封裝件的整體的方式來使用的覆蓋玻璃。另外，在厚度方向上相對的兩個(gè)透光面中的至少一個(gè)透光面具有覆蓋膜是表示，在厚度方向上相對的兩個(gè)呈大致矩形的透光面的兩面上具有薄膜狀的覆蓋膜，或者在任一個(gè)面上具有薄膜狀的覆蓋膜。覆蓋玻璃的外周端面由用激光切斷的面形成是指呈矩形狀外形的四邊的任何一面都是通過照射激光而被切斷加工所形成的。而且覆蓋膜是在激光切斷之前形成的是指通過覆蓋膜的成膜，形成在至少一個(gè)透光面上的覆蓋膜在激光切斷前形成。關(guān)于在厚度方向上相對的兩個(gè)透光面中的至少一個(gè)透光面所設(shè)置的覆蓋膜(也簡單地稱為薄膜)，對其材質(zhì)和厚度、構(gòu)成等沒有特別的限制，可以按需要采用相應(yīng)的設(shè)定。即關(guān)于覆蓋膜，可以設(shè)置紅外線反射膜(或紅外線截?cái)酁V光片)、防反射膜(也稱為AR鍍膜)、無反射膜、導(dǎo)電膜、防止帶電膜、低通濾波器、高通濾波器、帶通濾波器、遮蔽膜、強(qiáng)化膜、或者保護(hù)膜等。尤其紅外線反射膜，由于CCD的紅外區(qū)域的靈敏度高，所以可通過抑制紅外線向元件的入射而使固體成像元件的圖像接近于肉眼看到的圖像，因此是優(yōu)選的。關(guān)于覆蓋兩個(gè)透光面的覆蓋膜的種類，可以是相同的，也可以是不同的。另外，也可以在一個(gè)面層疊具有不同功能的不同種類的覆蓋膜。理所當(dāng)然，為了達(dá)到相同目的，至于層疊覆蓋膜時(shí)的層疊數(shù)，也沒有限定，可以增加到2層、3層、4層、5層，甚至即使是做成具有10層、20層、30層、40層等任意層數(shù)的多層結(jié)構(gòu)也可以。關(guān)于所述覆蓋膜，作為其具體的材質(zhì)，有下面那樣的材質(zhì)?？梢允褂镁哂欣缍趸?Si02)、氧化鋁(A1203)、氧化鋯(Zr02)、氧化鉭(或鉭)(Ta205)、氧化鈮(Nb205)、氧化鑭(La203)、氧化釔(Y203)、氧化鎂(MgO)、氧化鉿(Hf02)、氧化鉻0203)、氟化鎂(MgF2)、氧化鉬(Mo03)、氧化鎢(W03)、氧化鈰(Ce02)、氧化釩(V02)、氧化鈦鋯(ZrTi04)、硫化鋅(ZnS)、冰晶石(Na3A1F6)、錐冰晶石(Na5Al3F14)、氟化釔(YF3)、氟化鈣(CaF2)、氟化鋁(A1F3)、氟化鋇(BaF2)、氟化鋰(LiF)、氟化鑭(LaF3)、氟化釓(GdF3)、氟化鏑(DyF3)、氟化鉛(PbF3)、氟化鍶(SrF2)、含銻氧化錫(ATO)膜、氧化銦-錫膜(ITO膜)、Si02和八1203的多層膜、SiOx-TiOx系多層膜、Si02-Ta205系多層膜、SiOx-LaOx-TiOx系列的多層膜、In203-Y203固溶體膜、氧化鋁固溶體膜、金屬薄膜、膠體粒子分散膜、聚甲基丙烯酸甲酯膜(PMMA膜)、聚碳酸酯膜(PC膜)、聚苯乙烯膜、或甲基丙烯酸甲酯苯乙烯共聚膜、聚丙烯酸酯膜等組成的材質(zhì)。另外，關(guān)于覆蓋膜的形成方法，只要是可以實(shí)現(xiàn)規(guī)定的表面精度、功能，關(guān)于制造所需的費(fèi)用也無困難的方法，就不受特別限制而可以采用各種方法。作為形成本發(fā)明的覆蓋膜的方法，可以采用例如濺射法、真空蒸鍍法、或者熱CVD法、激光-CVD法、等離子體CVD法、分子束磊晶法(MBE法)、離子鍍敷法、激光消融法、有機(jī)金屬化學(xué)氣相生長法(MOCVD)等化學(xué)氣相生長法(或CVD法)、及溶膠-凝膠法、旋涂法和絲網(wǎng)印刷涂法，或電鍍法等液相生長法。一般，其中特別是CVD法，由于能形成在低溫下粘合性好的覆蓋膜，并可以對應(yīng)于各種被膜，且也適合于化合物的被膜形成，所以是優(yōu)選的方法。關(guān)于固體成像元件用覆蓋玻璃的材質(zhì)，只要是滿足需要的光學(xué)性能的，什么樣的材質(zhì)都可以使用。例如，可以適宜使用硼硅酸玻璃、石英玻璃、無堿玻璃、硅酸鋁玻璃、鈾和釷實(shí)質(zhì)上自由的玻璃、磷酸鹽玻璃、鈉鈣玻璃、高折射率玻璃、或者高應(yīng)變點(diǎn)玻璃等各種玻璃材質(zhì)。作為利用激光切斷固體成像元件用覆蓋玻璃的外周端面的方法，是指例如利用二氧化碳激光形成第一加工面，然后，把通過二氧化碳激光照射形成的第一加工面的前端作為支點(diǎn)，通過在支點(diǎn)的正下方以增加彎曲應(yīng)力的方式按壓來形成第二加工面的方法。在這里，第一加工面的形成是對設(shè)置了覆蓋膜的透光面的表面照射具有光束強(qiáng)度分布為±5%以內(nèi)的輸出條件且光束光點(diǎn)形狀具有橢圓、大致矩形狀、直線狀、三角形狀的二氧化碳激光，同時(shí)以等速度直線驅(qū)動(dòng)，由此在相當(dāng)于光束驅(qū)動(dòng)部位的形成有被膜的平板玻璃的玻璃表面和形成在該表面的被膜上都形成切口，汽化或者切斷該部位的被膜，在玻璃板的斷面方向形成規(guī)定深度的切口。由此，新產(chǎn)生的表面就是第一加工面。因?yàn)槭菬o機(jī)氧化物玻璃制的薄板狀的固體成像元件用覆蓋玻璃，在厚度方向上相對的兩個(gè)透光面中的至少一個(gè)透光面具有覆蓋膜，覆蓋玻璃的外周端面是由激光切斷的面形成，由此工序可簡略化且可以進(jìn)行高效率的制造，所以優(yōu)選。另外，本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃是無機(jī)氧化物玻璃制的薄板狀的固體成像元件用覆蓋玻璃，其特征在于，在厚度方向上相對的兩個(gè)透光面中的至少一個(gè)透光面具有覆蓋膜，覆蓋膜的外周端粘合在透光面上。在這里，是無機(jī)氧化物玻璃制的薄板狀的固體成像元件用覆蓋玻璃，在厚度方向上相對的兩個(gè)透光面中的至少一個(gè)透光面具有覆蓋膜，覆蓋膜的外周端粘合在透光面上是指透光面上的覆蓋膜在外周端部被加熱至高溫，膜的邊緣部烙解，由此覆蓋膜成為難以剝落的堅(jiān)固的接合狀態(tài)。因此，可以減少由于膜剝落而造成的粉塵和異物等的產(chǎn)生，可以抑制因?yàn)榉蹓m和異物粘著而產(chǎn)生的不良影響的發(fā)生數(shù)。另外，本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃除以上所述外，如果覆蓋膜是防反射膜，就可以實(shí)現(xiàn)覆蓋玻璃的可視透過率達(dá)到足夠高的透過率值的性能。