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一種Ti2AlCMAX相薄膜的制備方法與流程

文檔序號(hào):12698602閱讀:來源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明屬于新材料技術(shù)制備領(lǐng)域,具體為Ti2AlC?MAX相薄膜的制備方法。本發(fā)明采用射頻磁控濺射的方式,濺射元素Ti和Al靶為固體復(fù)合靶,通過計(jì)算元素濺射率和測(cè)得的薄膜化學(xué)元素比調(diào)整固體靶的面積比,從而得到薄膜中理想的化學(xué)元素比;采用C的氫化物C2H2氣體作為C元素靶來提高C元素的活性,通過控制通入的氣體Ar氣和C2H2氣體的流量大小和比例,使薄膜中的最終元素比達(dá)到接近Ti2AlC的化學(xué)元素比。本發(fā)明通過改變基體溫度,沉積時(shí)間和濺射功率等參數(shù),可較為精確的調(diào)整制備薄膜的厚度、晶粒尺寸,從而得到厚度和晶粒尺寸可控的純相高品質(zhì)多晶薄膜。

技術(shù)研發(fā)人員:宿冉冉;施立群;張宏亮
受保護(hù)的技術(shù)使用者:復(fù)旦大學(xué)
文檔號(hào)碼:201710052758
技術(shù)研發(fā)日:2017.01.24
技術(shù)公布日:2017.06.23

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