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連續(xù)式軟性電路板清孔設備的制作方法

文檔序號:1338874閱讀:211來源:國知局
專利名稱:連續(xù)式軟性電路板清孔設備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及一種連續(xù)式設備,且特別涉及一種連續(xù)式軟性電路板清孔設備。
背景技術(shù)
隨著電子產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展,電子產(chǎn)品亦逐漸邁入多功能、高性能的研發(fā)趨勢。為了滿足電子產(chǎn)品微型化(Miniaturization)的需求,在有限的空間下擴大電路板上可供利用的線路布局面積,以在相同電路板單位面積下容納更多數(shù)量的線路及電子元件,本領(lǐng)域發(fā)展出一種在電路板中開設盲孔或通孔以供上、下層線路之間電性連接的技術(shù)。軟性電路板為當今電子產(chǎn)品最重要的元件之一,主要功用是提供各項元件之間的連接電路,使用范圍極為廣泛,例如可以在筆記本電腦、手機、電子書、平板電腦、電子游戲主機、通信產(chǎn)品、數(shù)字相框、車用衛(wèi)星導航、數(shù)字電視等各項中應用。公知軟性電路板雷射后的盲孔清潔過程中,因為材料特性的關(guān)系多采用干式制程以真空式電漿設備進行盲孔的清潔,無法采用濕式去渣化學處理流程。且因干式真空電漿設備均采用單張作業(yè)的模式,導致無法以卷對卷(roll to roll)的方式進行連續(xù)自動化生產(chǎn)。

實用新型內(nèi)容本實用新型提供一種連續(xù)式軟性電路板清孔設備,上述連續(xù)式軟性電路板清孔設備可應用于軟性電路板的濕式制程,以清潔軟性電路板的盲孔。本實用新型提出一種連續(xù)式軟性電路板清孔設備,包括一清潔整孔單元、一超聲波水洗單元、一微蝕單元以及一輸送裝置。清潔整孔單元設置有一高溫整孔槽、一超聲波振蕩機以及一加熱器。高溫整孔槽用以配置一整孔液,以清潔軟性電路板上的殘?zhí)蓟蚧臍埩粑?。超聲波水洗單元設置有一水洗槽以及一超聲波水洗機,用以清潔殘留于軟性電路板的盲孔內(nèi)的整孔液。微蝕單元設置有一微蝕主槽,而微蝕主槽位于清潔整孔單元與超聲波水洗單元之間。輸送裝置具有一送料卷筒機以及一收料卷筒機。送料卷筒機與收料卷筒機之間形成一輸送路徑,用以連續(xù)輸送軟性電路板依序通過高溫整孔槽、微蝕主槽以及水洗槽。微蝕單元還設置有固定式近接噴灑裝置,固定式近接噴灑裝置包括上噴灑集管以及下噴灑集管。上噴灑集管位于微蝕單元內(nèi)上方,下噴灑集管位于微蝕單元內(nèi)下方,且上噴灑集管的延伸方向與通過微蝕單元的輸送路徑互相平行。上噴灑集管與下噴灑集管配置有多個噴嘴,所述多個噴嘴分別固設于上噴灑集管與下噴灑集管,且相鄰兩個噴嘴的間距皆相等。換句話說,本實用新型提供的連續(xù)式軟性電路板清孔設備包括清潔整孔單元,設置有高溫整孔槽、超聲波振蕩機以及加熱器,該高溫整孔槽用以配置整孔液,以清潔軟性電路板上的殘?zhí)蓟蚧臍埩粑?;超聲波水洗單元,設置有水洗槽以及超聲波水洗機,用以清潔殘留于該軟性電路板的至少一盲孔內(nèi)的殘留微蝕液;微蝕單元,設置有微蝕主槽,該微蝕主槽位于該清潔整孔單元與該超聲波水洗單元之間;以及輸送裝置,具有送料卷筒機以及收料卷筒機,該送料卷筒機與該收料卷筒機之間形成輸送路徑,用以連續(xù)輸送該軟性電路板依序通過該清潔整孔單元、該微蝕單元以及該超聲波水洗單元;其中,該微蝕單元設置有固定式近接噴灑裝置,該固定式近接噴灑裝置包括上噴灑集管,位于該微蝕單元內(nèi)上方,該上噴灑集管的延伸方向與通過該微蝕單元的該輸送路徑互相平行;以及下噴灑集管,位于該微蝕單元內(nèi)下方;其中該上噴灑集管與該下噴灑集管配置有多個噴嘴,該多個噴嘴分別固設于該上噴灑集管與該下噴灑集管,且該多個噴嘴的相鄰兩個噴嘴的間距皆相等。