消除毛細(xì)管堵塞的裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種消除毛細(xì)管堵塞的裝置，包括：進(jìn)液管以及容置清洗液的清洗瓶，所述進(jìn)液管的一端連接毛細(xì)管，所述進(jìn)液管的另一端插入所述清洗瓶?jī)?nèi)容置的清洗液中，清洗液通過(guò)進(jìn)液管進(jìn)至毛細(xì)管中，與毛細(xì)管中的堵塞物發(fā)生反應(yīng)，以達(dá)到清除毛細(xì)管的堵塞的目的；并且，所述進(jìn)液管插入清洗瓶中且位于所述清洗液面之下，方便清洗液進(jìn)入進(jìn)液管中；毛細(xì)管的另一端通過(guò)出液管連接至廢液瓶，使得清洗液與堵塞物反應(yīng)之后的廢液流至廢液瓶，方便廢液的收集；在清洗瓶的進(jìn)氣管上安裝有壓力平衡閥，以保證清洗瓶中的清洗液連續(xù)的進(jìn)入毛細(xì)管；同時(shí)，在出液管上安裝有單向三通閥，單向三通閥的第三接口連接有蠕動(dòng)泵，以保證整個(gè)裝置的脈沖式負(fù)壓。
【專利說(shuō)明】消除毛細(xì)管堵塞的裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉集成電路制造【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種消除毛細(xì)管堵塞的裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體的制造過(guò)程中，使用到的化學(xué)試劑中一般都含有金屬雜質(zhì)，而金屬雜質(zhì)的含量對(duì)半導(dǎo)體的制程有重要影響，例如，晶片會(huì)受到金屬雜質(zhì)的污染。因此，需要對(duì)化學(xué)試劑中的金屬雜質(zhì)的含量進(jìn)行分析和監(jiān)控。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，通常采用電感稱合離子質(zhì)譜分析法(Inductively Coupled PlasmaMass Spectrometry, ICP-MS)與石墨爐原子吸收光譜分析法(Graphite Furnace AtomicAbsorpt1n Spectrometry, GFAAS)對(duì)化學(xué)試劑中的金屬雜質(zhì)的含量進(jìn)行分析。在ICP-MS與GFAAS中都含有毛細(xì)管的進(jìn)樣結(jié)構(gòu)，以保證微流進(jìn)樣，一般的進(jìn)樣流量規(guī)格是100?200ul/min。
[0004]由于在平常分析的化學(xué)試劑的樣品中，大部分含有氟化氫腐蝕下來(lái)的含有硅的物質(zhì)、光刻膠等有機(jī)物、金屬氧化物等，容易堵塞毛細(xì)管的進(jìn)樣器，導(dǎo)致ICP-MS或GFAAS設(shè)備不可用，所以如何消除半導(dǎo)體工業(yè)中毛細(xì)管的堵塞是一個(gè)重要的課題。
[0005]目前消除堵塞，常規(guī)的方法是超生震蕩清洗，但是由于毛細(xì)管較細(xì)的結(jié)構(gòu)以及部分堵塞物不溶于水的原因，上述方法的效果不大，因此，需要經(jīng)常更換毛細(xì)管以保證ICP-MS或GFAAS設(shè)備可以正常運(yùn)作。但是，毛細(xì)管的價(jià)格比較昂貴，增加了分析金屬含量的成本。
[0006]因此，亟需提供一種消除毛細(xì)管堵塞的裝置，以方便、安全、快捷的消除毛細(xì)管的堵塞，減少成本。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0007]本實(shí)用新型的目的在于提供一種消除毛細(xì)管堵塞的裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中毛細(xì)管的堵塞無(wú)法完全消除導(dǎo)致需要更換毛細(xì)管的問(wèn)題。
[0008]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種消除毛細(xì)管堵塞的裝置，其包括:進(jìn)液管以及容置清洗液的清洗瓶，所述進(jìn)液管的一端連接毛細(xì)管，所述進(jìn)液管的另一端插入所述清洗瓶?jī)?nèi)容置的清洗液中。
[0009]可選的，還包括出液管以及容置廢液的廢液瓶，所述出液管的一端連接所述毛細(xì)管，所述出液管的另一端插入所述廢液瓶中；所述出液管的另一端位于所述廢液的液面之上。
