專利名稱：流體施放器和玻璃清洗工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對玻璃板施加流體的設(shè)備和清除玻璃板顆粒物的方法。更確切地說， 本發(fā)明涉及為清除玻璃板顆粒物而對玻璃板施加流體的方法和設(shè)備。
背景技術(shù)：
由于平板顯示器制造工藝中精制能力的增強，因而對更清潔部件的需求已日益增大。此種精制能力已增強到如下水平玻璃板用作諸如液晶顯示器(LCD)和有機發(fā)光二極管(OLED)顯示器之類、如今需要使表面基本上沒有尺寸為1微米數(shù)量級以上缺陷的顯示器應(yīng)用的基板。因此，需要從用作顯示器基板的玻璃板表面清除非常小的顆粒。此外，這些玻璃板通常具有小于或等于1. 2mm的厚度。由于玻璃板的非常薄的性質(zhì)，因而當(dāng)執(zhí)行洗滌操作時，通常傾向于使用高流量和低壓，以不損壞薄的玻璃板。雖然這些洗滌操作適合于從玻璃板移除洗滌劑和大顆粒物，然而當(dāng)試圖移除小顆粒物(即，1到50μπι的數(shù)量級)時，已留下非常大的改進空間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明目的在于提供可從具有小于或等于1. 2mm厚度的玻璃板表面有效地清除小顆粒物(即1到50 μ m數(shù)量級)的設(shè)備和方法。發(fā)明人已發(fā)現(xiàn)小顆粒物非常強地粘連于玻璃表面，然而通過仔細地控制流體噴嘴的多個操作參數(shù)，可有效地移除小顆粒物，而不會提高刮傷玻璃的風(fēng)險，這些操作參數(shù)包括流體壓力；流量；噴嘴噴射角；以及噴射噴嘴和玻璃板表面之間的距離。事實上，發(fā)明人已發(fā)現(xiàn)具有高壓和低流量的裝置(與傳統(tǒng)玻璃洗滌操作中的裝置正好相反)能極其有效地從薄玻璃板的表面移除小顆粒物。此外通過仔細地控制流體噴嘴的上述操作參數(shù)，可避免對薄玻璃板造成損害。以下將詳細闡述附加特征和優(yōu)點，而且這些附加特征和優(yōu)點部分地對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說可以從說明書中顯而易見，或者可通過以下說明書以及附圖中所述的本發(fā)明的實踐而認(rèn)識到。應(yīng)當(dāng)理解，以上的總體說明和以下的詳細說明都只是本發(fā)明的示例，意在提供對要求保護的本發(fā)明的本質(zhì)和特征的總體或構(gòu)架的理解。包括附圖以提供本發(fā)明的原理的進一步理解，附圖包含在該說明書中并構(gòu)成該說明書的一部分。這些附圖示出一個或多個實施例，且與說明書一起借助示例來解釋本發(fā)明的原理和操作。應(yīng)理解的是，可以以任何組合和所有的組合來使用在說明書和附圖中披露的本發(fā)明的各種特征。借助非限制示例，根據(jù)以下方面中的闡述可組合實施例的各種特征。根據(jù)第一方面，提供一種從玻璃板清除顆粒物的方法，該方法包括對玻璃板進行支承；
使流體從噴嘴朝玻璃板噴射，其中該流體以10到80kg/m2的壓力和從1到201/min 的流量輸送至噴嘴；以及 使玻璃板和噴嘴沿傳送方向進行相對運動。根據(jù)第二方面，提供如方面1所述的方法，其中，相對運動使玻璃板以4到6m/min 的傳送速度相對于噴嘴運動。根據(jù)第三方面，提供如方面1到2中任一方面所述的方法，其中，噴嘴設(shè)置成離玻璃板具有IOOmm以下的距離。根據(jù)第四方面，提供如方面1到3中任一方面所述的方法，其中，玻璃板小于1. 2mm厚。根據(jù)第五方面，提供如方面1到4中任一方面所述的方法，其中，噴嘴具有孔，且孔的直徑是0. 2到1. Omm0根據(jù)第六方面，提供如方面1到5中任一方面所述的方法，其中，當(dāng)孔直徑是從0. 