較佳地,該多個噴嘴皆為扇形噴嘴。較佳地,該多個噴嘴的噴灑角度皆為35度至65度。較佳地,該多個噴嘴的噴灑角度皆為50度。較佳地,該多個噴嘴的相鄰兩個噴嘴的噴灑交錯覆蓋率皆為10%至20%。較佳地,該多個噴嘴的相鄰兩個噴嘴的噴灑交錯覆蓋率皆為14%。較佳地,該多個噴嘴至該軟性電路板的表面的垂直距離皆小于50毫米。較佳地,該多個噴嘴的相鄰兩個噴嘴的間距皆為20毫米至40毫米。較佳地,該多個噴嘴的相鄰兩個噴嘴的間距皆為28毫米。本實用新型連續(xù)式軟性電路板清孔設備因采用固定式近接噴灑裝置,可增加噴灑涵蓋面積范圍,以獲得均勻蝕刻的效果,且可增加清潔孔深功能。本實用新型的連續(xù)式軟性電路板清孔設備并可省略額外增設的電漿處理裝置,以縮減設備占用空間。為讓本實用新型的上述特征和優(yōu)點能更明顯易懂,下文特舉實施例,并配合所附附圖,作如下詳細說明。
圖1為本實用新型一實施例的連續(xù)式軟性電路板清孔設備的側(cè)視剖面示意圖;圖2為圖1中連續(xù)式軟性電路板清孔設備的固定式近接噴灑裝置的側(cè)視剖面示意圖。主要元件附圖標記說明IOOa連續(xù)式軟性電路板清孔設備100清潔整孔單元110高溫整孔槽120超聲波振蕩機130加熱器200超聲波水洗單元210水洗槽220超聲波水洗機300微蝕單元320微蝕主槽310固定式近接噴灑裝置311上噴灑集管312下噴灑集管313、313,噴嘴[0036]400輸送裝置410送料卷筒機411送料卷筒420收料卷筒機421收料卷筒F軟性電路板SI上表面S2下表面LI整孔液L2超聲波水洗液L3微蝕液D1、D2、D1,、D2’距離G噴灑角度P輸送路徑101、201、301 入口端102、202、302出口端
具體實施方式
為了充分了解本實用新型,特例舉實施例并配合附圖作詳細說明,但其并非用以限定本實用新型。請同時參照圖1以及圖2,圖1為本實用新型一實施例的連續(xù)式軟性電路板清孔設備IOOa的側(cè)視剖面示意圖,而圖2為圖1中連續(xù)式軟性電路板清孔設備IOOa的固定式近接噴灑裝置310的側(cè)視剖面示意圖。連續(xù)式軟性電路板清孔設備IOOa包括清潔整孔單元100、超聲波水洗單元200、微蝕單元300以及輸送裝置400。連續(xù)式軟性電路板清孔設備IOOa可應用于濕式制程以及卷對卷連續(xù)化生產(chǎn)方式,以清潔軟性電路板F的盲孔。清潔整孔單元100設置有高溫整孔槽110、超聲波震蕩機120以及加熱器130,可用以清潔軟性電路板F上的殘?zhí)蓟蚧臍埩粑?,使軟性電路板F的盲孔底部保持微蝕前的潔凈度。高溫整孔槽110用以配置整孔液LI,超聲波震蕩機120用以對整孔液LI提供超聲波,而加熱器130用以加熱整孔液LI。如圖1所示,清潔整孔單元100的兩側(cè)分別設置有入口端101以及出口端102,經(jīng)由輸送裝置400輸送的軟性電路板F可由入口端101輸送至清潔整孔單元100內(nèi)部。借此,軟性電路板F可通過高溫整孔槽110,而由出口端102輸送出清潔整孔單元100。在本實施例中,整孔液LI容置于高溫整孔槽110,而整孔液LI可用以咬蝕軟性電路板F上的殘?zhí)蓟蚧臍埩粑铩U滓篖I例如為堿性清潔液,其可降低表面張力,使原本不具親水性的軟性電路板F板面及盲孔孔璧具有親水潤濕性。經(jīng)加熱的整孔液LI可提高其藥水特性,也就是說,經(jīng)加熱的整孔液LI可增加其與殘?zhí)蓟蚧臍埩粑锏姆磻浴8邷卣撞?10的形狀、尺寸或設置位置,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員而言,可以依據(jù)實際需求而設計,例如可依據(jù)軟性電路板F的尺寸或輸送路徑P而設計,所以本實用新型的實施例在此不加以限制。