感光性樹脂組合物、硬化膜的制造方法、硬化膜及其應(yīng)用【專利摘要】本發(fā)明的目的在于提供一種感光性樹脂組合物、硬化膜的制造方法、硬化膜及其應(yīng)用，該感光性樹脂組合物再加工性及顯影時(shí)的卷邊特性優(yōu)異、而且顯影時(shí)的膜薄化少的硬化膜，該硬化膜的制造方法及硬化膜使用所述感光性樹脂組合物、還提供使用所述硬化膜的觸摸屏、觸摸屏顯示裝置、液晶顯示裝置及有機(jī)EL顯示裝置。本發(fā)明的感光性樹脂組合物含有：作為成分A的具有(甲基)丙烯酰基與酸基的聚合物；作為成分B的三官能以上的乙烯性不飽和化合物；作為成分C的光聚合引發(fā)劑；以及作為成分D的具有磷酸酯結(jié)構(gòu)與乙烯性不飽和基的化合物；并且成分D相對于組合物中的總有機(jī)固體成分的含量為0.01質(zhì)量％～5質(zhì)量％。【專利說明】感光性樹脂組合物、硬化膜的制造方法、硬化膜及其應(yīng)用
技術(shù)領(lǐng)域：
[0001]本發(fā)明涉及一種感光性樹脂組合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、觸摸屏、觸摸屏顯示裝置、液晶顯示裝置、及有機(jī)電致發(fā)光(Electroluminescence，EL)顯示裝置?！?br>背景技術(shù)：
】[0002]液晶顯示裝置、有機(jī)EL顯示裝置等平板顯示器(flatpaneldisplay)被廣泛使用。另外，近年來，隨著智能手機(jī)（smartphone)或平板(tablet)終端的普及，靜電電容式觸摸屏受到矚目。靜電電容式觸摸屏的傳感器基板通常為如下結(jié)構(gòu):在玻璃上具有氧化銦錫(IndiumTin0xide，IT0)或金屬(銀、鉬、鋁等)經(jīng)圖案化而成的配線，此外在配線的交叉部具有絕緣膜、對IT0及金屬進(jìn)行保護(hù)的保護(hù)膜。[0003]作為現(xiàn)有的觸摸屏配線用保護(hù)膜，已知有專利文獻(xiàn)1及專利文獻(xiàn)2中所記載的保護(hù)膜。[0004][現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)][0005][專利文獻(xiàn)][0006][專利文獻(xiàn)1]日本專利特開2013-200891號公報(bào)[0007][專利文獻(xiàn)2]日本專利特開2013-76821號公報(bào)【
發(fā)明內(nèi)容】[0008]發(fā)明所要解決的課題[0009]本【發(fā)明人】發(fā)現(xiàn)觸摸屏配線用保護(hù)膜所要求的重要特性有"再加工性"與"卷邊特性"。[0010]所謂再加工性，是指在使用糊或粘著劑等將偏光板貼合于保護(hù)膜上時(shí)，因位置對準(zhǔn)不良等理由，可否將偏光板剝離并對保護(hù)膜表面進(jìn)行清潔，而再次重新貼合偏光板的特性。[0011]在將偏光板剝離時(shí)，要求高密接性，以使保護(hù)膜不會從電極基板剝離。另外，在對保護(hù)膜表面進(jìn)行清潔時(shí)，為了去除糊或粘著劑等而進(jìn)行物理性及/或化學(xué)性清洗，因此要求高硬度及耐化學(xué)品性。[0012]包含這些密接性、硬度及耐化學(xué)品性在內(nèi)的綜合特性為再加工性。[0013]所謂卷邊，是指在對負(fù)型材料進(jìn)行曝光、利用光刻進(jìn)行圖案化時(shí)，連原本未照射到光化射線的區(qū)域也產(chǎn)生膜硬化的現(xiàn)象。若產(chǎn)生卷邊，則無法正確形成光掩模的圖案，因此優(yōu)選的是不產(chǎn)生卷邊。硬度或耐化學(xué)品性優(yōu)異的負(fù)型材料為高反應(yīng)性，因此，因來自光掩模的漏光等而容易產(chǎn)生卷邊，成為相互折衷的性能。[0014]本發(fā)明所要解決的課題為提供一種可獲得再加工性及顯影時(shí)的卷邊特性優(yōu)異、而且顯影時(shí)的膜薄化少的硬化膜的感光性樹脂組合物。[0015]另外，本發(fā)明所要解決的另一課題為提供一種使用所述感光性樹脂組合物的硬化膜的制造方法及硬化膜、以及使用所述硬化膜的觸摸屏、觸摸屏顯示裝置、液晶顯示裝置及有機(jī)EL顯示裝置。[0016]解決問題的技術(shù)手段[0017]本發(fā)明的所述課題是通過以下的〈1>、〈7>、〈8>或〈12>~〈15>中記載的手段而解決。與作為優(yōu)選實(shí)施方式的〈2>~〈6>及〈9>~〈11>一起記載于以下。[0018]〈1>一種感光性樹脂組合物，其特征在于含有:作為成分A的具有（甲基）丙烯酰基與酸基的聚合物;作為成分B的三官能以上的乙烯性不飽和化合物;作為成分C的光聚合引發(fā)刑；以及作為成分D的具有磷酸酯結(jié)構(gòu)與乙烯性不飽和基的化合物;并且成分D相對于組合物中的總有機(jī)固體成分的含量為0.01質(zhì)量％~5質(zhì)量％。[0019]〈2>根據(jù)〈1>所述的感光性樹脂組合物，其中成分A及成分B相對于組合物中的總有機(jī)固體成分的總含量為50質(zhì)量％~99質(zhì)量％。[0020]〈3>根據(jù)〈1>或〈2>所述的感光性樹脂組合物，其中成分D相對于組合物中的總有機(jī)固體成分的含量為0.5質(zhì)量％~2質(zhì)量％。[0021]〈4>根據(jù)〈1>至〈3>中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其中成分D含有具有P-OH結(jié)構(gòu)的化合物。[0022]〈5>根據(jù)〈1>至〈4>中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其中成分A及成分B相對于組合物中的總有機(jī)固體成分的總含量為70質(zhì)量％~99質(zhì)量％。[0023]〈6>根據(jù)〈1>至〈5>中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其還含有無機(jī)粒子。[0024]〈7>-種硬化膜的制造方法，其至少依序包括工序1~工序3:[0025]工序1:將根據(jù)〈1>至〈6>中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物涂布在基板上的涂布工序；[0026]工序2:利用光化射線對經(jīng)涂布的感光性樹脂組合物的至少一部分進(jìn)行曝光的曝光工序；以及[0027]工序3:利用水性顯影液對經(jīng)曝光的感光性樹脂組合物進(jìn)行顯影的顯影工序。[0028]〈8>-種硬化膜，其是使根據(jù)〈1>至〈6>中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物硬化而成。[0029]〈9>根據(jù)〈8>所述的硬化膜，其為層間絕緣膜或保護(hù)膜。[0030]〈1〇>根據(jù)〈8>或〈9>所述的硬化膜，其為觸摸屏配線用保護(hù)膜。[0031]〈11>根據(jù)〈8>至〈10>中任一項(xiàng)所述的硬化膜，其為外嵌結(jié)構(gòu)觸摸屏中的配線用保護(hù)膜。[0032]〈12>-種觸摸屏，具有根據(jù)〈8>至〈11>中任一項(xiàng)所述的硬化膜。[0033]〈13>-種觸摸屏顯示裝置，具有根據(jù)〈8>至〈11>中任一項(xiàng)所述的硬化膜。[0034]〈14>一種液晶顯示裝置，具有根據(jù)〈8>或〈9>所述的硬化膜。[0035]〈15>-種有機(jī)EL顯示裝置，具有根據(jù)〈8>或〈9>所述的硬化膜。[0036]發(fā)明的效果[0037]根據(jù)本發(fā)明可提供一種可獲得再加工性及顯影時(shí)的卷邊特性優(yōu)異、顯影時(shí)的膜薄化少的硬化膜的感光性樹脂組合物。[0038]另外，根據(jù)本發(fā)明可提供一種使用所述感光性樹脂組合物的硬化膜的制造方法及硬化膜、以及使用所述硬化膜的觸摸屏、有機(jī)EL顯示裝置、液晶顯示裝置及觸摸屏顯示裝置?！靖綀D說明】[0039]圖1表示有機(jī)EL顯示裝置的一例的構(gòu)成概念圖。且表示底部發(fā)光（bottomemission)型的有機(jī)EL顯示裝置中的基板的示意性截面圖，具有平坦化膜4〇[0040]圖2表示液晶顯示裝置的一例的構(gòu)成概念圖。且表示液晶顯示裝置中的有源矩陣(activematrix)基板的示意性截面圖，具有作為層間絕緣膜的硬化膜17。[0041]圖3表示具有觸摸屏的功能的液晶顯示裝置的一例的構(gòu)成概念圖。[0042]圖4表示具有觸摸屏的功能的液晶顯示裝置的另一例的構(gòu)成概念圖。[0043]附圖標(biāo)記說明：[0044]1、16、440:TFT(薄膜晶體管）；[0045]2:配線；[0046]3、8、280、420:絕緣膜；[0047]4:平坦化膜；[0048]5:第一電極；[0049]6、14、15:玻璃基板；[0050]7、18、282:接觸孔；[0051]10:液晶顯不裝置；[0052]12:背光單元；[0053]17:硬化膜；[0054]19:1?透明電極；[0055]20:液晶；[0056]22、122、330:彩色濾光片；[0057]110:像素基板；[0058]111、127:偏光板；[0059]112、123:透明基板；[0060]113、370:共通電極；[0061]114:絕緣層；[0062]115:像素電極；[0063]116、121、350:取向膜；[0064]120:相向基板；[0065]124:相位差膜；[0066]125:傳感用檢測電極；[0067]126:接著層；[0068]130:傳感部；[0069]140、400:液晶層；[0070]200:下部顯不板；[0071]210:第1絕緣基板；[0072]220:柵極電極；[0073]240:柵極絕緣膜；[0074]250:半導(dǎo)體層；[0075]260、262:歐姆接觸層；[0076]270:源極電極；[0077]272:漏極電極；[0078]290:像素電極；[0079]300:上部顯示板；[0080]310:第2絕緣基板；[0081]320:遮光構(gòu)件；[0082]410:傳感電極；[0083]430:驅(qū)動電極。【具體實(shí)施方式】[0084]以下，對本發(fā)明的內(nèi)容加以詳細(xì)說明。以下記載的構(gòu)成要件的說明有時(shí)是根據(jù)本發(fā)明的具代表性的實(shí)施方式而進(jìn)行，但本發(fā)明不限定于這種實(shí)施方式。此外，本申請說明書中所謂"~"是以包含其前后所記載的數(shù)值作為下限值及上限值的含意而使用。另外，本發(fā)明中所謂有機(jī)EL元件，是指有機(jī)電致發(fā)光元件。[0085]本說明書中的基團(tuán)（原子團(tuán)）的表述中，未記載經(jīng)取代及未經(jīng)取代的表述包含不具有取代基的基團(tuán)（原子團(tuán)），并且也包含具有取代基的基團(tuán)（原子團(tuán)）。例如所謂"烷基"，不僅是指不具有取代基的烷基(未經(jīng)取代的烷基），而且也包含具有取代基的烷基(經(jīng)取代的烷基)。[0086]此外，本說明書中，"（甲基）丙烯酸酯"表示丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯，"（甲基)丙烯酸"表示丙烯酸及甲基丙烯酸，"(甲基)丙烯?；?表示丙烯酰基及甲基丙烯?；0087]另外，本發(fā)明中，"質(zhì)量％"與"重量％"為相同含意，"質(zhì)量份"與"重量份"為相同含O[0088]另外，本發(fā)明中，兩個(gè)以上的優(yōu)選實(shí)施方式的組合為更優(yōu)選的實(shí)施方式。[0089]本發(fā)明中，關(guān)于聚合物成分，分子量為由以四氫咲喃(Tetrahydrofuran，THF)作為溶劑的情況的凝膠滲透色譜(Ge1PermeationChromatography，GPC)所測定的聚苯乙稀換算的重量平均分子量。[0090](感光性樹脂組合物）[0091]本發(fā)明的感光性樹脂組合物（以下也簡稱為"感光性樹脂組合物"或"組合物"）的特征在于含有:作為成分A的具有（甲基)丙烯?；c酸基的聚合物;作為成分B的三官能以上的乙烯性不飽和化合物;作為成分C的光聚合引發(fā)劑；以及作為成分D的具有磷酸酯結(jié)構(gòu)與乙烯性不飽和基的化合物;并且成分D相對于組合物中的總有機(jī)固體成分的含量為0.01質(zhì)量％~5質(zhì)量％。[0092]本發(fā)明的感光性樹脂組合物還可含有無機(jī)粒子或烷氧基硅烷化合物等其他成分。[0093]本發(fā)明的感光性樹脂組合物優(yōu)選的是可通過利用堿性顯影液的光刻(photolithography)來進(jìn)行圖案化。此外，在通過利用堿性顯影液的光刻對本發(fā)明的感光性樹脂組合物進(jìn)行圖案化的情況下，所形成的圖案為感光部作為圖案而殘留的負(fù)型圖案。[0094]此外，本發(fā)明中，所謂感光性樹脂組合物中的"固體成分"是指將溶劑等揮發(fā)性成分除外的成分。另外，所謂"有機(jī)固體成分"，是指從感光性樹脂組合物中將溶劑等揮發(fā)性成分及無機(jī)粒子等無機(jī)成分除外的成分。[0095]具體來說，例示含有以下成分的組合物作為具體的實(shí)施方式。[0096]本【發(fā)明人】進(jìn)行了努力研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，含有所述成分A~成分D且成分D的含量相對于總有機(jī)固體成分為特定的范圍的感光性樹脂組合物可獲得再加工性及顯影時(shí)的卷邊特性優(yōu)異、顯影時(shí)的膜薄化少的硬化膜，從而完成了本發(fā)明。[0097]本發(fā)明的作用機(jī)制并不明確，但如以下那樣進(jìn)行推測。推斷為通過含有成分D，顯影時(shí)的卷邊特性優(yōu)異，另外，推斷為通過含有成分A~成分D且成分D的含量相對于總有機(jī)固體成分為特定的范圍，作為包含密接性、硬度及耐化學(xué)品性在內(nèi)的綜合特性的再加工性優(yōu)異。[0098]以下，對本發(fā)明的感光性樹脂組合物含有的各成分加以說明。[0099]成分A:具有（甲基)丙烯?；c酸基的聚合物[0100]本發(fā)明的感光性樹脂組合物含有具有（甲基)丙烯?；c酸基的聚合物作為成分A〇[0101]成分A的重量平均分子量優(yōu)選5,000以上，更優(yōu)選10,000以上，進(jìn)而優(yōu)選12,000以上。