9在這里，覆蓋膜為防反射膜是指具有比由玻璃的組分決定的玻璃的折射率小的折射率的透明的被膜，可以通過將該被膜設(shè)置在玻璃表面上而使反射光減少，從而增加透過覆蓋玻璃的光線的光量。作為構(gòu)成防反射膜的材料，可以適宜地采用Ti02、CaF2、Si02、A1203、MgS2、Zr02、NiO或者M(jìn)gF2等和上述相同的材質(zhì)。另外，本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃除以上所述外，只要覆蓋膜的外周端是通過被激光加工時(shí)產(chǎn)生的熱加熱而固定在透光面上，則因?yàn)榫哂斜荒ぜ安ＡУ亩瞬肯嗷ダ喂痰慕Y(jié)構(gòu)，所以可以抑制基于覆蓋玻璃端部的缺陷的產(chǎn)生。另外，由于成為不形成采用在切斷面的玻璃表面上使用現(xiàn)有的化學(xué)蝕刻法等制造方法的時(shí)候產(chǎn)生的大的凹凸面的狀態(tài)，所以不需要為把粘結(jié)收納固體成像元件的各種部件和覆蓋玻璃的時(shí)候使用的部分的面積增大到所需要的面積以上，而設(shè)計(jì)固體成像元件封裝件。進(jìn)一步地，由于難以產(chǎn)生因該切斷面的凹凸而造成的粉塵或者剝落物等，所以制造的覆蓋玻璃具有穩(wěn)定的品質(zhì)。另外，本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃除以上所述外，如果覆蓋膜是光學(xué)薄膜，膜的厚度在0.01pm至10(Him的范圍，則關(guān)于光學(xué)方面的性能，容易實(shí)現(xiàn)滿足用途的要求。在這里，覆蓋膜是光學(xué)薄膜，膜的厚度在0.01pm至100pm的范圍是指設(shè)置在厚度方向上相對的兩個(gè)透光面兩面的覆蓋膜的厚度方向的厚度尺寸在lxl(^m至lxl0—4m的范圍。膜的厚度在0.01pm至100pm的范圍之外時(shí)，關(guān)于透過率等光學(xué)方面的性能，有變得難以充分實(shí)現(xiàn)需要的性能的情況，所以優(yōu)選設(shè)置在本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃上的覆蓋膜的厚度在0.01pm至lOOpm的范圍內(nèi)。另外，本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃除以上所述外，如果覆蓋玻璃的外周端面的凹陷深度在3(Him以下，且凹陷長度在50(Hmi以下，則即使是施加大的沖擊，覆蓋玻璃也不容易破壞，因此對保護(hù)固體成像元件的功能不會(huì)產(chǎn)生的障礙，所以優(yōu)選。在這里，覆蓋玻璃的外周端面的凹陷深度在30pm以下，且凹陷長度在500nm以下是指即使是因?yàn)樵诟采w玻璃端面的表面的裂紋和崩痕而成為表面的一部分被削去的狀態(tài)的情況，該凹陷的深度尺寸也為30pm以下，沿端邊的凹陷的長度尺寸也為500pm以下。更具體地說，關(guān)于覆蓋玻璃的外周端面的品質(zhì)，使用圖l來說明。圖1是固體成像元件的立體圖，而在圖1中，1是固體成像元件用覆蓋玻璃，2是平板玻璃的端面，3是平板玻璃的第一透光面，4是平板玻璃的第二透光面，5是第一加工面，6是第二加工面，Cl是成膜于平板玻璃的第一透光面的被膜，C2是成膜于平板玻璃的第二透光面的被膜，G是平板玻璃，W是平板玻璃端面的凹陷的棱線方向長度尺寸，H是平板玻璃端面的凹陷的平板玻璃厚度方向的深度尺寸，L是平板玻璃端面的凹陷的平板玻璃透光面方向的深度尺寸。棱線是例如第一透光面和第一加工面的邊界線，或者第二透光面和第二加工面的邊界線。在圖1中，因?yàn)楦采w玻璃的外周端面的凹陷深度是指平板玻璃端面的凹陷的平板玻璃厚度方向的深度尺寸H以及平板玻璃端面的凹陷的平板玻璃透光面方向的深度尺寸L中較大的尺寸，所以任何一個(gè)值都為30(im以下，而且平板玻璃端面的凹陷的邊方向長度尺寸W為500拜以下。在覆蓋玻璃的外周端面的凹陷深度超過30pm的時(shí)候，特別象是在覆蓋玻璃施加了沖擊外力的時(shí)候，覆蓋玻璃的強(qiáng)度顯著變?nèi)?，或涂敷在覆蓋玻璃表面上的覆蓋膜的邊緣容易以超過30pm的凹凸的某凹陷位置為基點(diǎn)而剝落，所以不優(yōu)選，另外，在凹陷長度超過500|im的時(shí)候，也有出現(xiàn)與凹陷深度方面同樣的強(qiáng)度問題及覆蓋膜容易剝落的現(xiàn)象之類的傾向，所以不優(yōu)選。作為用于以使覆蓋玻璃的外周端面的凹陷深度為3(Him以下，且凹陷長度為50Q(im以下的方式來加工覆蓋玻璃的加工方法，有各種各樣的加工方法。例如，選擇激光加工時(shí)的激光的各項(xiàng)條件，特別是激光輸出條件和激光移動(dòng)速度，并且通過激光光束直徑的縮頸，可以減小激光加熱時(shí)產(chǎn)生的凹陷等凹凸的發(fā)生率及其大小。再者，關(guān)于激光照射面的背面，只要降低機(jī)械性動(dòng)作誤差而執(zhí)行精密的動(dòng)作，即可使按壓力盡可能均等地施加在玻璃面上，且使平板玻璃的固定角度和按壓力的施加方向沒有偏差。另外，本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃，除以上所述外，包含通過按壓的割斷操作而形成的第二加工面的凹陷缺陷尺寸成為比包含被激光照射而形成的第一加工面的凹陷深度大的值的覆蓋玻璃占90%以上。即，如果調(diào)査IOOO塊有凹陷的覆蓋玻璃，則有900塊以上包含通過按壓的割斷操作而形成的第二加工面的凹陷缺陷尺寸成為比包含第一加工面的凹陷缺陷尺寸大的值。關(guān)于外周端面的凹陷深度的各處的尺寸值的測量只要使用附屬于實(shí)體顯微鏡和電子顯微鏡等的微計(jì)量器和激光尺寸測量儀器等進(jìn)行測量即可。另外，本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃除以上所述外，只要固體成像元件是CCD或者CMOS,即使是作為搭載于手機(jī)和數(shù)碼相機(jī)等圖像記錄裝置的薄型光半導(dǎo)體元件的前面窗口玻璃來使用的時(shí)候，也能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的品質(zhì)。