3mm到0. 5mm時，流量是1到51/min ；以及當(dāng)孔直徑是從0. 9mm到1. Imm時，所述流量是3到201/min。根據(jù)第七方面，提供如方面1到6中任一方面所述的方法，其中，從噴嘴噴射的流體形成30到90度的扇角；以及從噴嘴噴射的流體相對于玻璃板具有30-90度的傾斜角度。根據(jù)第八方面，提供如方面1到7中任一方面所述的方法，其中，該方法還包括多個噴嘴，該多個噴嘴設(shè)置成兩排，這些排設(shè)置成相對彼此成30到150度的角度，且這些排的中心線與傳送方向?qū)?zhǔn)或平行。根據(jù)第九方面，提供如方面1到7中任一方面所述的方法，其中，該方法還包括多個噴嘴，該多個噴嘴設(shè)置在一排中，該排設(shè)置成相對于垂直于傳送方向的線成15到75度的角度。根據(jù)第十方面，提供如方面1到9中任一方面所述的方法，其中，流體是去離子水。根據(jù)第十一方面，提供如方面1到10中任一方面所述的方法，其中，在已沖洗或洗滌玻璃板之后執(zhí)行噴射流體的工序。根據(jù)第十二方面，提供如方面1到11中任一方面所述的方法，其中，在已對玻璃板洗滌、干燥或噴射氣泡之前執(zhí)行噴射流體的工序。根據(jù)第十三方面，提供一種為平板顯示器生產(chǎn)玻璃基板的方法，該方法包括生產(chǎn)玻璃帶，從玻璃帶切割板，以及根據(jù)方面1到12中任一方面所述的方法從板清除顆粒物。根據(jù)第十四方面，提供一種從玻璃板清除顆粒物的設(shè)備，該設(shè)備包括傳送器，該傳送器用于對玻璃板進行支承；傳送面，該傳送面設(shè)置在傳送器附近，當(dāng)由傳送器傳送玻璃板時，該玻璃板的主表面設(shè)在傳送面中；噴嘴，該噴嘴具有縱向軸線，縱向軸線設(shè)置成相對于傳送面成30到90度的角度， 且噴嘴設(shè)置成離傳送面具有小于或等于IOOmm的距離。根據(jù)第十五方面，提供如方面14所述的設(shè)備，其中，噴嘴具有孔，且孔具有范圍是從0. 2至Ij 1. Omm的直徑。根據(jù)第十六方面，提供如方面14到15中任一方面所述的設(shè)備，其中，該設(shè)備還包括多個噴嘴，該多個噴嘴設(shè)置成兩排，這些排設(shè)置成相對彼此成30到150度的角度，其中傳送器構(gòu)造成沿傳送方向傳送玻璃板，且這些排的中心線與該傳送方向?qū)?zhǔn)或平行。根據(jù)第十七方面，提供如方面14到15中任一方面所述的設(shè)備，其中，該設(shè)備還包括多個噴嘴，該多個噴嘴設(shè)置在一排中，其中傳送器構(gòu)造成沿傳送方向傳送玻璃板，且該排設(shè)置成相對于垂直于傳送方向的線成15到75度的角度。根據(jù)第十八方面，提供如方面14到17中任一方面所述的設(shè)備，其中，噴嘴構(gòu)造成噴射具有30到90度扇角的流體。根據(jù)第十九方面，提供如方面14到18中的任何一個方面所述的設(shè)備，其中，噴嘴還包括凹槽。根據(jù)第二十方面，提供如方面14到19中任一方面所述的設(shè)備，其中，該設(shè)備還包括多個噴嘴，該多個噴嘴設(shè)置成兩排，且這兩排設(shè)置在傳送面的相對兩側(cè)上。根據(jù)第二十一方面，提供如方面14到19中任一方面所述的設(shè)備，其中，該設(shè)備還包括板支承件，該板支承件設(shè)在傳送面的與其上設(shè)有噴嘴一側(cè)相對的一側(cè)上。


圖1是根據(jù)一實施例的流體施放器和玻璃板的示意俯視圖。圖2是圖1所示流體施放器和玻璃板中一部分的示意側(cè)視圖。圖3是圖1所示流體施放器和玻璃板中一部分的示意正視圖。圖4是噴嘴的放大示意側(cè)視圖。圖5是噴嘴的放大示意前端視圖。圖6是根據(jù)第二實施例的流體施放器和玻璃板的示意側(cè)視圖。圖7是沿剖線7-7截取的圖6所示流體施放器的局部剖視圖。圖8是類似于圖7的局部剖視圖，但根據(jù)另一實施例。圖9是玻璃清洗工藝的布置的流程圖。
