便于內(nèi)部氣體管路清潔的氨氣洗滌塔的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種便于內(nèi)部氣體管路清潔的氨氣洗滌塔，包括塔體、加酸管路、氣體管路、開(kāi)關(guān)按鈕、操控顯示屏和內(nèi)部壓力表，加酸管路通過(guò)加酸口與塔體相連接，氣體管路通過(guò)塔體表面的通孔插入塔體內(nèi)部，內(nèi)部壓力表、操控顯示屏和開(kāi)關(guān)按鈕從上至下依次設(shè)置于塔體的外壁上，還包括硫酸導(dǎo)向管和閥門(mén)，硫酸導(dǎo)向管的一端與所述的加酸管路相通，另一端通過(guò)閥門(mén)與氣體管路相連。有益效果是在對(duì)氣體管路中的結(jié)晶物進(jìn)行清潔時(shí)，無(wú)需將MOCVD停機(jī)，不會(huì)對(duì)正常的生產(chǎn)過(guò)程造成影響；同時(shí)，在進(jìn)行清潔的過(guò)程中操作人員與氨氣是隔離開(kāi)來(lái)的，不會(huì)對(duì)身體造成傷害，操作安全方便。
【專利說(shuō)明】便于內(nèi)部氣體管路清潔的氨氣洗滌塔
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種氨氣洗滌塔，具體是一種便于內(nèi)部氣體管路清潔的氨氣洗滌塔。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，LED被業(yè)界認(rèn)為是最理想的傳統(tǒng)光源的替代品，這是由于其自身的特點(diǎn)所決定的，LED具有體積小、耗電量低、使用壽命長(zhǎng)、高亮度、低熱量、環(huán)保、堅(jiān)固耐用和可控性強(qiáng)的特點(diǎn)，可以被廣泛應(yīng)用于顯示屏、照明燈具、信號(hào)指示燈等領(lǐng)域。LED生產(chǎn)過(guò)程中最關(guān)鍵的步驟是嘉晶工藝，目前普遍采用的方法是金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積(Metal-OrganicChemical Vapor Deposition,簡(jiǎn)稱MOCVD),利用該方法生產(chǎn)的設(shè)備是一種自動(dòng)化程度高、價(jià)格昂貴、技術(shù)集成度高的尖端光電子專用設(shè)備。
[0003]在利用MOCVD進(jìn)行生產(chǎn)的過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生廢氣，主要是氨氣，目前普遍采用氨氣洗滌塔對(duì)排出的氨氣進(jìn)行后處理，但是長(zhǎng)期使用中發(fā)現(xiàn)氨氣洗滌塔中的氣體管路會(huì)由于結(jié)晶物的形成而堵塞，造成MOCVD在生產(chǎn)時(shí)氣流不穩(wěn)定，清潔結(jié)晶物時(shí)需要先將MOCVD停機(jī)，這樣就會(huì)影響生產(chǎn)；同時(shí)，在清潔的過(guò)程中操作人員難免會(huì)吸入氨氣，會(huì)對(duì)操作人員的身體造成一定的傷害。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種便于內(nèi)部氣體管路清潔的氨氣洗滌塔，無(wú)需將MOCVD停機(jī)便可以實(shí)現(xiàn)氨氣洗滌塔內(nèi)部氣體管路的清潔，在進(jìn)行清潔的過(guò)程中操作人員能夠與氨氣隔離開(kāi)來(lái)，不會(huì)對(duì)身體造成傷害。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):一種便于內(nèi)部氣體管路清潔的氨氣洗滌塔，包括塔體、加酸管路、氣體管路、開(kāi)關(guān)按鈕、操控顯示屏和內(nèi)部壓力表，加酸管路通過(guò)加酸口與塔體相連接，氣體管路通過(guò)塔體表面的通孔插入塔體內(nèi)部，內(nèi)部壓力表、操控顯示屏和開(kāi)關(guān)按鈕從上至下依次設(shè)置于塔體的外壁上，還包括硫酸導(dǎo)向管和閥門(mén)，硫酸導(dǎo)向管的一端與所述的加酸管路相通，另一端通過(guò)閥門(mén)與氣體管路相連。
[0006]進(jìn)一步的，所述的塔體的外壁上設(shè)置有pH值顯示屏，pH值顯示屏位于開(kāi)關(guān)按鈕的下方，通過(guò)pH值顯示屏可以了解塔體內(nèi)部的酸堿度，便于操控。
[0007]進(jìn)一步的，所述的塔體的底部四個(gè)頂角處分別設(shè)有滑輪，可以根據(jù)生產(chǎn)車間設(shè)備的擺放位置或者管路的鋪設(shè)方向來(lái)靈活調(diào)節(jié)氨氣洗滌塔的位置。