固體成像元件是CCD或者CMOS是表示將具有光電轉(zhuǎn)換和電荷積累功能的像素群二維排列于半導(dǎo)體基板上而集積成的成像元件即固體成像元件，被稱為CCD或者CMOS的圖像傳感器。另外，本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃除以上所述外，只要是無機(jī)氧化物玻璃制的薄板狀玻璃的組分按換算成氧化物且以質(zhì)量百分率表示時(shí)，包含有Si0256~70%、A12030.5~18%、B2035~20%、RO0.120%(RO=MgO+CaO+ZnO+SrO+BaO)、ZnO0~9%、M201~18%(M20=Li20+Na20+K20)的覆蓋玻璃，則可成為除折射率和透過率等希望的光學(xué)性能之外，還具有高的耐水性和硬度的覆蓋玻璃，并且在通過熔融玻璃而成型為平板玻璃的時(shí)候，也容易進(jìn)行成型操作，并可以達(dá)到成型尺寸的精度優(yōu)良的品質(zhì)。在這里，無機(jī)氧化物玻璃制的薄板狀玻璃的組分按換算成氧化物且以質(zhì)量百分率表示時(shí)，包含有Si0256~70%、A12030.518%、B2035~20%、RO0.卜20%(RO=MgO+CaO+ZnO+SrO+BaO)、ZnO09%、M20118%(M2OLi20+Na20+K20)是表示作為固體成像元件用覆蓋玻璃的構(gòu)成成分，在按氧化物換算表示來記載包含于玻璃中的成分的時(shí)候，二氧化硅為5670質(zhì)量％，氧化鋁為0.5~18質(zhì)量％，氧化硼為5~20質(zhì)量％，氧化鎂、氧化鈣、氧化鋅、氧化鍶和氧化鋇的合量為0.120質(zhì)量％，氧化鋅為9質(zhì)量％以下，氧化鋰、氧化鈉和氧化鉀的合量為118質(zhì)量％。關(guān)于固體成像元件用覆蓋玻璃的組分范圍成為這樣的限定范圍的理由，以下按順序說明。玻璃組分中的Si02(二氧化硅)成分是構(gòu)成玻璃的原子尺度中的網(wǎng)眼構(gòu)造的骨架的主要成分，在其含有量不滿56質(zhì)量％的時(shí)候，因?yàn)榘l(fā)生由玻璃表面的化學(xué)耐久性所引起的問題的危險(xiǎn)性增大，所以不優(yōu)選。另外，若其含有量超過70質(zhì)量％，為了把玻璃熔解為均質(zhì)的狀態(tài)而得到均質(zhì)的覆蓋玻璃，則需要費(fèi)用增多的玻璃熔融設(shè)備。玻璃組分中的A1203(三氧化二鋁)成分是為了把玻璃的網(wǎng)眼構(gòu)造穩(wěn)定化所需要的成分，同時(shí)在把玻璃從無機(jī)原料加熱至高溫而熔融，且變?yōu)槿廴诓ＡУ臅r(shí)候，具有使玻璃化反應(yīng)的初始熔融性提高的機(jī)能的成分，所以是優(yōu)選的成分之一。另外，該Al203成分對于提高玻璃的化學(xué)耐久性也是有效的。但是，如果八1203的含有量不滿0.5質(zhì)量％，則難以實(shí)現(xiàn)在熔融時(shí)的初始熔解性的提高和成型后的化學(xué)耐久性的提高上的顯著變化。再者，其含有量超過18質(zhì)量％時(shí)，則使熔解性提高的功能變低，而且有時(shí)成為使玻璃熔融時(shí)的熔解性惡化的主要原因，也有時(shí)使玻璃的失透性提高，容易看到結(jié)晶等產(chǎn)生，所以不優(yōu)選。根據(jù)這樣的觀點(diǎn)，更優(yōu)選八1203的含有量在15質(zhì)量％以下。玻璃組分中的8203(氧化硼)成分是具有在加熱玻璃時(shí)，讓玻璃的熔融溫度降低而提高玻璃熔融時(shí)的熔解性能的機(jī)能的成分。但是，由于在這種玻璃組分體系中，通過5質(zhì)量％以上的含有量，其效果被發(fā)揮，所以是優(yōu)選的。另一方面，8203超過20質(zhì)量％時(shí)，則來自熔融時(shí)的熔融玻璃質(zhì)地表面的硼酸成分的蒸發(fā)量變多，結(jié)果，在把熔融玻璃作為玻璃物品成型后，成為玻璃物品中的不均質(zhì)的原因，并且有時(shí)也會(huì)對于玻璃物品的化學(xué)耐久性產(chǎn)生障礙，因此，不優(yōu)選。關(guān)于玻璃組分中的MgO(氧化鎂)成分、CaO(氧化鈣)成分、ZnO(氧化鋅)成分、SrO(氧化鍶)成分和BaO(氧化鋇)成分的合量，這些成分中的任一項(xiàng)都是為了使玻璃的耐水性和熔解性以及折射率、透過率和硬度等各種物性值達(dá)到希望的性能所需要的成分。但是，這些成分的合量值不滿0.1質(zhì)量％時(shí)，則不足以實(shí)現(xiàn)希望的功能的情況就多。另外，這個(gè)合量超過20質(zhì)量％時(shí)，則對玻璃的耐候性和熔融時(shí)的熔解性產(chǎn)生障礙的情況就會(huì)變多，所以不優(yōu)選。再者，果超過20質(zhì)量％時(shí)，對于玻璃的機(jī)械強(qiáng)度會(huì)產(chǎn)生問題，因此不優(yōu)選。玻璃組分中的ZnO成分認(rèn)為是針對作為平板玻璃成型后的平板玻璃表面的、貫穿長期間的化學(xué)耐久性的維持和玻璃表面的耐傷性的提高，通過添加進(jìn)玻璃中而顯著改善這些性能的成分，但是添加按質(zhì)量％表示超過9%的量時(shí)，則有時(shí)化學(xué)耐久性劣化，所以不優(yōu)選。在玻璃組分中，作為堿金屬元素的氧化物而表現(xiàn)的Li20(氧化鋰)成分、Na20(氧化鈉)成分和K20(氧化鉀)成分的合量，是用于為了補(bǔ)償由于與覆蓋膜加熱時(shí)的應(yīng)力調(diào)節(jié)和與固體成像元件的封裝件筐體的膨脹收縮而產(chǎn)生的熱應(yīng)力，而把覆蓋玻璃的線熱膨脹系數(shù)控制在規(guī)定的范圍，來保持實(shí)現(xiàn)相對于施加在覆蓋玻璃上的熱負(fù)荷的穩(wěn)定性的功能的有用成分。而且，只要這些成分的合量為1質(zhì)量％以上，則可以與無堿玻璃清楚地區(qū)別，在玻璃的熔融工作中不需要無堿玻璃程度的大勞動(dòng)力，而且能夠容易地實(shí)現(xiàn)使線熱膨脹系數(shù)大幅度地變動(dòng)的效果，所以是適宜的。