專利名稱：一種硅晶圓多線切割用粘棒托板超聲清洗槽的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種清洗裝置，尤其是涉及一種硅晶圓多線切割用粘棒托板超聲清洗槽。
背景技術(shù)：
目前，對(duì)硅棒粘接過程中所使用的托板(即粘棒托板)進(jìn)行清洗，通常均在超聲清洗槽中進(jìn)行清洗，上述粘棒托板通常為玻璃板。但是，采用上述超聲清洗槽對(duì)托板進(jìn)行清洗時(shí)，由于被清洗的托板無法在槽體中進(jìn)行固定，因而只能沿槽體的對(duì)角線放置。這樣，實(shí)際采用此種沿槽體對(duì)角線對(duì)托板進(jìn)行放置時(shí)，一次性在槽體中所放置的托板數(shù)量有限，能一次同時(shí)放入槽體內(nèi)的托板數(shù)量不多，因而沒有最大化的利用超聲槽，造成較大的資料浪費(fèi)， 并且在一定程度上增加了公司的生產(chǎn)成本。同時(shí)，采用上述放置方式進(jìn)行清洗時(shí)，不可避免地會(huì)發(fā)生托板之間相互碰撞并導(dǎo)致托板被撞裂的問題，并且清洗效果不佳，嚴(yán)重影響后續(xù)生產(chǎn)工序，具體體現(xiàn)在使得硅棒在粘接過程中不能牢固地粘在工件上，影響后端的切割質(zhì)量。同時(shí)，更為生產(chǎn)區(qū)的5S管理帶來比較棘手的問題。另外，采用沿槽體對(duì)角線放置托板時(shí)，需耗費(fèi)較多時(shí)間去找合適的放置，因而清洗效率較低，且其在現(xiàn)階段高質(zhì)量、高效的生產(chǎn)模式中使用時(shí)效果不是很理想。綜上，采用現(xiàn)有超聲清洗槽沿對(duì)角線放置時(shí)存在的一次同時(shí)放入槽體內(nèi)的托板數(shù)量有限、清洗效率較低、清洗效果不佳、資源浪費(fèi)較嚴(yán)重、影響后續(xù)生產(chǎn)工藝等多種實(shí)際問題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題在于針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種硅晶圓多線切割用粘棒托板超聲清洗槽，其結(jié)構(gòu)簡單、加工制作方便且清洗速度快、清洗效果好，能有效解決現(xiàn)有超聲清洗槽沿對(duì)角線放置時(shí)存在的一次同時(shí)放入槽體內(nèi)的托板數(shù)量有限、清洗效率較低、清洗效果不佳、資源浪費(fèi)較嚴(yán)重、影響后續(xù)生產(chǎn)工藝等實(shí)際問題。為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是一種硅晶圓多線切割用粘棒托板超聲清洗槽，其特征在于包括內(nèi)部裝有清洗液的清洗槽、安裝在清洗槽內(nèi)且供被清洗的多個(gè)托板緊固安裝的安裝支架和對(duì)多個(gè)所述托板進(jìn)行清洗的超聲波清洗裝置，所述超聲波清洗裝置布設(shè)于清洗槽內(nèi)。上述一種硅晶圓多線切割用粘棒托板超聲清洗槽，其特征是所述超聲波清洗裝置包括用于產(chǎn)生高頻振蕩信號(hào)的超聲波發(fā)生器和將超聲波發(fā)生器輸出的高頻振蕩信號(hào)轉(zhuǎn)換成高頻機(jī)械振蕩運(yùn)動(dòng)并傳播至清洗液的超聲波換能器，所述超聲波發(fā)生器布設(shè)在清洗槽外側(cè)且其與超聲波換能器之間通過連接線進(jìn)行連接，所述超聲波換能器布設(shè)在清洗槽的內(nèi)壁上。