另外，成分A的重量平均分子量優(yōu)選200，000以下，更優(yōu)選100，000以下，進(jìn)而優(yōu)選50，000以下。[0102]成分A所具有的酸基可例示羧基、磺酸基、磷酸基、這些的酸酐基及酚性羥基，優(yōu)選羧基、羧酸酐基及酚性羥基，特別優(yōu)選羧基。[0103]另外，成分A優(yōu)選的是含有具有酸基的結(jié)構(gòu)重復(fù)單元，更優(yōu)選的是含有具有羧基的結(jié)構(gòu)重復(fù)單元。[0104]將酸基導(dǎo)入至成分A的單體例如可舉出：（甲基）丙烯酸、馬來酸、衣康酸、檸康酸、中康酸、富馬酸、丁烯酸、1，4-環(huán)己烯二羧酸、鄰乙烯基苯甲酸、間乙烯基苯甲酸、對乙烯基苯甲酸、（甲基)丙烯?；趸宜帷?_(甲基)丙烯?；趸?、2_(甲基)丙烯酰基氧基丙酸、4_(甲基)丙烯酰基氧基丁酸、4_(甲基)丙烯酰基氧基苯甲酸、3_(甲基)丙烯?；趸郊姿?、2-(甲基)丙烯酰基氧基苯甲酸、4-(甲基)丙烯酰基氧基鄰苯二甲酸、3-(甲基)丙烯?；趸彵蕉姿?、4-(甲基)丙烯?；趸g苯二甲酸及5-(甲基)丙烯?；趸g苯二甲酸等。這些中，特別優(yōu)選（甲基)丙烯酸。即，成分A特別優(yōu)選的是含有源自（甲基)丙烯酸的重復(fù)單元。[0105]成分A為具有（甲基)丙烯?；木酆衔?，優(yōu)選的是具有甲基丙烯?；木酆衔?。另外，成分A優(yōu)選的是具有（甲基)丙烯?；趸木酆衔?。[0106]對成分A導(dǎo)入（甲基)丙烯酰基的方法并無特別限制，例如可使具有（甲基）丙烯酰基的化合物進(jìn)行高分子反應(yīng)來導(dǎo)入，也可在樹脂聚合時(shí)導(dǎo)入（甲基)丙烯酰基的前驅(qū)基而變換為（甲基)丙烯?；渲?，優(yōu)選的是合成具有酸基的聚合物并使具有環(huán)氧基等環(huán)狀醚基及（甲基)丙烯酰基的化合物與所述酸基的一部分反應(yīng)來導(dǎo)入（甲基)丙烯?；0107]具有環(huán)狀醚基及（甲基）丙烯?；幕衔锢缈膳e出：（甲基）丙烯酸縮水甘油酯、（甲基)丙烯酸a_乙基縮水甘油酯、（甲基)丙烯酸a_正丙基縮水甘油酯、（甲基)丙烯酸a_正丁基縮水甘油酯、（甲基)丙烯酸3,4_環(huán)氧丁酯、（甲基)丙烯酸3,4_環(huán)氧庚酯、（甲基)丙烯酸a-乙基_6,7_環(huán)氧庚酯等。從圖案加工性、硬化膜的硬度提高的觀點(diǎn)來看，優(yōu)選（甲基)丙烯酸縮水甘油酯。另外，也可使用這些的兩種以上。[0108]成分A可舉出具有（甲基）丙烯?；八峄谋┧針渲?、聚硅氧烷、乙烯基醚樹月旨、聚羥基苯乙烯、酚醛清漆樹脂、聚酰亞胺、聚酰胺等。這些聚合物中，從導(dǎo)入（甲基)丙烯?；娜菀仔詠砜矗瑑?yōu)選丙烯酸樹脂、聚硅氧烷、乙烯基醚樹脂、聚羥基苯乙烯，更優(yōu)選丙烯酉支樹脂。[0109]另外，本發(fā)明的感光性樹脂組合物可單獨(dú)含有一種成分A，也可含有兩種以上。[0110]從硬化膜的耐熱性的觀點(diǎn)來看，成分A優(yōu)選的是具有苯環(huán)結(jié)構(gòu)，更優(yōu)選的是含有具有苯環(huán)結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)重復(fù)單元。[0111]另外，所述苯環(huán)結(jié)構(gòu)優(yōu)選苯基。[0112]將苯環(huán)結(jié)構(gòu)導(dǎo)入至成分A的單體例如可舉出：苯乙烯、a-甲基苯乙烯、鄰甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、或?qū)谆揭蚁?、（甲?丙烯酸芐酯等。這些中，從硬化膜的耐熱性與對堿性顯影液的溶解性的觀點(diǎn)來看，優(yōu)選苯乙烯、a_甲基苯乙烯、（甲基)丙烯酸芐酯，更優(yōu)選(甲基)丙烯酸芐酯。另外，也可使用這些單體的兩種以上。[0113]從硬化膜的透明性的觀點(diǎn)來看，成分A優(yōu)選的是具有脂環(huán)式烴基，更優(yōu)選的是含有具有脂環(huán)式烴基的結(jié)構(gòu)重復(fù)單元。[0114]另外，所述脂環(huán)式烴基優(yōu)選異冰片基、三環(huán)癸烷基或四環(huán)癸烷基，更優(yōu)選三環(huán)癸烷基或四環(huán)癸烷基，進(jìn)而優(yōu)選三環(huán)癸烷基，特別優(yōu)選三環(huán)[5.2.1.02'6]癸烷-8-基。[0115]將脂環(huán)式烴基導(dǎo)入至成分A的單體例如可舉出：（甲基)丙烯酸環(huán)丙酯、（甲基)丙烯酸環(huán)戊酯、（甲基）丙烯酸環(huán)己酯、（甲基）丙烯酸環(huán)己烯酯、（甲基)丙烯酸4-甲氧基環(huán)己酯、(甲基）丙烯酸2-環(huán)丙基氧基羰基乙酯、（甲基）丙烯酸2-環(huán)戊基氧基羰基乙酯、（甲基）丙烯酸2-環(huán)己基氧基羰基乙酯、（甲基)丙烯酸2-環(huán)己烯基氧基羰基乙酯、（甲基)丙烯酸2-(4_甲氧基環(huán)己基)氧基羰基乙酯、（甲基）丙烯酸降冰片酯、（甲基)丙烯酸異冰片酯、（甲基）丙烯酸三環(huán)癸烷基酯、（甲基)丙烯酸四環(huán)癸烷基酯、（甲基)丙烯酸二環(huán)戊烯酯、（甲基)丙烯酸金剛烷基酯、（甲基）丙烯酸金剛烷基甲酯、（甲基）丙烯酸1-甲基金剛烷基酯等。這些中，優(yōu)選(甲基)丙烯酸環(huán)丙酯、（甲基)丙烯酸環(huán)己酯、（甲基)丙烯酸降冰片酯、（甲基)丙烯酸異冰片酯、（甲基）丙烯酸三環(huán)癸烷基酯、（甲基)丙烯酸四環(huán)癸烷基酯、（甲基）丙烯酸金剛烷基酯。從硬化膜的吸水性、與顯影時(shí)與不具有Si原子的無機(jī)物的接著性進(jìn)一步提高的觀點(diǎn)來看，更優(yōu)選（甲基)丙烯酸異冰片酯、（甲基)丙烯酸三環(huán)癸烷基酯、（甲基)丙烯酸四環(huán)癸烷基酯。也可使用這些單體的兩種以上。[0116]另外，成分A也可含有所述以外的結(jié)構(gòu)重復(fù)單元。[0117]制作成分A時(shí)可進(jìn)行共聚合的單體例如可舉出：丁二烯、2，3-二甲基丁二烯、N，N-二甲基丙烯酰胺、N，N-二丙基丙烯酰胺、（甲基)丙烯腈、丙烯醛(acrolein)、氯乙烯、偏二氯乙烯、N-乙烯基吡咯烷酮、乙酸乙烯酯、（甲基)丙烯酸甲酯、（甲基)丙烯酸乙酯、（甲基)丙烯酸丙酯、（甲基）丙烯酸叔丁酯等。從分子量調(diào)整的觀點(diǎn)來看，優(yōu)選丁二烯、（甲基）丙烯酸甲酯、（甲基)丙烯酸乙酯。也可使用這些單體的兩種以上。[0118]成分A的酸當(dāng)量優(yōu)選150g/mol~1，000g/mol，更優(yōu)選300g/mol~800g/mol，進(jìn)而優(yōu)選400g/mol~600g/mol。若為所述范圍，則感度優(yōu)異且再加工性更優(yōu)異。[0119]另外，所述成分A的酸當(dāng)量優(yōu)選的是羧酸當(dāng)量。[0120]成分A的制造方法并無特別限制，例如可利用所述方法來制造。[0121]制造成分A時(shí)所使用的溶媒例如可舉出：甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、二丙酮醇等醇類；四氫呋喃、二噁烷等環(huán)狀醚類;苯、甲苯、二甲苯等芳香族烴類;二甲基甲酰胺(DMF)、N-甲基吡咯烷酮(NMP)等非質(zhì)子性極性溶媒；乙酸乙酯、乙酸丁酯等乙酸酯類;二乙二醇二甲醚、丙二醇單甲醚等二醇醚類;丙二醇單甲醚乙酸酯等二醇醚酯類；甲基溶纖劑乙酸酯等溶纖劑酯類等。[0122]相對于反應(yīng)原料100質(zhì)量份，這些反應(yīng)溶媒的使用量優(yōu)選20質(zhì)量份~1，000質(zhì)量份。[0123]制造成分A時(shí)所使用的聚合引發(fā)劑例如可舉出偶氮雙異丁腈、2,2~偶氮雙(2，4-二甲基戊腈）、2，2'-偶氮雙(4-甲氧基-2，4-二甲基戊腈)等偶氮化合物，苯甲?；^氧化物、月桂酰基過氧化物、叔丁基過氧化特戊酸酯、1，1_雙(叔丁基過氧化)環(huán)己烷等有機(jī)過氧化物，過氧化氫等。在使用過氧化物作為引發(fā)劑的情況下，也可與還原劑組合而制成氧化還原系引發(fā)劑。[0124]本發(fā)明的感光性樹脂組合物中的成分A的含量并無特別限制，可根據(jù)所需的膜厚或用途而任意選擇，相對于感光性樹脂組合物中的總有機(jī)固體成分，優(yōu)選1質(zhì)量％~80質(zhì)量％，更優(yōu)選10質(zhì)量％~7〇質(zhì)量％，進(jìn)而優(yōu)選20質(zhì)量％~60質(zhì)量％，特別優(yōu)選30質(zhì)量％~50質(zhì)量％。[0125]成分B:三官能以上的乙烯性不飽和化合物[0126]本發(fā)明的感光性樹脂組合物含有三官能以上的乙烯性不飽和化合物作為成分B。[0127]成分B為成分A以外的化合物，成分B的分子量(在具有分子量分布的情況下為重量平均分子量)優(yōu)選小于5，000，更優(yōu)選小于3，000，進(jìn)而優(yōu)選小于1，000。[0128]另外，成分B優(yōu)選的是不具有酸基，在具有酸基的情況下，優(yōu)選的是分子量小于5，000〇[0129]進(jìn)而，成分B優(yōu)選的是不具有磷酸酯結(jié)構(gòu)。[0130]成分B所具有的乙烯性不飽和基的個(gè)數(shù)優(yōu)選3~15,更優(yōu)選3~10,進(jìn)而優(yōu)選3~7，特別優(yōu)選4~6。若為所述范圍，則硬度及反應(yīng)性優(yōu)異，再加工性更優(yōu)異。[0131]成分B中的乙烯性不飽和基可舉出（甲基)丙烯?；⒁蚁┗?、烯丙基、苯乙烯基、乙烯基醚基、乙烯基酯基等，優(yōu)選（甲基)丙烯?；鼉?yōu)選（甲基)丙烯?；趸Ｈ魹樗鰧?shí)施方式，則硬度及反應(yīng)性優(yōu)異，再加工性更優(yōu)異。[0132]成分B可適當(dāng)選擇此種組合物中所應(yīng)用的化合物而使用，例如可舉出日本專利特開2006-23696號公報(bào)的段落0011中記載的成分或日本專利特開2006-64921號公報(bào)的段落0031~段落0047中記載的成分中，在分子內(nèi)具有三個(gè)以上的（甲基)丙烯?；某煞?，將這些記載并入到本申請說明書中。[0133]成分B可優(yōu)選地例示多羥基化合物的（甲基）丙烯酸酯，具體可舉出：季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四（甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五（甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六（甲基）丙烯酸酯、三（（甲基）丙烯?；趸一┊惽桦逅狨?、三羥甲基丙烷三（甲基）丙烯酸酯、季戊四醇四（甲基)丙烯酸酯環(huán)氧乙烷(E0)改性體、二季戊四醇六（甲基)丙烯酸酯E0改性體等。[0134]成分B也可使用上市的產(chǎn)品，例如可舉出：亞羅尼斯(Aronix)(注冊商標(biāo))M-309、亞羅尼斯（41'〇1111)]\1-400、亞羅尼斯（41'〇1111)]\1-405、亞羅尼斯（41'〇1111)]\1-450、亞羅尼斯(八1'〇1111)]\1-7100、亞羅尼斯（41'〇1111)]\1-8030、亞羅尼斯(41'〇1111)]\1-8060、亞羅尼斯（41'〇111叉）T0-1382、亞羅尼斯(Aronix)T0-1450(東亞合成（股）制造），卡亞拉得(KAYARAD)TMPTA、卡亞拉得(KAYARAD)DPHA、卡亞拉得(KAYARAD)DPCA-20、卡亞拉得(KAYARAD)DPCA-30、卡亞拉得(KAYARAD)DPCA-60、卡亞拉得(KAYARAD)DPCA-120(日本化藥(股）制造），比斯克(Biscoat)295、比斯克（Biscoat)300、比斯克（Biscoat)360、比斯克（Biscoat)GPT、比斯克（Biscoat)3PA、比斯克(Biscoat)400(大阪有機(jī)化學(xué)工業(yè)(股)制造)等。[0135]此外，即便為相當(dāng)于成分B的化合物，相當(dāng)于后述烷氧基硅烷化合物的化合物也被視為烷氧基硅烷化合物。[0136]本發(fā)明中，也可使用（甲基)丙烯酸氨基甲酸酯作為成分B。[0137]本發(fā)明中可使用的（甲基）丙烯酸氨基甲酸酯可例示使用異氰酸酯與羥基的加成反應(yīng)而制造的氨基甲酸酯加成聚合性化合物，可例示日本專利特開昭51-37193號公報(bào)、日本專利特公平2-32293號公報(bào)、日本專利特公平2-16765號公報(bào)中記載那樣的丙烯酸氨基甲酸酯類，將這些記載并入到本申請說明書中。[0138]從硬化膜硬度的觀點(diǎn)來看，（甲基）丙烯酸氨基甲酸酯的分子量優(yōu)選500以上且小于5，000，更優(yōu)選650以上且小于5，000，進(jìn)而優(yōu)選800~3，000。[0139](甲基)丙烯酸氨基甲酸酯中的（甲基)丙烯酰氧基可為丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基的任一者，也可為兩者，優(yōu)選丙烯酰氧基。[0140](甲基）丙烯酸氨基甲酸酯中的（甲基）丙烯酰氧基的個(gè)數(shù)優(yōu)選3以上，更優(yōu)選6以上。若為所述實(shí)施方式，則更有效地發(fā)揮本發(fā)明的效果。[0141]另外，所述（甲基)丙烯酰氧基的個(gè)數(shù)的上限并無特別限制，優(yōu)選30以下，更優(yōu)選20以下，進(jìn)而優(yōu)選15以下。[0142]本發(fā)明的感光性樹脂組合物可僅含有一種（甲基)丙烯酸氨基甲酸酯，也可含有兩種以上。[0143](甲基)丙烯酸氨基甲酸酯中的氨基甲酸酯鍵的個(gè)數(shù)并無特別限制，優(yōu)選1~30,更優(yōu)選1~20,進(jìn)而優(yōu)選2~10,特別優(yōu)選2~5,最優(yōu)選2或3。[0144](甲基)丙烯酸氨基甲酸酯優(yōu)選的是脂肪族(甲基)丙烯酸氨基甲酸酯。[0145]另外，（甲基)丙稀酸氨基甲酸酯優(yōu)選的是具有異氰脲酸環(huán)（isocyanricring)結(jié)構(gòu)。