但是超過18質(zhì)量％時(shí)，則由于對玻璃的化學(xué)耐久性、特別是玻璃表面的耐水性產(chǎn)生障礙，所以不優(yōu)選。另外，本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃是無機(jī)氧化物玻璃，但只要是無堿玻璃，則對于實(shí)現(xiàn)構(gòu)成固體成像元件封裝件后的高耐候性都是合適的。在這里，無機(jī)氧化物玻璃為無堿玻璃是表示實(shí)質(zhì)上不含有堿金屬元素成分Li、Na、K的玻璃。在這里，實(shí)質(zhì)上不含有是指玻璃組分中屬于堿金屬元素的被稱為Na(鈉)、K(鉀)、Li(鋰)的元素按氧化物換算的合量在0.1質(zhì)量％以下。即，關(guān)于本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃，可以采用根據(jù)其用途所需要的玻璃組分，玻璃物品中所含有的堿成分有阻礙與玻璃表面的長久的耐候性有關(guān)的機(jī)能的危險(xiǎn)，即使是在玻璃熔融工作中需要?jiǎng)趧?dòng)力的情況，只要能夠?qū)崿F(xiàn)與之相稱的實(shí)質(zhì)利益，則是合適的。而且，在這種情況中，作為覆蓋玻璃的組分可以使用不含有堿金屬元素的組分，即所謂的無堿玻璃組分，關(guān)于無堿玻璃，通過應(yīng)用本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)希望的機(jī)能。15作為在這種情況中可以采用的無堿玻璃的組分，在以氧化物換算表示來記載玻璃中含有的各成分的情況下，以質(zhì)量％表示為Si0253~61%、A12030.7~20%、B203616%、RO2~28%(RO=MgO+BaO)、JO(JO=CaO+SrO)0.1~15%，并且玻璃中的OH基含有量取50ppm700ppm的范圍是適宜的。在這里，關(guān)于無堿玻璃的組分，Si02以質(zhì)量。/。表示少于53%時(shí)，則有化學(xué)耐久性變低的傾向，另一方面，由于超過61%，而且不含有堿金屬元素，所以熔融玻璃的粘性高，由此，有時(shí)容易變成不均質(zhì)的熔融狀態(tài)，很難以便宜的制造成本來成型均質(zhì)的薄板玻璃，所以不優(yōu)選。另外，關(guān)于無堿玻璃的組分，A1203以質(zhì)量％表示在0.720%的范圍內(nèi)，能協(xié)調(diào)地獲得耐電性等玻璃的電性能和化學(xué)性能，所以是適宜的。關(guān)于玻璃組分中的MgO和BaO的合量，以質(zhì)量％表示在228%的范圍內(nèi)，對成型后的耐藥品性、熱膨脹系數(shù)、且對避免熔融時(shí)來自熔融玻璃的結(jié)晶的析出是適宜的。關(guān)于玻璃組分中的CaO和SrO的合量，以質(zhì)量％表示在0.115%的范圍內(nèi)，可使成型后的耐藥品性、熱膨脹系數(shù)、或者稱為低溫粘性的性質(zhì)達(dá)到最適合的狀態(tài)，所以是適宜的。玻璃組分中的B203是使玻璃的熔解性提高的成分，但在該玻璃組分體系中，通過以質(zhì)量％表示有6。/。以上的含有量而發(fā)揮效果，所以優(yōu)選。另一方面，B203以質(zhì)量％表示超過16%時(shí)，則熔融時(shí)的蒸發(fā)量變多，容易使玻璃不均質(zhì)，所以不優(yōu)選。關(guān)于玻璃組分中的OH基含有量，通過用紅外分光光度計(jì)測量在紅外區(qū)域的透過率，可以特別規(guī)定其含有量，但是在50ppm700ppm的范圍內(nèi)時(shí)，可以使高溫的熔融玻璃的粘性達(dá)到比玻璃的104dPa'sec適當(dāng)?shù)恼承灾担覍τ谝愿鞣N成型方法成型的玻璃表面，可以得到組分均質(zhì)且具有平滑的表面狀態(tài)的玻璃的成型體，所以是適宜的。另外，在本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃的各玻璃組分中，通過采用高純度原料和其配備的熔融環(huán)境來精密地控制U(鈾)、Th(釷)、Ra(鐳)、Fe203、PbO、Ti02、Mn02、Zr02等不純物的含有量，特別是對于影響到固體成像元件用覆蓋玻璃的紫外線附近的透過率的Fe203、PbO、Ti02、Mn02，優(yōu)選分別按l~100ppm的順序來管理。另外，對于成為a射線引起的CCD等的軟錯(cuò)誤的原因的U、Th、Ra，可以分別按0.110ppb的順序來管理。而且，通過這樣的管理，固體成像元件用覆蓋玻璃的cx射線放出量需要在0.5c/cm、hr以下。本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃的制造方法是具有在耐熱性容器內(nèi)熔融玻璃原料混合物的工序、將獲得的熔融玻璃成型為平板玻璃的工序、在該平板玻璃的兩個(gè)透光面中的至少一個(gè)透光面上形成覆蓋膜的成膜工序、向在兩個(gè)透光面中的至少一個(gè)透光面具有覆蓋膜的帶覆蓋膜平板玻璃射出激光的射出工序、將射出工序后的平板玻璃分割成小片玻璃的工序的方法，只要以這個(gè)方法為基礎(chǔ)，則對于覆蓋玻璃的任何一個(gè)端面，都可以獲得其形狀品質(zhì)和外觀品質(zhì)優(yōu)良、缺口和裂紋等構(gòu)造缺陷很難產(chǎn)生的兩面帶膜狀態(tài)的薄平板玻璃。在這里，所謂具有在耐熱性容器內(nèi)熔融玻璃原料混合物的工序、將獲得的熔融玻璃成型為平板玻璃的工序、在該平板玻璃的兩個(gè)透光面中的至少一個(gè)透光面上形成覆蓋膜的成膜工序、向在兩個(gè)透光面中的至少一個(gè)透光面具有覆蓋膜的帶覆蓋膜平板玻璃射出激光的射出工序、將射出工序后的平板玻璃分割成小片玻璃的工序，是指如下所述的含義。即具有在具備有耐熱性的陶瓷制的爐壁的玻璃熔融爐或有耐熱性的白金等貴金屬制的玻璃熔融鍋中，把熔融玻璃熔融成為均質(zhì)狀態(tài)的工序、把通過該工序得到的均質(zhì)狀態(tài)的熔融玻璃用成型裝置成型為具有規(guī)定厚度的平板玻璃的工序、在成型的平板玻璃的厚度方向上相對的兩個(gè)透光面中的至少一個(gè)透光面上形成規(guī)定材質(zhì)的覆蓋膜的工序、通過對在覆蓋膜形成工序得到的至少一個(gè)透光面上被成膜有膜的平板玻璃的透光面照射激光，留下作為用于通過激光分割平板玻璃的預(yù)備裂縫線的照射痕的工序、以及通過重復(fù)地執(zhí)行對預(yù)備裂縫線進(jìn)行分割的操作而把激光照射后的兩面帶膜平板玻璃從原來的平板玻璃分割成小容積的平板玻璃的工序。