上述一種硅晶圓多線切割用粘棒托板超聲清洗槽，其特征是所述安裝支架包括布設(shè)在清洗槽底部的水平底板和多個(gè)平行安裝在水平底板上且對(duì)所述托板進(jìn)行夾持的夾持裝置，多個(gè)所述夾持裝置的結(jié)構(gòu)均相同，安裝在安裝支架上的多個(gè)所述托板呈平行布設(shè)， 且相鄰兩個(gè)所述托板之間的間距與相鄰兩個(gè)所述夾持裝置的間距相同。上述一種硅晶圓多線切割用粘棒托板超聲清洗槽，其特征是所述夾持裝置為由前后兩塊夾板組成的夾子，兩塊所述夾板呈平行布設(shè)且二者的結(jié)構(gòu)和尺寸均相同，兩塊所述夾板之間的間隙寬度與所述托板的厚度一致。上述一種硅晶圓多線切割用粘棒托板超聲清洗槽，其特征是多個(gè)所述夾持裝置的結(jié)構(gòu)和尺寸均相同。上述一種硅晶圓多線切割用粘棒托板超聲清洗槽，其特征是多個(gè)所述夾持裝置呈均勻布設(shè)。上述一種硅晶圓多線切割用粘棒托板超聲清洗槽，其特征是所述清洗槽為矩形槽，所述矩形槽的內(nèi)腔長度不小于所述托板的長度，且所述矩形槽的內(nèi)腔寬度 D ^ ηXd^(H-I) Xd2，式中Cl1為所述夾持裝置的橫向?qū)挾?，d2為相鄰兩個(gè)所述夾持裝置之間間隙的寬度。上述一種硅晶圓多線切割用粘棒托板超聲清洗槽，其特征是所述夾板為長條狀板。上述一種硅晶圓多線切割用粘棒托板超聲清洗槽，其特征是所述清洗槽包括橡膠質(zhì)槽體或金屬質(zhì)槽體，所述橡膠質(zhì)槽體或金屬質(zhì)槽體的底部設(shè)置有排水口。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)1、結(jié)構(gòu)簡單、制作成本低且加工制作方便。2、使用操作簡便且托板的放置方便，省時(shí)省力。3、內(nèi)部所布設(shè)的安裝支架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理且經(jīng)濟(jì)實(shí)用，具體采用多個(gè)夾持裝置對(duì)多個(gè)托板同時(shí)進(jìn)行夾持固定，且夾持固定后的多個(gè)托板呈平行布設(shè)，并保持固定間距，因而能有效防止在超聲清洗過程中導(dǎo)致托板撞裂的現(xiàn)象發(fā)生；同時(shí)，采用安裝支架后，一次性所放入的托板數(shù)量增多，因而能充分且最大化地利用清洗槽內(nèi)的清洗空間。4、清洗速度快且清洗效果好，經(jīng)濟(jì)效益顯著，能克服現(xiàn)有硅晶圓多線切割用粘棒托板超聲清洗槽不能最大化放置托板的問題，本實(shí)用新型不僅可實(shí)現(xiàn)最大化利用超聲清洗空間，增多所放置托板的數(shù)量，節(jié)約工時(shí)；還可以通過安裝支架實(shí)現(xiàn)托板的定位放置，避免了托板被撞裂的現(xiàn)象。綜上所述，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單、加工制作方便且清洗速度快、清洗效果好，能有效解決現(xiàn)有超聲清洗槽沿對(duì)角線放置時(shí)存在的一次同時(shí)放入槽體內(nèi)的托板數(shù)量有限、清洗效率較低、清洗效果不佳、資源浪費(fèi)較嚴(yán)重、影響后續(xù)生產(chǎn)工藝等多種實(shí)際問題。下面通過附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖標(biāo)記說明1-清洗槽；2-1-水平底板； 2-2-夾子；3-1-超聲波發(fā)生器；3-2-超聲波換能器；4-連接線。
具體實(shí)施方式