具體實施例方式在下面的詳細說明中，為了解釋說明而非限制的目的，將闡述披露特定細節(jié)的示例實施例以便完整地理解本發(fā)明的各種原理。但是，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在借鑒了本文所揭示的內(nèi)容之后，對他們來說顯而易見的是，可以不偏離本文所揭示具體細節(jié)的其它實施例來實踐本發(fā)明。此外，省略對已知裝置、方法和材料的描述以使本發(fā)明各種原理的描述清楚。最后，盡可能用相同的附圖標(biāo)記來標(biāo)示相同的構(gòu)件。在本文中，范圍在本文中可表達為從“約” 一個特定值和/或到“約”另一特定值。 當(dāng)表示這樣一個范圍的時候，另一個實施例包括從一個特定值和/或到另一特定值。類似地，當(dāng)使用前綴“約”表示數(shù)值為近似值時，應(yīng)理解，具體數(shù)值形成另一個實施例。還應(yīng)理解， 每個范圍的端值無論是與另一個端值聯(lián)系起來還是獨立于另一個端值，都是有意義的。在此僅參照所示附圖而使用方向術(shù)語(例如上、下、右、左、前、后、頂部、底部)，且這些方向術(shù)語并不傾向于指代絕對方向。除非另外明確進行陳述以外，絕沒有如下意圖將在此闡述的任何方法解釋為需要以特定次序來執(zhí)行它們的工序。因而，在方法權(quán)利要求并未對應(yīng)由方法的工序所遵循的次序進行確切陳述的情形下，或者在權(quán)利要求或說明書中并未另外特定描述這些工序應(yīng)局限于特定次序的情形下，則在任何情形下決沒有推斷一定次序的意圖。這保持用于解釋的任何可能非明確基礎(chǔ)，包括相對于工序布置或操作流的邏輯事項；從語法組織或標(biāo)號中得到的明顯意義；說明書中描述實施例的數(shù)量或類型。如本文中所用，單數(shù)形式的“一”、“一個”、以及“該”也包括復(fù)數(shù)指代物，除非上下文明確地另作規(guī)定。因此，例如，對“組件”的引用包括具有兩個或更多個這樣的組件的方面，除非上下文明確地另作規(guī)定。本發(fā)明闡述可從具有小于或等于1. 2mm厚度的玻璃板表面有效地清除小顆粒物 (即1到50μπι數(shù)量級)的設(shè)備和方法。本發(fā)明已發(fā)現(xiàn)小顆粒物非常強地粘連于玻璃表面， 然而通過仔細地控制流體噴嘴的多個操作參數(shù)，可有效地從玻璃表面清除小顆粒物，而不會提高刮傷玻璃的風(fēng)險，這些操作參數(shù)包括流體壓力；流量；噴嘴噴射角；以及噴射噴嘴和玻璃板表面之間的距離。圖1-5中示出流體施放器20的一個非限制實施例。流體施放器20包括與一個或多個流體源30流體連通的噴嘴排22，以對玻璃板2施加流體32。玻璃板2具有主表面6和厚度8。厚度8可以是例如1. 2mm以下。玻璃板2沿箭頭4的方向相對于流體施放器20運動。玻璃板2能以約4米/分鐘到約6米/分鐘的速度相對于流體施放器20運動。當(dāng)速度變得快于約6米/分鐘時，則變得難于實現(xiàn)所希望的清潔度水平。當(dāng)速度變得小于4米/分鐘時，該工藝的生產(chǎn)量變得過小，以至于無法使普通制造生產(chǎn)線經(jīng)濟。玻璃板2可由本領(lǐng)域已知的傳統(tǒng)傳送裝置來傳送，并且可在所有這些附圖所示的X-Y平面與垂直面、水平面或傾斜于垂直面的平面相對應(yīng)的條件下傳送該玻璃板。然而，為了一致性并易于解釋，如同X-Y平面與水平面相對應(yīng)那樣來描述圖1-5。流體32可以是去離子水、水、具有洗滌劑的水或其它適當(dāng)流體。