在本實施例中,高溫整孔槽110為大致長方體形狀并設置于清潔整孔單元100內(nèi)部的下方,也就是說,入口端101或出口端102皆與高溫整孔槽110的底部保持特定高度,以避免整孔液LI由入口端或者出口端溢出高溫整孔槽110。另外,形成高溫整孔槽110的材料可耐高溫且耐腐蝕,以利于容置整孔液LI。超聲波震蕩機120用以對整孔液LI提供超聲波,超聲波震蕩機120例如可包含壓電轉(zhuǎn)換器,用以將電能轉(zhuǎn)換成物理振動能。舉例而言,超聲波產(chǎn)生器可于高溫整孔槽110內(nèi)間隔地產(chǎn)生多個駐波(StandingWave)超聲波,而容置于高溫整孔槽110中的整孔液LI可借助超聲波而震蕩以滲入軟性電路板F的盲孔內(nèi)部。超聲波震蕩機120所提供的超聲波的強度與方向,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員而言,可以依據(jù)整孔液LI的種類與溫度而改變,所以本實用新型的實施例在此不加以限制。加熱器130為管狀、板狀、螺旋形狀或其他形狀的熱交換器,用以加熱整孔液LI。加熱器130并不受限于熱交換器,在其他實施例中,加熱器130可設置于高溫整孔槽110外部,用以加熱高溫整孔槽110,而容置于高溫整孔槽110的整孔液LI可借助熱傳導而受熱升溫。在其他實施例中,加熱器130還可具有溫度控制裝置,而此溫度控制裝置可控制加熱器130保持在預定的加熱溫度。如圖1所示,超聲波震蕩機120與加熱器130皆設置于高溫整孔槽110底部。另夕卜,于清潔整孔單元100內(nèi)部能以橫向或縱向等方式設置有多個輸送輪軸,用以定義軟性電路板F的輸送路徑P,使軟性電路板F可通過高溫整孔槽110并浸泡于整孔液LI中。例如,如圖1所示,軟性電路板F可沿著水平方向由入口端101輸送至清潔整孔單元100內(nèi)部,然后再垂直地下降至清潔整孔單元100內(nèi)部的下方,以通過高溫整孔槽110。超聲波水洗單元200設置有水洗槽210以及超聲波水洗機220,可用以清潔殘留于軟性電路板F的盲孔內(nèi)的殘留微蝕液。水洗槽210用以容置超聲波水洗液L2,而超聲波水洗機220用以對超聲波水洗液L2提供超聲波。如圖1所示,超聲波水洗單元200的兩側(cè)分別設置有入口端201以及出口端202,經(jīng)由輸送裝置400輸送的軟性電路板F可由入口端201輸送至超聲波水洗單元200內(nèi)部,軟性電路板F然后通過水洗槽210,而由出口端202輸送出超聲波水洗單元200。水洗槽210的形狀、尺寸或設置位置對于本技術(shù)領(lǐng)域普通技術(shù)人員而言,可以依據(jù)實際需求而設計,例如可依據(jù)軟性電路板F的尺寸或輸送路徑P而設計,所以本實用新型的實施例在此不加以限制。在本實施例中,水洗槽210為大致長方體形狀并設置于超聲波水洗單元200內(nèi)部的下方,也就是說,入口端201或出口端202皆與水洗槽210的底部保持特定高度,以避免超聲波水洗液L2由入口端201或者出口端202溢出水洗槽210。超聲波水洗機220例如可包含壓電轉(zhuǎn)換器,用以將電能轉(zhuǎn)換成物理振動能。舉例而言,超聲波產(chǎn)生器可于水洗槽210內(nèi)間隔地產(chǎn)生多個駐波(Standing Wave)超聲波,而容置于水洗槽210的超聲波水洗液L2可借助超聲波的震蕩以滲入軟性電路板F的盲孔。超聲波水洗機220所提供的超聲波的強度與方向?qū)τ诒绢I(lǐng)域普通技術(shù)人員而言,,可以依據(jù)超聲波水洗液L2的種類而改變,故本實用新型的實施例在此不加以限制。