專利名稱：傾斜型搬運裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種在大型玻璃基板的清洗中，用于搬運玻璃基板的基板搬 運裝置，更詳細(xì)地說，本發(fā)明是關(guān)于一種具有傾斜型搬運機構(gòu)的傾斜型搬運裝
置。 ，
背景技術(shù)：
隨著圖像機器的多樣化，顯示用的玻璃基板的形狀也正在大型化、多樣化。 為了利用一臺清洗裝置而應(yīng)對該大型且形狀不同的基板的清洗，需要一種作業(yè) 來對照該基板的大小而再次設(shè)定基板搬運滾子的滾子位置。然而，因為在清洗 裝置中設(shè)置有多個基板搬運滾子，所以該作業(yè)需要較長時間，而且，會由于調(diào) 整錯誤而成為基板破損等故障產(chǎn)生的要因。
為了解決上述問題，在專利文獻(xiàn)1中記載有一種對寬度不同的基板，可不 進(jìn)行滾子位置等的操作而實施搬運的、具有傾斜型搬運部的基板清洗裝置。圖
2所示為專利文獻(xiàn)1的基板清洗裝置的搬運部的正面圖。在圖2中，是在旋轉(zhuǎn) 軸3上以一定的間隔安裝有支持滾子6和保持滾子7，其中，該支持滾子6是 使直徑大的大滾子6a和直徑小的小滾子6b組合且使斷面略呈T字形，該保持 滾子7是與小滾子6b為相同的直徑。旋轉(zhuǎn)軸3是以支持滾子6為支點并使保 持滾子7側(cè)朝向上方而傾斜設(shè)置著。
基板5的側(cè)邊是與成為傾斜的下方的支持滾子的大滾子6a的側(cè)面確實地 抵接著，并利用該支持滾子6及該保持滾子7的旋轉(zhuǎn)而沿一定方向被搬運。因 為基板的定位只利用該支持滾子6來進(jìn)行，所以能夠與基板5的寬度的種類沒 有關(guān)系地來與多種基板進(jìn)行對應(yīng)。
而且，在引用文獻(xiàn)2中記述有一種薄板構(gòu)件的液體處理裝置，該液體處理 裝置為了在工件的液體處理中防止于工件的表面上形成液膜，須使對搬運工件 的旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行支承的支持板，沿著與工件的搬運方向直行的方向而固定地設(shè)置在角度傾斜的傾斜基座上。圖3為專利文獻(xiàn)2的液體處理裝置的搬運要部的擴
大圖。在圖3中，于旋轉(zhuǎn)軸13上所安裝的滾子14的一側(cè)上連接設(shè)置有鍔部14b， 且工件1的末端由該鍔部14b來引導(dǎo)。
專利文獻(xiàn)l:日本專利實開平5 — 79976號公報
專利文獻(xiàn)2:日本專利特開平7 — 204547號公報
然而，因為圖2的基板5的側(cè)邊總是與成為傾斜的下方的支持滾子的大滾 子6a的側(cè)面確實地抵接著，所以基板5的側(cè)邊和大滾子6a的側(cè)面存在著因摩 擦而相互擦碰，并產(chǎn)生粉塵而形成污染源的問題。而且，因為基板只是利用自 重而載置在支持滾子6及保持滾子7上，所以存在著當(dāng)清洗中因某些原因而使 基板產(chǎn)生振動等時，該振動將增加而使搬運產(chǎn)生障礙的問題。即使在圖3的工 件I的末端，因為是與鍔部14b接觸并被引導(dǎo)，所以也存在著因摩擦而擦碰， 并產(chǎn)生粉塵而形成污染源的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述問題而形成的，其目的是提供一種傾斜型的基板搬 運裝置，能夠防止搬運中的粉塵產(chǎn)生，并可利用簡易的搬運機構(gòu)而穩(wěn)定地搬運 大型玻璃基板。