每個流體源30可包括流體供源或儲水器、泵或其它加壓裝置以及合適的調(diào)節(jié)和控制裝置，以將處于所希望壓力和流量下的流體32提供給噴嘴M，這將由本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所理解?？蓪α黧w源 30進行控制，以對不同噴嘴排22施加相同或不同的流量和壓力。每個噴嘴排22包括聯(lián)接于管道沈的一個或多個噴嘴24。管道沈通過連接線路 34與流體源30流體連通。并未對任何排22中的噴嘴M的數(shù)量進行特定限制，且可根據(jù)流體施放器20的其它參數(shù)和/或根據(jù)噴嘴M本身的參數(shù)來適當(dāng)?shù)剡x擇噴嘴數(shù)量，流體施放器20的其它參數(shù)例如噴嘴排22的數(shù)量和尺寸、噴嘴排的包括彼此位置關(guān)系的構(gòu)造以及基于玻璃板2尺寸的所希望覆蓋面積，而噴嘴本身的參數(shù)例如扇角β和離表面6的距離21， 這將在下文進行描述。此外，并不需要使每個噴嘴排22具有相同的噴嘴數(shù)量。任何特定流體施放器20的噴嘴排22可采用各種構(gòu)造。如圖1所示，一實施例包括鉸接在一起以形成V形的兩個噴嘴排22a、22b和單獨放置的第三噴嘴排22c。噴嘴排22a、 22b通過緊固件12聯(lián)接于連接器10，該緊固件可以是例如螺栓、螺釘或銷。緊固件12和連接器10使噴嘴排22a、22b能樞轉(zhuǎn)，從而能適當(dāng)?shù)馗淖儑娮炫?2a、22b之間的角度a。如圖所示，噴嘴排22a、22b繞中心線28對稱地設(shè)置，該中心線與玻璃板2的縱向中心軸線對準(zhǔn)，而這并不必要。也就是說，當(dāng)沿Z軸線的方向進行觀察時，中心線觀無需與玻璃板2的縱向中心軸線對準(zhǔn)，而是可平行于或偏離該縱向中心軸線，或者可傾斜于該縱向中心軸線。 類似的是，每個噴嘴排22a、22b無需相對于中心線28對稱地設(shè)置，而是可設(shè)置成相對于中心線觀成不同角度。當(dāng)中心線觀與玻璃板2的縱向中心軸線對準(zhǔn)，并且噴嘴排22a、22b 繞中心線對稱設(shè)置時，角度α可以是從約30度到約150度，并且可取決于待清潔玻璃板 2的尺寸；噴嘴排22a、22b的長度；以及每個排22中噴嘴M的數(shù)量。因此，噴嘴排22b和垂直于方向4的線之間的角度α，可以是從約75度到約15度(例如，75、65、55、45、35、25 或15度)。每個噴嘴排22a、22b示作連接于一個流體源30，然而如果需要的話，可連接于一個以上流體源。此外，如圖所示，噴嘴排22a、22b并未使它們的管道沈彼此直接流體連通，然而如果需要的話，可以使它們的管道彼此直接流體連通。第三噴嘴排22c連接于兩個流體源30 (管道沈的每個端部上一個流體源)，然而如果需要的話，該第三噴嘴排可連接于僅僅一個流體源30。與噴嘴排22b類似，噴嘴排22c可設(shè)置成相對于垂直于方向4的線、成從約75度到約15度(例如，75、65、55、45、35、25或15度)的角度α，。接著，將參照附圖2-5對噴嘴M的構(gòu)造和布置進行描述。如圖2所示，噴嘴M設(shè)置成離玻璃板2的表面6具有距離21，并且該噴嘴具有扇角β。噴嘴M可構(gòu)造成具有約30度到約90度(例如，30、35、45、55、65、75、85或90度) 或者約45度到約90度(例如，50、60、70、80或90度)的扇角β。通常，角度β增大，則噴嘴將覆蓋較大的表面清潔面積，由此對于給定的噴嘴排22來說，所需要的噴嘴M總數(shù)減少。然而，對于給定流體壓力和流量來說，較大的噴射角β具有的缺點在于，對粘連于玻璃板2表面6的顆粒物提供較小的沖擊。如圖3所示，每個噴嘴M具有縱向軸線23，該縱向軸線設(shè)置成相對于玻璃板2的表面6成角度θ。