同樣地,于超聲波水洗單元200內(nèi)部能以橫向或縱向等方式設置有多個輸送輪軸,用以定義軟性電路板F的輸送路徑P,使軟性電路板F可通過水洗槽210并浸泡于超聲波水洗液L2中。例如,如圖1所示,軟性電路板F可沿著水平方向由入口端201輸送至超聲波水洗單元200內(nèi)部,然后再垂直地下降至超聲波水洗單元200內(nèi)部的下方,以通過水洗槽210。因此,超聲波水洗單元200可借助超聲波震蕩將超聲波水洗液L2滲入軟性電路板F的盲孔。微蝕單元300設置有微蝕主槽320,微蝕主槽320位于清潔整孔單元100與超聲波水洗單元200之間。詳細而言,清潔整孔單元100的出口端102對應微蝕主槽320的入口端301,而微蝕主槽320的出口端302對應超聲波水洗單元200的入口端201。因此,輸送裝置400可在清潔整孔單元100、微蝕單元300與超聲波水洗單元200之間依序形成連續(xù)的輸送路徑P,用以輸送軟性電路板F。如圖1所示,通過微蝕單元300的輸送路徑P為大致水平直線路徑。輸送裝置400具有送料卷筒機410以及收料卷筒機420,送料卷筒機410與收料卷筒機420之間形成有輸送路徑P,用以輸送軟性電路板F依序通過清潔整孔單元100、微蝕單元300以及超聲波水洗單元200。如圖1所示,在本實施例中,送料卷筒機410鄰近于清潔整孔單元100的入口端101,而收料卷筒機420鄰近于超聲波水洗單元200的出口端202。送料卷筒機410與收料卷筒機420之間形成有大致水平的輸送路徑P。詳細而言,送料卷筒機410具有送料卷筒411,收料卷筒機420具有收料卷筒421。送料卷筒411與收料卷筒421皆為表面光滑的金屬圓筒,且送料卷筒411與收料卷筒421能以固定軸(圖中未示)做同方向滾動。軟性電路板F可卷繞于送料卷筒411與收料卷筒421,而送料卷筒411與收料卷筒421的軸心分別與動力馬達(圖中未示)相連接。動力馬達可帶動送料卷筒411與收料卷筒421做同方向滾動,借此,送料卷筒411與收料卷筒421的滾動可帶動軟性電路板F于輸送路徑P上移動,使軟性電路板F依序通過清潔整孔單元100、微蝕單元300以及超聲波水洗單元200。微蝕單元300還設置有固定式近接噴灑裝置310,用以噴灑微蝕液L3至軟性電路板F的至少一個表面。微蝕液L3可用以微蝕軟性電路板F的盲孔。固定式近接噴灑裝置310包括上噴灑集管311以及下噴灑集管312。在本實施例中,上噴灑集管311位于微蝕單元300內(nèi)部上方,且上噴灑集管311的延伸方向與通過微蝕單元300的輸送路徑P互相平行。下噴灑集管312對應于上噴灑集管311而位于微蝕單元300內(nèi)部下方。上噴灑集管311與下噴灑集管312配置有多個噴嘴313、313’,且噴嘴313、313’分別固設于上噴灑集管311與下噴灑集管312。如圖1與圖2所示,上噴灑集管311與下噴灑集管312的形狀皆為長直形狀,且上噴灑集管311與下噴灑集管312的長度大致與微蝕單元300的寬度相等。上噴灑集管311與下噴灑集管312分別位于輸送路徑P的上側(cè)與下側(cè)。上噴灑集管311與下噴灑集管312用以提供微蝕液L3,舉例而言,上噴灑集管311與下噴灑集管312皆連接于泵(圖中未示),借此,微蝕液L3可被壓送至上噴灑集管311與下噴灑集管312,再分送至各噴嘴313、313’,以使微蝕液L3可由噴嘴313、313’噴灑至位于輸送路徑P的軟性電路板F的表面。多個噴嘴313、313’朝向輸送路徑P而分別固設于上噴灑集管311與下噴灑集管312,且所述多個噴嘴313、313’中的相鄰兩個噴嘴的距離皆相等。如圖2所示,多個噴嘴313固設于上噴灑集管311,而多個噴嘴313’固設于下噴灑集管312。噴嘴313的數(shù)量與噴嘴313’的數(shù)量相同。再者,兩個相鄰噴嘴313的距離Dl皆相等,例如,距離Dl皆為20毫米至40毫米。