專利名稱：清潔裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型是關(guān)于一種清潔裝置，特別是有關(guān)于一種利用可循環(huán)再利用的工作流體對于管路內(nèi)壁的附著物進行溶解及沖刷的清潔裝置。
半導(dǎo)體廠的廢氣用管路在廢氣中的不純物(例如氫化物(H2、AsH3…)、氟化物(NF3…)、氯化物(BCl3、CCl3…)等特殊氣體)的長時間作用下，由于廢氣(W)中包括有相當多的微粒物質(zhì)，管路內(nèi)壁上便累積有附著物(結(jié)塊(cake))。以目前管路清潔方式而言，對于被清潔管路進行分段拆解的清潔方法或其它方式是無法有效將內(nèi)壁上的附著物清除干凈。
本實用新型的目的是提供一種清潔裝置，其安裝于被清潔管路中，可將被清潔管路內(nèi)壁的附著物(例如結(jié)塊)清除。
本實用新型的清潔裝置主要包括有一噴灑裝置及一循環(huán)/過濾裝置，用以將工作流體輸入于廢氣管路的噴灑裝置以第一位置連接于廢氣管路中，工作流體由噴灑裝置的噴灑作用而流經(jīng)廢氣管路內(nèi)壁，并且對于附著物進行溶解及沖刷；用以接收噴灑裝置所輸出的工作流體，并且對于該工作流體中的附著物進行濾除的循環(huán)/過濾裝置以第二位置連接于中廢氣管路，并且將過濾后的工作流體泵送至該噴灑裝置。
本實用新型的清潔裝置中還包括有連接于廢氣管路中的氣體輸送裝置，該氣體輸送裝置用以將氣體由第一位置向第二位置輸送，使得該噴灑裝置所噴出的工作流體是伴隨該氣體的移動而由該第一位置向該第二位置輸送。
噴灑裝置包括有噴嘴，各噴嘴的出口是朝向于廢氣管路的內(nèi)壁，由噴嘴將工作流體噴灑于該廢氣管路的內(nèi)壁。
以上所提的清潔裝置中所述的附著物為結(jié)塊，尤其為半導(dǎo)體廠用廢氣管路中的結(jié)塊；所述的工作流體為水；所述的氣體為氮氣。
該裝置在應(yīng)用時，噴灑裝置以第一位置連接于被清潔管路，而循環(huán)/過濾裝置以第二位置連接于管路，由噴灑裝置將工作流體噴灑于被清潔管路內(nèi)壁，如此以針對第一、二位置之間的被清潔管路內(nèi)壁上的附著物進行溶解及沖刷，并且由循環(huán)/過濾裝置接收噴灑裝置所輸出的工作流體，同時對于工作流體中的附著物進行濾除。經(jīng)過濾后的工作流體以泵送方式輸送至噴灑裝置，以達到工作流體的循環(huán)再利用。由上述的清潔裝置的連接及應(yīng)用可看出通過該裝置可將被清潔管路內(nèi)壁上的附著物徹底清除干凈，不必對被清潔管路進行分段拆解，為管路維護提供便利。
為讓本實用新型的上述目的、特征及優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉一較佳實施例，并配合附圖
作詳細說明。
如A圖所示，本實用新型的清潔裝置包括有一噴灑裝置2、一循環(huán)/過濾裝置3及一氣體輸送裝置4，其中，噴灑裝置2與循環(huán)/過濾裝置3分別設(shè)置于被清潔管路1上，并且噴灑裝置2與循環(huán)/過濾裝置3相連接(如虛線30所示)，通過循環(huán)/過濾裝置3對于噴灑裝置2所輸出的工作流體W1進行再利用。在本實施例中的被清潔管路1為直立方式擺設(shè)的管路，噴灑裝置2以第一位置X1連接于被清潔管路1中，而循環(huán)/過濾裝置3以第二位置X2連接于被清潔管路1中，在第一和第二位置X1、X2之間具有一個落差，亦即，循環(huán)/過濾裝置3的位置低于噴灑裝置2。如此便可對于被清潔管路1的第一和第二位置X1、X2間的部分管路內(nèi)部進行清潔工作。此時，在被清潔管路1的第一位置X1的上方必須由一閥門11將上游部分封閉。
以下針對各裝置之間、各裝置與被清潔管路1之間的連接關(guān)系及功能提出說明。
氣體輸送裝置4是以鄰接于噴灑裝置2的方式設(shè)置于第一位置X1的上游部分，并且氣體輸送裝置4連接于被清潔管路1中，由氣體輸送裝置4將一氣體源40(例如氮氣N2)所提供的氣體400以吹氣的方式經(jīng)第一位置X1向第二位置X2輸送。除了以吹氣方式可將連續(xù)的氣體400自第一位置X1移動至第二位置X2之外，亦可將氣體400輸送裝置4設(shè)置于被清潔管路1下游位置以吸氣方式進行，如此可達到同樣的效果，此處不對該方式多作說明。