如圖4和5所示，每個噴嘴M具有孔25，而孔25具有直徑27。噴嘴直徑27可以是約 0. 2 到約 1. Omm(例如，0. 2,0. 3,0. 4,0. 5,0. 6,0. 7,0. 8,0. 9 或 1. Omm)。當(dāng)噴嘴直徑 27增加到超過約1. Omm時，對于給定流量來說，來自噴嘴M的壓力變得過低以至無法實現(xiàn)可接受的顆粒物移除。類似的是，如果在噴嘴直徑超過約1. Omm的條件下實現(xiàn)所希望的壓力，則流體的流量變得過高，從而產(chǎn)生不必要的流體浪費。另一方面，如果噴嘴直徑27下降到約0. 2mm以下，則流體射流將轉(zhuǎn)為霧狀，從而減小玻璃表面上的沖擊壓力，由此降低顆粒物移除效果。另一噴嘴直徑是從約0. 3到約0. 7mm。又一噴嘴直徑是從約0. 4到約0. 5mm。 最后，相對于噴嘴布置，每個噴嘴M具有凹槽29，以弄平流體32的射流?？赏ㄟ^仔細地控制噴嘴的多個參數(shù)來配置并操作流體施放器20，以從玻璃板2的表面6有效地移除小顆粒物(即1到50 μ m數(shù)量級)，這些噴嘴參數(shù)包括流體壓力；流量； 噴嘴噴射角θ ；以及噴嘴M和玻璃板2的表面6之間的距離21。流體壓力。如上所述，已發(fā)現(xiàn)的是，為了從玻璃板2的表面6清除小顆粒物(即，1 到50 μ m數(shù)量級)，則相對較高的流體壓力(相對于現(xiàn)有玻璃清洗工藝)是理想的。在此， 流體壓力是存在于每個噴嘴M的孔25處的流體壓力。例如，流體壓力可以是從約IOkg/ cm2到約80kg/cm2。當(dāng)流體壓力小于約lOkg/cm2時，則壓力不足以移除小顆粒物。例如，工廠中通?？傻玫降牧黧w供給壓力在3kg/cm2左右，該壓力不足以從玻璃板2的表面6移除小顆粒物。因此，可使用泵以將噴嘴對處的壓力提高到至少約lOkg/cm2、或約20kg/cm2、或約 30kg/cm2、或約 40kg/cm2、或約 50kg/cm2、或約 60kg/cm2、或約 70kg/cm2、或約 80kg/cm2。當(dāng)流體壓力提高到超過80kg/cm2時，會在顆粒物上產(chǎn)生過度力，到顆粒物會擦傷表面6的程度。
流量。流量高度取決于多個因素，例如噴嘴M的數(shù)量；噴嘴直徑27 ；流體對噴嘴 M施加的壓力；以及玻璃傳送速度。通常，倘若所有其它因素相等，若這三個參數(shù)中的任何一個參數(shù)增大，則流體流量增大。通常，噴嘴直徑增大，則每個噴嘴的流量增大。例如，對于具有從0. 3mm到0. 5mm(較佳的是約0. 4mm)孔直徑的噴嘴來說，流量理想的是從約1升/分鐘到約5升/分鐘(例如，1、2、3、4或5升/分鐘)。例如，對于具有從0. 9mm到1. Imm(較佳的是約1. Omm)孔直徑的噴嘴來說，流量理想的是從約3升/分鐘到約20升/分鐘(例如，3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15、16、17、18、19或20升/分鐘)，或者從約3升/分鐘到約10升/分鐘(例如，3、4、5、6、7、8、9或10升/分鐘)。在上述流體壓力的范圍是從約lOkg/cm2到約80kg/cm2的情形下，流量理想的是從約1升/分鐘到約20升/分鐘(例如，1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15、16、17、18、19或20升/分鐘)。噴嘴噴射角Θ。通常，噴嘴噴射角θ是銳角或直角，這是由于玻璃板2相對于噴嘴M沿傳送方向4恒定運動，而該角度范圍逆著傳送方向4而推動這些顆粒物，從而可從板2的表面6有效地移除這些顆粒物。理想的是，該角度θ是從約30度到90度(例如， 30、40、50、60、70、80或90度)。如果角度θ大于90度，則噴嘴M將至少部分地沿與傳送方向相同的方向推動顆粒物，由此無法從表面6移除這些顆粒物。