兩個相鄰噴嘴313’的距離D1’皆相等,例如,距離D1’皆為20毫米至40毫米。在本實施例中,距離Dl以及距離D1’例如皆為28毫米。詳細而言,多個噴嘴313皆朝向相同方向而固設于上噴灑集管311上。在本實施例中,噴嘴313是以垂直于輸送路徑P的方向設置,也就是說,噴嘴313垂直于軟性電路板的上表面SI。噴嘴313’對應于噴嘴313,同樣地,多個噴嘴313’皆朝向相同方向而固設于下噴灑集管312上。噴嘴313’是以垂直于輸送路徑P的方向設置,也就是說,噴嘴313’垂直于軟性電路板的下表面S2。如圖2所示,噴嘴313至軟性電路板F上表面SI的垂直距離D2皆相等,且例如皆小于50毫米。噴嘴313’至軟性電路板F下表面S2的垂直距離D2’皆相等,且例如皆小于50毫米。另外,在其他實施例中,噴嘴313也可交錯于噴嘴313’而固設于上噴灑集管。壓送至上噴灑集管311的微蝕液L3,可經(jīng)由噴嘴313噴灑至軟性電路板F的上表面SI,而壓送至下噴灑集管312的微蝕液L3,可經(jīng)由噴嘴313’噴灑至軟性電路板F的下表面S2。在本實施例中,噴嘴313與噴嘴313’皆為扇形噴嘴,詳細而言,微蝕液L3噴灑出噴嘴313、313’時,具有大致扇形的噴灑范圍,且噴嘴313、313’具有噴灑角度G。如圖2所示,多個噴嘴313、313’的噴灑角度G可皆為35度至65度,在本實施例中,噴灑角度G例如皆為50度。噴灑至軟性電路板F上表面SI的微蝕液L3并可覆蓋部分上表面SI,由相鄰兩個噴嘴313所噴灑出的微蝕液L3可交錯覆蓋于部分上表面SI,因此,相鄰兩個噴嘴313間具有噴灑交錯覆蓋率。同樣地,由相鄰兩個噴嘴313’所噴灑出的微蝕液L3交錯覆蓋于部分下表面S2,因此,相鄰兩個噴嘴313’間也具有噴灑交錯覆蓋率。相鄰兩個噴嘴313間的噴灑交錯覆蓋率例如皆為10%至20%,而相鄰兩個噴嘴313’間的噴灑交錯覆蓋率皆為10%至20%。在本實施例中,相鄰兩個噴嘴313間的噴灑交錯覆蓋率皆為14%,而相鄰兩個噴嘴313’間的噴灑交錯覆蓋率也皆為14%。在其他實施例中,固定式近接噴灑裝置310可具有多個平行列設的上噴灑集管311或下噴灑集管312。固設于多個上噴灑集管311的多個噴嘴313至軟性電路板F上表面SI的垂直距離皆相等,而固設于多個下噴灑集管312的多個噴嘴313’至軟性電路板F下表面S2的垂直距離皆相等。根據(jù)本實用新型實施例,上述的連續(xù)式軟性電路板清孔設備IOOa可應用于軟性電路板F的濕式制程,借助于清潔整孔單元100可將高溫可咬蝕殘?zhí)蓟蚧臍埩粑锏恼滓篖I滲入軟性電路板F的盲孔,以確保微蝕制程前盲孔的潔凈度。上述的連續(xù)式軟性電路板清孔設備IOOa并可借助微蝕單元300的固定式近接噴灑裝置310,確保微蝕制程中盲孔孔內(nèi)微蝕液L3的置換能力,再借助超聲波水洗單元200,以將殘留于孔內(nèi)的微蝕液L3清除。上述的連續(xù)式軟性電路板清孔設備IOOa借助于固定式近接噴灑裝置310,可強化微蝕液L3噴灑至軟性電路板F的覆蓋范圍,以獲得均勻蝕刻的效果,并可增加清潔孔深功能。上述的連續(xù)式軟性電路板清孔設備IOOa可省略公知技術(shù)中額外增設的電漿處理裝置,以縮減設備占用空間。上述的連續(xù)式軟性電路板清孔設備IOOa通過輸送裝置400,可突破單張電路板作業(yè)方式,用以連續(xù)自動化生產(chǎn)。上述的連續(xù)式軟性電路板清孔設備IOOa能以濕式制程流程搭配卷對卷(roll toroll)設備特殊設計來取代以往單張作業(yè)模式的干式真空電漿處理流程。上述的連續(xù)式軟性電路板清孔設備IOOa通過送料卷筒機及收料卷筒機,借以傳遞軟性電路板,且于輸送路徑P通過清潔整孔單元、微蝕單元以及超聲波水洗單元,可清潔軟性電路板F的銅面上的油污以及氧化銅,以提供良好的銅表面度。