一種石墨舟的清洗工藝的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及硅太陽能電池制造中的鍍膜工藝所用的石墨舟，尤其是一種石墨舟的清洗工藝。其特點是，包括如下步驟：（1）配液：配制氫氟酸，體積濃度為20%～25%；（2）酸洗：將石墨舟用配制好的氫氟酸浸泡8～10小時，并且每1小時設定鼓泡8～10分鐘，鼓泡氣體氣壓設定為0.2～0.4Mpa；（3）水洗：將石墨舟用水浸泡6～8小時，浸泡時持續(xù)鼓泡，并且每60～70分鐘換水一次；（4）沖洗：用高壓水槍將整個石墨舟沖洗一遍；（5）吹掃：用N2將石墨舟表面水分吹掃一遍；（6）烘干：將石墨舟放入烘箱，設定溫度100℃～120℃，烘干時間8～10小時即可。采用本發(fā)明的工藝技術后，有效提高了鍍膜的合格率。
【專利說明】 一種石墨舟的清洗工藝
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及硅太陽能電池制造中的鍍膜工藝所用的石墨舟，尤其是一種石墨舟的清洗工藝。
【背景技術】
[0002]PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,等離子體增強化學氣象沉積法)是硅太陽能電池制造工藝中不可缺少的一部分，隨著PECVD技術的不斷改進，管式PECVD在提高太陽能電池的效率上有了顯著提高。而石墨舟清洗效果的好壞，在相當大的程度上，影響了管式PECVD鍍膜的效果。如果不能很好的清洗石墨舟，將會導致色差片增多，甚至膜層厚度難以控制，嚴重影響產能及效益。
[0003]由于對于石墨舟清洗目前沒有專門的清洗設備和工藝標準，國內一些中小型電池片生產廠家，依然利用在酸中浸泡20多個小時，水洗12多個小時才清洗干凈，這種清洗工藝不但石墨舟清洗效果差、效率低，而且石墨舟酸中浸泡過久易于損壞，從而大幅降低了石墨舟的使用壽命。

【發(fā)明內容】

[0004]本發(fā)明的目的是提供一種石墨舟的清洗工藝，能夠獲得良好的清洗效果從而提高了鍍膜的合格率，并且基本上不影響石墨舟的使用壽命。
[0005]一種石墨舟的清洗工藝，其特別之處在于，包括如下步驟:
[0006](I)配液:配制氫氟酸，體積濃度為20%?25% ；
[0007](2)酸洗:將石墨舟用配制好的氫氟酸浸泡8?10小時，并且每I小時設定鼓泡8?10分鐘，鼓泡氣體氣壓設定為0.2?0.4Mpa ；
[0008](3)水洗:將石墨舟用水浸泡6?8小時，浸泡時持續(xù)鼓泡，并且每60?70分鐘換水一次；
[0009](4)沖洗:用高壓水槍將整個石墨舟沖洗一遍；
[0010](5)吹掃:用N2將石墨舟表面水分吹掃一遍；
[0011](6)烘干:將石墨舟放入烘箱，設定溫度100°C?120°C，烘干時間8?10小時即可。
[0012]經(jīng)過試用證明，采用本發(fā)明的工藝技術后，在短時間內就可以將石墨舟清洗的很干凈，使得石墨舟的清洗效果可以完全匹配石墨舟的鍍膜工藝，從而顯著提高了鍍膜的合格率，避免了長時間酸洗對石墨舟本身的破壞從而有效延長了石墨舟的使用壽命，還可以顯著降低色差片等不良品的比例，解決了原來石墨舟清洗的技術難題，從而提高了產線的產能與效益。
【具體實施方式】
[0013]本發(fā)明為解決石墨舟清洗效果差的問題，為此提供了一種石墨舟清洗工藝。包括如下步驟:將石墨舟酸洗步驟；進行水洗步驟；進行水槍沖洗和N2吹掃步驟；進行干燥步驟。
[0014]本發(fā)明石墨舟清洗工藝，所述的石墨舟酸洗步驟包括將石墨舟螺絲擰松，氫氟酸溶液濃度為20%?25%，再將石墨舟放入酸液中浸泡8?10小時，每個小時N2鼓泡8?10分鐘，其中鼓泡氣體氣壓設置于0.2Mpa,鼓泡強度適當，以免鼓泡過大,氫氟酸揮發(fā),又可避免鼓泡過小，清洗效果差。
[0015]本發(fā)明石墨舟清洗工藝，所述的石墨舟水洗步驟包括將酸液排到另一個槽子里，再放清水清洗石墨舟6?8小時，過程中需要一直鼓泡，鼓泡閥門開到最大。水洗中每半小時換水一次。
[0016]本發(fā)明石墨舟清洗工藝，所述的石墨舟水槍沖洗步驟包括將高壓水槍對石墨舟進行沖洗，對縫隙處沖洗多次，N2吹掃步驟包括用N2將石墨舟表面水分吹掃干凈，避免積成水珠，烘干中水珠處酸液濃度慢慢升高而造成石墨舟烘干后在表面留下印痕。
[0017]本發(fā)明石墨舟清洗工藝，所述的石墨舟干燥步驟包括烘箱溫度設定為100°C?120°C，烘干時間8?10小時。石墨舟烘干后冷卻半小時。
[0018]實施例1:
[0019](I)配液:配制氫氟酸，體積濃度為20% ；
[0020](2)酸洗:將石墨舟用配制好的氫氟酸浸泡8小時，酸洗過程中每I小時設定鼓泡10分鐘，鼓泡氣體氣壓設定為0.2Mpa，需要手動操作清洗機的鼓泡按鈕；相比目前多數(shù)采用酸浸泡20多個小時的工藝，本酸洗工藝能夠大大增加石墨舟壽命及硅片鍍膜效果，同時減少酸洗時間12個小時以上,大大提高了生產效率；
[0021](3)水洗:將石墨舟用水浸泡6小時，浸泡時持續(xù)鼓泡，并且每I小時換水一次；
[0022](4)沖洗:用高壓水槍將整個石墨舟沖洗一遍；
[0023](5)吹掃:用N2將石墨舟表面水分吹掃一遍，避免石墨舟表面積成水珠；
[0024](6)烘干:將石墨舟放入烘箱，設定溫度120°C，烘干時間8小時即可。
【權利要求】
1.一種石墨舟的清洗工藝，其特征在于，包括如下步驟: (1)配液:配制氫氟酸，體積濃度為20%~25%； (2)酸洗:將石墨舟用配制好的氫氟酸浸泡8~10小時，并且每I小時設定鼓泡8~10分鐘，鼓泡氣體氣壓設定為0.2~0.4Mpa ； (3)水洗:將石墨舟用水浸泡6~8小時，浸泡時持續(xù)鼓泡，并且每60~70分鐘換水一次; (4)沖洗:用高壓水槍將整個石墨舟沖洗一遍； (5)吹掃:用N2將石墨舟表面水分吹掃一遍； (6)烘干:將石墨舟放入烘箱·，設定溫度100°C~120°C，烘干時間8~10小時即可。
【文檔編號】B08B3/02GK103521473SQ201310521710
【公開日】2014年1月22日 申請日期:2013年10月29日 優(yōu)先權日:2013年10月29日
【發(fā)明者】徐云飛, 常松山, 丁鈞, 孫樵, 紀牟赫 申請人:寧夏銀星能源股份有限公司