另一方面，當(dāng)角度θ小于約30度時，則流體對于板的阻力過大，以至阻礙板2沿傳送方向4的運動。事實上，阻力會變得過大，從而會使板2完全停止運動，當(dāng)壓力增大到lOkg/cm2以上時尤為如此。在其它情形中，該角度θ理想的是從約45度到90度(例如，45、55、65、75、85或90度)。噴嘴對和玻璃板2的表面6之間的距離21。距離21理想的是小于或等于100mm。 另一理想范圍是從約 IOmm 到約 IOOmm(例如，10、20、30、40、50、60、70、80、90 或 100mm)。當(dāng)距離21增大到超過IOOmm時，流體射流與玻璃板接觸的壓力迅速衰減，由此危及顆粒物清除能力。另一方面，為了使每個噴嘴在表面6上實現(xiàn)充分的覆蓋寬度，則高度理想地大于或等于10mm。對于任何一個特定噴嘴排22中的噴嘴來說，包括噴嘴孔直徑27、流量、壓力、扇角 β、相對于表面6的噴嘴角θ以及距離21的上述噴嘴參數(shù)可以相同或者可以不同。類似的是，即使任何一個排22中的所有噴嘴M具有相同的參數(shù)，那些參數(shù)對于不同噴嘴排來說仍不同。例如，一個理想布置是如下一種布置在該布置中，排22a、22b中的噴嘴比排22c 中的噴嘴具有較低的壓力和較高的流量。通常，無需使噴嘴排22a、22b和噴嘴排22c都施加流體，以從表面6清除小顆粒物；能可選地選擇噴嘴排的數(shù)量和布置，以從表面6區(qū)域的所希望部分(包括所有區(qū)域)清除小顆粒物。將參照圖6和7解釋第二示例實施例。類似于第一實施例，雖然以垂直布置示出， 然而玻璃板2可由本領(lǐng)域已知的傳統(tǒng)傳送裝置來傳送，并且可在所有這些附圖所示的X-Y 平面與垂直面、水平面或傾斜于垂直面的平面相對應(yīng)的條件下傳送該玻璃板。第二實施例包括多個結(jié)合第一實施例闡述的相同元件和特征。因此，類似的附圖標(biāo)記將用于類似的元件，并且主要將詳細描述與第一實施例不同之處。如圖6所示，流體施放器20包括連接于流體源30的兩個噴嘴排22c、22d，以對玻璃板2施加流體32。玻璃板2由傳送器40所傳送。噴嘴排22d形成為具有中心線28的大體U形。如同第一實施例，當(dāng)沿Z軸線的方向進行觀察時，中心線28能與玻璃板2的縱向軸線對準(zhǔn)、平行于但偏離該縱向軸線、或者傾斜于該縱向軸線。U形噴嘴排22d示作連接于兩個流體源30，即管道沈的每個端部上一個流體源，然而這并不必要；或者，管道沈可在一個端部(或兩個端部)處進行密封，并在該管道的其中一個端部處或管道端部之間的任何點處聯(lián)接于僅僅一個流體源30。噴嘴排22d 可設(shè)計成管道26從一端到另一端具有由兩個流體源30施壓的等壓連續(xù)內(nèi)腔，或者可在沿管道長度的一點處進行密封，以防止來自一個流體源30的流體在管道26內(nèi)與來自另一個流體源30的流體接觸。雖然示作對稱圓弧，然而噴嘴排22d并不需要如此。也就是說，噴嘴排22d并不需要繞中心線觀對稱。類似的是，噴嘴排22d并不需要是圓弧，而可以包括任何理想或適合的形狀或形狀的部分，例如，橢圓形，具有直臂的嚴(yán)格U形，具有向外彎曲臂的U形或者任何形狀弧的一部分。此外，雖然示作連續(xù)的，然而管道沈可在其整個長度的任何點處樞轉(zhuǎn)或者具有柔性部段，從而噴嘴排沈的各部分可相對彼此運動。噴嘴排22c類似于結(jié)合第一實施例示出并描述的噴嘴排，因此在此將不進一步描述。此外，如上所述，可選擇噴嘴排22的數(shù)量和布置，以對表面6提供適當(dāng)覆蓋。例如，可單獨使用噴嘴排22d(如同可單獨使用噴嘴排22c)來施加流體，以從表面6清除小顆粒物。 此外，噴嘴排22d可用作相對低壓洗滌(或沖洗)，而噴嘴排22c可用于從表面6清除小顆粒物，反之亦然。