本發(fā)明的基板搬運裝置為一種在大型玻璃基板的清洗中，用于搬運玻璃基 板的傾斜型搬運裝置，其特征在于，包括第1旋轉(zhuǎn)軸，其具有多個支持搬運 滾子，該支持搬運滾子以規(guī)定的角度傾斜設(shè)置著，并與玻璃基板的下面相接， 以用于搬運驅(qū)動玻璃基板；第2旋轉(zhuǎn)軸，其具有定位搬運滾子，該定位搬運滾 子與傾斜的第1旋轉(zhuǎn)軸的兩側(cè)對向設(shè)置著，并與玻璃基板的端面相接，以將玻 璃基板進(jìn)行定位，且搬運驅(qū)動玻璃基板；以及第3旋轉(zhuǎn)軸，其具有基板面按壓 搬運滾子，該基板面按壓搬運滾子與傾斜的第1旋轉(zhuǎn)軸的兩側(cè)對向設(shè)置著，并 與第1旋轉(zhuǎn)軸兩端的支持搬運滾子對向且與玻璃基板的上面相接，以用于搬運 驅(qū)動玻璃基板。
本發(fā)明的基板搬運裝置的特征在于借由使兩側(cè)中的某一側(cè)的、第2旋轉(zhuǎn) 軸及第3旋轉(zhuǎn)軸具有沿著第1旋轉(zhuǎn)軸的軸方向自動地使設(shè)置位置變更的位置變 更部，或借由第2旋轉(zhuǎn)軸的某一個具有沿著第1旋轉(zhuǎn)軸的軸方向自動地使設(shè)置位置變更的位置變更部，且使該同一側(cè)的第3旋轉(zhuǎn)軸由具有與第2旋轉(zhuǎn)軸的位 置變更長度相符的軸長的第3旋轉(zhuǎn)軸所替換，從而應(yīng)對于玻璃基板的形狀的變 更。
如利用本發(fā)明，則可防止搬運中的粉塵的產(chǎn)生，并利用簡易的搬運機構(gòu)而 穩(wěn)定地搬運大型玻璃基板，所以能夠構(gòu)成一種維護容易且收獲率良好的傾斜型 基板搬運裝置。而且，能夠提供一種借由將多個該傾斜型的基板搬運裝置進(jìn)行 組合，從而可穩(wěn)定地進(jìn)行搬運的大型玻璃基板清洗裝置。


圖1所示為本發(fā)明的實施例的傾斜型搬運裝置的構(gòu)成的裝置構(gòu)成圖。 圖2所示為專利文獻(xiàn)1的基板清洗裝置的搬運部的正面圖。 圖3所示為專利文獻(xiàn)2的液處理裝置的搬運要部的擴大圖。 符號的說明
1:工件 3:旋轉(zhuǎn)軸 5:基板 6:支持滾子 6a:大滾子 6b:小滾子
7:保持滾子
10:第1旋轉(zhuǎn)軸 13:旋轉(zhuǎn)軸 14:滾子 14b:鍔部
15—1 3:支持搬運滾子
20—1、 20 — 2:第2旋轉(zhuǎn)軸
25 — 2、 25 — 2:定位搬運滾子
30—1、 30 — 2:第3旋轉(zhuǎn)軸
35—1、 35 — 2:基板面按壓搬運滾子50—1、 50 — 2:旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部 60:玻璃基板
100:傾斜型搬運裝置
a:第l旋轉(zhuǎn)軸的設(shè)置傾斜角度
具體實施例方式
關(guān)于本發(fā)明的實施形態(tài)，利用圖示來進(jìn)行說明。圖l所示為本發(fā)明的實施
例的傾斜型搬運裝置的構(gòu)成的裝置構(gòu)成圖。在圖i中，傾斜型搬運裝置ioo的 第1旋轉(zhuǎn)軸10支持著玻璃基板60的下面并搬運玻璃基板60，所以在第1旋轉(zhuǎn) 軸10的規(guī)定的位置上具有多個支持搬運滾子15—1 3。
第2旋轉(zhuǎn)軸20—i、 20 — 2分別具有定位搬運滾子25—1、 25 — 2，該定位 搬運滾子25—1、 25 — 2是與傾斜的第1旋轉(zhuǎn)軸IO的兩側(cè)對向設(shè)置著，并與玻 璃基板60的端面相接，以對玻璃基板60進(jìn)行定位，且搬運驅(qū)動玻璃基板60。 第3旋轉(zhuǎn)軸30—1、 30 — 2分別具有基板面按壓搬運滾子35—1、 35 — 2，該基 板面按壓搬運滾子35—1、 35 — 2是與傾斜的第l旋轉(zhuǎn)軸IO的兩側(cè)對向設(shè)置 著，并與第l旋轉(zhuǎn)軸IO兩端的支持搬運滾子15—1、 15 —3對向且與玻璃基 板60的上面相接，以用于搬運驅(qū)動玻璃基板60。
