專利名稱：石英方箱的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及石英制品，特別是涉及一種石英方箱。
背景技術(shù)：
石英玻璃制品以其優(yōu)良的物理化學(xué)特性，被廣泛應(yīng)用于微電子產(chǎn)業(yè)集成電路芯片 制造業(yè)。石英方箱多用于半導(dǎo)體芯片清洗工序，其純度高、耐腐蝕、直接加熱不變形的特點 使之成為清洗工序中必不可少的工具?，F(xiàn)有的石英方箱一般為內(nèi)外兩層，內(nèi)層為清洗槽，填 加一定溫度的清洗液后，加入半導(dǎo)體芯片自動清洗，外層為溢流清洗液接液槽，上述石英方 箱在清洗過程中帶來很多不便1、內(nèi)層清洗槽在溢流時很容易產(chǎn)生水面蕩漾，有時產(chǎn)生大 幅擺動，使清洗液流到接液槽的外面，2、接液槽和清洗槽內(nèi)無排放閥，接液槽內(nèi)清洗液滿時 或是清洗槽內(nèi)液體溫度不夠需加熱時需停工傾倒，回用，3、石英方箱無定位結(jié)構(gòu)，清洗過程 中石英方箱易移動，且石英制品易碎，使自動清洗時只能小幅攪動液體，造成效率太低。

實用新型內(nèi)容針對上述領(lǐng)域中的缺陷，本實用新型提供一種石英方箱，能很穩(wěn)當(dāng)?shù)墓潭ㄔ谏a(chǎn) 線上，其清洗槽中溢流的清洗液能很順暢的流入接液槽中，同時清洗液能很方便的抽出回 收利用。 石英方箱，包括內(nèi)層清洗槽和外層接液槽，其特征在于內(nèi)層清洗槽頂邊開有溢流 槽口 ，所述接液槽固定于清洗槽上部的外周。 所述清洗槽上固定有定位裝置，所述定位裝置位于接液槽的下面。 所述定位裝置為固定在清洗槽外周的凸臺，所述凸臺朝清洗槽底部的一面有與生
產(chǎn)線卡扣式連接的突起。 所述清洗槽底部有排液口 。 所述接液槽底部有排液口 。 所述接液槽內(nèi)還設(shè)置有溫度計套管。 由于方箱是內(nèi)外兩層，清洗是在內(nèi)層的清洗槽內(nèi)完成的，清洗槽頂部開有溢流槽 口 ，溢流清洗液通過溢流槽口很順暢的流入位于清洗槽上部外周的接液槽中，由于溢流液 的量畢竟不是很大，所以接液槽只位于清洗槽的上部而沒有設(shè)置成與清洗槽相同的深度， 節(jié)約了材料。 本實用新型在清洗槽上設(shè)置有定位裝置，使方箱在工作過程中不致于移動，由于 接液槽位于清洗槽的外周，因此把定位裝置設(shè)置于接液槽的下面既不影響工作，也不會無 端增加占地面積。清洗槽的周邊的一邊上部還可以設(shè)置成斜坡結(jié)構(gòu)，與設(shè)備相吻合。 定位裝置設(shè)置成與生產(chǎn)線能相互卡扣的凸臺，凸臺使方箱可以擱置在生產(chǎn)線上， 其突起可以與生產(chǎn)線卡扣固定。凸臺可以分段式也還可以是連成一體的。 清洗槽底部與接液槽底部有排液口，可以使兩槽內(nèi)的液體順利排出，且位于底部 的排液口不影響整個清洗工藝的操作。[0014] 本實用新型在接液槽內(nèi)還設(shè)置有一個溫度計套管，可插接溫度計測量接液槽內(nèi)清 洗液的溫度，以使了解清洗液的溫度。 本實用新型石英方箱中的清洗槽設(shè)計有溢流槽口使溢出的清洗液能順暢地的流 入接液槽內(nèi)，且定位結(jié)構(gòu)設(shè)計簡單，與生產(chǎn)線配合好。本實用新型石英方箱設(shè)計合理，可以 很好的配合生產(chǎn)線進(jìn)行高強度工作量的清洗。

圖l本實用新型俯視圖， 圖2本實用新型主剖視圖， 圖3本實用新型右視圖， 圖中各標(biāo)號列示如下 1-清洗槽，2-接液槽，3-溢流槽口 ， 4-凸臺，5-突起，6-排液口 ， 7_溫度計套管。
具體實施方式