以上所述僅為本實用新型的實施例,其并非用以限定本實用新型的保護范圍。任何本領(lǐng)域普通技術(shù)人員,在不脫離本實用新型的精神與范圍內(nèi),所作的修改及等效替換,仍在本實用新型的保護范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種連續(xù)式軟性電路板清孔設備,其特征在于,該連續(xù)式軟性電路板清孔設備包括 清潔整孔單元,設置有高溫整孔槽、超聲波振蕩機以及加熱器,該高溫整孔槽用以配置整孔液,以清潔軟性電路板上的殘?zhí)蓟蚧臍埩粑铮? 超聲波水洗單元,設置有水洗槽以及超聲波水洗機,用以清潔殘留于該軟性電路板的至少一盲孔內(nèi)的殘留微蝕液; 微蝕單元,設置有微蝕主槽,該微蝕主槽位于該清潔整孔單元與該超聲波水洗單元之間;以及 輸送裝置,具有送料卷筒機以及收料卷筒機,該送料卷筒機與該收料卷筒機之間形成輸送路徑,用以連續(xù)輸送該軟性電路板依序通過該清潔整孔單元、該微蝕單元以及該超聲波水洗單元; 其中,該微蝕單元設置有固定式近接噴灑裝置,該固定式近接噴灑裝置包括 上噴灑集管,位于該微蝕單元內(nèi)上方,該上噴灑集管的延伸方向與通過該微蝕單元的該輸送路徑互相平行;以及 下噴灑集管,位于該微蝕單元內(nèi)下方; 其中該上噴灑集管與該下噴灑集管配置有多個噴嘴,該多個噴嘴分別固設于該上噴灑集管與該下噴灑集管,且該多個噴嘴的相鄰兩個噴嘴的間距皆相等。
2.如權(quán)利要求1所述的連續(xù)式軟性電路板清孔設備,其特征在于,該多個噴嘴皆為扇形噴嘴。
3.如權(quán)利要求2所述的連續(xù)式軟性電路板清孔設備,其特征在于,該多個噴嘴的噴灑角度皆為35度至65度。
4.如權(quán)利要求2所述的連續(xù)式軟性電路板清孔設備,其特征在于,該多個噴嘴的噴灑角度皆為50度。
5.如權(quán)利要求2所述的連續(xù)式軟性電路板清孔設備,其特征在于,該多個噴嘴的相鄰兩個噴嘴的噴灑交錯覆蓋率皆為10%至20%。
6.如權(quán)利要求2所述的連續(xù)式軟性電路板清孔設備,其特征在于,該多個噴嘴的相鄰兩個噴嘴的噴灑交錯覆蓋率皆為14%。
7.如權(quán)利要求1所述的連續(xù)式軟性電路板清孔設備,其特征在于,該多個噴嘴至該軟性電路板的表面的垂直距離皆小于50毫米。
8.如權(quán)利要求1所述的連續(xù)式軟性電路板清孔設備,其特征在于,該多個噴嘴的相鄰兩個噴嘴的間距皆為20毫米至40毫米。
9.如權(quán)利要求1所述的連續(xù)式軟性電路板清孔設備,其特征在于,該多個噴嘴的相鄰兩個噴嘴的間距皆為28毫米。
專利摘要本實用新型提供一種連續(xù)式軟性電路板清孔設備,包括清潔整孔單元、超聲波水洗單元、微蝕單元以及輸送裝置;清潔整孔單元設置有高溫整孔槽、超聲波振蕩機以及加熱器;超聲波水洗單元設置有水洗槽以及超聲波水洗機;微蝕單元設置有微蝕主槽,微蝕主槽位于清潔整孔單元與超聲波水洗單元之間;微蝕單元還設置有固定式近接噴灑裝置,固定式近接噴灑裝置包括上噴灑集管以及下噴灑集管;多個噴嘴分別固設于上噴灑集管與下噴灑集管,且相鄰兩個噴嘴的間距皆相等;輸送裝置具有送料卷筒機以及收料卷筒機,送料卷筒機與收料卷筒機之間形成輸送路徑。本實用新型可增加噴灑涵蓋面積范圍,以獲得均勻蝕刻的效果,并省略電漿處理裝置,縮減設備占用空間。
文檔編號B08B3/12GK202907350SQ201220595348
公開日2013年4月24日 申請日期2012年11月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月13日
發(fā)明者賴鴻昇, 許議文 申請人:嘉聯(lián)益科技股份有限公司
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