第1旋轉(zhuǎn)軸10對水平軸朝例如右上方具有角度a ，且右側(cè)上方的軸端 是與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部50 — 2連接，左側(cè)下方的軸端是與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部50—1連接。 第1旋轉(zhuǎn)軸10和第3旋轉(zhuǎn)軸30—1、 30 — 2是借由從旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部50—1、 50 一2而得到旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力，以沿著例如箭頭方向而旋轉(zhuǎn)。借此，玻璃基板60在 由支持搬運滾子15—1、 15 — 3和基板面按壓搬運滾子35—1、 35 —2挾持的 狀態(tài)下，從兩方被搬運驅(qū)動而向圖示的靠近閱圖者這方向搬運。
而且，第2旋轉(zhuǎn)軸20—1、 20 — 2的對定位搬運滾子25—1、 25 —2的相 反側(cè)的軸端，是與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部50—1、 50 — 2分別連接著(未圖示)而得到旋 轉(zhuǎn)驅(qū)動力。借此，使玻璃基板60在由定位搬運滾子25—1、 25 — 2挾持的狀 態(tài)下，從兩方借由朝向箭頭方向的旋轉(zhuǎn)而被搬運驅(qū)動，以向著圖中的靠近閱 圖者這方向搬運。支持搬運滾子15—1、 15 — 3和基板面按壓搬運滾子35—1、 35 — 2也可不必對向。而且，定位搬運滾子25—1、 25 —2也可不必對向。如使玻璃基板60大型化，則有時在清洗中會因某些原因而產(chǎn)生振動等，
且該振動容易增大而在玻璃基板60上產(chǎn)生位置偏離。然而，因為玻璃基板 60由定位搬運滾子25—1、25 — 2進(jìn)行挾持，且由基板面按壓搬運滾子35—1、 35 — 2和支持搬運滾子15—1、 15 — 3迸行挾持，所以振動不會放大而是會衰 減，總是可進(jìn)行穩(wěn)定的搬運。而且，即使玻璃基板60大型化，也可利用這6 個搬運滾子的驅(qū)動力而穩(wěn)定地進(jìn)行搬運。
另外，第2旋轉(zhuǎn)軸20—1、 20 — 2及第3旋轉(zhuǎn)軸30—1、 30 — 2的兩側(cè)中 的某一側(cè)，具有沿著第1旋轉(zhuǎn)軸的軸方向而自動地變更設(shè)置位置的位置變更 部(未圖示)。例如，在圖1中，支持搬運滾子15—1、 15 — 3是依據(jù)搬運的 玻璃基板的最大尺寸而進(jìn)行設(shè)定，且在第2旋轉(zhuǎn)軸20 — 2及第3旋轉(zhuǎn)軸30 — 2側(cè)具有位置變更部。在這種情況下，在支持搬運滾子15—1、 15 — 3之間， 除了支持搬運滾子15 — 2以外，還設(shè)置有多個支持搬運滾子。
借此，在搬運形狀小的玻璃基板60的情況下，是按照玻璃基板60的形 狀，而使第2旋轉(zhuǎn)軸20 — 2及第3旋轉(zhuǎn)軸30 —2的位置變更部，自動地變更 第2旋轉(zhuǎn)軸20 — 2及第3旋轉(zhuǎn)軸30 — 2的位置。而且，采用一種使多個支持 搬運滾子的某1個與進(jìn)行了位置變更的第3旋轉(zhuǎn)軸30 — 2的基板面按壓搬運 滾子35 — 2對向而設(shè)置的構(gòu)成。借此，能夠靈活地對應(yīng)于玻璃基板的形狀的 變更。而且，第2旋轉(zhuǎn)軸25 — 2、 25 — 2的某一個具有沿著第1旋轉(zhuǎn)軸10的 軸方向自動地使設(shè)置位置變更的位置變更部，且該同側(cè)的第3旋轉(zhuǎn)軸30—1 或30 — 2也可替換為具有與第2旋轉(zhuǎn)軸25— 1或25 — 2的位置的變更長度相 符的軸長的第3旋轉(zhuǎn)軸，
