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氮化物半導體裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6866856

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本發(fā)明涉及半導體發(fā)光元件、電子器件等的氮化物半導體裝置。背景技術(shù) 作為使用氮化鎵(GaN)等氮化物半導體的發(fā)光二極管的透光性電極,在日本特開平11-186599號公報(以下稱為專利文獻1)中公開了設置厚度20nm以下的銀(Ag)電極的方案。銀電極與氮化物半導體較良好地歐姆接觸。另外,銀電極也與電阻率較大的p型氮化物半導體較良好地歐姆接觸。另外,若設銀電極的厚度在20nm以下,則可透過具有350~600nm左右的波長的光,因此可將銀電極用作透光電極。特別是對...
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