噴灑裝置2(如B圖所示)是由多個噴嘴20所構(gòu)成，其中，各噴嘴20以等距離環(huán)狀分布且多列方式貫穿設(shè)置于被清潔管路1的管壁上，并且噴嘴20的開口是朝向于管路1的內(nèi)壁面10。噴嘴20之間由導(dǎo)管21所連接，工作流體W1經(jīng)導(dǎo)管21傳送由各噴嘴20注入于被清潔管路1之中。
當工作流體W1由噴嘴20輸出時，利用噴嘴20的漸縮幾何形狀及在壓力變化的作用下，工作流體W1以噴霧方式噴灑于管路1內(nèi)部，工作流體W1便可均勻地在管路1的內(nèi)壁面10上形成近似毯狀的連續(xù)水膜，并且由向下的霧氣對于管路1內(nèi)部的沉積物進行溶解。
在氣體輸送裝置4所產(chǎn)生的氣體400導(dǎo)引帶動之下，噴灑裝置2所噴出的工作流體W1便伴隨著氣體400的移動而由第一位置X1向第二位置X2輸送。長時間累積于管路1內(nèi)壁10之上的結(jié)塊100便可在工作流體W1的不斷沖刷作用下逐漸地被溶解，因而產(chǎn)生具有結(jié)塊100的混合流體W2，并且隨即進入循環(huán)/過濾裝置3。
循環(huán)/過濾裝置3同時具有過濾、循環(huán)泵送等兩種功能。當循環(huán)/過濾裝置3接收混合流體W2之后，循環(huán)/過濾裝置3便對混合流體W2中的結(jié)塊100及其溶解物進行濾除程序，并且產(chǎn)生干凈的工作流體W1。隨后，循環(huán)/過濾裝置3以泵送方式將干凈的工作流體W1輸送至噴灑裝置2，以達到工作流體W1的循環(huán)再利用。
在被清潔管路1的第一、二位置X1、X2之間設(shè)置有一廢氣處理裝置5，通過廢氣處理裝置5可對于具有濕氣成分的氣體400進行除濕過程后排出。
雖然本實用新型已以較佳實施例披露如上，然其并非用以限制本實用新型，任何熟知本領(lǐng)域技術(shù)者，在不脫離本精神和范圍內(nèi)，當可做更動與潤飾，因此本實用新型保護范圍當事后附的并結(jié)合說明書與附圖的范圍所界定者為準。
權(quán)利要求1.一種清潔裝置，適用于藉由工作流體將廢氣管路內(nèi)壁之的附著物清除，其特征是該清潔裝置包括一用以將工作流體輸入于廢氣管路的噴灑裝置，，以第一位置連接于廢氣管路中，工作流體由噴灑裝置的噴灑作用而流經(jīng)廢氣管路內(nèi)壁，并且對于附著物進行溶解及沖刷；以及一用以接收噴灑裝置所輸出的工作流體，并且對于該工作流體中的附著物進行濾除的循環(huán)/過濾裝置，該循環(huán)/過濾裝置以第二位置連接于中廢氣管路，并且將過濾后的工作流體泵送至該噴灑裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清潔裝置，其特征還在于還包括有連接于廢氣管路中的氣體輸送裝置，該氣體輸送裝置用以將氣體由第一位置向第二位置輸送，使得該噴灑裝置所噴出的工作流體是伴隨該氣體的移動而由該第一位置向該第二位置輸送。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的清潔裝置，其特征還在于該噴灑裝置包括有多個噴嘴，各噴嘴的出口是朝向于廢氣管路的內(nèi)壁，由噴嘴將工作流體噴灑于該廢氣管路的內(nèi)壁。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的清潔裝置，其特征還在于其中附著物為結(jié)塊。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的清潔裝置，其特征還在于其中工作流體為水。
6.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的清潔裝置，其特征還在于附著物為半導(dǎo)體廠用廢氣管路中的結(jié)塊。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的清潔裝置，其特征還在于氣體為氮氣。
專利摘要本實用新型涉及的清潔裝置包括有噴灑裝置、循環(huán)/過濾裝置及氣體輸送裝置,噴灑裝置與循環(huán)/過濾裝置分別以一定的高度差連接設(shè)置于一被清潔管路上,并且利用可循環(huán)再利用的工作流體對于管路內(nèi)壁上的附著物進行溶解及沖刷。該清潔裝置能夠?qū)⒐苈穬?nèi)壁上的附著物清除干凈,效果顯著。
文檔編號B08B9/02GK2474238SQ01208148
公開日2002年1月30日 申請日期2001年3月28日 優(yōu)先權(quán)日2001年3月28日
發(fā)明者王仲志 申請人:華邦電子股份有限公司