專利名稱：潔凈室及其自動清潔盒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶面板生產(chǎn)制造技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及ー種潔凈室及其自動清潔盒。
背景技術(shù)：
液晶面板是由玻璃基板經(jīng)過多道制程制作而成，玻璃基板在各個制程和各道檢測エ藝中，都需在無塵環(huán)境下完成。液晶面板制造行業(yè)中，玻璃面板存儲于潔凈室(Stocker)中，通過自動化搬運(yùn)設(shè)備使玻璃基板完成各個制程和各道檢測，而潔凈室內(nèi)如泄漏粒子(Particle)將對玻璃制程和檢測有很大影響，會造成液晶面板良率下降。目前對于潔凈室粒子監(jiān)測，可以通過粒子監(jiān)測單元來量測各潔凈室內(nèi)粒子的變化 狀況，然而由于粒子監(jiān)測單元會接觸泄漏粒子的地方，經(jīng)過長期使用后，粒子會累積在粒子監(jiān)測單元上，此時需要人工定期清潔粒子監(jiān)測單元，以保證粒子監(jiān)測單元監(jiān)控數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，然而人工清潔粒子監(jiān)測單元花費(fèi)時間較長，嚴(yán)重影響液晶面板的生產(chǎn)效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明主要解決的技術(shù)問題是提供一種潔凈室，以解決現(xiàn)有技術(shù)中人工清潔粒子監(jiān)測單元花費(fèi)時間較長的問題。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的一個技術(shù)方案是提供一種潔凈室，用于存放玻璃基板，該潔凈室內(nèi)設(shè)有粒子監(jiān)測單元，該潔凈室內(nèi)還設(shè)有自動清潔盒，該自動清潔盒用于對該粒子監(jiān)測單元進(jìn)行清潔。根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，該潔凈室內(nèi)設(shè)有儲位架，該儲位架包括多個儲位，該多個儲位包括卡E儲位,用于存放卡IL該卡E用于存放該玻璃基板；自動清潔儲位,用于放置該自動清潔盒。根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，該自動清潔盒包括盒體，該盒體內(nèi)壁設(shè)有多個吹吸氣嘴；盒蓋，封閉該盒體以形成清潔空間；控制單元，用于控制該多個吹吸氣嘴進(jìn)行吹吸工作及控制該盒蓋打開或關(guān)閉。根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，該盒蓋為卷簾。根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，該粒子監(jiān)測單元包括粒子計數(shù)器，用于監(jiān)測粒子數(shù)量；無線通信模塊，與該粒子計數(shù)器電連接，用干與外部監(jiān)控中心保持通信；電源，與粒子計數(shù)器和該無線通信模塊電連接，用于向粒子計數(shù)器和該無線通信模塊供電。根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，該粒子監(jiān)測單元還包括卡匣框架，該卡匣框架與該卡匣儲位相匹配，用于固定該粒子計數(shù)器、該無線通信模塊以及該電源。
根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，該潔凈室內(nèi)設(shè)有自動化搬運(yùn)設(shè)備，該自動化搬運(yùn)設(shè)備用于搬運(yùn)該卡匣及該粒子監(jiān)測單元。根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，該自動化搬運(yùn)設(shè)備包括搬運(yùn)叉，該搬運(yùn)叉用于叉取卡匣及該粒子監(jiān)測單元。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的另ー個技術(shù)方案是提供一種自動清潔盒，用于在潔凈室中對粒子監(jiān)測單元及卡匣進(jìn)行清潔，其特征在干，該自動清潔盒包括盒體，該盒體內(nèi)壁設(shè)有多個吹吸氣嘴；盒蓋，封閉該盒體以形成清潔空間；控制單元，用于控制該多個吹吸氣嘴進(jìn)行吹吸工作及控制該盒蓋打開或關(guān)閉。本發(fā)明的有益效果是區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況，本發(fā)明提供的潔凈室中增設(shè)有自 動清潔盒，可以在潔凈室內(nèi)部對卡匣和粒子監(jiān)測單元進(jìn)行清潔，其方便快捷，有效地降低了人力成本。