[0010]可選的，所述毛細(xì)管在進(jìn)液管與出液管之間的安裝方向與所述毛細(xì)管使用時(shí)進(jìn)樣的方向相反。
[0011]可選的，還包括進(jìn)氣管以及設(shè)置于所述進(jìn)氣管上的壓力平衡閥，所述進(jìn)氣管插入所述清洗瓶中。
[0012]可選的，還包括設(shè)置于所述出液管上的單向三通閥；所述單向三通閥呈T型，包括第一接口、第二接口與第三接口，所述第二接口垂直于所述第一接口與所述第三接口。
[0013]可選的，所述單向三通閥的第一接口通過(guò)出液管連接至毛細(xì)管，第二接口通過(guò)出液管連接至廢液瓶。
[0014]可選的，還包括導(dǎo)管以及蠕動(dòng)泵，所述單向三通閥的第三接口通過(guò)所述導(dǎo)管連接至所述蠕動(dòng)泵。
[0015]可選的，還包括設(shè)置于所述第二接口上的瓣膜，通過(guò)所述瓣膜使所述毛細(xì)管至所述廢液瓶為單向通道
[0016]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的消除毛細(xì)管堵塞的裝置具有以下有益效果:
[0017]1、所述消除毛細(xì)管堵塞的裝置包括進(jìn)液管以及容置清洗液的清洗瓶，通過(guò)將毛細(xì)管的一端通過(guò)進(jìn)液管連接至清洗瓶，在清洗瓶中放置有清洗液，清洗液通過(guò)進(jìn)液管進(jìn)至毛細(xì)管中，與毛細(xì)管中的堵塞物發(fā)生反應(yīng)，以達(dá)到清除毛細(xì)管的堵塞的目的；并且，所述進(jìn)液管插入清洗瓶中且位于所述清洗液面之下，方便清洗液進(jìn)入進(jìn)液管中；
[0018]2、所述消除毛細(xì)管堵塞的裝置還包括出液管以及容置廢液的廢液瓶，毛細(xì)管的另一端通過(guò)出液管連接至廢液瓶，使得清洗液與堵塞物反應(yīng)之后的廢液流至廢液瓶，方便廢液的收集，同時(shí)，所述進(jìn)液管插入廢液瓶中且位于所述廢液面之上，防止廢液進(jìn)入出液管中；
[0019]3、所述消除毛細(xì)管堵塞的裝置的清洗瓶上連接有進(jìn)氣管，并且在進(jìn)氣管上安裝有壓力平衡閥，以保證清洗瓶中的清洗液連續(xù)的進(jìn)入毛細(xì)管以清除堵塞；在出液管上安裝有單向三通閥，單向三通閥的第三接口連接有蠕動(dòng)泵，以保證整個(gè)裝置的脈沖式負(fù)壓，并且連接至廢液瓶的第二接口上設(shè)置有瓣膜，保證廢液流向廢液瓶而不進(jìn)入蠕動(dòng)泵。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例所提供的消除毛細(xì)管堵塞的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例所提供的消除毛細(xì)管堵塞的裝置中單向三通閥的放大示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0022]為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】做詳細(xì)的說(shuō)明。
[0023]本實(shí)用新型可以利用多種替換方式實(shí)現(xiàn)，下面通過(guò)較佳的實(shí)施例來(lái)加以說(shuō)明，當(dāng)然本實(shí)用新型并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員所熟知的一般的替換無(wú)疑涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
[0024]其次，本實(shí)用新型利用示意圖進(jìn)行了詳細(xì)的描述，在詳述本實(shí)用新型實(shí)施例時(shí)，為了便于說(shuō)明，示意圖不依一般比例局部放大，不應(yīng)以此作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。
[0025]請(qǐng)參考圖1，其為本實(shí)用新型一實(shí)施例所提供的消除毛細(xì)管堵塞的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所示，所述消除毛細(xì)管堵塞的裝置包括:進(jìn)液管12以及容置清洗液的清洗瓶11，所述進(jìn)液管12的一端連接至毛細(xì)管10，所述進(jìn)液管12的另一端插入所述清洗瓶11內(nèi)容置的清洗液中。
