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技術(shù)編號(hào)：9250083

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本發(fā)明涉及MEMS芯片的檢測(cè)領(lǐng)域，特別涉及到一種圓片級(jí)封裝的MEMS芯片的開蓋裝置及開蓋方法。背景技術(shù)MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是微機(jī)電系統(tǒng)的縮寫，MEMS元器件由MEMS芯片和專用控制集成電路(ASIC)芯片組成，MEMS元器件具有體積小、成本低、功耗低、智能化程度高、易校準(zhǔn)、易集成的優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于消費(fèi)類電子產(chǎn)品(如手機(jī)、平板電腦、玩具、數(shù)碼相機(jī)、游戲機(jī)、空中鼠標(biāo)、遙控器、GPS等)、國(guó)防工業(yè)(如智能...
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