為了更清楚地說明本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖，其中圖I為根據(jù)本發(fā)明ー優(yōu)選實施例的潔凈室的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖I中所示的潔凈室的前視截面示意圖；圖3為圖I中所示的粒子監(jiān)測單元的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為圖3中所示的粒子監(jiān)測單元的模塊示意圖；圖5為圖3中所示的粒子監(jiān)測單元受污染的示意圖；圖6為圖I中所示的自動清潔盒的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為圖6中所示的自動清潔盒的工作狀態(tài)圖ー；。圖8為圖6中所示的自動清潔盒的工作狀態(tài)圖ニ ；圖9為圖6中所示的自動清潔盒的工作狀態(tài)圖三。
具體實施例方式下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅是本發(fā)明的一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。請ー并參閱圖I和圖2，本發(fā)明提供一種潔凈室10，用于存放玻璃基板，該潔凈室10由頂板110、側(cè)板120以及底板130圍合形成。該潔凈室10包括儲位架140、自動化搬運(yùn)設(shè)備160、粒子監(jiān)測單元400以及自動清潔盒500。儲位架140放置于底板130上,該儲位架140包括多個儲位,該多個儲位包括用于存放卡匣142的卡匣儲位和用于放置自動清潔盒500的自動清潔儲位。其中，卡匣142用于存玻璃基板。
該自動化搬運(yùn)設(shè)備160包括搬運(yùn)叉162，該搬運(yùn)叉162用于叉取該儲位架140上的該卡匣142、粒子監(jiān)測單元400及自動清潔盒500。請ー并參閱圖3至圖5，粒子監(jiān)測單元400包括粒子計數(shù)器410、無線通信模塊420、電源430以及卡匣框架440。其中，該粒子計數(shù)器410用于監(jiān)測潔凈室10內(nèi)的粒子數(shù)量；該無線通信模塊420與粒子計數(shù)器410電連接，用干與外部監(jiān)控中心保持通信；該電源430與粒子計數(shù)器410和該無線通信模塊420電連接，用于向粒子計數(shù)器410和該無線通信模塊420供電；該卡匣框架440與該卡匣儲位相匹配，用于固定該粒子計數(shù)器410、該無線通信模塊420以及該電源430。粒子監(jiān)測單元400可用于對多個潔凈室進(jìn)行監(jiān)測，如圖I中所示，粒子監(jiān)測單元400在一個潔凈室10監(jiān)測完畢后可以被搬運(yùn)到下一個潔凈室進(jìn)行監(jiān)測?？ㄏ?42及粒子監(jiān)測單元400經(jīng)常被自動化搬運(yùn)設(shè)備160搬運(yùn)到潔凈室10的各 個儲位，長期使用后，粒子450會累積在粒子監(jiān)測單元400及卡匣142上?，F(xiàn)有技術(shù)中需要人工清潔粒子監(jiān)測單元400及卡匣142，花費(fèi)時間較長，嚴(yán)重影響液晶面板的生產(chǎn)效率。因此，本發(fā)明提供一種自動清潔盒500，請ー并參閱圖5，該自動清潔盒500包括盒體510、盒蓋520以及控制單元530。其中，該盒體510內(nèi)壁設(shè)有多個吹吸氣嘴512 ;該盒蓋520封閉該盒體510以形成清潔空間；該控制單元530用于控制該多個吹吸氣嘴512進(jìn)行吹吸工作及控制該盒蓋520打開或關(guān)閉。具體而言，該盒體510可為圖5中所示的矩形盒體形狀，但并不于此。該盒體510可以插入到自動清潔儲位，或者，可以將儲位架140的某些儲位封閉形成該盒體510。該盒蓋520可為卷簾或推拉式門板。請ー并參閱圖6至圖8，圖6至圖8示出了自動清潔盒500的工作狀態(tài)圖。當(dāng)粒子監(jiān)測單元400或卡匣142上累積了較多的粒子時，首先，可通過自動化搬運(yùn)設(shè)備160將其搬運(yùn)到自動清潔盒500內(nèi)，如圖6中所示；其次，控制單元530控制盒蓋520封閉盒體510，如圖7中所示；然后，控制單元530控制多個吹吸氣嘴512進(jìn)行吹吸工作，清潔該粒子監(jiān)測單元400或卡匣142上累積的粒子，清潔完畢后，控制單元530控制盒蓋520打開，如圖8中所不；最后，自動化搬運(yùn)設(shè)備160將粒子監(jiān)測單兀400或卡證142搬運(yùn)出，完成粒子監(jiān)測單元400或卡匣142的清潔。