[0146]另外，（甲基)丙烯酸氨基甲酸酯優(yōu)選的是包含具有一個(gè)以上的氨基甲酸酯鍵的核部分、及鍵合在核部分上且具有一個(gè)以上的（甲基)丙烯酰氧基的末端部分的化合物，更優(yōu)選的是在所述核部分上鍵合有兩個(gè)以上的所述末端部分的化合物，進(jìn)而優(yōu)選的是在所述核部分上鍵合有兩個(gè)~五個(gè)所述末端部分的化合物，特別優(yōu)選的是在所述核部分上鍵合有兩個(gè)或三個(gè)所述末端部分的化合物。[0147](甲基)丙烯酸氨基甲酸酯優(yōu)選的是至少具有下述式Ae-1或式Ae-2所表示的基團(tuán)的化合物，更優(yōu)選的是至少具有下述式Ae-1所表示的基團(tuán)的化合物。另外，（甲基)丙烯酸氨基甲酸酯更優(yōu)選的是具有兩個(gè)以上的選自由下述式Ae-1所表示的基團(tuán)及式Ae-2所表示的基團(tuán)所組成的組群中的基團(tuán)的化合物。[0148]另外，（甲基)丙烯酸氨基甲酸酯的所述末端部分優(yōu)選下述式Ae-1或式Ae-2所表示的基團(tuán)。[0149][化1][0151]式Ae-1及式Ae-2中，R分別獨(dú)立地表示丙烯酸基或甲基丙烯酸基，波線部分表示與其他結(jié)構(gòu)的鍵合位置。[0152]另外，（甲基)丙烯酸氨基甲酸酯優(yōu)選的是至少具有下述式Ac-1或式Ac-2所表示的基團(tuán)的化合物，更優(yōu)選的是至少具有下述式Ac-1所表示的基團(tuán)的化合物。[0153]另外，（甲基)丙烯酸氨基甲酸酯中的所述核部分優(yōu)選下述式Ac-1或式Ac-2所表示的基團(tuán)。[0156]式Ac-1及式Ac-2中，L1~L4分別獨(dú)立地表示碳數(shù)2~20的二價(jià)烴基，波線部分表示與其他結(jié)構(gòu)的鍵合位置。[0157]L1~L4分別獨(dú)立地優(yōu)選碳數(shù)2~20的亞烷基，更優(yōu)選碳數(shù)2~10的亞烷基，進(jìn)而優(yōu)選碳數(shù)4~8的亞烷基。另外，所述亞烷基也可具有分支結(jié)構(gòu)或環(huán)結(jié)構(gòu)，優(yōu)選直鏈亞烷基。[0158]另外，（甲基)丙烯酸氨基甲酸酯特別優(yōu)選的是式Ac-1或式Ac-2所表示的基團(tuán)與選自由式Ae-1及式Ae-2所表示的基團(tuán)所組成的組群中的兩個(gè)或三個(gè)基團(tuán)鍵合而成的化合物。[0159]以下例示本發(fā)明中可優(yōu)選地使用的（甲基)丙烯酸氨基甲酸酯，但本發(fā)明當(dāng)然不限定于這些化合物。[0160][化3][0166]另外，本發(fā)明中可使用的（甲基)丙烯酸氨基甲酸酯可例示使用異氰酸酯與羥基的加成反應(yīng)而制造的氨基甲酸酯加成聚合性化合物，可例示日本專利特開昭51-37193號公報(bào)、日本專利特公平2-32293號公報(bào)、日本專利特公平2-16765號公報(bào)中記載那樣的丙烯酸氨基甲酸酯類，將這些記載并入到本申請說明書中。[0167](甲基）丙烯酸氨基甲酸酯的市售品可例示：可從新中村化學(xué)工業(yè)（股）獲取的1]_6HA、UA-1100H、U-6LPA、U-15HA、U-6H、U-10HA、U-10PA、UA-53H、UA-33H(均為注冊商標(biāo)），或可從共榮社化學(xué)（股）獲取的UA-306H、UA-306T、UA-306I、UA-510H，可從巴斯夫(BASF)公司獲取的拉羅莫(Laromer)UA-9048、拉羅莫（Laromer)UA-9050、拉羅莫（Laromer)PR9052，可從大賽璐-奧璐尼克斯（Daicel-Allnex)(股）獲取的艾白克力（EffiCRYL)220、艾白克力(EBECRYL)5129、艾白克力（EBECRYL)8301、艾白克力（EBECRYL)KRM8200、艾白克力(EBECRYL)8200AE、艾白克力（EBECRYL)8452等。[0168]成分B可單獨(dú)使用一種，也可并用兩種以上。[0169]相對于感光性樹脂組合物的總有機(jī)固體成分，成分B的含量優(yōu)選20質(zhì)量％~85質(zhì)量％，更優(yōu)選30質(zhì)量％~70質(zhì)量％，進(jìn)而優(yōu)選35質(zhì)量％~60質(zhì)量％。[0170]本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，成分A及成分B相對于組合物中的總有機(jī)固體成分的總含量優(yōu)選50質(zhì)量％~99質(zhì)量％，更優(yōu)選70質(zhì)量％~99質(zhì)量％，進(jìn)而優(yōu)選70質(zhì)量％~95質(zhì)量％，特別優(yōu)選75質(zhì)量％~95質(zhì)量％。若為所述實(shí)施方式，則顯影性優(yōu)異，再加工性更優(yōu)異。[0171]另外，本發(fā)明的感光性樹脂組合物中的成分A與成分B的含有質(zhì)量比優(yōu)選成分A:成分B=1.5:1~1:1.5,更優(yōu)選成分A:成分B=1.3:1~1:1.3,進(jìn)而優(yōu)選成分A:成分B=l:l~1:1.3。若為所述范圍，則可進(jìn)一步抑制顯影時(shí)的膜薄化。[0172]進(jìn)而，優(yōu)選的是以質(zhì)量換算計(jì)本發(fā)明的感光性樹脂組合物中的成分B的含量多于成分A的含量。若為所述范圍，則可進(jìn)一步抑制顯影時(shí)的膜薄化。[0173]成分C:光聚合引發(fā)劑[0174]本發(fā)明的感光性樹脂組合物含有光聚合引發(fā)劑作為成分C。[0175]光聚合引發(fā)劑優(yōu)選的是含有光自由基聚合引發(fā)劑。[0176]本發(fā)明中可使用的光聚合引發(fā)劑為可通過光而引發(fā)、促進(jìn)聚合的化合物。其中，更優(yōu)選的是光自由基聚合引發(fā)劑。[0177]所謂"光"，只要為可通過其照射而賦予可由成分C產(chǎn)生引發(fā)種的能量的活性能量線，貝并無特別限制，廣泛地包含a射線、y射線、X射線、紫外線(UltraViolet，UV)、可見光線、電子束等。這些中，優(yōu)選的是至少包含紫外線的光。[0178]光聚合引發(fā)劑例如可舉出：肟酯化合物、有機(jī)鹵化化合物、氧基二唑化合物、羰基化合物、縮酮化合物、安息香化合物、吖啶化合物、有機(jī)過氧化化合物、偶氮化合物、香豆素化合物、疊氮化合物、茂金屬化合物、六芳基聯(lián)咪唑化合物、有機(jī)硼酸化合物、二磺酸化合物、鑰鹽化合物、?；?氧化物)化合物。這些化合物中，從感度的方面來看，優(yōu)選肟酯化合物、六芳基聯(lián)咪唑化合物，更優(yōu)選肟酯化合物。[0179]肟酯化合物可使用：日本專利特開2000-80068號公報(bào)、日本專利特開2001-233842號公報(bào)、日本專利特表2004-534797號公報(bào)、日本專利特開2007-231000號公報(bào)、日本專利特開2009-134289號公報(bào)、及國際公開第2012/057165號的公報(bào)的段落0046~段落0059中記載的化合物。[0180]有機(jī)鹵化化合物的例子具體可舉出：若林等人的《日本化學(xué)會公報(bào)（Bull〇^!11.3〇(3.如口311)》(42、2924(1969))、美國專利第3,905,815號說明書、日本專利特公昭46-4605號公報(bào)、日本專利特開昭48-36281號公報(bào)、日本專利特開昭55-32070號公報(bào)、日本專利特開昭60-239736號公報(bào)、日本專利特開昭61-169835號公報(bào)、日本專利特開昭61-169837號公報(bào)、日本專利特開昭62-58241號公報(bào)、日本專利特開昭62-212401號公報(bào)、日本專利特開昭63-70243號公報(bào)、日本專利特開昭63-298339號公報(bào)、M.P.亨特(M.P.Hutt)等人的《雜環(huán)化學(xué)期刊（JournalofHeterocyclic〇161]1181:巧）》（7,511，（1970))等中記載的化合物，特別可舉出經(jīng)三鹵化甲基取代的噁唑化合物、均三嗪化合物。[0181]六芳基聯(lián)咪唑化合物的例子例如可舉出：日本專利特公平6-29285號公報(bào)、美國專利第3,479，185號、美國專利第4,311，783號、美國專利第4,622,286號等的各說明書中記載的各種化合物。[0182]?；?氧化物)化合物可例示單?；⒀趸锘衔锛半p?；⒀趸锘衔?，具體來說，例如可舉出：巴斯夫（BASF)公司制造的艷佳固（Irgacure)819、達(dá)羅固(Darocure)4265、達(dá)羅固（Darocure)TP0等。[0183]光聚合引發(fā)劑可使用一種或組合使用兩種以上。[0184]相對于組合物中的總固體成分100質(zhì)量份，本發(fā)明的感光性樹脂組合物中的光聚合引發(fā)劑的含量優(yōu)選0.5質(zhì)量份~30質(zhì)量份，更優(yōu)選1質(zhì)量份~20質(zhì)量份，進(jìn)而優(yōu)選1質(zhì)量份~10質(zhì)量份，特別優(yōu)選1.5質(zhì)量份~5質(zhì)量份。[0185]成分D:具有磷酸酯結(jié)構(gòu)與乙烯性不飽和基的化合物[0186]本發(fā)明的感光性樹脂組合物含有具有磷酸酯結(jié)構(gòu)與乙烯性不飽和基的化合物作為成分D，并且成分D相對于組合物中的總有機(jī)固體成分的含量為0.01質(zhì)量％~5質(zhì)量％。[0187]成分D中的磷酸酯結(jié)構(gòu)可為磷酸單酯結(jié)構(gòu)，也可為磷酸二酯結(jié)構(gòu)，還可為磷酸三酯結(jié)構(gòu)，優(yōu)選磷酸單酯結(jié)構(gòu)或磷酸二酯結(jié)構(gòu)。即，成分D優(yōu)選的是含有具有P-OH結(jié)構(gòu)的化合物。[0188]成分D中的乙烯性不飽和基可舉出（甲基)丙烯?；?、乙烯基、烯丙基、苯乙烯基、乙烯基醚基、乙烯基酯基等，優(yōu)選（甲基)丙烯酰基，更優(yōu)選（甲基)丙烯酰基氧基。若為所述實(shí)施方式，則硬化性及反應(yīng)性優(yōu)異，而且再加工性更優(yōu)異。[0189]成分D中的乙烯性不飽和基的個(gè)數(shù)并無特別限制，優(yōu)選1~6,更優(yōu)選1~3,特別優(yōu)選1或2。[0190]成分D的分子量優(yōu)選的是小于1，000。[0191]成分D優(yōu)選式D-1所表示的化合物。[0192][化6][0194]式D-1中，RD分別獨(dú)立地表示氫原子或甲基，1^分別獨(dú)立地表示二價(jià)連結(jié)基，n表示1~3〇[0195]RD優(yōu)選甲基。[0196]LD優(yōu)選分別獨(dú)立地為亞烷基、或?qū)蓚€(gè)以上的亞烷基與選自由一個(gè)以上的醚鍵及酯鍵所組成的組群中的鍵組合而成的基團(tuán)，更優(yōu)選分別獨(dú)立地為亞烷基，進(jìn)而優(yōu)選分別獨(dú)立地為亞乙基。[0197]LD的碳數(shù)優(yōu)選2~40,更優(yōu)選2~20,進(jìn)而優(yōu)選2~8,特別優(yōu)選2。[0198]n優(yōu)選1~2。此外，n并非整數(shù)的情況表示n以平均值的形式取所述值的兩種以上的混合物。[0199]成分D的具體例可舉出以下所示的化合物，但當(dāng)然不限定于這些化合物。[0206]這些化合物的市售品可舉出：JPA_514(城北化學(xué)工業(yè)（股）制造），萊特丙烯酸酯(LightAcrylate)P-lA(N)、萊特丙稀酸酯（LightAcrylate)P_lM、萊特丙稀酸酯（LightAcrylate)P-2M(共榮社化學(xué)(股)制造），卡亞美(KAYAMER)PM-2、卡亞美(KAYAMER)PM-21(日本化藥(股)制造），MR-200、MR-260(大八化學(xué)工業(yè)(股)制造)等。[0207]成分D可單獨(dú)含有一種，也可含有兩種以上。[0208]本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，成分D相對于感光性樹脂組合物中的總有機(jī)固體成分的含量為0.01質(zhì)量％~5質(zhì)量％，優(yōu)選0.05質(zhì)量％~4.5質(zhì)量％，更優(yōu)選0.1質(zhì)量％~4質(zhì)量％，進(jìn)而優(yōu)選0.3質(zhì)量％~3質(zhì)量％，特別優(yōu)選0.5質(zhì)量％~2質(zhì)量％。若為所述范圍，則可獲得顯影時(shí)的卷邊特性更優(yōu)異、而且顯影時(shí)的膜薄化更少的硬化膜。[0209]成分E:無機(jī)粒子[0210]本發(fā)明的感光性樹脂組合物優(yōu)選的是含有無機(jī)粒子作為成分E。通過含有無機(jī)粒子，硬化膜的硬度變得更優(yōu)異。[0211]本發(fā)明中所用的無機(jī)粒子的平均粒徑優(yōu)選lnm~200nm，更優(yōu)選5nm~100nm，進(jìn)而優(yōu)選5nm~50nm。平均粒徑是指利用電子顯微鏡測定任意200個(gè)粒子的粒徑并加以算術(shù)平均所得的值。另外，在粒子的形狀并非球形的情況下，將最長的邊設(shè)為直徑。[0212]另外，從硬化膜的硬度的觀點(diǎn)來看，無機(jī)粒子的空隙率優(yōu)選的是小于10%，更優(yōu)選的是小于3%，最優(yōu)選的是無空隙。粒子的空隙率為由電子顯微鏡所得的截面圖像的空隙部分與粒子總體的面積比的200個(gè)的算術(shù)平均。[0213]無機(jī)粒子優(yōu)選的是含有鈹(Be)、鎂(Mg)、鈣(Ca)、鍶（Sr)、鋇(Ba)、鈧(Sc)、釔(Y)、鑭(La)、鈰(Ce)、釓(Gd)、鋱(Tb)、鏑(Dy)、鐿(Yb)、镥(Lu)、鈦(Ti)、鋯(Zr)、鉿(Hf)、鈮(Nb)、鉬(Mo)、鎢(W)、鋅(Zn)、硼(B)、鋁(A1)、硅(Si)、鍺(Ge)、錫(Sn)、鉛(Pb)、銻(Sb)、鉍(Bi)、碲(Te)等的原子的金屬氧化物粒子，更優(yōu)選氧化硅、氧化鈦、鈦復(fù)合氧化物、氧化鋅、氧化鋯、銦/錫氧化物、銻/錫氧化物，進(jìn)而優(yōu)選氧化硅、氧化鈦、鈦復(fù)合氧化物、氧化鋯，從粒子的穩(wěn)定性、獲取容易性、硬化膜的硬度、透明性、折射率調(diào)整等觀點(diǎn)來看，特別優(yōu)選氧化硅、氧化鈦、或氧化錯(cuò)。