一種新型的石墨舟清洗工藝的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明是一種新型的石墨舟清洗工藝。該新型的清洗工藝是在舊的石墨舟清洗工藝上做了極大的改進(jìn)。說明書對本工藝進(jìn)行了詳細(xì)的說明，并給出具體實施方案。
【專利說明】一種新型的石墨舟清洗工藝

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明是一種新型的石墨舟清洗工藝，用于石墨舟清洗操作。該配方的主要目是 降低管式PECVD鍍膜中在太陽能電池片制造中的返工率，以提升電池片成品率。

【背景技術(shù)】
[0002] 太陽能具有可再生和環(huán)保等方面的特點(diǎn)，這種優(yōu)勢讓包括中國在內(nèi)的許多國家將 太陽能作為重點(diǎn)發(fā)展的新能源產(chǎn)業(yè)。中國**光伏產(chǎn)品主要供應(yīng)給歐美市場，國內(nèi)市場份額 很小。近年來，由于歐美各國市場需求的增大，我國光伏產(chǎn)業(yè)取得了快速的發(fā)展，最近5年 的年均增長速度達(dá)到40%以上。在政策進(jìn)一步加大扶持力度的背景下，未來光伏產(chǎn)業(yè)的增 長前景將更為廣闊。
[0003] 光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)鏈從上游到下游，主要包括的產(chǎn)業(yè)鏈條包括多晶硅、硅片、電池片以 及電池組件。在產(chǎn)業(yè)鏈中，多晶硅電池，生產(chǎn)的技術(shù)門檻越來越低，相應(yīng)地，公司數(shù)量分布也 越來越多，利潤越來越地。
[0004] 而PECVD作為太陽能電池制造中的重要一環(huán)，其降低返工率提升成品率對成本的 節(jié)約有著至關(guān)重要的意義。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明針對PECVD石墨舟清洗的一種方法。利用氮化硅與氫氟酸反應(yīng)的原理，氮 氣鼓泡引起配方液體流動來加速清除石墨舟表面的氮化硅。
[0006] 本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)：
[0007] 1. -種新型石墨舟清洗工藝，包括：液體配方、清洗方法與時間設(shè)置、所用氣體及 其流量、盛放液體的槽體材質(zhì)。
[0008] 2.如權(quán)利要求1所述的該清洗工藝，其特征在于，其中所述的液體配方中的水為 去離子水。
[0009] 3.如權(quán)利要求2所述的該清洗工藝，其特征在于，其中所述的所用氣體為氮?dú)?，?要用于鼓泡。
[0010] 4.如權(quán)利要求3所述的該清洗工藝，其特征在于，其中所述盛放液體的槽體所用 的材質(zhì)為PVDF材料或其它耐酸堿材料。
[0011] 本發(fā)明具有如下優(yōu)點(diǎn)：
[0012] 1.簡單易行且可單人操作，操作安全系數(shù)高
[0013] 1)石墨舟清洗前后無需拆卸，節(jié)省了人力，降低了石墨舟清洗操作的繁瑣性，在提 商石墨舟清
[0014] 洗操作安全系數(shù)的同時，延長了是石墨舟片及工藝點(diǎn)的使用壽命；
[0015] 2) -次配液可以清洗2個石墨舟，減少了配液次數(shù)，同樣提高了石墨舟清洗操作 的安全系數(shù)。
[0016] 2.清洗速度快
[0017] 較比早期的石墨舟清洗工藝節(jié)省了一半的時間，更加貼切了大規(guī)模生產(chǎn)的需求。
[0018] 3.清洗質(zhì)量高
[0019] 據(jù)長期的生產(chǎn)實踐數(shù)據(jù)來看，新型的石墨舟清洗工藝使PECVD鍍膜的良品率提高 了近4. 2個
[0020] 百分點(diǎn)。
[0021] 4.極大地節(jié)約了成本，清洗每臺石墨舟的氮?dú)庥昧拷档土?85% (數(shù)據(jù)詳見表1)
[0022] 本發(fā)明具有如下缺點(diǎn)：
[0023] 1.酸液濃度較大，會增加廢水處理的難度。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0024] 圖1清洗前的石墨舟
[0025] 圖2清洗后的石墨舟

【具體實施方式】
[0026] 下面結(jié)合具體實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步介紹，這些描述都是說明性的，本發(fā)明不 限于此。本發(fā)明的范圍僅由所附權(quán)利要求的范圍所限定。
[0027] -種新型的石墨舟清洗工藝，包括：液體配方、清洗方法和時間設(shè)置、所用氣體及 其流量、盛放液體的槽體材質(zhì)。
[0028] 1.液體配方
[0029] 液體配方：用49%濃度的EL級別的氫氟酸和去離子水以1 : 1的比例進(jìn)行配液。 配液高度以漫過石墨舟l-2cm為最佳。
[0030] 2.清洗方法和時間設(shè)置
[0031] 具體如下：
[0032] 1)酸液中放入第一臺待洗的石墨舟，清洗期間開啟氮?dú)夤呐?。酸洗時間：6h
[0033] 2)酸洗完畢后，取出石墨舟放入清水槽用漫過石墨舟3_5cm的去離子水漂洗，漂 洗期間開啟氮?dú)夤呐?、換水3次。漂洗時間：2h。
[0034] 3)將水洗完的第一臺石墨舟取出烘干。
[0035] 4)用過一次的配液中放入第二臺石墨舟，清洗期間開啟氮?dú)夤呐?。酸洗時間：12h
[0036] 5)酸洗完畢后，取出石墨舟放入清水槽用漫過石墨舟3-5cm的去離子水漂洗，漂 洗期間開啟氮?dú)夤呐荨Q水3次。漂洗時間：2h。
[0037] 6)將水洗完的第二臺石墨舟取出烘干。
[0038] 7)用完2次以后把配液排空，并用清水將槽體沖洗干凈。兩臺石墨舟清洗完畢。
[0039] 3.所用氣體及流量
[0040] 鼓泡氣體為氮?dú)猓呐輹r氣體流量為1. 5SCFM。
[0041] 4.盛放液體的槽體材質(zhì)
[0042] 槽體材質(zhì)為PVDF等耐酸堿材料的材料。
[0043] 以上所述已對本發(fā)明的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背 離本發(fā)明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯，將 承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
[0044] 附表：
[0045]

【權(quán)利要求】
1. 一種新型石墨舟清洗工藝，包括：液體配方、清洗方法與時間設(shè)置、所用氣體及其流 量、盛放液體的槽體材質(zhì)。
2. 如權(quán)利要求1所述的該清洗工藝，其特征在于，其中所述的液體配方中的酸液為HF、 水為去離子水。
3. 如權(quán)利要求2所述的該清洗工藝，其特征在于，其中所述的所用氣體為氮?dú)?，主要?于鼓泡以加速HF與石墨舟氮化硅的反應(yīng)速率。
4. 如權(quán)利要求3所述的該清洗工藝，其特征在于，其中所述盛放液體的槽體所用的材 質(zhì)為PVDF材料或其它耐酸堿材料。
【文檔編號】B08B3/08GK104289467SQ201310303709
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2013年7月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月18日
【發(fā)明者】李楠, 侯國峰 申請人:北京中科信電子裝備有限公司