[0026]清洗液可以通過(guò)進(jìn)液管11進(jìn)至毛細(xì)管10中，與毛細(xì)管10的堵塞物發(fā)生反應(yīng)，以達(dá)到清除毛細(xì)管10的堵塞的目的，并且，所述進(jìn)液管12插入清洗瓶11中且位于所述清洗液面之下，方便清洗液進(jìn)入進(jìn)液管12中。所述清洗液可以是氟化氫(HF)、硝酸(HNO3)、雙氧水(H2O2)與去離子水(DIW)的混合物，其均是針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)中出現(xiàn)的各種雜質(zhì)，例如:HF針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)中含硅的雜質(zhì)，HNO3針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)中的金屬氧化物雜質(zhì)，H2O2針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)中有機(jī)物雜質(zhì)，所述混合物中各物質(zhì)的含量百分比可以根據(jù)實(shí)際需要清除的毛細(xì)管中堵塞物的材質(zhì)來(lái)確定，當(dāng)然也可以選擇其他本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的其他材質(zhì)來(lái)清除毛細(xì)管；可以理解的是，所述清除毛細(xì)管堵塞的裝置并不局限于半導(dǎo)體工業(yè)中，也可以應(yīng)用于其他的領(lǐng)域，需要根據(jù)毛細(xì)管中堵塞物的成分來(lái)確定清洗液的成分。
[0027]所述消除毛細(xì)管堵塞的裝置還包括:出液管14以及容置廢液的廢液瓶13，所述出液管14的一端連接至所述毛細(xì)管10，所述出液管14的另一端插入所述廢液瓶13中；所述出液管14的另一端位于所述廢液的液面之上，防止廢液進(jìn)入出液管14中。
[0028]本實(shí)施例中，所述毛細(xì)管10在進(jìn)液管12與出液管14之間的安裝方向與所述毛細(xì)管使用時(shí)進(jìn)樣的方向相反，如圖1所示，具體的為:將毛細(xì)管10與進(jìn)液管12連接的一端標(biāo)示為101，與出液管14連接的另一端標(biāo)示為102，所述毛細(xì)管10在設(shè)備上使用時(shí)樣品流動(dòng)的方向是從102至101，而在清楚堵塞時(shí)毛細(xì)管中清洗液流動(dòng)的方向與使用時(shí)的進(jìn)樣方向相反，以保證堵塞物的高效去除；可以理解的是，在其他實(shí)施例中，所述毛細(xì)管10在進(jìn)液管12與出液管14之間的安裝方向與所述毛細(xì)管10使用時(shí)進(jìn)樣的方向也可以相同，只需達(dá)到清除堵塞的目的即可。
[0029]所述清洗瓶11上還連接有進(jìn)氣管15，向所述清洗瓶11通入氣體，在所述進(jìn)氣管15上安裝有壓力平衡閥16，保證清洗液可以連續(xù)的進(jìn)入毛細(xì)管10以清除堵塞。所述進(jìn)氣管16插入所述清洗瓶11中并位于所述清洗液面之上。
[0030]在所述出液管14上安裝有單向三通閥17，所述單向三通閥17呈T型，包括第一接口 171、第二接口 172、第三接口 173，具體請(qǐng)參見(jiàn)圖2，所述第二接口 172垂直于所述第一接口 171與所述第三接口 173 ;在其他實(shí)施例中，所述單向三通閥17也可以采用其他的形狀，例如Y型。所述第一接口 171通過(guò)出液管14連接至所述毛細(xì)管10，所述第二接口 172通過(guò)出液管14連接至所述廢液瓶13，所述第三接口通過(guò)導(dǎo)管連接至蠕動(dòng)泵18，所述蠕動(dòng)泵18保證整個(gè)裝置的脈沖式負(fù)壓。在所述第二接口 172上設(shè)置有瓣膜，可以打開(kāi)與關(guān)閉，保證廢液流向廢液瓶13而不是蠕動(dòng)泵17，并且從所述毛細(xì)管10至所述廢液瓶為單向通道。
[0031]由于蠕動(dòng)泵17提供的額是脈沖式負(fù)壓，當(dāng)所述蠕動(dòng)泵17提供負(fù)壓時(shí)，由于壓力的作用第二接口 172的瓣膜閉合，裝置中從第一接口 171至清洗瓶11都處于負(fù)壓，清洗液通過(guò)出液管12進(jìn)入毛細(xì)管10，與堵塞物發(fā)生反應(yīng)；當(dāng)所述蠕動(dòng)泵17不提供負(fù)壓時(shí)，第二接口172的瓣膜打開(kāi)，反應(yīng)產(chǎn)物廢液流入廢液瓶13中。從圖2中可以看出，第三接口 173在所述單向三通閥17中的導(dǎo)管是朝向第二接口 172的，可以防止廢液進(jìn)入蠕動(dòng)泵17中，也可以方便第二接口 172瓣膜的關(guān)閉與打開(kāi)。