[0214]氧化硅可優(yōu)選地舉出二氧化硅，可更優(yōu)選地舉出二氧化硅粒子。[0215]二氧化硅粒子只要為含有二氧化硅的無機(jī)氧化物的粒子，則并無特別問題，優(yōu)選的是含有二氧化硅或其水合物作為主成分(優(yōu)選80質(zhì)量％以上）的粒子。所述粒子也可含有鋁酸鹽作為少量成分(例如小于5質(zhì)量％)。有時(shí)作為少量成分而含有的鋁酸鹽可舉出鋁酸鈉、鋁酸鉀等。另外，二氧化硅粒子也可含有氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化鋰、氫氧化銨等無機(jī)鹽類或氫氧化四甲基銨等有機(jī)鹽類。這種化合物的例子可例示膠體二氧化硅。[0216]膠體二氧化硅的分散介質(zhì)并無特別限制，可為水、有機(jī)溶劑及這些物質(zhì)的混合物的任一種。這些分散介質(zhì)可單獨(dú)使用一種，也可并用兩種以上。[0217]本發(fā)明中，粒子也能以分散液的形式供使用，所述分散液是通過在適當(dāng)?shù)姆稚┘叭軇┲惺褂们蚰C(jī)、棒磨機(jī)等混合裝置進(jìn)行混合?分散而制備。此外，本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，膠體二氧化硅無需以膠體狀態(tài)而存在。[0218]關(guān)于無機(jī)粒子的含量，在調(diào)配無機(jī)粒子的情況下，從硬度的觀點(diǎn)來看，相對于感光性樹脂組合物的總固體成分，優(yōu)選1質(zhì)量％以上，更優(yōu)選5質(zhì)量％以上，進(jìn)而優(yōu)選10質(zhì)量％以上。另外，優(yōu)選80質(zhì)量％以下，更優(yōu)選50質(zhì)量％以下，進(jìn)而優(yōu)選40質(zhì)量％以下，特別優(yōu)選30質(zhì)量％以下。[0219]無機(jī)粒子可僅含有一種，也可含有兩種以上。在含有兩種以上的情況下，優(yōu)選的是其合計(jì)量成為所述范圍。[0220]成分F:封閉異氰酸酯化合物[0221]本發(fā)明的感光性樹脂組合物優(yōu)選的是含有封閉異氰酸酯化合物作為成分F。通過含有成分F，再加工性更優(yōu)異。其作用機(jī)制并不明確，但認(rèn)為因光硬化后的加熱處理而成分F的封閉異氰酸酯基脫保護(hù)。推斷為在硬化膜中，通過源自成分F的異氰酸酯基的作用而與基板的密接性提高，或通過異氰酸酯基與水分及/或鹽類相互作用而再加工性優(yōu)異。[0222]封閉異氰酸酯化合物只要為具有封閉異氰酸酯基的化合物，則并無特別限制，從硬化性的觀點(diǎn)來看，優(yōu)選的是在一分子內(nèi)具有兩個(gè)以上的封閉異氰酸酯基的化合物。封閉異氰酸酯基的個(gè)數(shù)的上限并無特別規(guī)定，優(yōu)選6以下。[0223]另外，關(guān)于封閉異氰酸酯化合物，其骨架并無特別限定，只要為在一分子中具有兩個(gè)異氰酸酯基的化合物，則可為任意的化合物，可為脂肪族、脂環(huán)族或芳香族的聚異氰酸酯，例如可合適地使用:2,4_甲苯二異氰酸酯、2,6_甲苯二異氰酸酯、異佛爾酮二異氰酸酯、1，6-六亞甲基二異氰酸酯、1，3-三亞甲基二異氰酸酯、1，4-四亞甲基二異氰酸酯、2，2，4-三甲基六亞甲基二異氰酸酯、2,4,4_三甲基六亞甲基二異氰酸酯、1，9_九亞甲基二異氰酸酯、1，10_十亞甲基二異氰酸酯、1，4_環(huán)己烷二異氰酸酯、二乙基醚二異氰酸酯、二苯基甲烷二異氰酸酯、鄰二甲苯二異氰酸酯、間二甲苯二異氰酸酯、對二甲苯二異氰酸酯、亞甲基雙(環(huán)己基異氰酸酯）、環(huán)己烷_1，3_二亞甲基二異氰酸酯、環(huán)己烷_1，4_二亞甲基二異氰酸酯、1，5_萘二異氰酸酯、對苯二異氰酸酯、3,3~亞甲基二甲苯U'-二異氰酸酯、4，V-二苯基醚二異氰酸酯、四氯苯二異氰酸酯、降冰片烷二異氰酸酯、氫化1，3-二甲苯二異氰酸酯、氫化1，4_二甲苯二異氰酸酯等異氰酸酯化合物、以及這些化合物的多聚物及由這些化合物衍生的預(yù)聚物型的骨架的化合物。這些化合物中，優(yōu)選的是將選自由甲苯二異氰酸酯(TDI)或二苯基甲烷二異氰酸酯(MDI)、六亞甲基二異氰酸酯(HDI)、異佛爾酮二異氰酸酯（iroi)及這些的多聚物所組成的組群中的化合物保護(hù)而成的封閉異氰酸酯化合物，更優(yōu)選的是將選自由六亞甲基二異氰酸酯、異佛爾酮二異氰酸酯及這些的多聚物所組成的組群中的化合物保護(hù)而成的封閉異氰酸酯化合物。[0224]異氰酸酯化合物的多聚物只要為二聚物以上的多聚物，則并無特別限制，可例示雙縮脲(biuret)體、異氰脲酸酯體、加合物體等，優(yōu)選雙縮脲體。[0225]本發(fā)明的感光性樹脂組合物中的封閉異氰酸酯化合物的母結(jié)構(gòu)可舉出：雙縮脲型、異氰脲酸酯型、加合物型、二官能預(yù)聚物型等。[0226]形成所述封閉異氰酸酯化合物的封閉結(jié)構(gòu)的封閉劑可舉出：肟化合物、內(nèi)酰胺化合物、酚化合物、醇化合物、胺化合物、活性亞甲基化合物、吡唑化合物、硫醇化合物、咪唑系化合物、酰亞胺系化合物等。這些化合物中，優(yōu)選肟化合物、內(nèi)酰胺化合物、酚化合物、醇化合物、胺化合物、活性亞甲基化合物、或吡唑化合物，更優(yōu)選肟化合物、及內(nèi)酰胺化合物，進(jìn)而優(yōu)選肟化合物，特別優(yōu)選甲基乙基酮肟。[0227]所述肟化合物可舉出肟、及酮肟，具體來說可例示：乙酰肟、甲酰肟、環(huán)己烷肟、甲基乙基酮肟、環(huán)己酮肟、二苯甲酮肟等。[0228]所述內(nèi)酰胺化合物可例示:e-己內(nèi)酰胺、y-丁內(nèi)酰胺等。[0229]所述酚化合物可例示:苯酚、萘酚、甲酚、二甲酚、經(jīng)鹵素取代的苯酚等。[0230]所述醇化合物可例示：甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、環(huán)己醇、乙二醇單烷基醚、丙二醇單烷基醚、乳酸烷基酯等。[0231]所述胺化合物可舉出一級胺及二級胺，可為芳香族胺、脂肪族胺、脂環(huán)族胺的任一種，可例示:苯胺、二苯基胺、乙烯亞胺、聚乙烯亞胺等。[0232]所述活性亞甲基化合物可例示：丙二酸二乙酯、丙二酸二甲酯、乙酰乙酸乙酯、乙酰乙酸甲酯等。[0233]所述吡唑化合物可例示:吡唑、甲基吡唑、二甲基吡唑等。[0234]所述硫醇化合物可例示:烷基硫醇、芳基硫醇等。[0235]本發(fā)明的感光性樹脂組合物中可使用的封閉異氰酸酯化合物可以市售品的形式獲得，例如可優(yōu)選地使用：克羅奈特(Coronate)AP穩(wěn)定（Stable)M、克羅奈特(Coronate)2503、克羅奈特（Coronate)2515、克羅奈特（Coronate)2507、克羅奈特（Coronate)2513、克羅奈特(Coronate)2555、米利奧耐德(Millionate)MS-50(以上為日本聚氨基甲酸酯工業(yè)(股）制造），塔克奈特(Takenate)B_830、塔克奈特(Takenate)B_815N、塔克奈特(Takenate)B-820NSU、塔克奈特(Takenate)B-842N、塔克奈特(Takenate)B-846N、塔克奈特(Takenate)B-870N、塔克奈特(Takenate)B-874N、塔克奈特(Takenate)B-882N(以上為三井化學(xué)（股）制造），杜拉奈特(Duranate)17B-60P、杜拉奈特(Duranate)17B-60PX、杜拉奈特(Duranate)TPA-B80X、杜拉奈特（Duranate)TPA-B80E、杜拉奈特（Duranate)MF-B60X、杜拉奈特(Duranate)MF_B60B、杜拉奈特(Duranate)MF_K60X、杜拉奈特（Duranate)MF_K60B、杜拉奈特(Duranate)E402-B80B、杜拉奈特（Duranate)SBN-70D、杜拉奈特(Duranate)SBB-70P、杜拉奈特(011抑仙丨6)1(6000(以上為旭化成化學(xué)(股）制造），德斯莫杜爾(0681]1〇(1111')1^1100、德斯莫杜爾（Desmodur)BL1265、德斯莫杜爾（Desmodur)MPA/X、德斯莫杜爾（Desmodur)BL3575/1、德斯莫杜爾（〇68111〇(1111')1^3272]\0:^\、德斯莫杜爾（〇681]1〇(1111')1^337〇]\0:^\、德斯莫杜爾（Desmodur)BL3475BA/SN、德斯莫杜爾（Desmodur)BL5375MPA、德斯莫杜爾（Desmodur)VPLS2078/2、德斯莫杜爾（Desmodur)BL4265SN、德斯莫杜爾（Desmodur)PL340、德斯莫杜爾(Desmodur)PL350、蘇米杜爾（Sumidur)BL3175(以上為住化拜耳氨基甲酸酯（Sumika-BayerUrethane)(股）制造）等。[0236]成分F可單獨(dú)含有一種，也可含有兩種以上。[0237]相對于感光性樹脂組合物的總固體成分，本發(fā)明的感光性樹脂組合物中的封閉異氰酸酯化合物的含量優(yōu)選〇.1質(zhì)量％~20質(zhì)量％，更優(yōu)選0.5質(zhì)量％~10質(zhì)量％，進(jìn)而優(yōu)選1質(zhì)量％~5質(zhì)量％。[0238]另外，相對于感光性樹脂組合物的總有機(jī)固體成分，本發(fā)明的感光性樹脂組合物中的封閉異氰酸酯化合物的含量優(yōu)選0.1質(zhì)量％~20質(zhì)量％，更優(yōu)選0.5質(zhì)量％~10質(zhì)量％，進(jìn)而優(yōu)選1質(zhì)量％~5質(zhì)量％。[0239]若成分F的含量為所述范圍內(nèi)，則可獲得可靠性優(yōu)異的硬化膜，因此優(yōu)選。[0240]-其他成分-[0241]本發(fā)明的感光性樹脂組合物除了所述成分以外，也可含有其他成分。其他成分可使用眾所周知的成分，可優(yōu)選地例示以下表示的各成分。[0242]〈溶劑〉[0243]本發(fā)明的感光性樹脂組合物也可含有溶劑。本發(fā)明的感光性樹脂組合物優(yōu)選的是制備成將作為必需成分的成分A~成分D及所述及后述的任意成分溶解及/或分散在溶劑中而成的組合物。[0244]溶劑優(yōu)選有機(jī)溶劑。本發(fā)明的感光性樹脂組合物中所使用的有機(jī)溶劑可使用眾所周知的溶劑，可例示：乙二醇單烷基醚類、乙二醇二烷基醚類、乙二醇單烷基醚乙酸酯類、丙二醇單烷基醚類、丙二醇二烷基醚類、丙二醇單烷基醚乙酸酯類、二乙二醇二烷基醚類、二乙二醇單烷基醚乙酸酯類、二丙二醇單烷基醚類、丁二醇二乙酸酯類、二丙二醇二烷基醚類、二丙二醇單烷基醚乙酸酯類、醇類、酯類、酮類、酰胺類、內(nèi)酯類等。這些有機(jī)溶劑的具體例可參考日本專利特開2009-098616號公報(bào)的段落0062。[0245]具體來說，例如優(yōu)選選自由丙二醇單甲醚乙酸酯、二乙二醇二乙醚、二乙二醇乙基甲基醚、丙二醇單甲醚、1，3_丁二醇二乙酸酯、環(huán)己醇乙酸酯、丙二醇二乙酸酯、及四氫糠醇所組成的組群中的至少一種溶媒。[0246]從涂布性的觀點(diǎn)來看，有機(jī)溶劑的沸點(diǎn)優(yōu)選100°C~300°C，更優(yōu)選120°C~250°C。[0247]本發(fā)明中可使用的溶劑可單獨(dú)使用一種或并用兩種以上。也優(yōu)選的是將沸點(diǎn)不同的溶劑并用。[0248]關(guān)于本發(fā)明的感光性樹脂組合物中的溶劑的含量，從調(diào)整為適于涂布的粘度的觀點(diǎn)來看，相對于組合物的總固體成分1〇〇質(zhì)量份，所述含量優(yōu)選1〇〇質(zhì)量份~3，000質(zhì)量份，更優(yōu)選200質(zhì)量份~2，000質(zhì)量份，進(jìn)而優(yōu)選250質(zhì)量份~1，000質(zhì)量份。[0249]感光性樹脂組合物的固體成分濃度優(yōu)選3質(zhì)量％~50質(zhì)量％，更優(yōu)選20質(zhì)量％~40質(zhì)量％。[0250]感光性樹脂組合物的粘度優(yōu)選ImPa?s~200mPa?s，更優(yōu)選2mPa?s~lOOmPa?s，進(jìn)而優(yōu)選3mPa?s~80mPa?s。粘度例如優(yōu)選的是使用東機(jī)產(chǎn)業(yè)(股）制造的RE-80L型旋轉(zhuǎn)粘度計(jì)在25°C±0.2°C下進(jìn)行測定。關(guān)于測定時(shí)的旋轉(zhuǎn)速度，粘度小于5mPa?s時(shí)優(yōu)選的是以lOOrpm的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行測定，粘度為5mPa?s以上且小于lOmPa?s時(shí)優(yōu)選的是以50rpm的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行測定，粘度為10mPa?s以上且小于30mPa?s時(shí)優(yōu)選的是以20rpm的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行測定，粘度為30mPa?s以上時(shí)優(yōu)選的是以lOrpm的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行測定。[0251]〈烷氧基硅烷化合物〉[0252]本發(fā)明的感光性樹脂組合物優(yōu)選的是含有烷氧基硅烷化合物。若使用烷氧基硅烷化合物，則可提高利用本發(fā)明的感光性樹脂組合物而形成的膜與基板的密接性。[0253]烷氧基硅烷化合物只要為具有至少一個(gè)烷氧基直接鍵結(jié)于硅原子而成的基團(tuán)的化合物，則并無特別限制，優(yōu)選的是具有二烷氧基硅烷基及/或三烷氧基硅烷基的化合物，更優(yōu)選的是具有三烷氧基硅烷基的化合物。[0254]本發(fā)明中可使用的烷氧基硅烷化合物優(yōu)選的是使基材、例如硅、氧化硅、氮化硅等硅化合物、金、銅、鉬、鈦、鋁等金屬與硬化膜的密接性提高的化合物。具體來說，眾所周知的硅烷偶合劑等也有效。優(yōu)選的是具有乙烯性不飽和鍵的硅烷偶合劑。[0255]硅烷偶合劑例如可舉出：y-氨基丙基三甲氧基硅烷、y-氨基丙基三乙氧基硅烷、y-縮水甘油氧基丙基三烷氧基硅烷、Y-縮水甘油氧基丙基二烷氧基硅烷、Y-甲基丙烯酰氧基丙基三烷氧基硅烷、Y-甲基丙烯酰氧基丙基二烷氧基硅烷、Y-氯丙基三烷氧基硅烷、y-巰基丙基三烷氧基硅烷、0-(3,4-環(huán)氧環(huán)己基）乙基三烷氧基硅烷、及乙烯基三烷氧基硅烷。