關(guān)于在耐熱性容器內(nèi)熔融玻璃原料混合物的工序，是把熔融玻璃均質(zhì)化的物理操作，即只要是在具有攪拌操作或起泡等操作裝置的環(huán)境下能夠把玻璃均質(zhì)化的操作，則關(guān)于用于加熱熔融玻璃的加熱手段和裝置的尺寸，或者裝置的外形，可以使用任意的。另外，關(guān)于把獲得的熔融玻璃成型為平板玻璃的工序，只要是透光面的成型精度能夠達(dá)到規(guī)定的精度的方法，則可以采用任何成型方法。例如，可以是把通過澆鑄成型獲得的塊狀材料切片做成平板玻璃的操作，另外也可以是采用利用金屬錫鍍浴的漂浮法，或者下拉成型法等各種成型方法的操作。關(guān)于在該平板玻璃的兩個(gè)透光面中的至少一個(gè)透光面上形成覆蓋膜的成膜工序，如上所述，只要利用恰當(dāng)?shù)姆椒軌虬迅鞣N覆蓋膜材料制成薄膜狀，則不管是什么樣的方法都可以采用。關(guān)于向在兩個(gè)透光面中的至少一個(gè)透光面具有覆蓋膜的帶覆蓋膜平板玻璃射出激光的射出工序，只要能夠通過將按規(guī)定的輸出條件設(shè)定輸出值的激光照射到覆蓋膜和玻璃板兩者上，并在平板玻璃上產(chǎn)生預(yù)備裂縫線，則不管是以什么樣的方法照射激光的操作都可以采用。另外，對將射出工序后的平板玻璃分割成小片玻璃的工序而言，實(shí)施規(guī)定的重復(fù)操作，在預(yù)備裂縫線的裂縫前端施加拉伸力，從而把一塊平板玻璃分割成兩塊以上小容積的平板玻璃的操作，則不管采用什么方法都可以。本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃的制造方法的特征為將熔融玻璃成型為平板玻璃的工序，是將熔融玻璃以同一速度向下方延伸成型，然后對平板玻璃進(jìn)行冷卻固化。可以連續(xù)地成型板的厚度尺寸精度和平板玻璃透光面的面精度高的平板玻璃。在這里，所謂將熔融玻璃成型為平板玻璃的工序是將熔融玻璃向下方延伸成型，然后對平板玻璃進(jìn)行冷卻固化，是指使用采用了向下方延伸成型的成型手段的裝置來成型平板玻璃的操作，且在用希望的成型方法成型高溫狀態(tài)的熔融玻璃的時(shí)候，通過軋輥等有耐熱構(gòu)造的裝置向熔融玻璃施加延伸力并使其延伸，由此用實(shí)現(xiàn)規(guī)定的表面精度、厚度、板面積的方法來成型。例如，作為延伸成型的方法，具體地表示通過流孑L下引》去(slotdowndraw)、溢流熔融》去(overflowdowndraw)(或熔化法)、滾壓(rollout)成型法、多級(jí)(redraw)成型法等成型手段來成型為平板玻璃形狀的方法。本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃的制造方法除以上所述外，只要分割成小片玻璃的工序是折斷分開工序，就可以沿著事先形成的用于分割的預(yù)備裂縫線分?jǐn)嗷蛘叻指畛烧_的形狀，獲得具有高尺寸精度的平板玻璃小片，所以是優(yōu)選的。所謂分割成小片玻璃的工序是折斷分開工序，是指如下的工序通過從有預(yù)備裂縫線的帶膜平板玻璃的背面向帶膜的平板玻璃施加規(guī)定的按壓力來把帶膜的平板玻璃折彎，然后在預(yù)備裂縫線的裂縫前端施加適度的拉伸力，結(jié)果把一塊兩面帶膜的平板玻璃分割成兩塊帶膜的平板玻璃，重復(fù)進(jìn)行如上的操作，從而把一塊帶膜的平板玻璃細(xì)分割成數(shù)塊小片的帶膜平板玻璃。作為帶膜平板玻璃，既可以只是在激光照射面即施加按壓力的面的背面配置膜，也可以在兩面都配置膜，但是只要最終成為兩面帶膜的狀態(tài)，則在制造效率上優(yōu)選預(yù)先在兩面配置膜。關(guān)于折斷分開工序，需要注意不要因?yàn)橄虮环指畹母鱾€(gè)平板玻璃施加不要的應(yīng)力和沖擊而在平板玻璃上產(chǎn)生崩紋和傷痕等缺陷，另外還需要充分留意不要讓在折斷分開時(shí)產(chǎn)生的微細(xì)的粉塵附著在平板玻璃表面上。發(fā)明的效果(1)如以上所述，本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃是無機(jī)氧化物玻璃制的薄板狀的固體成像元件用覆蓋玻璃，在厚度方向上相對的兩個(gè)透光面中的至少一個(gè)透光面具有覆蓋膜，覆蓋玻璃的外周端面由用激光切斷的面形成，由于覆蓋膜是在激光切斷之前形成的，所以因設(shè)置在覆蓋玻璃的透光面上的覆蓋膜對平板玻璃的結(jié)合力變大，平板玻璃和覆蓋膜的界面變成具有高的機(jī)械強(qiáng)度、硬度的狀態(tài)，覆蓋膜變得難以輕易地剝離。(2)另外，本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃是無機(jī)氧化物玻璃制的薄板狀的固體成像元件用覆蓋玻璃，在厚度方向上相對的兩個(gè)透光面中的至少一個(gè)透光面具有覆蓋膜，只要覆蓋膜的外周端粘合在透光面上，則能夠成為可以降低在平板玻璃的端面部產(chǎn)生的各種缺陷的產(chǎn)生率，且具有高品質(zhì)的覆蓋玻璃。(3)另外，只要本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃的覆蓋膜是防反射膜，則能夠使規(guī)定的波長區(qū)域范圍的覆蓋玻璃的透過率達(dá)到足夠高的狀態(tài)，所以能夠使足夠的光量入射到固體成像元件，從而能夠使固體成像元件的性能達(dá)到所設(shè)計(jì)的優(yōu)良的品質(zhì)。(4)再者，只要本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃的覆蓋膜的外周端是被激光加工時(shí)產(chǎn)生的熱加熱而粘合在透光面上，則不會(huì)在激光切斷面上形成大的凹凸，所以可以減小與收納覆蓋玻璃和固體成像元件的陶瓷等基板的粘合面積，即使減小粘合面積也可以實(shí)現(xiàn)足夠高的粘合強(qiáng)度。