綜上所述，本領(lǐng)域技術(shù)人容易理解，本發(fā)明提供的潔凈室10中增設(shè)有自動清潔盒500，可以在潔凈室10內(nèi)部對卡匣142和粒子監(jiān)測單元400進(jìn)行清潔，其方便快捷，有效地降低了人力成本。以上所述僅為本發(fā)明的示例性實施例，并非因此限制本發(fā)明的專利保護(hù)范圍，凡是利用本發(fā)明說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種潔凈室，用于存放玻璃基板，所述潔凈室內(nèi)設(shè)有粒子監(jiān)測單元，其特征在于，所述潔凈室內(nèi)還設(shè)有自動清潔盒，所述自動清潔盒用于對所述粒子監(jiān)測單元進(jìn)行清潔。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的潔凈室，其特征在于，所述潔凈室內(nèi)設(shè)有儲位架，所述儲位架包括多個儲位，所述多個儲位包括 卡匣儲位，用于存放卡匣，所述卡匣用于存放所述玻璃基板； 自動清潔儲位，用于放置所述自動清潔盒。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的潔凈室，其特征在于，所述自動清潔盒包括 盒體，所述盒體內(nèi)壁設(shè)有多個吹吸氣嘴； 盒蓋，封閉所述盒體以形成清潔空間； 控制單元，用于控制所述多個吹吸氣嘴進(jìn)行吹吸工作及控制所述盒蓋打開或關(guān)閉。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的潔凈室，其特征在于，所述盒蓋為卷簾。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的潔凈室，其特征在于，所述粒子監(jiān)測單元包括 粒子計數(shù)器，用于監(jiān)測粒子數(shù)量； 無線通信模塊，與所述粒子計數(shù)器電連接，用于與外部監(jiān)控中心保持通信； 電源，與所述粒子計數(shù)器和所述無線通信模塊電連接，用于向所述粒子計數(shù)器和所述無線通信模塊供電。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的潔凈室，其特征在于，所述粒子監(jiān)測單元還包括卡匣框架，所述卡匣框架與所述卡匣儲位相匹配，用于固定所述粒子計數(shù)器、所述無線通信模塊以及所述電源。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的潔凈室，其特征在于，所述潔凈室內(nèi)設(shè)有自動化搬運(yùn)設(shè)備，所述自動化搬運(yùn)設(shè)備用于搬運(yùn)所述卡匣及所述粒子監(jiān)測單元。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的潔凈室，其特征在于，所述自動化搬運(yùn)設(shè)備包括搬運(yùn)叉，所述搬運(yùn)叉用于叉取卡匣及所述粒子監(jiān)測單元。
9.一種自動清潔盒，用于在潔凈室中對粒子監(jiān)測單元及卡匣進(jìn)行清潔，其特征在于，所述自動清潔盒包括 盒體，所述盒體內(nèi)壁設(shè)有多個吹吸氣嘴； 盒蓋，封閉所述盒體以形成清潔空間； 控制單元，用于控制所述多個吹吸氣嘴進(jìn)行吹吸工作及控制所述盒蓋打開或關(guān)閉。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的自動清潔盒，其特征在于，所述盒蓋為卷簾。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種潔凈室，用于存放玻璃基板，該潔凈室內(nèi)設(shè)有粒子監(jiān)測單元，該潔凈室內(nèi)還設(shè)有自動清潔盒，該自動清潔盒用于對該粒子監(jiān)測單元進(jìn)行清潔。本發(fā)明公開的潔凈室可以在潔凈室內(nèi)部對卡匣和粒子監(jiān)測單元進(jìn)行清潔，其方便快捷，有效地降低了人力成本。
文檔編號B08B5/02GK102861737SQ20121036480
公開日2013年1月9日 申請日期2012年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月26日
發(fā)明者陳增宏, 吳俊豪, 林昆賢, 齊明虎, 郭振華, 楊衛(wèi)兵 申請人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司