這些化合物中，更優(yōu)選Y-甲基丙烯酰氧基丙基三烷氧基硅烷、Y-丙烯酰氧基丙基三烷氧基硅烷、乙烯基三烷氧基硅烷、及/或縮水甘油氧基丙基三烷氧基硅烷。這些化合物可單獨(dú)使用一種或組合使用兩種以上。[0256]市售品可例示信越化學(xué)工業(yè)(股）制造的KBM-403或KBM-5103。[0257]相對于感光性樹脂組合物的總固體成分，本發(fā)明的感光性樹脂組合物中的烷氧基硅烷化合物的含量優(yōu)選0.1質(zhì)量％~30質(zhì)量％，更優(yōu)選2質(zhì)量％~20質(zhì)量％，進(jìn)而優(yōu)選3質(zhì)量％~10質(zhì)量％。烷氧基硅烷化合物可僅使用一種，也可含有兩種以上。在含有兩種以上的情況下，優(yōu)選的是合計(jì)量成為所述范圍。[0258]〈表面活性劑〉[0259]本發(fā)明的感光性樹脂組合物也可含有表面活性劑。[0260]表面活性劑可使用陰離子系、陽離子系、非離子系或兩性的任一種，優(yōu)選的表面活性劑為非離子系表面活性劑。表面活性劑優(yōu)選非離子系表面活性劑，更優(yōu)選氟系表面活性劑。[0261]本發(fā)明中可使用的表面活性劑例如可舉出：作為市售品的美佳法（Megafac)?1420、美佳法（]\^83€3(3汴172、美佳法(]\^83€3(3汗173、美佳法（]\^83€3(3汴176、美佳法(Megafac)F177、美佳法(Megafac)F183、美佳法(Megafac)F479、美佳法(Megafac)F482、美佳法（Megafac)F554、美佳法(Megafac)F780、美佳法（Megafac)F781、美佳法（Megafac)F781-F、美佳法(Megafac)R30、美佳法(Megafac)R08、美佳法(Megafac)F_472SF、美佳法(Megafac)BL20、美佳法(Megafac)R_61、美佳法(Megafac)R_90(迪愛生(DIC)(股）制造），弗拉德（Fluorad)FC-135、弗拉德（Fluorad)FC-170C、弗拉德（Fluorad)FC-430、弗拉德(Fluorad)FC_431、諾貝克（Novec)FC_4430(住友3M(股）制造），旭嘉德（AsahiGuard)AG7105、旭嘉德（AsahiGuard)7000、旭嘉德（AsahiGuard)950、旭嘉德(AsahiGuard)7600、沙福隆（511"1〇11)5-112、沙福隆（51^€1〇11)5-113、沙福?。?11"1〇11)5-131、沙福隆(Surflon)S_141、沙福?。⊿urflon)S_145、沙福隆（Surflon)S_382、沙福隆（Surflon)SC-101、沙福?。⊿urflon)SC-102、沙福?。⊿urflon)SC-103、沙福?。⊿urflon)SC-104、沙福隆(Surflon)SC-105、沙福?。⊿urflon)SC-106(旭硝子（股）制造），艾福拓(Eftop)EF351、艾福拓（Eftop)EF352、艾福拓（Eftop)EF801、艾福拓（Eftop)EF802(三菱材料電子化成（股）制造），福吉特(Ftergent)250(尼奧斯(Neos)(股）制造）。另外，除了所述以外，也可舉出：KP(信越化學(xué)工業(yè)(股）制造），寶理弗洛(Polyflow)(共榮社化學(xué)（股）制造），艾福拓(Eftop)(三菱材料電子化成（股）制造），美佳法（Megafac)(迪愛生（DIG)(股）制造），弗拉德(Fluorad)(住友3M(股）制造），旭嘉德(AsahiGuard)、沙福?。⊿urfIon)(旭硝子(股）制造），寶理佛斯(P〇lyFox)(歐諾瓦(0MN0VA)公司制造)等的各系列。[0262]另外，表面活性劑也可舉出日本專利特開2014-238438號公報(bào)的段落0119~段落0123中所記載的化合物作為優(yōu)選例。[0263]關(guān)于本發(fā)明的感光性樹脂組合物中的表面活性劑的含量，在進(jìn)行調(diào)配的情況下，相對于組合物的總固體成分而言，優(yōu)選〇.001質(zhì)量％~5.0質(zhì)量％，更優(yōu)選0.01質(zhì)量％~2.0質(zhì)量％。[0264]表面活性劑可僅含有一種，也可含有兩種以上。在含有兩種以上的情況下，優(yōu)選其合計(jì)量成為所述范圍。[0265]〈抗氧化劑〉[0266]本發(fā)明的感光性樹脂組合物除了所述成分以外，也可含有抗氧化劑。[0267]關(guān)于抗氧化劑，可含有眾所周知的抗氧化劑。通過添加抗氧化劑，有可防止硬化膜的著色、或可減少由分解所致的膜厚變薄、且耐熱透明性優(yōu)異的優(yōu)點(diǎn)。[0268]這種抗氧化劑例如可舉出：磷系抗氧化劑、酰胺類、酰肼類、受阻酚系抗氧化劑、抗壞血酸類、硫酸鋅、糖類、亞硝酸鹽、亞硫酸鹽、硫代硫酸鹽、羥基胺衍生物等。這些化合物中，從硬化膜的著色、膜厚變薄的觀點(diǎn)來看，特別優(yōu)選受阻酚系抗氧化劑、磷系抗氧化劑，最優(yōu)選受阻酚系抗氧化劑。這些抗氧化劑可單獨(dú)使用一種，也可混合兩種以上。[0269]優(yōu)選的市售品可舉出：艾迪科斯塔波（Adekastab)A0_60、艾迪科斯塔波(Adekastab)A0_80(以上為艾迪科(ADEKA)(股）制造），艷佳諾（Irganox)1098(以上為巴斯夫(BASF)公司制造）。[0270]抗氧化劑的含量并無特別限制，相對于感光性樹脂組合物的總固體成分，優(yōu)選0.1質(zhì)量％~10質(zhì)量％，更優(yōu)選0.2質(zhì)量％~5質(zhì)量％，進(jìn)而優(yōu)選0.5質(zhì)量％~4質(zhì)量％。[0271]本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，也可在不偏離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)含有所述以外的其他化合物(例如含有烷氧基甲基的化合物等）。含有烷氧基甲基的化合物可舉出日本專利特開2011-221494號公報(bào)的段落0192~段落0194中記載的化合物。[0272]〈聚合抑制劑〉[0273]本發(fā)明的感光性樹脂組合物也可含有聚合抑制劑。通過含有聚合抑制劑，而抑制由漏光所致的聚合反應(yīng)，顯影性優(yōu)異。[0274]所謂聚合抑制劑，是指發(fā)揮以下作用的物質(zhì):對通過曝光或熱而由聚合引發(fā)劑所產(chǎn)生的聚合引發(fā)自由基成分實(shí)施供氫(或授氫）、供能(或授能）、供電子(或授電子)等，使聚合引發(fā)自由基失活，抑制聚合引發(fā)。例如可使用日本專利特開2007-334322號公報(bào)的段落0154~段落0173中記載的化合物等。[0275]本發(fā)明的感光性樹脂組合物中的聚合抑制劑的含量并無特別限制，相對于感光性樹脂組合物的總固體成分，優(yōu)選0.005質(zhì)量％~0.5質(zhì)量％，更優(yōu)選0.01質(zhì)量％~0.5質(zhì)量％。通過調(diào)整聚合抑制劑的調(diào)配量，可提高圖案化性而不損及感度。[0276]〈粘合劑聚合物〉[0277]從提高分辨性及皮膜特性等觀點(diǎn)來看，本發(fā)明的感光性樹脂組合物也可含有成分A以外的粘合劑聚合物。[0278]成分A以外的粘合劑聚合物并無特別限制，可使用眾所周知的粘合劑聚合物，優(yōu)選使用線狀有機(jī)聚合物。這種線狀有機(jī)聚合物可任意地使用眾所周知的線狀有機(jī)聚合物。優(yōu)選的是為了可進(jìn)行水顯影或弱堿性水顯影，而選擇對于水或弱堿性水而言為可溶性或膨潤性的線狀有機(jī)聚合物。線狀有機(jī)聚合物是根據(jù)不僅作為皮膜形成劑，而且作為相對于水、弱堿性水或有機(jī)溶劑系的顯影液而言的顯影劑的用途而選擇使用。例如若使用水可溶性有機(jī)聚合物則可進(jìn)行水顯影。這種線狀有機(jī)聚合物可舉出：在側(cè)鏈上具有羧酸基的自由基聚合物，例如日本專利特開昭59-44615號公報(bào)、日本專利特公昭54-34327號公報(bào)、日本專利特公昭58-12577號公報(bào)、日本專利特公昭54-25957號公報(bào)、日本專利特開昭54-92723號公報(bào)、日本專利特開昭59-53836號公報(bào)、日本專利特開昭59-71048號公報(bào)中記載的化合物，即，使具有羧基的單體單獨(dú)或共聚合而成的樹脂、將使具有酸酐的單體單獨(dú)或共聚合而成的酸酐單元水解或半酯化或半酰胺化而成的樹脂、以不飽和單羧酸及酸酐將環(huán)氧樹脂改性而成的環(huán)氧丙烯酸酯等。具有羧基的單體可舉出：丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、丁烯酸、馬來酸、富馬酸、4-羧基苯乙烯等，具有酸酐的單體可舉出馬來酸酐等。[0279]另外，有同樣地在側(cè)鏈上具有羧酸基的酸性纖維素衍生物。除此以外，在具有羥基的聚合物上加成環(huán)狀酸酐而成的化合物等有用。[0280]本發(fā)明的感光性樹脂組合物中的成分A以外的粘合劑聚合物的含量并無特別限制，相對于感光性樹脂組合物的總固體成分，優(yōu)選〇質(zhì)量％~40質(zhì)量％，更優(yōu)選0質(zhì)量％~30質(zhì)量％，進(jìn)而優(yōu)選0質(zhì)量％~20質(zhì)量％，特別優(yōu)選0質(zhì)量％~10質(zhì)量％，最優(yōu)選0質(zhì)量％~5質(zhì)量％。[0281]另外，本發(fā)明的感光性樹脂組合物中的成分A以外的粘合劑聚合物的含量優(yōu)選的是少于成分A的含量。[0282][其他成分][0283]本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，視需要除了所述化合物以外，也可添加增感劑、具有環(huán)氧基的化合物、具有氧雜環(huán)丁基的化合物、塑化劑、熱酸產(chǎn)生劑、及酸增殖劑等其他成分。關(guān)于這些成分，例如可使用日本專利特開2014-235216號公報(bào)的段落0102~段落0104、日本專利特開2014-235216號公報(bào)的段落0106~段落0108、日本專利特開2009-98616號公報(bào)、日本專利特開2009-244801號公報(bào)中記載的化合物、其他眾所周知的化合物。另外，也可將"高分子添加劑的新展開（日刊工業(yè)新聞（股）)"中記載的各種紫外線吸收劑或金屬鈍化劑等添加到本發(fā)明的感光性樹脂組合物中。[0284]〈硬化膜、硬化物及其制造方法〉[0285]本發(fā)明的硬化物為使本發(fā)明的感光性樹脂組合物硬化而成的硬化物。所述硬化物優(yōu)選硬化膜。另外，本發(fā)明的硬化膜優(yōu)選通過本發(fā)明的硬化膜的制造方法而得的硬化膜。[0286]本發(fā)明的硬化膜的制造方法只要為使本發(fā)明的感光性樹脂組合物硬化而制造硬化膜的方法，則并無特別限制，優(yōu)選依序包括以下的工序1~工序3。[0287]工序1:將本發(fā)明的感光性樹脂組合物涂布在基板上的涂布工序[0288]工序2:利用光化射線對經(jīng)涂布的感光性樹脂組合物的至少一部分進(jìn)行曝光的曝光工序[0289]工序3:利用水性顯影液對經(jīng)曝光的感光性樹脂組合物進(jìn)行顯影的顯影工序[0290]另外，本發(fā)明的硬化膜的制造方法更優(yōu)選在以上的工序3之后包括以下的工序4。[0291]工序4:對經(jīng)顯影的感光性樹脂組合物進(jìn)行熱處理的熱處理工序[0292]進(jìn)而，本發(fā)明的硬化膜的制造方法進(jìn)而優(yōu)選在以上的工序3之后、工序4之前包括以下的工序3\[0293]工序:對經(jīng)顯影的感光性樹脂組合物進(jìn)一步照射光化射線的工序[0294]所述涂布工序中，優(yōu)選的是將本發(fā)明的感光性樹脂組合物涂布在基板上而制成含有溶劑的濕潤膜。可在將感光性樹脂組合物涂布到基板上之前，進(jìn)行堿清洗或等離子體清洗等基板的清洗。進(jìn)而可在基板清洗后利用六甲基二硅氮烷等對基板表面進(jìn)行處理。通過進(jìn)行該處理，有感光性樹脂組合物對基板的密接性提高的傾向。[0295]所述基板可舉出:無機(jī)基板、樹脂、樹脂復(fù)合材料等。[0296]無機(jī)基板例如可舉出：玻璃、石英、硅、氮化硅及在像這些基板上蒸鍍鉬、鈦、鋁、銅等而成的復(fù)合基板。[0297]關(guān)于樹脂，可舉出包含以下樹脂的基板:聚對苯二甲酸丁二酯、聚對苯二甲酸乙二酯、聚萘二甲酸乙二酯、聚萘二甲酸丁二酯、聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚砜、聚醚砜、聚芳酯、烯丙基二甘醇碳酸酯、聚酰胺、聚酰亞胺、聚酰胺酰亞胺、聚醚酰亞胺、聚苯并唑、聚苯硫醚、聚環(huán)烯烴、降冰片烯樹脂、聚氯三氟乙烯等氟樹脂、液晶聚合物、丙烯酸系樹脂、環(huán)氧樹脂、硅酮樹脂、離子聚合物樹脂、氰酸酯樹脂、交聯(lián)富馬酸二酯、環(huán)狀聚烯烴、芳香族聚醚樹脂、馬來酰亞胺-烯烴共聚物、纖維素、環(huán)硫樹脂等合成樹脂。[0298]這些基板很少以所述形態(tài)直接使用，通常根據(jù)最終產(chǎn)品的形態(tài)而形成例如薄膜晶體管(ThinFilmTransistor，TFT)元件那樣的多層積層結(jié)構(gòu)。[0299]另外，在外嵌結(jié)構(gòu)的觸摸屏等那樣的情況下，也可在作為屏而暫且制成的液晶顯不器（LiquidCrystalDisplay，LCD)單元或有機(jī)發(fā)光二極管（OrganicLightEmittingDiode，0LED)單元上，應(yīng)用本發(fā)明的感光性樹脂組合物。[0300]本發(fā)明的感光性樹脂組合物對通過濺鍍制造出來的金屬膜或金屬氧化物的密接良好，因此基板優(yōu)選的是含有通過濺鍍制造出來的金屬膜。金屬優(yōu)選鈦、銅、鋁、銦、錫、錳、鎳、鈷、鉬、鎢、鉻、銀、釹及這些金屬的氧化物或合金，進(jìn)而優(yōu)選鉬、鈦、鋁、銅及這些金屬的合金。此外，金屬或金屬氧化物可單獨(dú)使用一種，也可并用多種。[0301]對基板的涂布方法并無特別限定，例如可使用噴墨法、狹縫涂布法、噴霧法、輥涂法、旋轉(zhuǎn)涂布法、流延涂布法、狹縫及旋轉(zhuǎn)法、印刷法等方法。