另外，即使收納于固體成像元件封裝件的固體成像元件的面積變大，也沒必要顯著增大封裝件外形尺寸，可以通過增大封裝件的收納固體成像元件的內(nèi)腔部的面積來應(yīng)對。(5)另外，只要本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃的覆蓋膜是光學(xué)薄膜，且膜的厚度在0.01pm至100pm的范圍，則通過調(diào)節(jié)膜的厚度就能夠賦予帶膜平板玻璃各種光學(xué)性能。(6)另外，關(guān)于本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃，只要覆蓋玻璃的外周端面的凹陷深度在30pm以下，并且凹陷長度在500nm以下，則可以抑制形成于覆蓋玻璃表面的被膜容易剝落的問題，或者覆蓋玻璃的機(jī)械強(qiáng)度變低的問題。(7)另外，本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃，只要固體成像元件是CCD或者CMOS,則其為在與搭載于為了搭載在信息攜帶設(shè)備等所需要的薄型固體成像元件上的厚度尺寸小的固體成像元件用覆蓋玻璃也能夠?qū)?yīng)的機(jī)械性能上，具有穩(wěn)定的品質(zhì)的覆蓋玻璃。(8)另外，本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃，只要無機(jī)氧化物玻璃制的薄板狀玻璃的組分按換算成氧化物且以質(zhì)量百分率表示時(shí)，包含有Si025670%、A12030.518%、B203520%、RO0.1~20%(RO=MgO+CaO+ZnO+SrO+BaO)、ZnO09%、M20118%(M20=Li20+Na20+K20)，則除了在可視區(qū)域的透過率性能和耐水性、耐酸性之類的化學(xué)耐久性性能外，也可以作為成為輕量化基準(zhǔn)的密度足夠低的玻璃材料，再者，還可以作為具有相應(yīng)的硬度的材質(zhì)，所以可以構(gòu)成輕量且具有穩(wěn)定的強(qiáng)度性能的覆蓋玻璃。(9)本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃的制造方法，由于具有在耐熱性容器內(nèi)熔融玻璃原料混合物的工序、將獲得的熔融玻璃成型為平板玻璃的工序、在該平板玻璃的兩個(gè)透光面中的至少一個(gè)透光面上形成覆蓋膜的成膜工序、向兩個(gè)透光面中的至少一個(gè)透光面具有覆蓋膜的帶覆蓋膜平板玻璃射出激光的射出工序、將射出工序后的平板玻璃分割成小片玻璃的工序，所以在把平板玻璃細(xì)分為小片狀的切斷后，不需要構(gòu)筑象在各個(gè)小片狀的平板玻璃上分別形成覆蓋膜那樣復(fù)雜的工序，從而可以高效地制造平板玻璃。(10)另外，本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃的制造方法，只要將熔融玻璃成型為平板玻璃的工序是將熔融玻璃向下方延伸成型，然后對平板玻璃進(jìn)行冷卻固化的工序，則通過恰當(dāng)?shù)毓芾碜鰹槟覆牡钠桨宀ＡУ钠鸱缺砻嫫焚|(zhì)，能夠高速地進(jìn)行可滿足來自顧客的尺寸精度要求的熔融玻璃的精密成型，并能夠通過實(shí)現(xiàn)高的制造效率來實(shí)現(xiàn)與市場要求相稱的品質(zhì)和價(jià)格。(11)另外，本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃的制造方法，只要分割成小片玻璃的工序是折斷分開工序，則分割成小片玻璃的工序不會(huì)成為復(fù)雜的工序，所以容易進(jìn)行管理，也能夠容易地檢測出有缺陷的部分，因此能夠成為優(yōu)質(zhì)品率高的工序。圖1是關(guān)于本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃的端面的說明圖。圖2是本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃的說明圖，(A)是立體圖，(B)是局部剖面圖。圖3是對第一加工后的帶膜薄板狀玻璃實(shí)施第二加工時(shí)的加工方法的說明圖。符號(hào)說明1、10固體成像元件用覆蓋玻璃2平板玻璃的端面3、11平板玻璃的第一透光面4、12平板玻璃的第二透光面5、13第一加工面6、14第二加工面20薄板玻璃30線狀頭部Cl成膜在平板玻璃的第一透光面上的被膜C2成膜在平板玻璃的第二透光面上的被膜G平板玻璃M工作方向W平板玻璃端面的凹陷的棱線方向的長度尺寸H平板玻璃端面的凹陷的平板玻璃厚度方向的深度尺寸L平板玻璃端面的凹陷的平板玻璃透光面方向的深度尺寸具體實(shí)施例方式下面，對本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃及其制造方法，根據(jù)實(shí)施例詳細(xì)地進(jìn)行說明。實(shí)施例1本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃的立體圖(A)和其局部放大剖面圖(B)分別示于圖2。在圖2中，IO表示固體成像元件用覆蓋玻璃，ll表示有關(guān)在平板玻璃G的厚度方向上相對的兩個(gè)透光面的第一透光面，12表示與第一透光面11相對的第二透光面，13表示平板玻璃側(cè)周的第一加工面，14表示平板玻璃側(cè)周的第二加工面，Cl表示施與第一透光面上的被膜，C2表示施與第二透光面上的被膜。該固體成像元件用覆蓋玻璃10，以氧化物換算的質(zhì)量％表示來表明其玻璃組分時(shí)，使用由具有SiO260%、A120314.7%、B20311%、RO(RO=MgO+BaO)3%、JO(JO=CaO+SrO)11.3%，OH基量565ppm的組分的無堿硼硅酸玻璃組成的薄板玻璃，或者是具有Si025869%、A12030.5~15%、B2035~20%、M20(M20=Li20+Na20+K20)1~20%、RO(RO=MgO+CaO+ZnO+SrO+BaO)0.1~20%、ZnO0~9%的基本組分的鋁硼硅酸鹽玻璃，并用作收納光半導(dǎo)體元件即CMOS元件的封裝件的窗板玻璃，該CMOS元件的用途是用于搭載于手機(jī)等。