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垂直結(jié)構(gòu)差分集成螺旋電感的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7173935

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本實(shí)用新型涉及一種電感,特別涉及一種應(yīng)用于集成電路中的集成電感,屬于半導(dǎo)體器件。背景技術(shù)隨著CMOS射頻集成電路的快速發(fā)展,一些高性能、低功耗的單元電路如低噪聲放大器、壓控振蕩器、混頻器、中頻濾波器,功率放大器等成為整個(gè)電路成功的基礎(chǔ),在這其中片上電感又是必不可少的元件,因此,其設(shè)計(jì)和優(yōu)化已成為整個(gè)電路成功設(shè)計(jì)的關(guān)鍵之一。在片電感一般通過(guò)金屬薄膜在硅襯底上繞制而成,相對(duì)于前期的繞線電感,在片電感成本低,易集成,功耗低等優(yōu)點(diǎn)。更重要的是它可與如今的CMOS工...
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