類似的是，雖然玻璃板示作在噴嘴排22c之前遇到噴嘴排22d，但可顛倒噴嘴排的次序。此外，例如，可在沒有另一噴嘴排的條件下使用噴嘴排22c、22d，以從表面6 清除小顆粒物。傳送器40支承玻璃板2的邊緣，以使玻璃板2沿傳送方向4運動。通過本領(lǐng)域已知的任何合適方法和設(shè)備能以任何方式(包括非接觸方式)支承玻璃板4的表面6，從而當(dāng)朝流體施放器20傳送玻璃板2并使玻璃板2通過流體施放器20時，對玻璃板2進行導(dǎo)向。 雖然示作傳送帶和輥子，然而傳送器40可采用本領(lǐng)域已知的任何合適構(gòu)造。如圖7所示，流體施放器20設(shè)置在玻璃板2的相對兩側(cè)上，從而可從兩個表面6清除小顆粒物。玻璃板2每側(cè)上的流體施放器20的設(shè)置和操作(包括噴嘴排的數(shù)量和構(gòu)造， 以及噴嘴數(shù)量和噴嘴參數(shù))有利地是相同的，從而使玻璃板2每側(cè)上的壓力平衡。然而，嚴(yán)格說來，玻璃板2每側(cè)上的流體施放器20的設(shè)置和操作并不需要相同。將參照圖6和8解釋第三示例實施例。類似于第一實施例，雖然以垂直布置示出， 然而玻璃板2可由本領(lǐng)域已知的傳統(tǒng)傳送裝置來傳送，并且可在所有這些附圖所示的X-Y 平面與垂直面、水平面或傾斜于垂直面的平面相對應(yīng)的條件下傳送該玻璃板。第三實施例包括多個結(jié)合第一實施例和第二實施例闡述的相同元件和特征。因此，類似的附圖標(biāo)記將用于類似的元件，并且主要將詳細描述與第一實施例和第二實施例不同之處。圖8是與圖7類似的視圖，而流體施放器20卻并不位于玻璃板2的兩側(cè)上，玻璃板2的其中一側(cè)由板支承件50所支承。如圖所示，板支承件50可包括非接觸裝置，該非接觸裝置可以是例如本領(lǐng)域已知的液壓支承、空氣支承或壓力真空臺。另一方面，板支承件50 還可包括與玻璃板2接觸的支承件類型，例如一系列輥子。在玻璃板修整工藝中，可在各個位置使用包括上述任何實施例的流體施放器20。 參照圖9，玻璃修整工藝可包括三個工序60、62、64，其中玻璃板2從工序62進行到工序60， 然后進行到工序64。雖然示作一個工序緊跟前一工序，但這并不必要。也就是說，在工序 60、62、64之間，以及該系列工序60、62、64之前或之后可存在其它工序。在工序60可使用流體施放器20，以從玻璃板2清除小顆粒物，該工序60可以是最終洗滌工序之前的裝載緩沖區(qū)域或者可以是最終洗滌工序。前一工序62可包括例如沖洗、洗滌和/或氣泡噴射。后一工序64可包括例如洗滌、氣泡噴射和/或干燥?？稍诠ば?0之后有利地立即在區(qū)域之間存在相對相等壓力的另一工藝區(qū)域執(zhí)行工序，從而減小用于從表面6清除小顆粒物的流體對后續(xù)工序帶造成污染的可能性。例如，如果后續(xù)工序64是緊跟工序60的低壓洗滌，則該低壓洗滌區(qū)域會使在工序60從玻璃板2清除的顆粒物吸回到玻璃板2上。另一方面，如果后續(xù)工序64是在所具有的壓力與工序60的區(qū)域中壓力相對相同的區(qū)域中所執(zhí)行的工序， 或者如果工序60和工序64的區(qū)域之間存在壓力補償，則工序60中從玻璃板2清除的顆粒物較不可能造成再污染。應(yīng)該強調(diào)的是，本發(fā)明的上述實施例，尤其是任何“較佳的”實施例，僅僅是可能的實施方式的例子，闡述這些實施例僅僅是為了清楚地理解本發(fā)明的各種原理?？蓪Ρ景l(fā)明的上述實施例作出許多變型和改型，而基本上不脫離本發(fā)明的精神和各種原理。所有這些改型和變型在這里都將包含在本發(fā)明的公開范圍之內(nèi)，并由下面的權(quán)利要求來保護。例如，雖然說明書使用術(shù)語“玻璃板”，然而本方面的方法和設(shè)備可應(yīng)用于具有與上述玻璃板類似厚度、脆性以及清潔度需求的其它物體。此外，例如雖然結(jié)合附圖6-8描述兩面裝置，但可結(jié)合圖1所示實施例使用類似的兩面裝置。類似的是，雖然結(jié)合附圖6描述傳送器40，但還可結(jié)合圖1所示實施例使用此種裝置。