[0302]另外，在本發(fā)明的感光性樹脂組合物含有溶劑的情況下，本發(fā)明的硬化膜的制造方法優(yōu)選在工序1之后、工序2之前包含從經(jīng)涂布的感光性樹脂組合物去除溶劑的溶劑去除工序。[0303]在所述溶劑去除工序中，優(yōu)選的是通過減壓(真空)及/或加熱等從所涂布的所述膜中去除溶劑而在基板上形成干燥涂膜。溶劑去除工序的加熱條件優(yōu)選70°C~130°C且30秒鐘~300秒鐘左右。另外，所述溶劑去除工序中，無需將感光性樹脂組合物中的溶劑完全去除，只要將至少一部分去除即可。[0304]所述曝光工序中，優(yōu)選的是對所得的涂膜以既定的圖案狀照射波長300nm以上且450nm以下的光化射線。所述工序中，聚合性單體通過光聚合引發(fā)劑的作用而聚合硬化。[0305]曝光光源可使用低壓水銀燈、高壓水銀燈、超高壓水銀燈、化學(xué)燈、發(fā)光二極管(LightEmittingDiode，LED)光源、準(zhǔn)分子激光產(chǎn)生裝置等，可優(yōu)選地使用i射線（365nm)、h射線（405nm)、g射線（436nm)等具有300nm以上且450nm以下的波長的光化射線。另外，視需要也可通過長波長截止濾波器、短波長截止濾波器、帶通濾波器(bandpassfilter)那樣的分光濾波器而調(diào)整照射光。[0306]曝光裝置可使用：鏡面投影對準(zhǔn)器（mirrorprojectionaligner)、步進(jìn)機(jī)(stepper)、掃描儀（scanner)、近接式（proximity)、接觸式（contact)、微透鏡陣列(microlensarray)、透鏡掃描儀(lensscanner)、激光曝光等各種方式的曝光機(jī)。[0307]另外，所述曝光工序中的曝光量也無特別限制，優(yōu)選lmj/cm2~3，000mj/cm2，更優(yōu)選lmj/cm2~500mJ/cm2。[0308]從促進(jìn)硬化的觀點(diǎn)來看，所述曝光工序中的曝光優(yōu)選的是在經(jīng)氧阻斷的狀態(tài)下進(jìn)行。阻斷氧的方法可例示在氮?dú)猸h(huán)境下進(jìn)行曝光、或設(shè)置氧阻斷膜。[0309]另外，所述曝光工序中的曝光只要對經(jīng)溶劑去除的感光性樹脂組合物的至少一部分進(jìn)行即可，例如可為全面曝光，也可為圖案曝光。本發(fā)明中，曝光工序優(yōu)選圖案曝光，更優(yōu)選經(jīng)由光掩模進(jìn)行曝光的工序。[0310]另外，所述曝光工序后，可進(jìn)行曝光后加熱處理（曝光后烘烤（PostExposureBake，以下也稱為"PEB"）。進(jìn)行PEB的情況的溫度優(yōu)選30°C以上且130°C以下，更優(yōu)選40°C以上且120°C以下，特別優(yōu)選50°C以上且110°C以下。[0311]加熱的方法并無特別限定，可使用眾所周知的方法。例如可舉出加熱板、烘箱、紅外線加熱器等。[0312]另外，關(guān)于加熱時(shí)間，加熱板的情況下優(yōu)選1分鐘~30分鐘左右，除此以外的情況下優(yōu)選20分鐘~120分鐘左右。在所述范圍內(nèi)，可不對基板、裝置造成損傷(damage)地進(jìn)行加熱。[0313]顯影工序中，使用水性顯影液將經(jīng)曝光為圖案狀的感光性樹脂組合物的未硬化部顯影去除，形成負(fù)型圖像。顯影工序中使用的顯影液優(yōu)選的是堿性的水性顯影液。[0314]顯影工序中使用的顯影液優(yōu)選堿性化合物的水溶液。堿性化合物例如可使用：氫氧化鋰、氫氧化鈉、氫氧化鉀等堿金屬氫氧化物類;碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸銫等堿金屬碳酸鹽類;重碳酸鈉、重碳酸鉀等堿金屬重碳酸鹽類;氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨、氫氧化四丙基銨、氫氧化四丁基銨、氫氧化二乙基二甲基銨等氫氧化四烷基銨類;膽堿等氫氧化(羥基烷基）三烷基銨類;硅酸鈉、偏硅酸鈉等硅酸鹽類；乙胺、丙胺、二乙胺、三乙胺等烷基胺類;二甲基乙醇胺、三乙醇胺等醇胺類；1，8_二氮雜雙環(huán)[5.4.0]-7_十一烯、1，5_二氮雜雙環(huán)[4.3.0]-5_壬烯等脂環(huán)式胺類。[0315]這些化合物中，優(yōu)選氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨、氫氧化四丙基銨、氫氧化四丁基銨、膽堿(氫氧化-2-羥基乙基三甲基銨）。[0316]另外，也可將在所述堿類的水溶液中添加有適當(dāng)量的甲醇或乙醇等水溶性有機(jī)溶劑或者表面活性劑的水溶液用作顯影液。[0317]優(yōu)選的顯影液可舉出氫氧化四甲基銨的0.4質(zhì)量％~2.5質(zhì)量％水溶液。[0318]顯影液的PH值優(yōu)選10.0~14.0。[0319]顯影時(shí)間優(yōu)選30秒鐘~500秒鐘，且，顯影的方法可為盛液法(覆液法）、噴淋法、浸漬法等的任一種。[0320]顯影工序后，也可進(jìn)行淋洗工序。淋洗工序中，以純水等清洗顯影后的基板，由此進(jìn)行附著的顯影液的去除、顯影殘?jiān)娜コ?。淋洗方法可使用眾所周知的方法。例如可舉出噴淋淋洗(showerrinse)或浸漬淋洗等。[0321]關(guān)于圖案曝光及顯影，可使用眾所周知的方法或眾所周知的顯影液。例如可合適地使用日本專利特開2011-186398號公報(bào)、日本專利特開2013-83937號公報(bào)中記載的圖案曝光方法及顯影方法。[0322]另外，從提高膜硬度的觀點(diǎn)來看，在顯影工序后、熱處理工序前，優(yōu)選的是包括對經(jīng)顯影的感光性樹脂組合物進(jìn)一步照射光化射線的工序(后曝光）。[0323]所述情況下，優(yōu)選的是利用水銀燈或LED燈等進(jìn)行50mJ/cm2~3,000mJ/cm2左右的能量曝光。另外，后曝光優(yōu)選的是進(jìn)行全面曝光。[0324]通過進(jìn)行后曝光，可進(jìn)一步促進(jìn)膜的硬化反應(yīng)，膜硬度提高。[0325]本發(fā)明的硬化膜的制造方法優(yōu)選的是在所述顯影工序后，包括對經(jīng)顯影的感光性樹脂組合物進(jìn)行熱處理的工序(后烘烤）。通過在對本發(fā)明的感光性樹脂組合物進(jìn)行顯影后進(jìn)行熱處理，可獲得強(qiáng)度更優(yōu)異的硬化膜。[0326]熱處理溫度優(yōu)選180°C以下，更優(yōu)選150°C以下，進(jìn)而優(yōu)選130°C以下。下限值優(yōu)選80°C以上，更優(yōu)選90°C以上。加熱的方法并無特別限定，可使用眾所周知的方法。例如可舉出加熱板、烘箱、紅外線加熱器等。[0327]另外，關(guān)于加熱時(shí)間，加熱板的情況下優(yōu)選1分鐘~30分鐘左右，除此以外的情況下優(yōu)選20分鐘~120分鐘左右。在所述范圍內(nèi)，可不對基板、裝置造成損傷地進(jìn)行硬化。[0328]另外，所述本發(fā)明的硬化膜的制造方法中的由光及/或熱所致的硬化可連續(xù)進(jìn)行，也可依序進(jìn)行。[0329]另外，在進(jìn)行熱處理時(shí)，通過在氮?dú)猸h(huán)境下進(jìn)行處理，可進(jìn)一步提高透明性。[0330]從加熱后的形狀調(diào)整的觀點(diǎn)來看，也可在熱處理工序（后烘烤)之前，在相對較低的溫度下進(jìn)行烘烤后進(jìn)行熱處理工序(追加中烘烤工序）。例如可例示首先在90°C下加熱30分鐘（中烘烤）、之后在120°C下加熱30分鐘（后烘烤)的方法等。另外，也可將中烘烤、后烘烤分為三個(gè)階段以上的多階段來進(jìn)行加熱。通過設(shè)置這種中烘烤、后烘烤，可調(diào)整圖案的錐角。這些加熱可使用加熱板、烘箱、紅外線加熱器等眾所周知的加熱方法。[0331]本發(fā)明的硬化膜為使本發(fā)明的感光性樹脂組合物硬化而獲得的硬化膜[0332]本發(fā)明的硬化膜可合適地用作外涂膜(保護(hù)膜)或?qū)娱g絕緣膜。另外，本發(fā)明的硬化膜優(yōu)選的是通過本發(fā)明的硬化膜的制造方法所得的硬化膜。[0333]通過本發(fā)明的感光性樹脂組合物，即便在低溫下硬化也可獲得具有充分硬度的硬化膜。例如可獲得鉛筆硬度為2H以上的硬化膜。使本發(fā)明的感光性樹脂組合物硬化而形成的保護(hù)膜由于硬化膜物性優(yōu)異，因此在觸摸屏、觸摸屏顯示裝置、有機(jī)EL顯示裝置、液晶顯示裝置等的用途中有用。其中，本發(fā)明的硬化膜優(yōu)選的是觸摸屏配線用保護(hù)膜，特別優(yōu)選的是外嵌結(jié)構(gòu)觸摸屏中的配線用保護(hù)膜。[0334]本發(fā)明的感光性樹脂組合物由于硬化性及硬化膜特性優(yōu)異，因此是作為微機(jī)電系統(tǒng)(MicroElectroMechanicalSystems，MEMS)用器件的結(jié)構(gòu)構(gòu)件，將使本發(fā)明的感光性樹脂組合物硬化而成的硬化物或抗蝕劑圖案作為隔離壁，或作為機(jī)械驅(qū)動零件的一部分組入而使用。這種MEMS用器件例如可舉出：表面聲波（SurfaceAcousticWave，SAW)濾波器、體聲波（BulkAcousticWave，BAW)濾波器、陀螺傳感器(gyrosensor)、顯示器用微快門(microshutter)、圖像傳感器(imagesensor)、電子紙、噴墨頭、生物芯片(Bio-chip)、密封劑等零件。更具體的例子是例示在日本專利特表2007-522531號公報(bào)、日本專利特開2008-250200號公報(bào)、日本專利特開2009-263544號公報(bào)等中。[0335]本發(fā)明的感光性樹脂組合物由于平坦性或透明性優(yōu)異，因此也可用于形成例如日本專利特開2011-107476號公報(bào)的圖2中記載的岸堤(bank)層（16)及平坦化膜(57)、日本專利特開2010-9793號公報(bào)的圖4(a)中記載的隔離壁（12)及平坦化膜（102)、日本專利特開2010-27591號公報(bào)的圖10中記載的岸堤層（221)及第3層間絕緣膜(216b)、日本專利特開2009-128577號公報(bào)的圖4(a)中記載的第2層間絕緣膜（125)及第3層間絕緣膜（126)、日本專利特開2010-182638號公報(bào)的圖3中記載的平坦化膜（12)及像素分離絕緣膜（14)等。除此以外，也可合適地用于液晶顯示裝置中用來將液晶層保持于一定厚度的間隔件（spacer)、液晶顯示裝置的彩色濾光片或彩色濾光片保護(hù)膜、傳真機(jī)(facsimile)、電子復(fù)印機(jī)、固體撮像元件等的芯片上彩色濾光片(on-chipcolorfilter)的成像光學(xué)系統(tǒng)或光纖連接器的微透鏡(microlens)。[0336]〈有機(jī)EL顯示裝置〉[0337]本發(fā)明的有機(jī)EL顯示裝置的特征在于具有本發(fā)明的硬化膜。[0338]本發(fā)明的有機(jī)EL顯示裝置除了具有使用所述本發(fā)明的感光性樹脂組合物所形成的平坦化膜或?qū)娱g絕緣膜以外，并無特別限制，可舉出采用各種結(jié)構(gòu)的眾所周知的各種有機(jī)EL顯示裝置或液晶顯示裝置。[0339]例如，本發(fā)明的有機(jī)EL顯示裝置所具有的TFT(Thin-FilmTransistor)的具體例可舉出：非晶硅-TFT、低溫多晶硅-TFT、氧化物半導(dǎo)體TFT等。本發(fā)明的硬化膜由于電特性優(yōu)異，因此可組合到這些TFT中而優(yōu)選地使用。[0340]圖1為有機(jī)EL顯示裝置的一例的構(gòu)成概念圖。且表示底部發(fā)光型的有機(jī)EL顯示裝置中的基板的示意性截面圖，具有平坦化膜4。[0341]在玻璃基板6上形成底部柵極型的TFT1，以覆蓋該TFT1的狀態(tài)而形成包含Si3N4的絕緣膜3。在絕緣膜3中形成這里省略圖示的接觸孔后，在絕緣膜3上形成經(jīng)由該接觸孔而連接于TFT1的配線2(高度1.0_)。配線2是用來將TFT1間連接、或?qū)⒑罄m(xù)工序中形成的有機(jī)EL元件與TFT1連接的配線。[0342]進(jìn)而，為了使因形成配線2所致的凹凸平坦化，以嵌埋由配線2所致的凹凸的狀態(tài)在絕緣膜3上形成平坦化膜4。[0343]在平坦化膜4上，形成有底部發(fā)光型的有機(jī)EL元件。即，在平坦化膜4上，經(jīng)由接觸孔7與配線2連接而形成包含IT0的第一電極5。另外，第一電極5相當(dāng)于有機(jī)EL元件的陽極。[0344]形成覆蓋第一電極5的邊緣的形狀的絕緣膜8,通過設(shè)置該絕緣膜8,可防止第一電極5與其后續(xù)工序中形成的第二電極之間的短路。[0345]進(jìn)而，圖1中雖未圖示，但可隔著所需的圖案掩模依序蒸鍍設(shè)置空穴傳輸層、有機(jī)發(fā)光層、電子傳輸層，然后在基板上方的整個(gè)面上形成包含A1的第二電極，使用密封用玻璃板及紫外線硬化型環(huán)氧樹脂進(jìn)行貼合，由此進(jìn)行密封，獲得對各有機(jī)EL元件連接用來驅(qū)動該有機(jī)EL元件的TFI1而成的有源矩陣型有機(jī)EL顯示裝置。[0346]〈液晶顯示裝置〉[0347]本發(fā)明的液晶顯示裝置的特征在于具有本發(fā)明的硬化膜。[0348]本發(fā)明的液晶顯示裝置除了具有使用所述本發(fā)明的感光性樹脂組合物所形成的保護(hù)膜、平坦化膜或?qū)娱g絕緣膜以外，并無特別限制，可舉出采用各種結(jié)構(gòu)的眾所周知的液晶顯示裝置。[0349]另外，本發(fā)明的液晶顯示裝置可取的液晶驅(qū)動方式可舉出：扭轉(zhuǎn)向列（TwistedNematic，TN)方式、垂直排列（VerticalA1ignment，VA)方式、面內(nèi)切換（In-Plane-Switching，IPS)方式、邊緣場切換(FringeFieldSwitching，F(xiàn)FS)方式、光學(xué)補(bǔ)償彎曲(OpticallyCompensatedBend，0CB)方式等。[0350]在屏構(gòu)成中，在彩色濾光片陣列（ColorFilteronArray，C0A)方式的液晶顯示裝置中也可使用本發(fā)明的硬化膜，例如可用作日本專利特開2005-284291號公報(bào)的有機(jī)絕緣膜（115)、或日本專利特開2005-346054號公報(bào)的有機(jī)絕緣膜(212)。