該固體成像元件用覆蓋玻璃的外形尺寸是5mmX5mmX0.3mm的非常小的尺寸，如前面所述，在平板玻璃G的相對的兩個(gè)透光面中的第一透光面11的表面通過采用真空蒸鍍法，以均等的厚度形成厚度尺寸為lOpm的防反射膜(也稱為AR鍍膜)Cl，從而成為沒有氣孔等缺陷的狀態(tài)。另外，在與第一透光面11相對的第二透光面12的表面上，與第一透光面11同樣，通過真空蒸鍍法形成厚度10pm的防反射膜C2。由于施與兩個(gè)透光面的防反射膜Cl、C2都是在該平板玻璃G被切斷加工成為5mmX5mm的透光面前成膜的，所以覆蓋膜不是轉(zhuǎn)入到平板玻璃側(cè)面的局部而被成膜的。該覆蓋膜的組成是由由SiOx—TiOx系列構(gòu)成的4層組成的。再者，如下面所述，上面所述的平板玻璃側(cè)周的第一加工面13和平板玻璃側(cè)周的第二加工面14是通過激光照射和照射之后的按壓這兩個(gè)階段的激光切斷加工而形成的面，所以其表面沒有大的凹凸，其結(jié)果是，在與固體成像元件用封裝件進(jìn)行粘接時(shí)，能夠減小固體成像元件用封裝件和覆蓋玻璃的粘接面積，因此，也可以減小封裝件整體的外形尺寸。另外，即使是具有大的面積的固體成像元件，只要增大收納固體成像元件的封裝件的內(nèi)腔部面積即可，所以不用增大封裝件外形尺寸就能收納大型的固體成像元件。再者，因?yàn)樵诩す馇袛嗝嫖葱纬纱蟮陌纪?，所以自平板玻璃?cè)周產(chǎn)生的粉塵的產(chǎn)生量被抑制，從而可以獲得清潔的平板玻璃。下面，關(guān)于上述的固體成像元件用覆蓋玻璃，對其制造方法進(jìn)行說明。首先，為了成為規(guī)定的玻璃組分，在稱量了預(yù)先選定的高純度的玻璃原料后，使用攪拌器等粉末混合裝置(省略示意圖)進(jìn)行混合，制成被混合成均質(zhì)狀態(tài)的混合玻璃原料。該混合玻璃原料使用投入機(jī)被連續(xù)地投入保持在100(TC以上的高溫的耐熱性容器(省略示意圖)即由白金等貴金屬或者陶瓷等耐火物構(gòu)成的玻璃熔融爐內(nèi)。投入到玻璃熔融爐內(nèi)的混合玻璃原料在玻璃熔融爐內(nèi)被加熱到高溫而發(fā)生玻璃化反應(yīng)，成為粗熔融狀態(tài)的熔融玻璃。之后，該粗熔融狀態(tài)的熔融玻璃通過運(yùn)用攪拌操作或起泡(bubbling)等規(guī)定的物理的均質(zhì)化裝置而成為均質(zhì)狀態(tài)的熔融玻璃。這樣獲得的均質(zhì)熔融玻璃流入到配接于耐熱性容器的成型裝置(省略示意圖)。在這里，成型裝置有兩種形式，一種是可延伸成型的形式，另一種是在通過澆鑄成型做成塊狀的母材玻璃后，從母材玻璃上切出平板玻璃的形式。首先對前一種延伸成型進(jìn)行說明。使用的平板玻璃成型裝置在頂部具有上部開口的細(xì)長溝形的熔融玻璃供給槽，并且具備把該玻璃供給槽的兩側(cè)槽壁頂部作為溢出的溢出堰，以使兩側(cè)槽壁的外面部的截面形狀成為大致楔形的方式使兩側(cè)槽壁的外表面彼此朝向下方相互地接近，并在下端終結(jié)的成型體。在熔融爐內(nèi)被均質(zhì)化的熔融玻璃從玻璃供給槽的一端連續(xù)地被供給并從兩側(cè)槽壁頂部棱線溢出，然后沿著成型體的兩側(cè)槽壁外面流下，并在大致楔形的下端合流，從而成為一塊平板玻璃狀態(tài)。通過適當(dāng)?shù)卣{(diào)節(jié)熔融玻璃溫度和延伸速度等各條件，并通過用安裝在下部的可拆卸耐熱性滾子以規(guī)定速度拉出，將熔融玻璃向下方以同一速度延伸成型，由此，通過冷卻固化能夠?qū)⑵桨宀ＡУ某尚秃穸瘸叽缈刂圃谧钸m宜的狀態(tài)。將這樣成型的帶狀的薄板玻璃按規(guī)定長度進(jìn)行劃線切割，由此做成薄板玻璃母材。另外，關(guān)于用后一種澆鑄成型獲得的母材塊，通過使用采用游離磨料的線切割裝置等規(guī)定的切割裝置把塊切割成薄板玻璃狀。接著，通過使用具備人工皮革的旋轉(zhuǎn)研磨機(jī)(省略圖示)，一邊自動(dòng)供給將氧化鈽等游離磨料分散在水等中形成的漿液，一邊對獲得的己切斷母材玻璃實(shí)施研磨加工，且對平板玻璃的兩面實(shí)施研磨加工，直至母材玻璃的表面粗度以Ra值計(jì)為l.lnm的鏡面，之后進(jìn)行洗凈、干燥，做成鏡面狀態(tài)的薄板玻璃母材。用上面所述的兩種方法制造成的薄板玻璃母材尺寸可以在如下的范圍成型，即，長度50~600mm，寬度50~600mm，厚度0.150mm，并可以根據(jù)需要進(jìn)行變更。關(guān)于按上述方式獲得的薄板玻璃母材，經(jīng)過在其厚度方向相對的透光面的兩個(gè)表面11、12通過使用真空蒸鍍裝置，被成膜由SiOx—TiOx系列構(gòu)成的4層防反射膜Cl、C2的成膜工序，獲得覆蓋膜被施與在厚度方向上相對的兩個(gè)透光面上的已形成被膜的平板玻璃母材。按以下所述的步驟把己形成被膜的平板玻璃母材即通過在兩個(gè)透光面上形成覆蓋膜的成膜工序，在兩個(gè)面上形成有覆蓋膜的平板玻璃做成小片平板玻璃。首先，使用利用二氧化碳?xì)怏w激光的熱加工激光切割裝置，在被成膜的面上，作為預(yù)備分割線以激光光束移動(dòng)速度為180士5mm/sec，或220±5mm/sec，激光輸出功率為120±5W或160±5W的條件進(jìn)行棋盤格狀的第一加工，直至厚度達(dá)到已形成被膜的平板玻璃母材的厚度方向的20%為止。這樣，通過實(shí)施第一加工而形成的面，在切斷后成為圖2(A)中的第一加工面13。接著，如圖3概念性圖示，對于在薄板玻璃20的第一加工面13的某透光面11的相反側(cè)己被成膜的透光面12，使金屬制的線狀頭部30沿工作方向M移動(dòng)，同時(shí)用夾具(省略圖示)按壓薄板玻璃20的第一加工面13側(cè)的已被成膜的透光面12，由此，對薄板玻璃20的第一加工面13施加適當(dāng)?shù)膽?yīng)力，并以lXIO—3m/sec的按壓速度進(jìn)行壓斷。這樣，通過進(jìn)行第二加工的割斷操作，而獲得沿著第一加工所形成的作為斷裂起源的預(yù)備線被分割的短?hào)艩畹钠桨宀Ａ?。由該第二加工所形成的面是圖2(A)中的第二加工面14。這樣經(jīng)過壓斷加工成的短?hào)艩畹钠桨宀ＡВ谜婵砧囎?省略圖示)分別被運(yùn)送到下一個(gè)工序。然后，通過再次壓斷加工短?hào)艩畹钠桨宀ＡЙ@得最終的固體成像元件用覆蓋玻璃。