如圖1所示，本實(shí)用新型包括內(nèi)部裝有清洗液的清洗槽1、安裝在清洗槽1內(nèi)且供被清洗的多個(gè)托板緊固安裝的安裝支架和對(duì)多個(gè)所述托板進(jìn)行清洗的超聲波清洗裝置，所述超聲波清洗裝置布設(shè)于清洗槽1內(nèi)。本實(shí)施例中，所述超聲波清洗裝置包括用于產(chǎn)生高頻振蕩信號(hào)的超聲波發(fā)生器 3-1和將超聲波發(fā)生器3-1輸出的高頻振蕩信號(hào)轉(zhuǎn)換成高頻機(jī)械振蕩運(yùn)動(dòng)并傳播至清洗液的超聲波換能器3-2，所述超聲波發(fā)生器3-1布設(shè)在清洗槽1外側(cè)且其與超聲波換能器3-2 之間通過連接線4進(jìn)行連接，所述超聲波換能器3-2布設(shè)在清洗槽1的內(nèi)壁上。實(shí)際加工制作時(shí)，所述安裝支架包括布設(shè)在清洗槽1底部的水平底板2-1和多個(gè)平行安裝在水平底板2-1上且對(duì)所述托板進(jìn)行夾持的夾持裝置，多個(gè)所述夾持裝置的結(jié)構(gòu)均相同，安裝在安裝支架上的多個(gè)所述托板呈平行布設(shè)，且相鄰兩個(gè)所述托板之間的間距與相鄰兩個(gè)所述夾持裝置的間距相同。本實(shí)施例中，所述夾持裝置為由前后兩塊夾板組成的夾子2-2，兩塊所述夾板呈平行布設(shè)且二者的結(jié)構(gòu)和尺寸均相同，兩塊所述夾板之間的間隙寬度與所述托板的厚度一致。實(shí)際制作夾子2-2時(shí)，先量取托板的厚度，相應(yīng)制作一個(gè)可放入清洗槽1內(nèi)且可卡住托板不來回的晃動(dòng)的夾子2-2，每個(gè)夾子2-2的寬度要高于托板的寬度，根據(jù)清洗槽1的寬度和托板的厚度。便可計(jì)算出夾子2-2的內(nèi)部間隙和最大能放托板的數(shù)量。所述夾板與水平底板2-1之間呈傾斜布設(shè)。為加工制作方便，多個(gè)所述夾持裝置的結(jié)構(gòu)和尺寸均相同，因而一次清洗的多個(gè)托板的厚度均相同。本實(shí)施例中，多個(gè)所述夾持裝置呈均勻布設(shè)。本實(shí)施例中，所述清洗槽1為矩形槽，所述矩形槽的內(nèi)腔長度不小于所述托板的長度，且所述矩形槽的內(nèi)腔寬度D SnXdi+fc-l) Xd2，式中Cl1為所述夾持裝置的橫向?qū)挾龋?d2為相鄰兩個(gè)所述夾持裝置之間間隙的寬度。實(shí)際加工制作時(shí)，所述清洗槽1包括橡膠質(zhì)槽體或金屬質(zhì)槽體，所述橡膠質(zhì)槽體或金屬質(zhì)槽體的底部設(shè)置有排水口，本實(shí)施例中，所述夾板為長條狀板。所述矩形槽的長為 1.5m，寬為lm，高為lm，且其內(nèi)部所設(shè)置夾持裝置的數(shù)量為17個(gè)，所采用的清洗液為水。實(shí)際使用時(shí)，先將多個(gè)被清洗的托板分別夾裝在多個(gè)所述夾持裝置內(nèi)，且夾持結(jié)束后，多個(gè)托板呈平行布設(shè)且相鄰兩個(gè)托板之間保持固定間距，因而不會(huì)發(fā)生因碰撞導(dǎo)致托板被撞裂的問題，同時(shí)實(shí)際放置時(shí)非常簡單，只需將托板逐個(gè)夾于所述夾持裝置內(nèi)即可， 之后向矩形槽內(nèi)防水并使得水沒過托板，然后打開進(jìn)行超聲波清洗裝置超聲清洗。以上所述，僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并非對(duì)本實(shí)用新型作任何限制，凡是根據(jù)本實(shí)用新型技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、變更以及等效結(jié)構(gòu)變化，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種硅晶圓多線切割用粘棒托板超聲清洗槽，其特征在于包括內(nèi)部裝有清洗液的清洗槽(1)、安裝在清洗槽(1)內(nèi)且供被清洗的多個(gè)托板緊固安裝的安裝支架和對(duì)多個(gè)所述托板進(jìn)行清洗的超聲波清洗裝置，所述超聲波清洗裝置布設(shè)于清洗槽(1)內(nèi)。