另外，本發(fā)明的液晶顯示裝置可取的液晶取向膜的具體取向方式可舉出摩擦取向法、光取向法等。另外，也可通過日本專利特開2003-149647號公報(bào)或日本專利特開2011-257734號公報(bào)中記載的聚合物支持取向（PolymerSustainedAlignment，PSA)技術(shù)來進(jìn)行聚合物取向支持。[0351]另外，本發(fā)明的感光性樹脂組合物及本發(fā)明的硬化膜不限定于所述用途，可用于各種用途。例如除了平坦化膜或?qū)娱g絕緣膜以外，也可合適地用于保護(hù)膜、或液晶顯示裝置中用來將液晶層保持于一定厚度的間隔件或固體撮像元件中設(shè)置在彩色濾光片上的微透鏡等。[0352]圖2為表示有源矩陣方式的液晶顯示裝置10的一例的概念性截面圖。該彩色液晶顯示裝置10為在背面上具有背光單元12的液晶屏，并且液晶屏中，配置著與在貼附著偏光膜的2片玻璃基板14、玻璃基板15之間配置的所有像素相對應(yīng)的TFT16的元件。對于形成在玻璃基板上的各元件，通過硬化膜17中形成的接觸孔18而將形成像素電極的IT0透明電極19配線。在IT0透明電極19上，設(shè)有液晶20的層及配置有黑色矩陣的紅綠藍(lán)（RedGreenBlue，RGB)彩色濾光片22。[0353]背光的光源并無特別限定，可使用眾所周知的光源。例如可舉出：白色LED、藍(lán)色?紅色?綠色等的多色LED、熒光燈(冷陰極管）、有機(jī)EL等。[0354]另外，液晶顯示裝置可設(shè)定為三維（threedimensional，3D)(立體視）型，也可設(shè)定為觸摸屏型。進(jìn)而也可設(shè)定為軟性型，可用作日本專利特開2011-145686號公報(bào)中記載的第2層間絕緣膜(48)、或日本專利特開2009-258758號公報(bào)中記載的層間絕緣膜(520)。[0355]〈觸摸屏及觸摸屏顯示裝置〉[0356]本發(fā)明的觸摸屏為絕緣層及/或保護(hù)層的全部或一部分包含本發(fā)明的感光性樹脂組合物的硬化物的觸摸屏。另外，本發(fā)明的觸摸屏優(yōu)選的是至少具有透明基板、電極及絕緣層及/或保護(hù)層。[0357]本發(fā)明的觸摸屏顯示裝置優(yōu)選的是具有本發(fā)明的觸摸屏的觸摸屏顯示裝置。本發(fā)明的觸摸屏可為電阻膜方式、靜電電容方式、超聲波方式、電磁感應(yīng)方式等眾所周知的方式的任一種。其中，優(yōu)選靜電電容方式。[0358]靜電電容方式的觸摸屏可舉出日本專利特開2010-28115號公報(bào)中公開的觸摸屏、或國際公開第2012/057165號中公開的觸摸屏。[0359]觸摸屏可舉出：所謂內(nèi)嵌（in-cell)型（例如日本專利特表2012-517051號公報(bào)的圖5、圖6、圖7、圖8中所記載者）、所謂外嵌型（例如日本專利特開2013-168125號公報(bào)的圖19中所記載者、日本專利特開2012-89102號公報(bào)的圖1或圖5中所記載者）、單片式玻璃觸摸屏(OneGlassSolution，0GS)型或覆蓋層觸摸(Touch-on-Lens，T0L)型（例如日本專利特開2013-54727號公報(bào)的圖2中所記載者、日本專利特開2015-15042號公報(bào)的圖2、圖3、圖4、圖5中所記載者）、其他構(gòu)成(例如日本專利特開2013-164871號公報(bào)的圖6中所記載者）、各種外掛（out-cell)型（所謂GG、G1?62、6卩卩、6卩2、6卩1、6卟等）。[0360]另外，圖3表示具有觸摸屏的功能的液晶顯示裝置的一例的構(gòu)成概念圖。[0361]例如，本發(fā)明的硬化膜適合應(yīng)用于圖3中的各層之間的保護(hù)膜，且，也適合應(yīng)用于將觸摸屏的檢測電極間隔開的層間絕緣膜。此外，觸摸屏的檢測電極優(yōu)選銀、銅、鋁、鈦、鉬、及這些金屬的合金。[0362]圖3中，110表示像素基板，140表示液晶層，120表示相向基板，130表示傳感部。像素基板110從圖3的下側(cè)開始依序具有偏光板111、透明基板112、共通電極113、絕緣層114、像素電極115、取向膜116。相向基板120從圖3的下側(cè)開始依序具有取向膜121、彩色濾光片122、透明基板123。傳感部130分別具有相位差膜124、接著層126、偏光板127。另外，圖3中，125為傳感用檢測電極。本發(fā)明的硬化膜可用于像素基板部分的絕緣層（114)(也稱為層間絕緣膜)或各種保護(hù)膜(未圖示）、像素基板部分的各種保護(hù)膜(未圖示）、相向基板部分的各種保護(hù)膜(未圖示）、傳感部分的各種保護(hù)膜(未圖示)等。[0363]接著層126或偏光板127中可使用眾所周知的接著層組合物。[0364]偏光板或接著層的具體例可舉出：日本專利特開2014-152319號公報(bào)的實(shí)施例1、實(shí)施例7或?qū)嵤├?3中記載的帶接著層的偏光板，日本專利特開2014-191005號公報(bào)的實(shí)施例1、實(shí)施例3或?qū)嵤├?中記載的帶接著層的偏光板，日本專利特開2013-100386號公報(bào)的實(shí)施例1、實(shí)施例3、實(shí)施例6、實(shí)施例11或?qū)嵤├?4中記載的帶接著層的偏光板，日本專利特開2013-163783號公報(bào)的實(shí)施例1、實(shí)施例2、實(shí)施例3或?qū)嵤├?中記載的接著層。[0365]為了防止靜電，接著層中優(yōu)選的是含有抗靜電劑。[0366]抗靜電劑可使用眾所周知的抗靜電劑。例如可使用金屬粒子、金屬氧化物、導(dǎo)電性聚合物、四級銨鹽或鋰鹽等離子性化合物。[0367]抗靜電劑的具體例可舉出：日本專利特開2014-191005號公報(bào)的段落0107~段落0115中記載的抗靜電劑、日本專利特開2013-100386號公報(bào)的段落0046~段落0054中記載的抗靜電劑、及日本專利特表2014-515046號公報(bào)的段落0027~段落0047中記載的抗靜電劑。[0368]進(jìn)而，即便在靜態(tài)驅(qū)動方式的液晶顯示裝置中，也可通過應(yīng)用本發(fā)明而顯示設(shè)計(jì)性高的圖案。關(guān)于其例子，可應(yīng)用本發(fā)明作為日本專利特開2001-125086號公報(bào)中記載那樣的聚合物網(wǎng)路型液晶的絕緣膜。[0369]另外，圖4為具有觸摸屏的功能的液晶顯示裝置的另一例的構(gòu)成概念圖。[0370]觸摸屏顯示裝置包含：下部顯示板200,具備薄膜晶體管（TFT)440,相當(dāng)于薄膜晶體管顯示板;上部顯示板300,與下部顯示板200相向，在與下部顯示板200相向的面上具備多個(gè)彩色濾光片330,相當(dāng)于彩色濾光片顯示板；以及液晶層400,形成在下部顯示板200與上部顯示板300之間。液晶層400含有液晶分子(未圖示）。[0371]下部顯示板200包含第1絕緣基板210、配置在第1絕緣基板210上的薄膜晶體管(TFT)、形成在薄膜晶體管(TFT)的上表面上的絕緣膜280、及配置在絕緣膜280上的像素電極290。薄膜晶體管(TFT)可含有柵極電極220、覆蓋柵極電極220的柵極絕緣膜240、半導(dǎo)體層250、歐姆接觸層260、歐姆接觸層262、源極電極270及漏極電極272。[0372]絕緣膜280中，以薄膜晶體管(TFT)的漏極電極272露出的方式形成有接觸孔282。[0373]上部顯示板300包含：配置在第2絕緣基板310的一個(gè)面上且以矩陣狀排列的遮光構(gòu)件320、配置在第2絕緣基板310上的取向膜350、配置在取向膜上的彩色濾光片330、及配置在彩色濾光片330上且與下部顯示板200的像素電極290相對應(yīng)而對液晶層400施加電壓的共通電極370。[0374]在圖4所示的液晶顯示裝置中，在第2絕緣基板310的另一面上配置傳感電極410、絕緣膜420、驅(qū)動電極430及保護(hù)膜280。像這樣，在圖4所示的液晶顯示裝置的制造中，在形成上部顯示板300時(shí)，可一起形成作為觸控屏（touchscreen)的構(gòu)成要素的傳感電極410、絕緣膜420及驅(qū)動電極430等。尤其使本發(fā)明的感光性樹脂組合物硬化而成的硬化膜可合適地用于絕緣膜280或絕緣膜420。[0375]另外，也可將所述接著層126或偏光板127中例示的帶接著層的偏光板中的接著層貼合于保護(hù)膜280上。[0376][實(shí)施例][0377]以下舉出實(shí)施例對本發(fā)明加以更具體說明。以下的實(shí)施例中所示的材料、使用量、比例、處理內(nèi)容、處理順序等只要不偏離本發(fā)明的主旨，則可適當(dāng)變更。因此，本發(fā)明的范圍不限定于以下所示的具體例。此外，只要無特別說明，則"份"為質(zhì)量基準(zhǔn)。[0378]〈羧酸當(dāng)量的測定方法〉[0379]使用電位差自動滴定裝置(AT-510、東京電子工業(yè)(股）制造），使用O.lmol/L的氫氧化鈉/乙醇溶液作為滴定試劑，基于日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（JapaneseIndustrialStandard，JIS)K2501(2003)并利用電位差滴定法測定酸價(jià)，算出羧酸當(dāng)量。[0380]〈合成例1:丙烯酸樹脂溶液A-1的合成〉[0381]將1份2,2~偶氮雙（異丁腈）、50份PGMEA(丙二醇甲醚乙酸酯）投入到燒瓶中。之后，投入23.0份甲基丙烯酸、31.5份甲基丙烯酸芐酯、32.8份甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02'6]癸烷-8-基酯，在室溫下（25°C，以下相同）攪拌一段時(shí)間，通過起泡對燒瓶內(nèi)充分地進(jìn)行氮?dú)庵脫Q后，在70°C下加熱攪拌5小時(shí)。繼而，在所得的溶液中添加12.7份甲基丙烯酸縮水甘油酯、1份二甲基芐基胺、〇.2份對甲氧基苯酚、100份PGMEA，在90°C下加熱攪拌4小時(shí)，獲得含有具有甲基丙烯酰基的丙烯酸樹脂A-1的丙烯酸樹脂溶液A-1。丙烯酸樹脂A-1的重量平均分子量為30，000，羧酸當(dāng)量為560g/mol。[0382]〈合成例2:丙烯酸樹脂溶液A-2的合成〉[0383]將2份2,2~偶氮雙（異丁腈）、50份PGMEA(丙二醇甲醚乙酸酯）投入到燒瓶中。之后，投入26.5份甲基丙烯酸、21.3份苯乙烯、37.7份甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02'6]癸烷-8-基酯，在室溫下攪拌一段時(shí)間，通過起泡對燒瓶內(nèi)充分地進(jìn)行氮?dú)庵脫Q后，在70°C下加熱攪拌5小時(shí)。繼而，在所得的溶液中添加14.6份甲基丙烯酸縮水甘油酯、1份二甲基芐基胺、0.2份對甲氧基苯酚、100份PGMEA，在90°C下加熱攪拌4小時(shí)，獲得含有具有甲基丙烯酰基的丙烯酸樹脂A-2的丙稀酸樹脂溶液A-2。丙稀酸樹脂A-2的重量平均分子量為13,000,羧酸當(dāng)量為490g/mol。[0384]〈合成例3:丙烯酸樹脂溶液A-3的合成〉[0385]將3份2，2'-偶氮雙（異丁腈）、50份PGMEA投入到燒瓶中。之后，投入29.4份甲基丙烯酸、26.7份苯乙烯、25.7份甲基丙烯酸甲酯，在室溫下攪拌一段時(shí)間，通過起泡對燒瓶內(nèi)充分地進(jìn)行氮?dú)庵脫Q后，在70°C下加熱攪拌5小時(shí)。繼而，在所得的溶液中添加18.2份甲基丙烯酸縮水甘油酯、1份二甲基芐基胺、0.2份對甲氧基苯酚、100份PGMEA，在90°C下加熱攪拌4小時(shí)，獲得含有具有甲基丙烯?；谋┧針渲珹-3的丙烯酸樹脂溶液A-3。丙烯酸樹脂A-3的重量平均分子量為20，000，羧酸當(dāng)量為470g/mol。[0386]〈合成例4:丙烯酸樹脂溶液J-4的合成〉[0387]將2份2，2'-偶氮雙(異丁腈）、300份PGMEA投入到燒瓶中。之后，投入20份甲基丙烯酸、30份苯乙烯、50份甲基丙烯酸甲酯，在室溫下攪拌一段時(shí)間，通過起泡對燒瓶內(nèi)充分地進(jìn)行氮?dú)庵脫Q后，在70°C下加熱攪拌5小時(shí)，獲得含有丙烯酸樹脂J-4的丙烯酸樹脂溶液J-4。丙烯酸樹脂J-4的重量平均分子量為17，000，羧酸當(dāng)量為250g/mol。[0388]〈合成例5:化合物l(C-l)的合成〉[0389][化合物A的合成][0390]將乙基咔唑（100.(^，0.512111〇1)溶解在2601111的氯苯中，冷卻到0°(：后，添加氯化鋁(70.38,0.527!11〇1)。然后，用40分鐘滴加鄰甲苯酰氯(81.58,0.527111〇1)，升溫到室溫(25°(：，以下相同）并攪拌3小時(shí)。然后，冷卻到0°C后，添加氯化鋁(75.18,0.563111〇1)。用40分鐘滴加4_氯丁酰氯(79.48,0.563111〇1)，升溫到室溫并攪拌3小時(shí)。將156?11的35質(zhì)量％的鹽酸水溶液與392rnl的蒸餾水的混合溶液冷卻到0°C，滴加反應(yīng)溶液。將析出的固體抽吸過濾后，以蒸餾水及甲醇進(jìn)行清洗，以乙腈進(jìn)行再結(jié)晶后，獲得下述結(jié)構(gòu)的化合物A(產(chǎn)量164.4g，產(chǎn)率77%)。[0391][化10][0393][化合物B的合成][0394]將所述獲得的化合物六(20.(^，47.9臟〇1)溶解在641111的四氫呋喃(1'冊）中，添加4-氯苯硫醇（7?27g，50?2mmol)及碘化鈉（0?7g，4.79mmol)。然后在反應(yīng)液中添加氫氧化鈉(2.(^，50.2臟〇1)，回流2小時(shí)。然后冷卻到0°(：后，用20分鐘滴加31-28(11.18,57.4111111〇1，甲氧化鈉的28%甲醇溶液，和光純藥工業(yè)(股）制造），升溫到室溫并攪拌2小時(shí)。然后冷卻到0°C后，用20分鐘滴加亞硝酸異戊酯(6.73g，57.4mmol)，升溫到室溫并攪拌3小時(shí)。將反應(yīng)液稀釋至120ml丙酮中，滴加到經(jīng)冷卻至0°C的0.1N鹽酸水溶液中。將析出的固體抽吸過濾后，以蒸餾水清洗。然后以乙腈進(jìn)行再結(jié)晶，獲得下述結(jié)構(gòu)的化合物B(產(chǎn)量17.0g，產(chǎn)率64%)。[0397][化合物1的合成][0398]將化合物8(18.(^，32.4111111〇1)溶解在9〇1111的1甲基吡咯烷酮(匪?）