如利用以上所說明的本發(fā)明的傾斜型搬運裝置，則可防止在搬運中產(chǎn)生 粉塵，并利用簡易的搬運機構(gòu)而穩(wěn)定地進(jìn)行大型玻璃基板的搬運，所以能夠 構(gòu)成一種維護容易且收獲率良好的傾斜型的基板搬運裝置。而且，借由組裝 多個這種傾斜型的基板搬運裝置，可提供一種能夠穩(wěn)定地進(jìn)行搬運、且與玻 璃基板的寬度種類沒有關(guān)系地、與多種基板相對應(yīng)的大型玻璃基板清洗裝置。
權(quán)利要求
1.一種傾斜型搬運裝置，為一種在大型玻璃基板的清洗中，用于搬運所述玻璃基板的傾斜型搬運裝置，其特征在于，包括第1旋轉(zhuǎn)軸，其具有多個支持搬運滾子，該支持搬運滾子以規(guī)定的角度傾斜設(shè)置著，并與所述玻璃基板的下面相接，用于搬運驅(qū)動所述玻璃基板；第2旋轉(zhuǎn)軸，其具有定位搬運滾子，該定位搬運滾子與所述傾斜的第1旋轉(zhuǎn)軸的兩側(cè)對向設(shè)置著，并與所述玻璃基板的端面相接，將所述玻璃基板進(jìn)行定位，且搬運驅(qū)動所述玻璃基板；以及第3旋轉(zhuǎn)軸，其具有基板面按壓搬運滾子，該基板面按壓搬運滾子與所述傾斜的第1旋轉(zhuǎn)軸的兩側(cè)對向設(shè)置著，并與所述第1旋轉(zhuǎn)軸兩端的支持搬運滾子對向且與所述玻璃基板的上面相接，以用于搬運驅(qū)動所述玻璃基板。
2. 如權(quán)利要求1所述的傾斜型搬運裝置，其特征在于， 借由使所述兩側(cè)中的某一側(cè)的、所述第2旋轉(zhuǎn)軸及所述第3旋轉(zhuǎn)軸具有沿著所述第1旋轉(zhuǎn)軸的軸方向自動地使設(shè)置位置變更的位置變更部，或借由所述第2旋轉(zhuǎn)軸的某一個具有沿著所述第1旋轉(zhuǎn)軸的軸方向自動地 使設(shè)置位置變更的位置變更部，且使該同一側(cè)的所述第3旋轉(zhuǎn)軸由具有與所述 第2旋轉(zhuǎn)軸的位置變更長度相符的軸長的第3旋轉(zhuǎn)軸所替換， 從而應(yīng)對于所述玻璃基板的形狀的變更。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠防止搬運中產(chǎn)生粉塵，并可利用簡易的搬運機構(gòu)而穩(wěn)定地進(jìn)行大型玻璃基板的搬運的傾斜型的基板搬運裝置。本基板搬運裝置包括第1旋轉(zhuǎn)軸(10)，其具有多個支持搬運滾子，該支持搬運滾子以規(guī)定的角度傾斜設(shè)置著，并與玻璃基板(60)的下面相接，以用來進(jìn)行搬運驅(qū)動；第2旋轉(zhuǎn)軸，其具有定位搬運滾子，該定位搬運滾子與傾斜的第1旋轉(zhuǎn)軸(10)的兩側(cè)對向設(shè)置著，并與玻璃基板(60)的端面相接而定位且進(jìn)行搬運驅(qū)動；以及第3旋轉(zhuǎn)軸，其具有基板面按壓搬運滾子，該基板面按壓搬運滾子與傾斜的第1旋轉(zhuǎn)軸(10)的兩側(cè)對向設(shè)置著，并與第1旋轉(zhuǎn)軸(10)兩端的支持搬運滾子對向且與玻璃基板(60)的上面相接，以進(jìn)行搬運驅(qū)動。
文檔編號B08B3/02GK101287336SQ200710152949
公開日2008年10月15日 申請日期2007年9月25日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月13日
發(fā)明者北川賢一, 渋谷節(jié)男, 片岡辰雄, 石神敬志, 米田尚史, 長瀨明, 青島博行 申請人:島田理化工業(yè)株式會社