[0008]本實(shí)用新型的有益效果是:通過(guò)在加酸管路和氣體管路之間加裝硫酸導(dǎo)向管和閥門(mén)，可以根據(jù)內(nèi)部壓力表的讀數(shù)顯示來(lái)控制硫酸導(dǎo)向管的開(kāi)閉，當(dāng)壓力值達(dá)到設(shè)定的上限時(shí)，將閥門(mén)打開(kāi)，這樣加酸管路中的硫酸便可以通過(guò)硫酸導(dǎo)向管流入氣體管路中，對(duì)氣體管路中的結(jié)晶物進(jìn)行清理；當(dāng)壓力值恢復(fù)正常后，關(guān)閉閥門(mén)即可，該清潔過(guò)程無(wú)需將MOCVD停機(jī)，不會(huì)影響到正常的生產(chǎn)過(guò)程；同時(shí)，在進(jìn)行清潔的過(guò)程中操作人員能夠與氨氣隔離開(kāi)來(lái)，不會(huì)對(duì)身體造成傷害，操作安全方便。【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖中:1、加酸管路，2、硫酸導(dǎo)向管，3、閥門(mén)，4、氣體管路，5、塔體，6、滑輪，7、pH值
顯示屏，8、開(kāi)關(guān)按鈕,9、操控顯示屏，10、內(nèi)部壓力表。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說(shuō)明。
[0012]如圖1所示，一種便于內(nèi)部氣體管路清潔的氨氣洗滌塔，包括塔體5、加酸管路1、氣體管路4、開(kāi)關(guān)按鈕8、操控顯示屏9和內(nèi)部壓力表10，加酸管路I通過(guò)加酸口與塔體5相連接，氣體管路4通過(guò)塔體5表面的通孔插入塔體5內(nèi)部，內(nèi)部壓力表10、操控顯示屏9和開(kāi)關(guān)按鈕8從上至下依次設(shè)置于塔體5的外壁上，還包括硫酸導(dǎo)向管2和閥門(mén)3，硫酸導(dǎo)向管2的一端與所述的加酸管路I相通，另一端通過(guò)閥門(mén)3與氣體管路4相連。
[0013]進(jìn)一步的，塔體5的外壁上還設(shè)置有pH值顯示屏7，pH值顯示屏7位于開(kāi)關(guān)按鈕8的下方，通過(guò)pH值顯示屏7可以了解塔體5內(nèi)部的酸堿度，便于操控。
[0014]進(jìn)一步的，塔體5的底部四個(gè)頂角處分別設(shè)有滑輪6，可以根據(jù)生產(chǎn)車間設(shè)備的擺放位置或者管路的鋪設(shè)方向來(lái)靈活調(diào)節(jié)氨氣洗滌塔的位置。
[0015]使用過(guò)程:操作人員通過(guò)內(nèi)部壓力表10的讀數(shù)可以判斷氣體管路4中是否有結(jié)晶物存在，當(dāng)內(nèi)部壓力表10的讀數(shù)從正常狀態(tài)的_50torr上升至64torr，此時(shí)就需要將閥門(mén)3打開(kāi)，這樣加酸管路I中的硫酸便可以通過(guò)硫酸導(dǎo)向管2流入氣體管路4中，對(duì)氣體管路4中的結(jié)晶物進(jìn)行清理；當(dāng)內(nèi)部壓力表10的讀數(shù)恢復(fù)正常后，關(guān)閉閥門(mén)3即可；整個(gè)清潔過(guò)程無(wú)需將MOCVD停機(jī)，不會(huì)影響到正常的生產(chǎn)過(guò)程；同時(shí)，在進(jìn)行清潔的過(guò)程中操作人員與氨氣是隔離開(kāi)來(lái)的，不會(huì)對(duì)身體造成傷害，操作安全方便。
【權(quán)利要求】
1.一種便于內(nèi)部氣體管路清潔的氨氣洗滌塔，包括塔體(5)、加酸管路(I)、氣體管路(4)、開(kāi)關(guān)按鈕(8)、操控顯示屏(9)和內(nèi)部壓力表(10)，加酸管路(I)通過(guò)加酸口與塔體(5)相連接，氣體管路(4 )通過(guò)塔體(5 )表面的通孔插入塔體(5)內(nèi)部，內(nèi)部壓力表(10)、操控顯示屏(9)和開(kāi)關(guān)按鈕(8)從上至下依次設(shè)置于塔體(5)的外壁上，其特征在于，還包括硫酸導(dǎo)向管(2)和閥門(mén)(3)，硫酸導(dǎo)向管(2)的一端與所述的加酸管路(I)相通，另一端通過(guò)閥門(mén)(3)與氣體管路(4)相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于內(nèi)部氣體管路清潔的氨氣洗滌塔，其特征在于，所述的塔體(5)的外壁上設(shè)置有pH值顯示屏(7)，pH值顯示屏(7)位于開(kāi)關(guān)按鈕(8)的下方。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種便于內(nèi)部氣體管路清潔的氨氣洗滌塔，其特征在于，所述的塔體(5 )的底部四個(gè)頂角處分別設(shè)有滑輪(6 )。
【文檔編號(hào)】B08B9/027GK203425679SQ201320536409
【公開(kāi)日】2014年2月12日 申請(qǐng)日期:2013年8月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月30日
【發(fā)明者】曾繹聰, 孫統(tǒng)暢, 孫益鵬, 孟祥好, 夏友龍 申請(qǐng)人:晶旺光電（徐州）有限公司