[0032]綜上所述，所述消除毛細(xì)管堵塞的裝置包括進(jìn)液管以及容置清洗液的清洗瓶，通過(guò)將毛細(xì)管的一端通過(guò)進(jìn)液管連接至清洗瓶，在清洗瓶中放置有清洗液，清洗液通過(guò)進(jìn)液管進(jìn)至毛細(xì)管中，與毛細(xì)管中的堵塞物發(fā)生反應(yīng)，以達(dá)到清除毛細(xì)管的堵塞的目的；并且，所述進(jìn)液管插入清洗瓶中且位于所述清洗液面之下，方便清洗液進(jìn)入進(jìn)液管中；所述消除毛細(xì)管堵塞的裝置還包括出液管以及容置廢液的廢液瓶，毛細(xì)管的另一端通過(guò)出液管連接至廢液瓶，使得清洗液與堵塞物反應(yīng)之后的廢液流至廢液瓶，方便廢液的收集，同時(shí)，所述進(jìn)液管插入廢液瓶中且位于所述廢液面之上，防止廢液進(jìn)入出液管中；所述消除毛細(xì)管堵塞的裝置的清洗瓶上連接有進(jìn)氣管，并且在進(jìn)氣管上安裝有壓力平衡閥，以保證清洗瓶中的清洗液連續(xù)的進(jìn)入毛細(xì)管以清除堵塞；在出液管上安裝有單向三通閥，單向三通閥的第三接口連接有蠕動(dòng)泵，以保證整個(gè)裝置的脈沖式負(fù)壓，并且連接至廢液瓶的第二接口上設(shè)置有瓣膜，保證廢液流向廢液瓶而不進(jìn)入蠕動(dòng)泵。
[0033]上述描述僅是對(duì)本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的描述，并非對(duì)本實(shí)用新型范圍的任何限定，本實(shí)用新型領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾，均屬于權(quán)利要求書(shū)的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種消除毛細(xì)管堵塞的裝置，其特征在于，包括進(jìn)液管以及容置清洗液的清洗瓶，所述進(jìn)液管的一端連接毛細(xì)管，所述進(jìn)液管的另一端插入所述清洗瓶?jī)?nèi)容置的清洗液中。
2.如權(quán)利要求1所述的消除毛細(xì)管堵塞的裝置，其特征在于，還包括出液管以及容置廢液的廢液瓶，所述出液管的一端連接所述毛細(xì)管，所述出液管的另一端插入所述廢液瓶中。
3.如權(quán)利要求2所述的消除毛細(xì)管堵塞的裝置，其特征在于，所述出液管的另一端位于所述廢液的液面之上。
4.如權(quán)利要求1所述的消除毛細(xì)管堵塞的裝置，其特征在于，所述毛細(xì)管在進(jìn)液管與出液管之間的安裝方向與所述毛細(xì)管使用時(shí)進(jìn)樣的方向相反。
5.如權(quán)利要求1所述的消除毛細(xì)管堵塞的裝置，其特征在于，還包括進(jìn)氣管以及設(shè)置于所述進(jìn)氣管上的壓力平衡閥，所述進(jìn)氣管插入所述清洗瓶中。
6.如權(quán)利要求2所述的消除毛細(xì)管堵塞的裝置，其特征在于，還包括設(shè)置于所述出液管上的單向三通閥。
7.如權(quán)利要求6所述的消除毛細(xì)管堵塞的裝置，其特征在于，所述單向三通閥呈T型，包括第一接口、第二接口與第三接口，所述第二接口垂直于所述第一接口與所述第三接口。
8.如權(quán)利要求7所述的消除毛細(xì)管堵塞的裝置，其特征在于，所述單向三通閥的第一接口通過(guò)出液管連接至毛細(xì)管，第二接口通過(guò)出液管連接至廢液瓶。
9.如權(quán)利要求8所述的消除毛細(xì)管堵塞的裝置，其特征在于，還包括導(dǎo)管以及蠕動(dòng)泵，所述單向三通閥的第三接口通過(guò)所述導(dǎo)管連接至所述蠕動(dòng)泵。
10.如權(quán)利要求9所述的消除毛細(xì)管堵塞的裝置，其特征在于，還包括設(shè)置于所述第二接口上的瓣膜，通過(guò)所述瓣膜使所述毛細(xì)管至所述廢液瓶為單向通道。
【文檔編號(hào)】B08B13/00GK203991539SQ201420330721
【公開(kāi)日】2014年12月10日 申請(qǐng)日期:2014年6月19日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月19日
【發(fā)明者】宋健 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司