如圖所示，本實用新型的石英方箱，包括內(nèi)層清洗槽1和外層接液槽2，內(nèi)層清洗 槽1頂邊開有溢流槽口 3，所述接液槽2固定于清洗槽1上部的外周。由于方箱是內(nèi)外兩 層，清洗是在內(nèi)層的清洗槽1內(nèi)完成的，溢流清洗液通過溢流槽口 3很順暢的流入位于清洗 槽1上部外周的接液槽2中，由于溢流液的量畢竟不是很大，所以接液槽2只位于清洗槽1 的上部而沒有設(shè)置成與清洗槽1相同的深度，節(jié)約了材料。 所述清洗槽1上固定有定位裝置，所述定位裝置位于接液槽2的下面。所述定位 裝置為固定在清洗槽1外周的凸臺4，所述凸臺4朝清洗槽1底部的一面有能與生產(chǎn)線卡扣 式連接的突起5。凸臺4使方箱可以擱置在生產(chǎn)線上，其上設(shè)置的突起5可以與生產(chǎn)線卡扣 固定。凸臺4可以分段式也還可以是連成一體的。 所述清洗槽1和接液槽2底部有排液口 6，可以使兩槽內(nèi)的液體順利排出，且位于 底部的排液口不影響整個清洗工藝的操作。 所述接液槽1內(nèi)還設(shè)置有溫度計套管7，可插接溫度計測量接液槽內(nèi)清洗液的溫 度，以使了解清洗液的溫度。 本實用新型石英方箱中的清洗槽設(shè)計有溢流槽口使溢出的清洗液能順暢地的流 入接液槽內(nèi)，且定位結(jié)構(gòu)設(shè)計簡單，與生產(chǎn)線配合好。本實用新型石英方箱設(shè)計合理，可以 很好的配合生產(chǎn)線進(jìn)行高強度工作量的清洗。
權(quán)利要求石英方箱，包括內(nèi)層清洗槽和外層接液槽，其特征在于內(nèi)層清洗槽頂邊開有溢流槽口，所述接液槽固定于清洗槽上部的外周。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的石英方箱，其特征在于所述清洗槽上固定有定位裝置，所述 定位裝置位于接液槽的下面。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的石英方箱，其特征在于所述定位裝置為固定在清洗槽外周 的凸臺，所述凸臺朝清洗槽底部的一面有與生產(chǎn)線卡扣式連接的突起。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英方箱，其特征在于所述清洗槽底部有排液口。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英方箱，其特征在于所述接液槽底部有排液口。
6. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的石英方箱，其特征在于所述接液槽內(nèi)還設(shè)置有溫度計套管。
專利摘要本實用新型涉及“石英方箱，”涉及微電子產(chǎn)業(yè)集成電路芯片制造業(yè)中的一種石英制品，包括內(nèi)層清洗槽和外層接液槽，其特征在于內(nèi)層清洗槽頂邊開有溢流槽口，所述接液槽固定于清洗槽上部的外周。本實用新型石英方箱中的清洗槽設(shè)計有溢流槽口使溢出的清洗液能順暢地的流入接液槽內(nèi)，且定位結(jié)構(gòu)設(shè)計簡單，與生產(chǎn)線配合好。本實用新型石英方箱設(shè)計合理，可以很好的配合生產(chǎn)線進(jìn)行高強度工作量的清洗。
文檔編號B08B3/04GK201537606SQ200920223140
公開日2010年8月4日 申請日期2009年9月28日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月28日
發(fā)明者劉增, 劉念云, 劉文靜, 呂炳益, 張忠恕, 張連興, 楊繼盛, 王福龍, 邢瑜, 陳強, 韋冬寒 申請人:北京凱德石英塑料制品有限公司