這樣獲得的固體成像元件用覆蓋玻璃，通過在形成第一加工面13的時(shí)候所進(jìn)行的激光照射，在透光面11的覆蓋膜Cl的外周端，覆蓋膜Cl利用激光產(chǎn)生的熱加熱成為與玻璃表面11堅(jiān)固地粘接的狀態(tài)，所以透光面上的覆蓋膜很難輕易地剝落。接著，對于用上述的制造方法而獲得的本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃，把對于由產(chǎn)生在其端面的崩裂等造成的凹陷缺陷的尺寸進(jìn)行調(diào)査的結(jié)果進(jìn)行整理并顯示在表1中。與該覆蓋玻璃相關(guān)的測量是預(yù)先檢查IO萬塊覆蓋玻璃，并把在該檢查中確認(rèn)在端面部有凹陷的每一塊覆蓋玻璃集中起來，在此基礎(chǔ)上，為了確認(rèn)該凹陷的大小，利用電子顯微鏡進(jìn)一步地進(jìn)行測量。在表1中，從試樣No.l到試樣No.l7是有在包含作為第一透光面和第一加工面的邊界的棱線的部分上產(chǎn)生的崩裂等凹陷缺陷的試樣，從試樣No.l8到試樣No.26是有在包含作為第二透光面和第二加工面的邊界的棱線的部分上產(chǎn)生的崩裂等凹陷缺陷的試樣。<table>tableseeoriginaldocumentpage28</column></row><table>從表l可知，凹陷的棱線方向長度W是從10pm到280)im范圍的尺寸值，都是在50(Him以下的尺寸。另外，凹陷的平板玻璃透光面方向的深度方向尺寸L都比平板玻璃厚度方向的深度尺寸H大，是從2pm到17)im范圍的尺寸值，在30)im以下。這樣，本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃是具有無大尺寸的崩裂那樣的凹陷缺陷的完整的形狀尺寸，且有高的尺寸穩(wěn)定性的優(yōu)秀的覆蓋玻璃，也很難發(fā)生由凹陷所造成的強(qiáng)度的降低和膜的脫落。權(quán)利要求1、一種固體成像元件用覆蓋玻璃，其是無機(jī)氧化物玻璃制的薄板狀的固體成像元件用覆蓋玻璃，其特征在于，在厚度方向相對的兩個(gè)透光面中的至少一個(gè)透光面具有覆蓋膜，所述覆蓋玻璃的外周端面由用激光切斷的面形成，所述覆蓋膜是在激光切斷之前形成的。2、一種固體成像元件用覆蓋玻璃，其是無機(jī)氧化物玻璃制的薄板狀的固體成像元件用覆蓋玻璃，其特征在于，在厚度方向相對的兩個(gè)透光面中的至少一個(gè)透光面具有覆蓋膜，該覆蓋膜的外周端粘合在透光面上。3、如權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的固體成像元件用覆蓋玻璃，其特征在于，所述覆蓋膜是防反射膜。4、如權(quán)利要求1至權(quán)利要求3所述的固體成像元件用覆蓋玻璃，其特征在于，所述覆蓋膜的外周端通過被激光加工時(shí)產(chǎn)生的熱加熱而粘合在透光面上。5、如權(quán)利要求1至權(quán)利要求4中任一項(xiàng)所述的固體成像元件用覆蓋玻璃，其特征在于，所述覆蓋膜是光學(xué)薄膜，該光學(xué)薄膜的厚度在0.01nm100(im的范圍內(nèi)。6、如權(quán)利要求1至權(quán)利要求5中任一項(xiàng)所述的固體成像元件用覆蓋玻璃，其特征在于，所述覆蓋玻璃的外周端面的凹陷深度在3(^m以下，并且凹陷長度在500pm以下。7、如權(quán)利要求1至權(quán)利要求6中任一項(xiàng)所述的固體成像元件用覆蓋玻璃，其特征在于，該固體成像元件是CCD或CMOS。8、如權(quán)利要求1至權(quán)利要求7中任一項(xiàng)所述的固體成像元件用覆蓋玻璃，其特征在于，無機(jī)氧化物玻璃制的薄板狀玻璃的組分按換算成氧化物且以質(zhì)量百分率表示時(shí)，包含有SiO25670。/。、Al2030.5~18%、B203520%、RO0.120%(RO=MgO+CaO+ZnO+SrO+BaO)、ZnO0~9%、M20118%(M20=Li20+Na20+K20)。9、一種固體成像元件用覆蓋玻璃的制造方法，其特征在于，包括在耐熱性容器內(nèi)熔融玻璃原料混合物的工序、將獲得的熔融玻璃成型為平板玻璃的工序、在該平板玻璃的兩個(gè)透光面中的至少一個(gè)透光面上形成覆蓋膜的成膜工序、向在兩個(gè)透光面中的至少一個(gè)透光面具有覆蓋膜的帶覆蓋膜平板玻璃射出激光的射出工序、將射出工序后的平板玻璃分割成小片玻璃的工序。10、如權(quán)利要求9所述的固體成像元件用覆蓋玻璃的制造方法，其特征在于，在將熔融玻璃成型為平板玻璃的工序中，將熔融玻璃向下方延伸成型，然后冷卻固化平板玻璃。11、如權(quán)利要求9所述的固體成像元件用覆蓋玻璃的制造方法，其特征在于，分割成小片玻璃的工序是折斷分開工序。全文摘要本發(fā)明提供一種固體成像元件用覆蓋玻璃及其制造方法，設(shè)在該覆蓋玻璃的透光面的覆蓋膜很難輕易地剝離，且該覆蓋玻璃實(shí)現(xiàn)與基板的足夠的粘結(jié)面積和粘結(jié)強(qiáng)度，并具有高機(jī)械強(qiáng)度和高光學(xué)性能，尤其安定的化學(xué)性能，且潔凈度高。本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃10為無機(jī)氧化物玻璃制的薄板狀，其特征在于，在厚度方向上相對的兩個(gè)透光面11、12中的至少一個(gè)透光面具有覆蓋膜C1、C2，覆蓋玻璃10的外周端面由用激光切斷的面13、14形成，覆蓋膜C1、C2是在激光切斷之前成膜。本發(fā)明的固體成像元件用覆蓋玻璃10的制造方法，具有熔融玻璃原料混合物的工序、獲得的熔融玻璃成型為平板玻璃G的工序、在該平板玻璃G的兩個(gè)透光面11、12中的至少一個(gè)透光面形成覆蓋膜C1、C2的成膜工序、向在兩個(gè)透光面11、12中的至少一個(gè)透光面具有覆蓋膜C1、C2的附帶覆蓋膜平板玻璃射出激光的射出工序、將射出工序后的平板玻璃分割成小片玻璃的工序。文檔編號(hào)C03C3/093GK101553926SQ20078004553公開日2009年10月7日申請日期2007年12月26日優(yōu)先權(quán)日2007年1月5日發(fā)明者中堀宏亮,大川大介,淀川正弘申請人:日本電氣硝子株式會(huì)社