中，添加三乙胺(￡七必，3.948,38.9!11111〇1)。然后冷卻到0°(：后，用20分鐘滴加乙酰氯以(^1，3.058,38.9_〇1)后，升溫到室溫并攪拌2小時(shí)。將反應(yīng)液滴加到150ml的經(jīng)冷卻至0°C的蒸餾水中，將析出的固體抽吸過濾后，以200ml的經(jīng)冷卻至0°C的異丙醇清洗，加以干燥后，獲得化合物1(產(chǎn)量19.5g，產(chǎn)率99%)。[0401]另外，所得的化合物1的結(jié)構(gòu)是利用核磁共振(NuclearMagneticResonance，NMR)來鑒定。[0402]4-匪1?(40011^，0)(：13):8=8.86(8，11〇,8.60(8，11〇,8.31((1，111，了=8.0抱），8.81(d，lH，J=8.0Hz)，7.51-7.24(m，10H)，7.36(q，2H，7.4Hz)，3.24-3.13(m，4H)，2.36(s，3H)，2.21(s，3H)，1.50(t，3H，7.4Hz)。[0403]實(shí)施例及比較例中使用的各成分如以下所述。[0404]〈成分A>[0405]A-1:所述合成例1的丙烯酸樹脂A-1[0406]A-2:所述合成例2的丙烯酸樹脂A-2[0407]A-3:所述合成例3的丙烯酸樹脂A-3[0408]〈成分B>[0409]B-1:二季戊四醇六丙烯酸酯(DPHA，日本化藥(股)制造）、六官能[0410]B-2:季戊四醇四丙烯酸酯(A-TMMT，新中村化學(xué)工業(yè)(股)制造）、四官能[0411]B-3:三羥甲基丙烷三丙烯酸酯(M309,東亞合成(股）制造）、三官能[0412]B-4:NK寡聚(NK0LIG0)U-15HA(新中村化學(xué)工業(yè)(股）制造）、十五官能[0413]B-5:UA-306H(共榮社化學(xué)(股）制造）、六官能[0414]B'-l:亞羅尼斯(Aronix)M-5300(東亞合成（股）制造）、一官能[0415]8。2:1，9-壬二醇二丙烯酸酯以-從》，，新中村化學(xué)工業(yè)(股)制造）、二官能[0416]〈成分〇[0417]C-1:化合物1(合成品，參考所述）、肟酯化合物[0418]C-2:艷佳固（IRGACURE)0XE-01(巴斯夫(BASF)公司制造）、肟酯化合物、下述結(jié)構(gòu)[0419]C-3:艷佳固（IRGACURE)0XE-02(巴斯夫(BASF)公司制造）J虧酯化合物、下述結(jié)構(gòu)[0420]「化131[0422]〈成分D>[0423]D-1:萊特酯(LightEster)P_lM(共榮社化學(xué)(股)制造，主成分為下述化合物的磷酸酯化合物）[0424]D-2:萊特酯(LightEster)P_2M(共榮社化學(xué)(股)制造，主成分為下述化合物的磷酸酯化合物）[0425]D-3:卡亞美(KAYAMER)PM-21(日本化藥(股)制造，滿足下述組成的混合物）[0426]D-4:JPA_514(城北化學(xué)工業(yè)(股)制造，下述兩種的混合物）[0427]D-5:MR-260(大八化學(xué)工業(yè)(股)制造，下述化合物）[0428][表1][0430]〈成分E>[0431]E-1:PMA-ST(日產(chǎn)化學(xué)工業(yè)(股）制造）、二氧化硅粒子、平均粒徑10nm~15nm[0432]E-2:MIBK-ST-L(日產(chǎn)化學(xué)工業(yè)(股）制造）、二氧化硅粒子、平均粒徑40nm~50nm[0433]〈成分F>[0434]F-1:塔克奈特(Takenate)B87〇N(三井化學(xué)（股）制造）[0435]?-2:德斯莫杜爾（〇68111〇(11^)813575/1?]\^/5~(住化拜耳氨基甲酸酯（51111111?1-BayerUrethane)(股）制造）[0436]F-3:德斯莫杜爾（Desmodur)BL4265(住化拜耳氨基甲酸酯（Sumika-BayerUrethane)(股）制造）[0437]F-4:杜拉奈特(Duranate)SBN_7〇D(三井化學(xué)（股）制造）[0438]〈烷氧基硅烷化合物〉[0439]SC-1:KBM_403(3-縮水甘油氧基丙基三甲氧基硅烷，信越化學(xué)工業(yè)(股）制造）[0440]SC-2:KBM-5103(3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷，信越化學(xué)工業(yè)(股)制造）[0441]〈表面活性劑〉[0442]W-1:美佳法(Megafac)F554(迪愛生(DIC)(股)制造，氟系表面活性劑）[0443]〈添加劑〉[0444]J-1:艾迪科斯塔波(Adekastab)A0_60(受阻酚系抗氧化劑，艾迪科(ADEKA)(股）制造）[0445]J-2:艷佳諾（Irganox)1035(受阻酚系抗氧化劑，巴斯夫(BASF)公司制造）[0446]J-3:卡倫茨(Karenz)MT-PE_1(硫醇化合物，昭和電工(股)制造）[0447]J-4:所述合成例4的丙烯酸樹脂J-4[0448]〈溶劑〉[0449]Y-1:丙二醇單甲醚乙酸酯(大賽璐(Daicel)(股)制造）[0450]Y-2:甲基乙基二甘醇(大賽璐(Daicel)(股)制造）[0451]Y-3:l，3_丁二醇二乙酸酯[0452](實(shí)施例1~實(shí)施例42、及比較例1~比較例5)[0453]〈感光性樹脂組合物的制備〉[0454]像下述表2或表3中記載那樣，將各成分調(diào)配及攪拌而制成溶劑的溶液及/或分散液，利用孔徑0.3M1的聚四氟乙烯制過濾器進(jìn)行過濾，獲得實(shí)施例1~實(shí)施例42及比較例1~比較例5的各感光性樹脂組合物。下述表2及表3的各成分的添加量的單位為質(zhì)量份。[0455]使用所得的各感光性樹脂組合物進(jìn)行以下的評價(jià)。將評價(jià)結(jié)果示于表2及表3中。[0456]〈再加工性的評價(jià)〉[0457]將所述中所制備的各感光性樹脂組合物旋涂在玻璃基板上，在90°C下進(jìn)行120秒鐘的預(yù)烘烤，獲得膜厚2.0wii的涂布膜。然后利用高壓水銀燈進(jìn)行500mJ/cm2(i射線換算）的光照射，進(jìn)而利用烘箱在120°C下進(jìn)行60分鐘烘烤，由此制作硬化膜。[0458]然后，將依據(jù)日本專利特開平7-331210號公報(bào)的實(shí)施例1制作的帶丙烯酸系粘著劑的偏光板切斷為寬度20mm、長度100mm，在溫度23°C、濕度50%RH的環(huán)境下利用2kg輥以一個(gè)來回將偏光板的粘著劑層面貼付在硬化膜上。[0459]進(jìn)而，在溫度23°C、濕度50%RH的環(huán)境下保持30分鐘后，以評價(jià)者的手捏住評價(jià)用樣品的端部，在長度l〇〇mm的方向上以剝離角度100°~120°、拉伸速度100mm/min~500mm/min進(jìn)行剝離。[0460]最后，為了對硬化膜表面進(jìn)行清潔，而使用含有丙酮的不織布，以評價(jià)者的手來擦拭表面。[0461]對擦拭后的硬化膜進(jìn)行觀察，像以下那樣判定。[0462]5:硬化膜上無擦傷，也未產(chǎn)生膜厚變化。[0463]4:硬化膜上產(chǎn)生對顯示品質(zhì)并無影響的輕微的擦傷，或產(chǎn)生小于1%的膜厚變化。[0464]3:硬化膜上產(chǎn)生對顯示品質(zhì)稍微有影響的擦傷，或產(chǎn)生1%以上且小于3%的膜厚變化。[0465]2:硬化膜上產(chǎn)生對顯示品質(zhì)有大的影響的顯眼的擦傷，或產(chǎn)生3%以上的膜厚變化。[0466]1:硬化膜從基材上剝離。[0467]〈卷邊的評價(jià)〉[0468]將玻璃基板(伊格爾(EAGLE)XG，0.7mm厚(康寧（Corning)公司制造））在六甲基二硅氮烷(HMDS)蒸氣下暴露30秒鐘，旋涂涂布各感光性樹脂組合物后，在90°C下在加熱板上預(yù)烘烤120秒鐘使溶劑揮發(fā)，形成膜厚3.Own的感光性樹脂組合物層。[0469]然后，使用佳能(Canon)(股)制造的MPA5500CF(高壓水銀燈），隔著具有掩模徑為50mi的孔圖案的掩模對所得的感光性樹脂組合物層進(jìn)行曝光。接著，利用堿性顯影液(2.38%的氫氧化四甲基銨水溶液)在23°C下對曝光后的感光性樹脂組合物層進(jìn)行60秒鐘顯影后，以超純水淋洗20秒鐘。將通過這些操作而分辨從基板側(cè)起在膜厚方向上1.5mi的點(diǎn)處的50mi的孔徑時(shí)的最適i射線曝光量(Eopt)作為感度。[0470]關(guān)于掩模徑為50m的孔圖案，以所述最適i射線進(jìn)行曝光，對制成永久膜時(shí)的孔徑進(jìn)行評價(jià)。以下的評價(jià)中，實(shí)孔圖案徑是以抗蝕劑的底部(底面)的尺寸來規(guī)定?？讖脚c掩模徑之差越小，即，卷邊越少，則屏設(shè)計(jì)越容易而優(yōu)選。[0471]-評價(jià)基準(zhǔn)-[0472]5:掩模徑與實(shí)孔圖案徑之比為±10%以內(nèi)[0473]4:掩模徑與實(shí)孔圖案徑之比超過±10%、且為±20%以內(nèi)[0474]3:掩模徑與實(shí)孔圖案徑之比超過±20%、且為±30%以內(nèi)[0475]2:掩模徑與實(shí)孔圖案徑之比超過±30%、且為±40%以內(nèi)[0476]1:掩模徑與實(shí)孔圖案徑之比超過±40%，或存在殘膜而無法分辨底部[0477]〈顯影膜薄化的評價(jià)〉[0478]將玻璃基板(伊格爾(EAGLE)XG，0.7mm厚(康寧（Corning)公司制造））在六甲基二硅氮烷(HMDS)蒸氣下暴露30秒鐘，旋涂涂布各感光性樹脂組合物后，在90°C下在加熱板上預(yù)烘烤120秒鐘使溶劑揮發(fā)，形成膜厚3.Own的感光性樹脂組合物層。[0479]然后，使用高壓水銀燈對所得的感光性樹脂組合物層進(jìn)行100mJ/cm2(i射線換算）的光照射。接著，利用堿性顯影液(2.38%的氫氧化四甲基銨水溶液)在23°C下對曝光后的感光性樹脂組合物層進(jìn)行60秒鐘顯影后，以超純水淋洗20秒鐘。[0480]測定顯影處理前后的膜厚，對顯影膜薄化率進(jìn)行評價(jià)。[0481]-評價(jià)基準(zhǔn)-[0482]5:膜薄化率小于3%[0483]4:膜薄化率為3%以上且小于8%[0484]3:膜薄化率為8%以上且小于15%[0485]2:膜薄化率為15%以上且小于30%[0486]1:膜薄化率為30%以上[0490]〈顯示裝置的制作〉[0491]在圖4所示的顯示裝置中，將本發(fā)明的各實(shí)施例中所得的感光性樹脂組合物用于觸摸檢測電極保護(hù)膜(絕緣膜、420)，分別制作顯示裝置。具體來說，通過以下方式形成保護(hù)膜(420):狹縫涂布各實(shí)施例中所得的感光性樹脂組合物，在90°C下進(jìn)行120秒鐘的預(yù)烘烤，利用高壓水銀燈進(jìn)行500mJ/cm2(i射線換算）的光照射，進(jìn)而利用烘箱在120°C下進(jìn)行60分鐘烘烤。顯示裝置的其他部分是按照日本專利特開2013-168125號公報(bào)中作為圖19而記載的制造方法而制作。所制作的顯示裝置的顯示性能、觸摸檢測性能均優(yōu)異?！局鳈?quán)項(xiàng)】1.一種感光性樹脂組合物，其特征在于含有：作為成分A的具有（甲基)丙烯酰基與酸基的聚合物；作為成分B的三官能以上的乙烯性不飽和化合物；作為成分C的光聚合引發(fā)劑；以及作為成分D的具有磷酸酯結(jié)構(gòu)與乙烯性不飽和基的化合物;并且成分D相對于組合物中的總有機(jī)固體成分的含量為0.01質(zhì)量％~5質(zhì)量％。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中成分A及成分B相對于組合物中的總有機(jī)固體成分的總含量為50質(zhì)量％~99質(zhì)量％。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中成分D相對于組合物中的總有機(jī)固體成分的含量為0.5質(zhì)量％~2質(zhì)量％。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中成分D含有具有P-OH結(jié)構(gòu)的化合物。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中成分A及成分B相對于組合物中的總有機(jī)固體成分的總含量為70質(zhì)量％~99質(zhì)量％。6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中還含有無機(jī)粒子。7.-種硬化膜的制造方法，其至少依序包括工序1~工序3:工序1:將根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂組合物涂布在基板上的涂布工序；工序2:利用光化射線對經(jīng)涂布的感光性樹脂組合物的至少一部分進(jìn)行曝光的曝光工序；以及工序3:利用水性顯影液對經(jīng)曝光的感光性樹脂組合物進(jìn)行顯影的顯影工序。8.-種硬化膜，其是使根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂組合物硬化而成。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的硬化膜，其為層間絕緣膜或保護(hù)膜。10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的硬化膜，其為觸摸屏配線用保護(hù)膜。11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的硬化膜，其為外嵌結(jié)構(gòu)觸摸屏中的配線用保護(hù)膜。12.-種觸摸屏，其具有根據(jù)權(quán)利要求8所述的硬化膜。13.-種觸摸屏顯示裝置，其具有根據(jù)權(quán)利要求8所述的硬化膜。14.一種液晶顯示裝置，其具有根據(jù)權(quán)利要求8所述的硬化膜。15.-種有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置，其具有根據(jù)權(quán)利要求8所述的硬化膜?！疚臋n編號】G03F7/027GK105911819SQ201610091341【公開日】2016年8月31日【申請日】2016年2月18日【發(fā)明人】米澤裕之【申請人】富士膠片株式會社