本申請的實施例涉及半導(dǎo)體材料加工,特別涉及一種周期可調(diào)的微納氧化周期性結(jié)構(gòu)的加工方法。背景技術(shù)、隨著微納加工技術(shù)在材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、光電子學(xué)等領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用,需求方對材料表面特性的精確控制的需求日益增長。激光誘導(dǎo)周期性表面結(jié)構(gòu)技術(shù)因其具備在材料表面形成可控周期性條紋結(jié)構(gòu)的能力而受到關(guān)注,這種結(jié)構(gòu)...