2.按照權(quán)利要求1所述的一種硅晶圓多線切割用粘棒托板超聲清洗槽，其特征在于 所述超聲波清洗裝置包括用于產(chǎn)生高頻振蕩信號(hào)的超聲波發(fā)生器(3-1)和將超聲波發(fā)生器(3-1)輸出的高頻振蕩信號(hào)轉(zhuǎn)換成高頻機(jī)械振蕩運(yùn)動(dòng)并傳播至清洗液的超聲波換能器 (3-2)，所述超聲波發(fā)生器(3-1)布設(shè)在清洗槽(1)外側(cè)且其與超聲波換能器(3- 之間通過連接線(4)進(jìn)行連接，所述超聲波換能器(3- 布設(shè)在清洗槽(1)的內(nèi)壁上。
3.按照權(quán)利要求1或2所述的一種硅晶圓多線切割用粘棒托板超聲清洗槽，其特征在于所述安裝支架包括布設(shè)在清洗槽(1)底部的水平底板(2-1)和多個(gè)平行安裝在水平底板上且對(duì)所述托板進(jìn)行夾持的夾持裝置，多個(gè)所述夾持裝置的結(jié)構(gòu)均相同，安裝在安裝支架上的多個(gè)所述托板呈平行布設(shè)，且相鄰兩個(gè)所述托板之間的間距與相鄰兩個(gè)所述夾持裝置的間距相同。
4.按照權(quán)利要求3所述的一種硅晶圓多線切割用粘棒托板超聲清洗槽，其特征在于 所述夾持裝置為由前后兩塊夾板組成的夾子0-2)，兩塊所述夾板呈平行布設(shè)且二者的結(jié)構(gòu)和尺寸均相同，兩塊所述夾板之間的間隙寬度與所述托板的厚度一致。
5.按照權(quán)利要求3所述的一種硅晶圓多線切割用粘棒托板超聲清洗槽，其特征在于 多個(gè)所述夾持裝置的結(jié)構(gòu)和尺寸均相同。
6.按照權(quán)利要求5所述的一種硅晶圓多線切割用粘棒托板超聲清洗槽，其特征在于 多個(gè)所述夾持裝置呈均勻布設(shè)。
7.按照權(quán)利要求3所述的一種硅晶圓多線切割用粘棒托板超聲清洗槽，其特征在于 所述清洗槽(1)為矩形槽，所述矩形槽的內(nèi)腔長度不小于所述托板的長度。
8.按照權(quán)利要求4所述的一種硅晶圓多線切割用粘棒托板超聲清洗槽，其特征在于 所述夾板為長條狀板。
9.按照權(quán)利要求1或2所述的一種硅晶圓多線切割用粘棒托板超聲清洗槽，其特征在于所述清洗槽(1)包括橡膠質(zhì)槽體或金屬質(zhì)槽體，所述橡膠質(zhì)槽體或金屬質(zhì)槽體的底部設(shè)置有排水口。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種硅晶圓多線切割用粘棒托板超聲清洗槽，包括內(nèi)部裝有清洗液的清洗槽、安裝在清洗槽內(nèi)且供被清洗的多個(gè)托板緊固安裝的安裝支架和對(duì)多個(gè)所述托板進(jìn)行清洗的超聲波清洗裝置，所述超聲波清洗裝置布設(shè)于清洗槽內(nèi)，且安裝在安裝支架上的多個(gè)所述托板呈平行布設(shè)。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單、加工制作方便且清洗速度快、清洗效果好，能有效解決現(xiàn)有超聲清洗槽沿對(duì)角線放置時(shí)存在的一次同時(shí)放入槽體內(nèi)的托板數(shù)量有限、清洗效率較低、清洗效果不佳、資源浪費(fèi)較嚴(yán)重、影響后續(xù)生產(chǎn)工藝等多種實(shí)際問題。
文檔編號(hào)B08B3/12GK202180066SQ20112018141
公開日2012年4月4日 申請(qǐng)日期2011年5月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月31日
發(fā)明者藺文, 賀鵬 申請(qǐng)人:西安華晶電子技術(shù)股份有限公司