權(quán)利要求
1.一種從玻璃板清除顆粒物的方法，包括對所述玻璃板進行支承；使流體從噴嘴朝所述玻璃板噴射，其中所述流體以10到80kg/m2的壓力和從1到201/ min的流量輸送至所述噴嘴；以及使所述玻璃板和所述噴嘴沿傳送方向進行相對運動。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述相對運動使所述玻璃板以4到6m/min 的傳送速度相對于所述噴嘴運動。
3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述噴嘴設(shè)置成離所述玻璃板具有IOOmm以下的距離。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的方法，其特征在于，所述噴嘴具有孔，且孔直徑是 0. 2 到 1. 0mm。
5.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的方法，其特征在于，當(dāng)所述孔直徑是從0. 3mm到0. 5mm時，所述流量是1到51/min ；以及當(dāng)所述孔直徑是從0. 9mm到1. Imm時，所述流量是3到201/min。
6.一種為平板顯示器生產(chǎn)玻璃基板的方法，所述方法包括生產(chǎn)玻璃帶，從所述玻璃帶切割板，以及根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一項所述的方法從所述板清除顆粒物。
7.一種從玻璃板清除顆粒物的設(shè)備，包括傳送器，所述傳送器用于對所述玻璃板進行支承；傳送面，所述傳送面設(shè)置在所述傳送器附近，當(dāng)由所述傳送器傳送所述玻璃板時，所述玻璃板的主表面設(shè)在所述傳送面中；噴嘴，所述噴嘴具有縱向軸線，所述縱向軸線設(shè)置成相對于所述傳送面成30到90度的角度，且所述噴嘴設(shè)置成離所述傳送面具有小于或等于IOOmm的距離。
8.如權(quán)利要求7所述的設(shè)備，其特征在于，所述噴嘴具有孔，且所述孔具有范圍是從 0. 2到1. Omm的直徑。
9.如權(quán)利要求7-8中任一項所述的設(shè)備，其特征在于，所述噴嘴還包括凹槽。
10.如權(quán)利要求7-8中任一項所述的設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備還包括多個噴嘴，其中所述多個噴嘴設(shè)置成兩排，且所述兩排設(shè)置在所述傳送面的相對兩側(cè)上。
全文摘要
一種用于從玻璃板(2)清除顆粒物的流體施放器(20)，該流體施放器包括用于支承玻璃板的傳送器(40)、傳送面以及噴嘴(24)。傳送面設(shè)置在傳送器附近，從而當(dāng)由傳送器傳送玻璃板時，該玻璃板的表面(6)設(shè)在傳送面中。噴嘴具有縱向軸線(23)，該縱向軸線設(shè)置成相對于傳送面成30到90度的角度，且噴嘴設(shè)置成離傳送面具有小于或等于100mm的距離(21)。此外，披露一種使用該流體施放器從玻璃板清除顆粒的方法。流體能以10到80kg/m2的壓力和從1到20l/min的流量輸送至噴嘴。
文檔編號B08B11/04GK102218409SQ20111005337
公開日2011年10月19日 申請日期2011年2月17日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月17日
發(fā)明者查森武, 陳源祿 申請人:康寧股份有限公司